專利名稱:一種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及光學(xué)損傷檢測(cè)領(lǐng)域,尤其涉及一種用于光學(xué)元件損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器。
背景技術(shù):
隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展,大功率激光系統(tǒng)的功率已經(jīng)達(dá)到很高的水平,如美國(guó) 利弗莫爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室點(diǎn)火裝置的功率已經(jīng)高達(dá)I. 8MJ,從某種意義上來(lái)說(shuō),系統(tǒng)元件的抗激光輻照能力的大小決定了系統(tǒng)的功率水平和運(yùn)行性能,了解系統(tǒng)中元件的損傷機(jī)理,掌握所用材料的激光誘導(dǎo)損傷閾值,對(duì)于激光研究領(lǐng)域的科研人員和工程技術(shù)人員是非常重要的。準(zhǔn)確的測(cè)量出光學(xué)元件的損傷閾值是研究損傷機(jī)理的前提,損傷閾值的測(cè)定必須建立在對(duì)損傷做出正確判定的基礎(chǔ)上。目前國(guó)內(nèi)外對(duì)損傷的判別大都為采用相襯顯微鏡觀察被測(cè)樣品在激光輻照前、后的狀況來(lái)確定樣品是否發(fā)生了損傷,這種方法有很大的不確定性及滯后性,因?yàn)楫?dāng)用顯微鏡觀察到樣品損傷時(shí),很可能元件中早已發(fā)生了微觀損傷。光聲法可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)鏡片損傷的在線監(jiān)測(cè),激光輻照光學(xué)元件表面,元件表面會(huì)產(chǎn)生反射聲波,如果在表面放置一個(gè)壓電傳感器,用示波器監(jiān)控從傳感器引出的信號(hào),當(dāng)信號(hào)波幅發(fā)生突變時(shí),光學(xué)元件即可認(rèn)為發(fā)生了損傷。目前光聲法所采用的壓電傳感器有較多缺陷,包括I、傳感器偏離光軸,使檢測(cè)到的信號(hào)不具有代表性,不能全面的檢測(cè)到元件的振動(dòng)信號(hào);2、屏蔽信號(hào)能力較差,容易受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;3、檢測(cè)到的信號(hào)較微弱。因此,針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題,有必要提供一種新型結(jié)構(gòu)的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),以克服上述缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此,本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),該壓電傳感器系統(tǒng)對(duì)激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的屏蔽效果更好,配以電荷放大器,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào),并且,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)鏡片損傷閾值的同軸檢測(cè),檢測(cè)更為準(zhǔn)確。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案—種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其包括主體安裝基座、鏡片安裝板以及壓電元件,所述主體安裝基座上設(shè)有與鏡片安裝板連接的基部、安裝凸臺(tái)以及沿軸向延伸的通光孔,待測(cè)鏡片位于基部與鏡片安裝板之間,所述壓電傳感器還包括與待測(cè)鏡片接觸的接觸式傳振頭、屏蔽罩、同軸粘結(jié)在壓電元件兩側(cè)的第一墊片與第二墊片、同軸放置在第二墊片上的質(zhì)量塊、設(shè)于質(zhì)量塊上的的第三墊片、航空插頭、接收航空插頭傳遞過(guò)來(lái)的壓電信號(hào)的電荷放大器以及與電荷放大器連接且顯示放大后信號(hào)的示波器,所述第一墊片與安裝凸臺(tái)粘結(jié),所述壓電元件的兩個(gè)表面分別焊接上下集電極并通過(guò)引出線與航空插頭連接。[0010]優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述屏蔽罩呈圓筒形,所述屏蔽罩與基部之間通過(guò)內(nèi)外螺紋固定連接。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述質(zhì)量塊的兩側(cè)分別設(shè)有螺紋安裝孔,所述壓電傳感器還包括螺紋桿件,所述螺紋桿件設(shè)有與螺紋安裝孔配套旋接的螺紋以及定位孔,所述定位孔上安裝有一調(diào)整架。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述第三墊片上同軸安裝有一給壓電元件提供預(yù)緊力的六角螺母。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述基部與鏡片安裝板上分別設(shè)有若干位置對(duì)應(yīng)的螺紋孔,所述基部與鏡片安裝板之間通過(guò)螺紋連接件固定連接。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述接觸式傳振頭底部為平面形。 