專利名稱：一種新型高精度外差激光測(cè)振儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光干涉測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及利用多普勒原理來測(cè)量被測(cè)對(duì)象的運(yùn)動(dòng)信息的外差激光測(cè)振儀。
背景技術(shù)：
目前，外差激光測(cè)振儀廣泛應(yīng)用于針對(duì)運(yùn)動(dòng)物體的測(cè)量，尤其是應(yīng)用于振動(dòng)測(cè)量領(lǐng)域中。外差激光測(cè)振儀一般利用多普勒原理進(jìn)行測(cè)量。圖I示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的外差激光測(cè)振儀100的示意圖。如圖I所示，外差激光測(cè)振儀100在整體上可以分為兩個(gè)部分，即光學(xué)部件部分110和信號(hào)處理部分120。一般而言，光學(xué)部件部分110包括對(duì)被測(cè)物體130進(jìn)行測(cè)量所需的光學(xué)部件，并輸出測(cè)量所獲得的電信號(hào)來由信號(hào)處理部分120來進(jìn)行信號(hào)處理，以獲得有關(guān)被測(cè)物體130的各種運(yùn)動(dòng)信息，尤其是振動(dòng)信息。具體而言，在光學(xué)部件部分110中，激光源1110發(fā)射的光被偏振分光鏡1120分為參考光和測(cè)量光。測(cè)量光通過聚焦透鏡組1130而聚焦在被測(cè)物體130上，當(dāng)被測(cè)物體130運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一個(gè)頻移Af。為了確定被測(cè)物體130的振動(dòng)方向，在參考光的光路中使用由晶振單元1140生成的頻率為fd的晶振信號(hào)來驅(qū)動(dòng)聲光調(diào)制器1150(例如為布拉格盒)來對(duì)參考光進(jìn)行移頻。從被測(cè)物體130返回的測(cè)量光在偏振分光鏡1160處與帶有頻率偏移量fd的參考光進(jìn)行干涉，干涉光由光電接收器1170進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，并因此向信號(hào)處理部分120輸出包含頻率分量(fd+Af)的調(diào)制電信號(hào)U1, SPCZ1 = U0i cos[2tt{j^ + Δ/)| + Φ01 ]。在信號(hào)處理部分120中，為了便于數(shù)據(jù)采集，需要對(duì)所接收的電信號(hào)進(jìn)行降頻解調(diào)。為此，首先在混頻器1210中，將該電信號(hào)U1與具有一定頻率&的外部振蕩信號(hào)U2 = υα2 ο5[2^ + Φ02]進(jìn)行混頻。隨后在低通濾波器1220中進(jìn)行低通濾波來去除高頻
部分，從而得到信號(hào)調(diào)制在低頻信號(hào)上的載波信號(hào)，即U =廣力-Δ/> + Φ0]
。在低頻信號(hào)上的載波信號(hào)U隨后經(jīng)由A/D數(shù)據(jù)采集器1230轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并接著在數(shù)字運(yùn)算單元1240中進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算處理，從而獲得有關(guān)被測(cè)物體130的振動(dòng)的速度，加速度、位移等物理參數(shù)。有關(guān)數(shù)字運(yùn)算單元1240中進(jìn)行的數(shù)字運(yùn)算處理，可以參見國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IS016063-II部分的具體內(nèi)容，該內(nèi)容通過引用在此全部并入，并不在進(jìn)行贅述。應(yīng)當(dāng)注意的是，在現(xiàn)有技術(shù)的外差激光測(cè)振儀100中，存在有兩個(gè)參考頻率，一個(gè)為在光學(xué)部件部分110中用于對(duì)參考光進(jìn)行頻移時(shí)的晶振信號(hào)的調(diào)制頻率fd，另一個(gè)為在信號(hào)處理部分120中電信號(hào)要與之進(jìn)行混頻的外部震蕩信號(hào)U2的頻率f\。這兩個(gè)信號(hào)分別由兩個(gè)晶振驅(qū)動(dòng)，而晶振會(huì)受到環(huán)境因素如溫度、磁場(chǎng)等的影響，所以這兩個(gè)信號(hào)的振蕩頻率實(shí)際上存在變化，即分別為fd+Γ與，因此由光電接收器1170輸出的電信號(hào)為 Tj1 — U01 cos[2ir{^. +f +AJ ) +Φ01]，而外部振湯 f目號(hào)為 U1 — Uai cos[2Tr{j； +f ^ + Φ01]。
