專利名稱：電阻率量測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種電性量測(cè)裝置，特別是關(guān)于ー種電阻率量測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
方塊電阻又稱薄膜電阻，為表征薄膜導(dǎo)電性能的物理量。薄膜的電阻及電阻均勻性與產(chǎn)品功能息息相關(guān)。一般采用四探針法進(jìn)行量測(cè)，該方法原理簡(jiǎn)單，且為非破壞性的測(cè)量方式。傳統(tǒng)量測(cè)方法是將待測(cè)的產(chǎn)品，如ITO薄膜或玻璃等，置于工作平臺(tái)上，然后通過 測(cè)試人員將四探針量測(cè)儀的探針測(cè)試頭垂直接觸于產(chǎn)品需要量測(cè)的區(qū)域，待量測(cè)儀的讀數(shù)穩(wěn)定吋，記錄該讀數(shù)作為此區(qū)域的表面阻杭。這種傳統(tǒng)電阻率量測(cè)方法由人工完成，測(cè)試效率較低且要耗費(fèi)較高的人工成本。且不同測(cè)試人員在測(cè)量時(shí)手法和量測(cè)カ度上會(huì)有所不同，導(dǎo)致量測(cè)的準(zhǔn)確性受到影響。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供ー種自動(dòng)化的電阻率量測(cè)裝置，包括一載物平臺(tái)，用以承載被測(cè)產(chǎn)品；一入料傳送機(jī)，該載物平臺(tái)設(shè)于該入料傳送機(jī)上，該入料傳送機(jī)包括用以橫向移動(dòng)該載物平臺(tái)的入料導(dǎo)輪組；一探針模組，用以對(duì)該被測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行電阻測(cè)試；ー探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于該入料傳送機(jī)上且連接該探針模組，用以升降及縱向移動(dòng)該探針模組；ー旋轉(zhuǎn)機(jī)，連接該入料傳送機(jī)，用以將該被測(cè)產(chǎn)品從入料端傳送至出料端，且該旋轉(zhuǎn)機(jī)可調(diào)整該被測(cè)產(chǎn)品于其上的傳送方向；以及ー控制器，分別與該入料傳送機(jī)、探針模組、探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機(jī)電連接。采用本實(shí)用新型，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)檢測(cè)電阻率，提高了量測(cè)效率、減少了人力成本。且相對(duì)于習(xí)知的手工量測(cè)方法，提高了量測(cè)的準(zhǔn)確性。通過旋轉(zhuǎn)機(jī)自動(dòng)將量測(cè)不合格的產(chǎn)品送入收料機(jī)內(nèi)，杜絕電阻值不合格的不良品流出。

圖I為本實(shí)用新型電阻率量測(cè)裝置一較佳實(shí)施例的立體圖；圖2為本實(shí)用新型電阻率量測(cè)裝置一較佳實(shí)施例之探測(cè)段的立體圖；圖3為圖2所示探測(cè)段的主視圖；圖4為圖2所示探測(cè)段的左視圖；圖5為圖2所示探測(cè)段的俯視圖；圖6為圖I所示旋轉(zhuǎn)機(jī)和收料機(jī)的立體圖；圖7為圖6所示旋轉(zhuǎn)機(jī)的主視圖；圖8為圖7所示旋轉(zhuǎn)機(jī)的左視圖；圖9為圖7所示旋轉(zhuǎn)機(jī)的俯視圖；圖10為圖I所示電阻率量測(cè)裝置中升降機(jī)構(gòu)的局部示意圖；[0017]圖11為探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針量測(cè)頭之ー較佳實(shí)施例的立體圖；圖12為圖11所示探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針量測(cè)頭的主視圖；圖13為設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭的立體圖；圖14為圖13所示設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭的主視圖；圖15為圖13所示設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭的左視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)描述。圖I為本實(shí)用新型電阻率量測(cè)裝置一較佳實(shí)施例的立體圖，如圖I所示，本實(shí)用新型中的電阻率量測(cè)裝置100主要包括一載物平臺(tái)110、一入料傳送機(jī)120、一探針模組 130(圖I未標(biāo)示)、ー探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140、一旋轉(zhuǎn)機(jī)160及ー控制器。其中，載物平臺(tái)110、入料傳送機(jī)120、探針模組130及探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140共同組成探測(cè)段200 (圖I未