優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述接觸式傳振頭為橡I父制成的接觸式傳振頭。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述壓電元件為鋯鈦酸鉛材料制成的壓電元件。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述質(zhì)量塊為鎢鋼制成的質(zhì)量塊。優(yōu)選的,在上述用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)中,所述第一墊片、第二墊片、第三墊片為聚四氟乙烯材料制成的墊片。從上述技術(shù)方案可以看出,本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)設(shè)置屏蔽罩,提升了壓電傳感器的屏蔽信號(hào)能力,避免受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;通過(guò)設(shè)置電荷放大器,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是(I)屏蔽信號(hào)能力較好,不容易受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;(2)能檢測(cè)到較強(qiáng)的信號(hào);(3)能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)鏡片損傷閾值的同軸檢測(cè),檢測(cè)更為準(zhǔn)確。
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的有關(guān)本實(shí)用新型的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型壓電傳感器組裝后的結(jié)構(gòu)剖視圖;圖2為圖I中主體安裝基座的結(jié)構(gòu)剖視圖;圖3為圖I中主體安裝基座的俯視圖;圖4為圖I中質(zhì)量塊的結(jié)構(gòu)剖視圖;圖5為圖I中屏蔽罩的結(jié)構(gòu)剖視圖;圖6為圖I中螺紋桿件的結(jié)構(gòu)示意圖;[0031]圖7為本實(shí)用新型壓電傳感器用于測(cè)量鏡片損傷閾值的原理圖。其中1、屏蔽罩;10、鏡片;11、第一墊片;111、第一內(nèi)螺紋;112、第二內(nèi)螺紋;113、通孔;12、第二墊片;13、第三墊片;2、六角螺母;3、質(zhì)量塊;31、螺紋安裝孔;4、螺紋桿件;41、螺紋;42、定位孔;5、壓電元件;6、航空插頭;7、主體安裝基座;71、連接螺紋;72、安裝凸臺(tái);73、基部;74、螺紋孔;75、通光孔;8、螺紋連接件;9、鏡片安裝板;100、激光器;200、全反鏡;300、聚焦鏡;400、電荷放大器;500、示波器;600、吸收器件。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),該壓電傳感器系統(tǒng)對(duì)激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的屏蔽效果更好,配以電荷放大器,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào),并且,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)鏡片損傷閾值的同軸檢測(cè),檢測(cè)更為準(zhǔn)確。該用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其包括主體安裝基座、鏡片安 裝板以及壓電元件,主體安裝基座上設(shè)有與鏡片安裝板連接的基部、安裝凸臺(tái)以及沿軸向延伸的通光孔,待測(cè)鏡片位于基部與鏡片安裝板之間,壓電傳感器還包括與待測(cè)鏡片接觸的接觸式傳振頭、屏蔽罩、同軸粘結(jié)在壓電元件兩側(cè)的第一墊片與第二墊片、同軸放置在第二墊片上的質(zhì)量塊、設(shè)于質(zhì)量塊上的的第三墊片、航空插頭、接收航空插頭傳遞過(guò)來(lái)的壓電信號(hào)的電荷放大器以及與電荷放大器連接且顯示放大后信號(hào)的示波器,第一墊片與安裝凸臺(tái)粘結(jié),壓電元件的兩個(gè)表面分別焊接上下集電極并通過(guò)引出線與航空插頭連接。進(jìn)一步的,屏蔽罩呈圓筒形,屏蔽罩與基部之間通過(guò)內(nèi)外螺紋固定連接。進(jìn)一步的,質(zhì)量塊的兩側(cè)分別設(shè)有螺紋安裝孔,壓電傳感器還包括螺紋桿件,螺紋桿件設(shè)有與螺紋安裝孔配套旋接的螺紋以及定位孔,定位孔上安裝有一調(diào)整架。進(jìn)一步的,第三墊片上同軸安裝有一給壓電元件提供預(yù)緊力的六角螺母。進(jìn)一步的,基部與鏡片安裝板上分別設(shè)有若干位置對(duì)應(yīng)的螺紋孔,基部與鏡片安裝板之間通過(guò)螺紋連接件固定連接。進(jìn)一步的,接觸式傳振頭底部為平面形。進(jìn)一步的,接觸式傳振頭為橡膠制成的接觸式傳振頭。進(jìn)一步的,壓電元件為鋯鈦酸鉛材料制成的壓電元件。進(jìn)一步的,質(zhì)量塊為鎢鋼制成的質(zhì)量塊。進(jìn)一步的,第一墊片、第二墊片、第三墊片為聚四氟乙烯材料制成的墊片。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。如圖I、圖2及圖7所示,該用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)包括主體安裝基座7、鏡片安裝板9以及壓電元件5。主體安裝基座7上設(shè)有與鏡片安裝板9連接的安裝凸臺(tái)72、基部73以及沿軸向延伸的通光孔75。安裝凸臺(tái)72設(shè)于主體安裝基座7靠近中間的位置。通光孔75位于基座73中部且與基座73同軸,通光孔75用來(lái)作為測(cè)試用激光的通光通道。一待測(cè)鏡片10位于基部73與鏡片安裝板9之間。壓電傳感器還包括與待測(cè)鏡片接觸的接觸式傳振頭、屏蔽罩I、同軸粘結(jié)在壓電元件5兩側(cè)的第一墊片11與第二墊片12、同軸放置在第二墊片12上的質(zhì)量塊3、設(shè)于質(zhì)量塊3上的的第三墊片13、航空插頭
