專利名稱：一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型主要涉及氦質(zhì)譜檢漏領(lǐng)域，具體是一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝
置。
技術(shù)背景在一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時(shí)間內(nèi)泄漏氣體總量時(shí)，目前常規(guī)的檢測方法無法滿足精度要求或功能要求，例如水檢與保壓法等檢測方法的精度滿足不了要求。目前市場上檢測泄漏率精度最高的就是氦質(zhì)譜檢漏儀，但是通常氦質(zhì)譜檢漏儀又不具備檢測泄漏氣體總量的功能。所以目前還沒有設(shè)備與裝置能夠同時(shí)滿足一些特殊工件的泄漏檢測要求。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供提供一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，實(shí)現(xiàn)了一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時(shí)間內(nèi)檢測泄漏氣體總量的檢測要求。本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，包括有真空氣泵，真空氣泵與真空減壓閥的出氣口相連，真空減壓閥的進(jìn)氣口與抽空閥的出氣口相連，抽空閥的進(jìn)氣口再與充氣閥的出氣口和微調(diào)閥的進(jìn)氣口相連，微調(diào)閥的出氣口與保壓閥的一端相連，保壓閥的另一端與絕壓變送器和通過密封盒的接口與工件相連，工件在密封盒內(nèi)部，密封盒的另一端接口與檢漏閥的進(jìn)氣口相連，檢漏閥的出氣口與吸槍口套相連，吸槍的吸槍口與吸槍口套相連，吸槍的出氣口與氦質(zhì)譜檢漏儀相連。所述真空氣泵與真空減壓閥實(shí)現(xiàn)對真空度的可控制調(diào)節(jié)性；通過絕壓變送器可以直接顯示裝置內(nèi)部壓力；通過微調(diào)閥可以有效控制抽空與加壓速度；檢漏閥為兩位三通閥，通常情況下檢漏閥的出氣口與大氣連通；氦質(zhì)譜檢漏儀增加了檢測泄漏氦氣總量的功倉泛。本實(shí)用新型的工作原理為通過真空氣泵、真空減壓閥、與抽空閥、微調(diào)閥以及保壓閥等對工件抽真空，達(dá)到一定真空度后關(guān)閉抽空閥，然后在打開充氣閥對工件充入氦氣，當(dāng)充入的氦氣達(dá)到設(shè)定值后關(guān)閉保壓閥與充氣閥，這時(shí)充入工件內(nèi)部的氦氣通過漏孔的泄漏與材質(zhì)本身的滲漏出的氦氣儲存在密封盒內(nèi)部，在一定時(shí)間后打開檢漏閥，通過吸槍將密封盒內(nèi)部氣體吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀中，從而檢測出工件的泄漏率與泄漏氣體總量。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，所用材料為常規(guī)材料，成本低，解決了一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時(shí)間內(nèi)檢測泄漏氣體總量的檢測要求。


圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0017]一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，包括有真空氣泵1，真空氣泵I與真空減壓閥2的出氣口相連，真空減壓閥2的進(jìn)氣口與抽空閥3的出氣口相連，抽空閥3的進(jìn)氣口再與充氣閥4的出氣口和微調(diào)閥5的進(jìn)氣口相連，微調(diào)閥5的出氣口與保壓閥6的一端相連，保壓閥6的另一端與絕壓變送器7和通過密封盒8的接口與工件9相連，工件9在密封盒8內(nèi)部，密封盒8的另一端接口與檢漏閥10的進(jìn)氣口相連，檢漏閥10的出氣口與吸槍口套 11相連，吸槍12的吸槍口與吸槍口套11相連，吸槍12的出氣口與氦質(zhì)譜檢漏儀13相連。
權(quán)利要求1.一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，其特征在于包括有真空氣泵，真空氣泵與真空減壓閥的出氣口相連，真空減壓閥的進(jìn)氣口與抽空閥的出氣口相連，抽空閥的進(jìn)氣口再與充氣閥的出氣口和微調(diào)閥的進(jìn)氣口相連，微調(diào)閥的出氣口與保壓閥的一端相連，保壓閥的另一端與絕壓變送器和通過密封盒的接口與工件相連，工件在密封盒內(nèi)部，密封盒的另一端接口與檢漏閥的進(jìn)氣口相連，檢漏閥的出氣口與吸槍口套相連，吸槍的吸槍口與吸槍口套相連，吸槍的出氣口與氦質(zhì)譜檢漏儀相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，其特征在于所述的檢漏閥為兩位三通閥，檢漏閥的出氣口與大氣連通。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于氦質(zhì)譜檢漏的抽空加壓裝置，包括有真空氣泵，真空氣泵與真空減壓閥的出氣口相連，真空減壓閥的進(jìn)氣口與抽空閥的出氣口相連，抽空閥的進(jìn)氣口再與充氣閥的出氣口和微調(diào)閥的進(jìn)氣口相連，微調(diào)閥的出氣口與保壓閥的一端相連，保壓閥的另一端與絕壓變送器和通過密封盒的接口與工件相連，工件在密封盒內(nèi)部，密封盒的另一端接口與檢漏閥的進(jìn)氣口相連，檢漏閥的出氣口與吸槍口套相連，吸槍的吸槍口與吸槍口套相連，吸槍的出氣口與氦質(zhì)譜檢漏儀相連。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，所用材料為常規(guī)材料，成本低，解決了一些特殊工件需要檢測泄漏率與在一定時(shí)間內(nèi)檢測泄漏氣體總量的檢測要求。
文檔編號G01M3/20GK202793702SQ201220379679
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月31日
發(fā)明者張志 , 劉陳陳 申請人:安徽皖儀科技股份有限公司