而低頻載波信信號(hào)則并變成為^ ++ 從中可以看出，這兩個(gè)變化Γ和f"會(huì)給測(cè)量結(jié)果Af帶來誤差，Af隨著速度的減小會(huì)減小，當(dāng)Af與(Γ-Γ1)接近時(shí)，這種誤差影響因素變大，從而使得現(xiàn)有的外差激光測(cè)振儀測(cè)量誤差變大。另外，由于Af是隨速度而發(fā)生變化的量，但是其卻載波在一個(gè)固定帶寬頻率(fx-fd)的信號(hào)上，也就是說，對(duì)于同樣采樣頻率的AD數(shù)據(jù)采集，不論Λ f如何變化，分辨率是固定的。因此，當(dāng)由于速度較低而導(dǎo)致Af較小時(shí)，現(xiàn)有的外差激光測(cè)振儀會(huì)存在測(cè)量精度不高的問題。因此，希望提供一種可以進(jìn)一步提高外差激光測(cè)振儀的測(cè)量精度，并且使得外差激光測(cè)振儀可以良好地應(yīng)用于低頻振動(dòng)對(duì)象測(cè)量等領(lǐng)域的新的外差激光測(cè)振儀。

實(shí)用新型內(nèi)容為此，本實(shí)用新型提出了一種可以解決或者緩解上述問題的至少一部分的新的外差激光測(cè)振儀。 根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了一種外差激光測(cè)振儀，包括光學(xué)部件，適于利用激光來生成干涉光，其中該干涉光具有與由于多普勒效應(yīng)而導(dǎo)致的第一頻移和參考光被頻移的第二頻率值相關(guān)的頻率分量；光電轉(zhuǎn)換器，配置為將干涉光轉(zhuǎn)換為電測(cè)量信號(hào)；混頻器，被配置為將電測(cè)量信號(hào)與具有第三頻率的外部振蕩信號(hào)進(jìn)行混頻以獲得混頻信號(hào)；數(shù)字轉(zhuǎn)換器，被配置為將所述混頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)；數(shù)字運(yùn)算單元，被配置為對(duì)所述數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算以獲得有關(guān)被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)信息。根據(jù)本實(shí)用新型的外差激光測(cè)振儀還包括鑒頻器，其耦接到數(shù)字轉(zhuǎn)換器，從而從數(shù)字信號(hào)中鑒別出第一頻移，而外部振蕩信號(hào)基于鑒頻器所鑒別出的第一頻移而生成。由于混頻器混頻時(shí)采用的外部振蕩信號(hào)的頻率和第一頻移相關(guān)，因此，混頻后的低頻部分不再是一個(gè)固定帶寬頻率，而是隨著第一頻移的變化而變化，這樣，就可以在由于被測(cè)對(duì)象速度過低而導(dǎo)致第一頻移較小時(shí)，仍然可以提供較高的采樣分辨率，從而提高了測(cè)量精度?？蛇x地，根據(jù)本實(shí)用新型的外差激光測(cè)振儀還包括本振信號(hào)發(fā)生器，被配置為接收鑒頻器鑒別出的第一頻移以及具有第二頻率的晶振信號(hào)來生成第三頻率的外部振蕩信號(hào)，其中第三頻率的值被設(shè)置為第一頻移和預(yù)定系數(shù)的乘積與第二頻率之和，而預(yù)定系數(shù)為大于I的預(yù)設(shè)值?？蛇x地，在外差激光測(cè)振儀中，光學(xué)部件包括第一分光儀，被配置為將激光源生成的激光束分為參考光和測(cè)量光；物鏡，被配置為將測(cè)量光投射到具有被測(cè)對(duì)象上并接收從被測(cè)對(duì)象反射的測(cè)量光；聲光調(diào)制器，由具有第二頻率的晶振信號(hào)驅(qū)動(dòng)來對(duì)所述參考光進(jìn)行頻移；以及第二分光儀，被配置為對(duì)由物鏡接收的反射測(cè)量光和由聲光調(diào)制器頻移后的參考光進(jìn)行干涉以生成干涉光。