6、接收航空插頭6傳遞過(guò)來(lái)的壓電信號(hào)的電荷放大器400以及與電荷放大器400連接且顯示放大后信號(hào)的示波器500。通過(guò)設(shè)置屏蔽罩1,提升了壓電傳感器的屏蔽信號(hào)能力,避免受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;通過(guò)設(shè)置電荷放大器400,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào)。如圖I及圖5所示,在本實(shí)施例中,屏蔽罩I呈圓筒形,屏蔽罩I與基部73之間通過(guò)內(nèi)外螺紋固定連接,其中屏蔽罩I包括有 第一內(nèi)螺紋111、第二內(nèi)螺紋112以及通孔113?;?包括與第一內(nèi)螺紋111配合的外螺紋。屏蔽罩I主要用來(lái)屏蔽激光器產(chǎn)生的電磁場(chǎng),并對(duì)零部件進(jìn)行封裝,與主體安裝基座7底部采用螺紋連接安裝。通孔113位置對(duì)應(yīng)設(shè)于主體安裝基座7上方的一吸收器件600。如圖I所示,第一墊片11與安裝凸臺(tái)72粘結(jié),壓電元件5的兩個(gè)表面分別焊接上下集電極并通過(guò)引出線與航空插頭6連接,航空插頭6與配套的PCB板連接。如圖I、圖4、圖5及圖6所示,質(zhì)量塊3的兩側(cè)分別設(shè)有螺紋安裝孔31,壓電傳感器還包括螺紋桿件4,螺紋桿件4設(shè)有與螺紋安裝孔31配套旋接的螺紋41以及定位孔42。螺紋41與屏蔽罩I的第二內(nèi)螺紋112配合。定位孔42上安裝有一調(diào)整架,通過(guò)設(shè)置調(diào)整架,可以較方便的調(diào)整傳感器在光路中的位置。如圖I至圖3所示,基部73設(shè)有若干位置對(duì)應(yīng)的螺紋孔74,鏡片安裝板9上設(shè)有若干與基部73的螺紋孔74位置對(duì)應(yīng)的螺紋孔,基部73與鏡片安裝板9之間通過(guò)螺紋連接件8固定連接。如圖I所示,第三墊片13上同軸安裝有一給壓電元件提供預(yù)緊力的六角螺母2,六角螺母2主要用來(lái)給壓電元件提供必要的預(yù)緊力,提高整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定度。主體安裝基座7上設(shè)有連接螺紋71以與六角螺母2配合本實(shí)用新型的實(shí)施例中,接觸式傳振頭底部為平面形。接觸式傳振頭為橡膠制成的接觸式傳振頭。本實(shí)用新型的實(shí)施例中,壓電元件5為鋯鈦酸鉛材料制成的壓電元件。質(zhì)量塊3主要為壓電元件5提供慣性力,能夠獲得較高的靈敏度。質(zhì)量塊3為鎢鋼制成的質(zhì)量塊,如此設(shè)置,可以加大振動(dòng)信號(hào)的傳遞。本實(shí)用新型的實(shí)施例中,鏡片安裝板9為聚四氟乙烯材料的鏡片安裝板9。本實(shí)用新型的實(shí)施例中,第一墊片11、第二墊片12、第三墊片13為聚四氟乙烯材料制成的墊片。其中,第一墊片11中空且與通光孔75同軸,第一墊片11具有絕緣作用,防止壓電元件5產(chǎn)生的電荷轉(zhuǎn)移到主體安裝基座7上,有利于提高輸出信號(hào)幅度。第二墊片12同樣具有絕緣作用。第一墊片11、第二墊片12、第三墊片13與對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)粘結(jié)時(shí)采用的粘結(jié)劑為硅膠。使用時(shí),將鏡片10放置于傳感器底部,貼合于底部的接觸式傳振頭,鏡片10底部采用四氟聚乙烯材料制成的鏡片安裝板9與傳感器螺紋固定。激光光路從底部垂直通過(guò)鏡片經(jīng)由傳感器通光孔75出射。激光入射,鏡片10由于吸收光能,便會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的振動(dòng),通過(guò)接觸式傳振頭將振動(dòng)傳遞與壓電兀件5,由于正壓電效應(yīng),壓電兀件5將會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的電荷,通過(guò)配套的電荷放大器400放大,將信號(hào)傳遞給示波器500或者相應(yīng)的接受設(shè)備,就可獲知鏡片的振動(dòng)狀況。當(dāng)監(jiān)測(cè)到的信號(hào)發(fā)生突變時(shí),就說(shuō)明鏡片10發(fā)生了損傷,此時(shí)測(cè)得的功率密度即為鏡片10的損傷閾值。本實(shí)用新型可使用與任何種類的鏡片和不同監(jiān)測(cè)環(huán)境,成本較低,靈敏度高,測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確度與可信度較高。本實(shí)用新型的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)的工作原理為封裝后的壓電傳感器下方通過(guò)鏡片安裝板9固定好鏡片樣品,同時(shí)搭好激光光路,激光器100出射光通過(guò)一全反鏡200垂直向上入射,并通過(guò)一聚焦鏡300聚焦,以獲得較高的功率密度,隨后激光通過(guò)鏡片10,并由傳感器的同軸通光孔75出射入一吸收器件600。