十小/]^ ノ。請(qǐng)參閱圖2至圖5，圖2為本實(shí)用新型電阻率量測(cè)裝置一較佳實(shí)施例中之探測(cè)段200的立體圖，圖3為圖2所示探測(cè)段200的主視圖；圖4為圖2所示探測(cè)段200的左視圖；圖5為圖2所示探測(cè)段200的俯視圖。如圖2至圖5所示，載物平臺(tái)110設(shè)于入料傳送機(jī)120上，用以承載被測(cè)產(chǎn)品，例如玻璃基板。入料傳送機(jī)120包括用以在平面上橫向移動(dòng)載物平臺(tái)110的入料導(dǎo)輪組122，其通過轉(zhuǎn)動(dòng)入料導(dǎo)輪組122，帶動(dòng)載物平臺(tái)110橫向移動(dòng)。探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140設(shè)于入料傳送機(jī)120上，且連接用以對(duì)被測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行電阻量測(cè)的探針模組130。探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140用以在垂直方向上升降及水平方向上縱向移動(dòng)該探針模組130。請(qǐng)參與圖6至圖9，圖6為圖I所示旋轉(zhuǎn)機(jī)160和收料機(jī)170的立體圖；圖7為圖6所示旋轉(zhuǎn)機(jī)160的主視圖；圖8為圖7所示旋轉(zhuǎn)機(jī)160的左視圖；圖9為圖7所示旋轉(zhuǎn)機(jī)160的俯視圖。如圖6至圖9所示旋轉(zhuǎn)機(jī)160的一端連接入料傳送機(jī)120，另一端與收料機(jī)170或下游設(shè)備相連。旋轉(zhuǎn)機(jī)160包括出料導(dǎo)輪組162，用以將被測(cè)產(chǎn)品從出料導(dǎo)輪組162的入料端運(yùn)至出料端，該入料端即出料導(dǎo)輪組162從載物平臺(tái)110上接收被測(cè)產(chǎn)品的一端。旋轉(zhuǎn)機(jī)160還包括用以在平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)該出料導(dǎo)輪組162的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)164，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)164可將出料導(dǎo)輪組162從入料導(dǎo)輪組122的傳動(dòng)方向(即橫向)水平旋轉(zhuǎn)至垂直方向(即縱向)，以控制出料導(dǎo)輪組162可將被測(cè)產(chǎn)品運(yùn)送至收料機(jī)170或下游設(shè)備?？刂破鞣謩e與入料傳送機(jī)120、探針模組130、探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140及旋轉(zhuǎn)機(jī)160電連接，用以控制入料導(dǎo)輪組122轉(zhuǎn)動(dòng)，通過入料傳送機(jī)120的橫向移動(dòng)將載物平臺(tái)110上的被測(cè)產(chǎn)品送至探針模組130的下方?？刂破麟S后控制探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140將探針模組130下壓，與被測(cè)產(chǎn)品表面形成歐姆連接，進(jìn)行電阻量測(cè)。還可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品的類型，縱向移動(dòng)探針模組130以調(diào)整探針模組130與被測(cè)產(chǎn)品接觸的位置。電阻量測(cè)完畢后，控制器隨后控制載物平臺(tái)110下降以及探針模組130上升，控制器控制入料傳送機(jī)120與旋轉(zhuǎn)機(jī)160配合，將被測(cè)產(chǎn)品通過出料導(dǎo)輪組162送至旋轉(zhuǎn)機(jī)160上，并根據(jù)先前電阻量測(cè)的結(jié)果，將被測(cè)產(chǎn)品送往下游設(shè)備或收料機(jī)170上。其中若電阻量測(cè)通過，則出料導(dǎo)輪組162將被測(cè)產(chǎn)品縱向送至下游設(shè)備，進(jìn)行后續(xù)的清洗、網(wǎng)印等エ藝流程；若電阻量測(cè)不合格，則控制器控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)164將出料導(dǎo)輪組162水平旋轉(zhuǎn)90度，將被測(cè)產(chǎn)品縱向送入收料機(jī)170內(nèi)。在其它實(shí)施例中，亦可將收料機(jī)170與下游設(shè)備位置調(diào)換，即收料機(jī)170改為橫向設(shè)置，而下游設(shè)備變?yōu)榭v向設(shè)置?；?qū)⑹樟蠙C(jī)170替換為其它可實(shí)現(xiàn)收納電阻量測(cè)不合格的破測(cè)產(chǎn)品的設(shè)備?？刂破骺梢圆捎肙mron的可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller,PLC)。上述電阻率量測(cè)裝置100，實(shí)現(xiàn)了電阻率的自動(dòng)檢測(cè)，提高了量測(cè)效率、減少了人力成本。且相對(duì)于手工量測(cè)，提高了量測(cè)的準(zhǔn)確性。通過旋轉(zhuǎn)機(jī)160自動(dòng)將量測(cè)不合格的產(chǎn)品送入收料機(jī)170內(nèi)，杜絕電阻值不合格的不良品流出。請(qǐng)進(jìn)一歩參閱圖1，在該實(shí)施例中，電阻率量測(cè)裝置100包括防塵罩150，探測(cè)段200設(shè)于防塵罩150內(nèi)。防塵罩150上設(shè)有空氣過濾器152，用以防止防塵罩150內(nèi)積累粉