可選地，根據(jù)本實(shí)用新型的外差激光測(cè)振儀還包括晶振源，用于提供具有第二頻率的晶振信號(hào)，其中該具有第二頻率的晶振信號(hào)被同時(shí)提供給光學(xué)部件和本振信號(hào)發(fā)生器。由于在光學(xué)部件中對(duì)參考光進(jìn)行頻移的晶振信號(hào)和本振信號(hào)發(fā)生器所采用的晶振信號(hào)來自同一個(gè)晶振源，由混頻器混頻而產(chǎn)生的混頻信號(hào)的低頻分量中，對(duì)參考光進(jìn)行頻移而引入的外部頻率干擾和外部振蕩信號(hào)中的頻率干擾可以相互抵消，從而進(jìn)一步提高了外差激光測(cè)振儀的測(cè)量精度。

通過閱讀下文優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)描述，各種其他的優(yōu)點(diǎn)和益處對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將變得清楚明了。附圖僅用于示出優(yōu)選實(shí)施方式的目的，而并不認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型的限制。而且在整個(gè)附圖中，用相同的參考符號(hào)表示相同的部件。其中在附圖中，參考數(shù)字之后的字母標(biāo)記指示多個(gè)相同的部件，當(dāng)泛指這些部件時(shí)，將省略其最后的字母標(biāo)記。在附圖中圖I示意性地示出了現(xiàn)有技術(shù)中的外差激光測(cè)振儀100的示意圖；以及圖2示意性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的外差激光測(cè)振儀200的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。圖2示意性地示出了根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的外差激光測(cè)振儀200的示意圖。在圖2中，與圖I所示的現(xiàn)有技術(shù)中的外差激光測(cè)振儀100的部件相同或者類似的部件以相同或者類似的方式示出，并且不再進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述。如圖2所示，類似于圖I所示的現(xiàn)有外差激光測(cè)振儀，外差激光測(cè)振儀200在整體上可以分為光學(xué)部件部分210和信號(hào)處理部分220。光學(xué)部件部分210包括用于生成激光束的激光源2110、利用激光源2110生成的激光束來對(duì)被測(cè)對(duì)象230進(jìn)行外差干涉測(cè)量的光學(xué)組件2120、以及將光學(xué)組件所生成的干涉光進(jìn)行光學(xué)轉(zhuǎn)換以獲得電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換器2130。光學(xué)組件2120具有和圖I中記載的相應(yīng)光學(xué)部件類似的部件。如外差激光干涉測(cè)量所要求的那樣，光學(xué)組件可以將所生成的激光束分為參考光和測(cè)量光，將測(cè)量光投射到被測(cè)對(duì)象230上并接收從被測(cè)對(duì)象反射的、具有頻移△ f的測(cè)量光，將參考光頻移一個(gè)頻率fd，然后對(duì)所反射的測(cè)量光和經(jīng)頻移的參考光進(jìn)行干涉以生成干涉光，該干涉光在頻率方面具有頻率分量(fd+Af)。可選地，頻率fd設(shè)置為40M赫茲。應(yīng)當(dāng)注意的是，本實(shí)用新型不局限于特定光學(xué)組件2120中的特定光學(xué)部件，任何適于在外差激光干涉測(cè)量中采用的光學(xué)部件都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，在光學(xué)組件2120中，第一分光儀2140可以將激光源2110生成的激光束分為參考光和測(cè)量光。物鏡組2150通過例如偏振、聚焦等光學(xué)處理將測(cè)量光投射到被測(cè)對(duì)象230上并接收從被測(cè)對(duì)象230反射的測(cè)量光。物鏡組2150可以米用本領(lǐng)域常用的光學(xué)結(jié)構(gòu)，可選地，物鏡組2150可以包括分光鏡2152和透鏡2154。