傳感器的壓電信號(hào)由航空接頭6傳入一電荷放大器400,經(jīng)過(guò)電荷放大的信號(hào)流入一不波器500,即可觀察到鏡片的光致振動(dòng)信號(hào)。本實(shí)用新型實(shí)施例的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng)通過(guò)設(shè)置屏蔽罩,提升了壓電傳感器的屏蔽信號(hào)能力,避免受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;通過(guò)設(shè)置電荷放大器,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是(I)屏蔽信號(hào)能力較好,不容易受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾; (2)能檢測(cè)到較強(qiáng)的信號(hào);(3)能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)鏡片損傷閾值的同軸檢測(cè),檢測(cè)更為準(zhǔn)確。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此,無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案,說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn),本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
權(quán)利要求1.一種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其包括主體安裝基座、鏡片安裝板以及壓電元件,其特征在于所述主體安裝基座上設(shè)有與鏡片安裝板連接的基部、安裝凸臺(tái)以及沿軸向延伸的通光孔,待測(cè)鏡片位于基部與鏡片安裝板之間,所述壓電傳感器還包括與待測(cè)鏡片接觸的接觸式傳振頭、屏蔽罩、同軸粘結(jié)在壓電元件兩側(cè)的第一墊片與第二墊片、同軸放置在第二墊片上的質(zhì)量塊、設(shè)于質(zhì)量塊上的的第三墊片、航空插頭、接收航空插頭傳遞過(guò)來(lái)的壓電信號(hào)的電荷放大器以及與電荷放大器連接且顯示放大后信號(hào)的示波器,所述第一墊片與安裝凸臺(tái)粘結(jié),所述壓電元件的兩個(gè)表面分別焊接上下集電極并通過(guò)引出線與航空插頭連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述屏蔽罩呈圓筒形,所述屏蔽罩與基部之間通過(guò)內(nèi)外螺紋固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述質(zhì)量塊的兩側(cè)分別設(shè)有螺紋安裝孔,所述壓電傳感器還包括螺紋桿件,所述螺紋桿件設(shè)有與螺紋安裝孔配套旋接的螺紋以及定位孔,所述定位孔上安裝有一調(diào)整架。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述第三墊片上同軸安裝有一給壓電元件提供預(yù)緊力的六角螺母。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述基部與鏡片安裝板上分別設(shè)有若干位置對(duì)應(yīng)的螺紋孔,所述基部與鏡片安裝板之間通過(guò)螺紋連接件固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述接觸式傳振頭底部為平面形。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述接觸式傳振頭為橡膠制成的接觸式傳振頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述壓電元件為錯(cuò)鈦酸鉛材料制成的壓電元件。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述質(zhì)量塊為鎢鋼制成的質(zhì)量塊。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其特征在于所述第一墊片、第二墊片、第三墊片為聚四氟乙烯材料制成的墊片。
專利摘要一種用于光學(xué)鏡片損傷閾值檢測(cè)的壓電傳感器系統(tǒng),其包括主體安裝基座、鏡片安裝板以及壓電元件,主體安裝基座上設(shè)有與鏡片安裝板連接的基部、安裝凸臺(tái)以及沿軸向延伸的通光孔,壓電傳感器還包括屏蔽罩、質(zhì)量塊、航空插頭、接收航空插頭傳遞過(guò)來(lái)的壓電信號(hào)的電荷放大器以及顯示放大后信號(hào)的示波器,壓電元件的兩個(gè)表面分別焊接上下集電極并通過(guò)引出線與航空插頭連接。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置屏蔽罩,提升了壓電傳感器的屏蔽信號(hào)能力,避免受到激光器強(qiáng)電磁場(chǎng)的干擾;通過(guò)設(shè)置電荷放大器,可以檢測(cè)出較強(qiáng)的信號(hào)。
文檔編號(hào)G01H11/08GK202547768SQ20122017443
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月23日
發(fā)明者傅戈雁, 張迎寅, 朱萍, 石世宏, 蔡偉 申請(qǐng)人:蘇州大學(xué)