/In土。在一實(shí)施例中，載物平臺(tái)110為吸盤平臺(tái)，入料導(dǎo)輪組122采用磁性導(dǎo)輪組，從而實(shí)現(xiàn)了不接觸傳動(dòng)，有效減少粉塵產(chǎn)生的可能性。請(qǐng)參見圖10，圖10為圖I所示電阻率量測(cè)裝置中升降機(jī)構(gòu)的局部示意圖，在另一實(shí)施例中，電阻率量測(cè)裝置100還包括一升降機(jī)構(gòu)124，用以升降載物平臺(tái)110。升降機(jī)構(gòu)124可通過一氣缸驅(qū)動(dòng)。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖I和圖2，在該實(shí)施例中，電阻率量測(cè)裝置100更包括一主機(jī)、ー顯示器182及一數(shù)字源表184，該主機(jī)電連接顯示器182，該主機(jī)包括一數(shù)字輸入輸出卡，該數(shù)字輸入輸出卡電連接數(shù)字源表184和探針模組130。其中，主機(jī)可以置于防塵罩150下方的容置柜內(nèi)。在一實(shí)施例中，數(shù)字源表184采用keithley 2400c，數(shù)字輸入輸出卡采用PCI-7230。主機(jī)安裝有電阻率量測(cè)軟件，配合硬件進(jìn)行電阻率量測(cè)。請(qǐng)參閱圖11和圖12,圖11為探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針量測(cè)頭ー較佳實(shí)施例的立體圖；圖12為圖11所示探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針量測(cè)頭的主視圖。在該實(shí)施例中，探針模組130包括4個(gè)探針量測(cè)頭132，4個(gè)探針量測(cè)頭132在縱向上等距排列。在其它實(shí)施例中，探針量測(cè)頭132在縱向上亦可不等距排列，但并不以此為限。每個(gè)探針量測(cè)頭132包括依次排列的4根圓探針133，在進(jìn)行電阻量測(cè)時(shí)，通過數(shù)字輸入輸出卡輪流切換4個(gè)探針量測(cè)頭132的通電與斷開，通過數(shù)字源表184給探針量測(cè)頭132的第1、4探針通以小電流(在ー實(shí)施例中為4. 532mA)，測(cè)出量測(cè)頭第2、第3探針間電壓，然后根據(jù)相應(yīng)公式計(jì)算出被測(cè)產(chǎn)品的薄膜電阻和電阻均勻性，通過主機(jī)自動(dòng)采集和保存該薄膜電阻和電阻均勻性的資料，并根據(jù)事先設(shè)定的上下限閾值判斷被測(cè)產(chǎn)品合格與否。量測(cè)得到的資料及合格與否的結(jié)果均可通過顯示器182顯示出來。電阻率量測(cè)裝置100可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品類型、量測(cè)位置及制程方案進(jìn)行設(shè)定，調(diào)整探針模組130使用探針量測(cè)頭132的數(shù)量、循環(huán)量測(cè)次數(shù)以及量測(cè)點(diǎn)數(shù)，電阻量測(cè)中使用的探針量測(cè)頭132數(shù)量?jī)?yōu)選為3或4個(gè),循環(huán)量測(cè)次數(shù)優(yōu)選為3或4次,量測(cè)點(diǎn)數(shù)優(yōu)選為9、12或16點(diǎn)。請(qǐng)參閱圖11至圖15，圖13為設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭132的立體圖；圖14為圖13所示設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭132的主視圖；圖15為圖13所示設(shè)置在滑塊上之探針量測(cè)頭132的左視圖。如圖11至圖15所示探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140包括用以升降探針模組130的Z軸伺服電機(jī)142，探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)140還包括導(dǎo)軌145、滑塊147、轉(zhuǎn)接板149及滑臺(tái)144。每個(gè)探針量測(cè)頭132設(shè)于ー滑臺(tái)144上，滑臺(tái)144通過轉(zhuǎn)接板149與滑塊147固定連接，滑塊147與導(dǎo)軌145滑動(dòng)連接，可帶動(dòng)探針量測(cè)頭132于導(dǎo)軌145上滑動(dòng)。Z軸伺服電機(jī)142的下壓距離可根據(jù)被測(cè)產(chǎn)品的厚度進(jìn)行調(diào)整?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)滑臺(tái)144來調(diào)整探針量測(cè)頭132的平整度。電阻率量測(cè)裝置100還包括復(fù)數(shù)根導(dǎo)桿，入料導(dǎo)輪組122和出料導(dǎo)輪組162均設(shè)于導(dǎo)桿上，并通過導(dǎo)桿帶動(dòng)。經(jīng)實(shí)際測(cè)算，上述電阻率量測(cè)裝置100對(duì)于涂覆有ITO(Indium Tin Oxides，銦錫氧化物)的玻璃面板，測(cè)量精度達(dá)到±0. I Ω內(nèi)，同時(shí)將原有抽檢時(shí)間由每塊面板需2位量測(cè)人員配合量測(cè)60秒，減少為目前的無需人工操作20 35秒。以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例而已，故不能以此限定本實(shí)用新型的范圍，即依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍及說明書內(nèi)容所作的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)?！?br> 權(quán)利要求1.