由于多普勒效應(yīng)，所反射的測(cè)量光具有頻移AL·而在參考光路中，聲光調(diào)制器2160利用具有頻率fd的晶振信號(hào)來對(duì)參考光進(jìn)行頻移。這樣，當(dāng)從被測(cè)對(duì)象230反射回來的測(cè)量光和經(jīng)頻移的參考光在第二分光儀2170處進(jìn)行干涉時(shí)，所生成的干涉光在頻率方面具有頻率分量(fd+Af)0光電轉(zhuǎn)換器2130接收該干涉光，并且將該光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)LZ1 = υ01εο3[2π(Λ +Δ/> + Φ01]。隨后由信號(hào)處理部分220來對(duì)該電信號(hào)進(jìn)一步處理以獲得被測(cè)對(duì)象的詳細(xì)運(yùn)動(dòng)信息。[0026]信號(hào)處理部分220包括混頻器2210，其可以利用具有頻率的外部振蕩信號(hào)U2 ( U2 = cos [2^ + Φ02])與電信號(hào)U1進(jìn)行混頻以獲得混頻信號(hào)。由于混頻信號(hào)可
以具有頻率f\、fd和的各種組合方式，而對(duì)于后續(xù)處理來說，混頻信號(hào)中的低頻分量fffd-Af就足夠。因此，可選地，信號(hào)處理部分220還包括耦接到混頻器2210的低通濾波器2220，來對(duì)混頻信號(hào)進(jìn)行低通濾波以去除混頻信號(hào)的高頻部分，以獲得混淆信號(hào)中的低頻分量U = t/0 COS^Tiifl - Ji-Δ/> + Φ0],隨后將低頻信號(hào)U發(fā)送給數(shù)字轉(zhuǎn)換器2230來將混
頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。數(shù)字轉(zhuǎn)換器2230可以是任何適于將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器。數(shù)字運(yùn)算單元2240對(duì)該數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算以獲得有關(guān)被測(cè)對(duì)象的運(yùn)動(dòng)信息。有關(guān)數(shù)字運(yùn)算單元2240中進(jìn)行的數(shù)字運(yùn)算處理，可以參見國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IS016063-II部 分的具體內(nèi)容，該內(nèi)容通過引用在此全部并入，并不在進(jìn)行贅述。信號(hào)處理部分220還包括耦接到數(shù)字轉(zhuǎn)換器2230的鑒頻器2250，以從數(shù)字信號(hào)中鑒別出頻移Af。存在有多種方式從數(shù)字信號(hào)中鑒別出特定頻率。例如，Labview工具包中 就提供了相應(yīng)的頻率測(cè)量功能可以用于從數(shù)字信號(hào)中鑒別頻率，該鑒頻功能可以在本實(shí)用新型的鑒頻器2250中采用。鑒頻器2250所鑒別出的頻移Λ f可以用于生成在混頻器2210中采用的外部振蕩信號(hào)U2，因此外部振蕩信號(hào)U的頻率包括有固定頻率部分fdl和與頻移Af相關(guān)的部分。這樣，當(dāng)由于被測(cè)對(duì)象速度過低而導(dǎo)致頻移Af較小時(shí)，fffd-Af也相應(yīng)較小，從而仍然可以提供較高的采樣分辨率，從而提高了測(cè)量精度。可選地，信號(hào)處理部分220還包括用于本振信號(hào)發(fā)生器2260，耦接到鑒頻器2250來接收頻移Af，并同時(shí)接收具有固定頻率fdl的晶振信號(hào)fdl，以生成外部振蕩信號(hào)U并發(fā)送給混頻器2210來進(jìn)行混頻。本振信號(hào)發(fā)生器2260所生成的振蕩信號(hào)U的頻率和固定頻率fdl和頻移Af之間具有如下關(guān)系，f^f^+afAf。預(yù)定系數(shù)Btl為預(yù)設(shè)的固定值，其被設(shè)置為大于I。在實(shí)踐中，可以將％設(shè)置為2或者I. 5。這樣，數(shù)字轉(zhuǎn)換器所提供的數(shù)字信號(hào)具有(fdl_fd)+ Utl-I) 的低頻分量。如果fdl和4充分接近，則提供給數(shù)字運(yùn)算單元的數(shù)字信號(hào)具有與△ f相關(guān)的頻率分量，其隨著被測(cè)對(duì)象速度的變化而變化，從而可以提供較高的分辨率。從上面可以看出，為了提供更高的測(cè)量精度，fdl和fd應(yīng)當(dāng)充分接近。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，可以將fdl和fd設(shè)置為相同的值。例如可以將fdl和fd都設(shè)置為40MHz。然而如本實(shí)用新型背景技術(shù)部分所介紹的那樣，如果提供給本振信號(hào)發(fā)生器2260的晶振信號(hào)和提供給聲光調(diào)制器2160的晶振信號(hào)由不同的晶振源來提供，則即使將fdl和fd值設(shè)置為相同，也會(huì)由于各個(gè)晶振源受環(huán)境影響而導(dǎo)致的振蕩頻率存在不同的偏移，導(dǎo)致fdl和fd存在實(shí)際的不同。因此，可選地，為了使得fdl和4充分接近，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，外差激光測(cè)振儀還包括單個(gè)晶振源240，用于同時(shí)提供具有頻率fd的晶振信號(hào)給聲光調(diào)制器2160和本振信號(hào)發(fā)生器2260。這樣，可以進(jìn)一步提高測(cè)量精度。根據(jù)本實(shí)用新型的外差激光測(cè)振儀利用單個(gè)晶振源來提供晶振信號(hào)給光學(xué)組件和本振信號(hào)發(fā)生器，從而使得激光測(cè)振儀采用的外部參考信號(hào)共同使用同一個(gè)時(shí)基，這減小環(huán)境因素引起的擾動(dòng)。另一方面，根據(jù)本實(shí)用新型的外差激光測(cè)振儀通過鑒頻器和混頻器等的設(shè)計(jì)把用于降頻的本振信號(hào)變成一個(gè)跟隨頻移變化的一個(gè)跟隨信號(hào)，這進(jìn)一步提高了測(cè)量分辨率。應(yīng)該注意的是，上述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說明而不是對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行限制，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離所附權(quán)利要求的范圍的情況下可設(shè)計(jì)出替換實(shí)施例。在權(quán)利要求中，不應(yīng)將位于括號(hào)之間的任何參考符號(hào)構(gòu)造成對(duì)權(quán)利要求的限制。單詞“包含”不排除存在未列在權(quán)利要求中的元件或步驟。位于元件之前的單詞“一”或“一個(gè)”不排除存在多個(gè)這樣的元件。本實(shí)用新型可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于適當(dāng)編程的計(jì)算機(jī)來實(shí)現(xiàn)。在列舉了若干裝置的單元權(quán)利要求中，這些裝置中的若干個(gè)可以是通過同一個(gè)硬件項(xiàng)來具體體現(xiàn)。單詞第一、第二、以及第三等的使用不表示任何順序?？蓪?這些單詞解釋為名稱。
權(quán)利要求1.一種外差激光測(cè)振儀，其特征在于包括 激光源，被配置為生成激光束； 光學(xué)組件，被配置為將所生成的激光束分為參考光和測(cè)量光，將測(cè)量光投射到被測(cè)對(duì)象上并接收從被測(cè)對(duì)象反射的、具有第一頻移的測(cè)量光，將參考光頻移達(dá)第二頻率值，隨后對(duì)從被測(cè)對(duì)象反射的測(cè)量光和頻移了的參考光進(jìn)行干涉以生成干涉光； 光電轉(zhuǎn)換器，被配置為將所述干涉光轉(zhuǎn)換為電測(cè)量信號(hào)； 混頻器，耦接到所述光電轉(zhuǎn)換器并被配置為將所述電測(cè)量信號(hào)與具有第三頻率的外部振蕩信號(hào)進(jìn)行混頻以獲得混頻信號(hào)； 數(shù)字轉(zhuǎn)換器，耦接到所述混頻器并被配置為將所述混頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)；以及數(shù)字運(yùn)算單元，耦接到所述數(shù)字轉(zhuǎn)換器并被配置為對(duì)所述數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算以獲得有關(guān)被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)信息，以及 鑒頻器，耦接到所述數(shù)字轉(zhuǎn)換器，以從所述數(shù)字信號(hào)中鑒別出所述第一頻移，其中所述外部振蕩信號(hào)基于所鑒別出的第一頻移而生成。