一種電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，包括 一載物平臺(tái)，用以承載被測(cè)產(chǎn)品； 一入料傳送機(jī)，該載物平臺(tái)設(shè)于該入料傳送機(jī)上，該入料傳送機(jī)包括用以橫向移動(dòng)該載物平臺(tái)的入料導(dǎo)輪組； 一探針模組，用以對(duì)該被測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行電阻測(cè)試； ー探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于該入料傳送機(jī)上且連接該探針模組，用以升降及縱向移動(dòng)該探針模組； ー旋轉(zhuǎn)機(jī)，連接該入料傳送機(jī)，用以將該被測(cè)產(chǎn)品從入料端傳送至出料端，且該旋轉(zhuǎn)機(jī)可調(diào)整該被測(cè)產(chǎn)品于其上的傳送方向；以及 ー控制器，分別與該入料傳送機(jī)、探針模組、探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機(jī)電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)包括出料導(dǎo)輪組和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)通過該出料導(dǎo)輪組傳送該被測(cè)產(chǎn)品，該旋轉(zhuǎn)機(jī)通過該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)該出料導(dǎo)輪組。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述電阻率量測(cè)裝置包括一與該旋轉(zhuǎn)機(jī)連接的收料機(jī)，該控制器用以在該電阻測(cè)試中檢測(cè)到不合格的被測(cè)產(chǎn)品時(shí)，控制該旋轉(zhuǎn)機(jī)將該被測(cè)產(chǎn)品傳送至該收料機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述載物平臺(tái)為吸盤平臺(tái)，該入料導(dǎo)輪組為磁性導(dǎo)輪組。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述電阻率量測(cè)裝置包括一主機(jī)、一顯示器及一數(shù)字源表，該主機(jī)電連接該顯示器、數(shù)字源表及探針模組。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述主機(jī)包括一數(shù)字輸入輸出卡，該數(shù)字輸入輸出卡電連接該數(shù)字源表和該探針模組。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述電阻率量測(cè)裝置包括一防塵罩，該載物平臺(tái)、入料傳送機(jī)、探針模組及探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)均置于該防塵罩內(nèi)；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在干，所述防塵罩上設(shè)有一空氣過濾器，用以防止該防塵罩內(nèi)積累粉塵。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述電阻率量測(cè)裝置包括一升降機(jī)構(gòu)，用以升降該載物平臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)通過一氣缸驅(qū)動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述探針模組包括探針量測(cè)頭。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述探針量測(cè)頭包括圓探針。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括用以升降該探針模組的Z軸伺服電機(jī)探針量測(cè)頭。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電阻率量測(cè)裝置，其特征在于，所述探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑塊、轉(zhuǎn)接板及滑臺(tái)，該探針量測(cè)頭設(shè)于該滑臺(tái)上，該滑臺(tái)通過轉(zhuǎn)接板與滑塊固定連接，該滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種電阻率量測(cè)裝置，其包括一載物平臺(tái)，用以承載被測(cè)產(chǎn)品；一入料傳送機(jī)，該載物平臺(tái)設(shè)于該入料傳送機(jī)上，該入料傳送機(jī)包括用以橫向移動(dòng)該載物平臺(tái)的入料導(dǎo)輪組；一探針模組，用以對(duì)該被測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行電阻測(cè)試；一探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，設(shè)于該入料傳送機(jī)上且連接該探針模組，用以升降及縱向移動(dòng)該探針模組；一旋轉(zhuǎn)機(jī)，連接該入料傳送機(jī)，用以將該被測(cè)產(chǎn)品從入料端傳送至出料端，且該旋轉(zhuǎn)機(jī)可調(diào)整該被測(cè)產(chǎn)品于其上的傳送方向；以及一控制器，分別與該入料傳送機(jī)、探針模組、探針位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機(jī)電連接。據(jù)此，可實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)檢測(cè)電阻率，提高了量測(cè)效率、減少了人力成本。
文檔編號(hào)G01R27/02GK202661549SQ20122024447
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月24日
發(fā)明者賴炎坤, 余樂煒, 李敏宣 申請(qǐng)人:宸陽光電科技(廈門)有限公司