2.如權(quán)利要求I所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于還包括本振信號(hào)發(fā)生器，耦接到所述鑒頻器并被配置為接收所述鑒頻器鑒別出的第一頻移來生成所述第三頻率的外部振蕩信號(hào)，其中所述第三頻率的值被設(shè)置為第一頻移和預(yù)定系數(shù)的乘積與第二頻率之和，以及所述預(yù)定系數(shù)為大于I的預(yù)設(shè)值。
3.如權(quán)利要求2所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于還包括晶振源，用于提供所述具有第二頻率的晶振信號(hào)，其中所述第二頻率的晶振信號(hào)被同時(shí)提供給所述光學(xué)組件和所述本振信號(hào)發(fā)生器。
4.如權(quán)利要求2或者3所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于所述預(yù)定系數(shù)為2。
5.如權(quán)利要求2或者3所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于所述第二頻率為40MHz。
6.如權(quán)利要求2或者3所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于還包括低通濾波器，耦接到所述混頻器，以便對(duì)所述混頻信號(hào)進(jìn)行低通濾波以去除所述混頻信號(hào)的高頻部分，并將經(jīng)過濾波的混頻信號(hào)發(fā)送給所述數(shù)字轉(zhuǎn)換器。
7.如權(quán)利要求2或者3所述的外差激光測(cè)振儀，其特征在于所述光學(xué)部件包括 第一分光儀，被配置為將所生成的激光束分為參考光和測(cè)量光； 物鏡，被配置為將測(cè)量光投射到具有被測(cè)對(duì)象上并接收從被測(cè)對(duì)象反射的測(cè)量光；聲光調(diào)制器，由所述具有第二頻率的晶振信號(hào)驅(qū)動(dòng)來對(duì)所述參考光進(jìn)行頻移；以及第二分光儀，被配置為對(duì)由物鏡接收的反射測(cè)量光和由聲光調(diào)制器頻移后的參考光進(jìn)行干涉以生成干涉光。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種外差激光測(cè)振儀，其包括光學(xué)部件，適于利用激光來生成干涉光，其中干涉光具有與由于多普勒效應(yīng)而導(dǎo)致的第一頻移和參考光被頻移的第二頻率值相關(guān)的頻率分量；光電轉(zhuǎn)換器，配置為將干涉光轉(zhuǎn)換為電測(cè)量信號(hào)；混頻器，被配置為將電測(cè)量信號(hào)與具有第三頻率的外部振蕩信號(hào)進(jìn)行混頻以獲得混頻信號(hào)；數(shù)字轉(zhuǎn)換器，被配置為將所述混頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)；數(shù)字運(yùn)算單元，被配置為對(duì)所述數(shù)字信號(hào)進(jìn)行數(shù)字運(yùn)算以獲得有關(guān)被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)信息；鑒頻器，其耦接到數(shù)字轉(zhuǎn)換器，從而從數(shù)字信號(hào)中鑒別出第一頻移，而外部振蕩信號(hào)基于鑒頻器所鑒別出的第一頻移而生成。
文檔編號(hào)G01H9/00GK202614366SQ20122012481
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者劉愛東, 于梅, 楊麗峰, 左愛斌, 馬明德 申請(qǐng)人:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院