專利名稱：一種用于130mm功率器件的結(jié)電容測(cè)試電路及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種三單元130mm功率器件的結(jié)電容測(cè)試電路及裝置。
背景技術(shù)：
功率半導(dǎo)體器件器件結(jié)電容參數(shù)一般包括輸入電容、輸出電容、反饋電容三項(xiàng)內(nèi)容，是反應(yīng)器件結(jié)構(gòu)特性、動(dòng)態(tài)時(shí)間參數(shù)的重要指標(biāo)。按照測(cè)試條件要求，測(cè)試時(shí)需要根據(jù)參數(shù)在器件中的結(jié)構(gòu)特性的不同，連接不同的測(cè)試線路，同時(shí)，外接旁路電容、旁路電阻等無(wú)源器件元件，對(duì)器件管腳施加直流電壓及高頻信號(hào)來(lái)測(cè)試相應(yīng)的電容參數(shù)?，F(xiàn)有技術(shù)中，測(cè)試功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容的方法一般為用測(cè)試探頭或者鱷魚(yú)夾在被測(cè)器件和電感電容電阻(LCR)測(cè)試儀之間連接電路，采用該方法進(jìn)行測(cè)試時(shí)，針對(duì)不同的被測(cè)結(jié)電容參數(shù)，需要使用不同的測(cè)試電路，不僅測(cè)試工作繁瑣，而且測(cè)試效率低。為解決上述問(wèn)題，申請(qǐng)?zhí)枮?01120221050. 4公開(kāi)了一種功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試裝置，包括結(jié)電容測(cè)試電路板，該結(jié)電容測(cè)試電路板包括兩個(gè)電容測(cè)試點(diǎn)，其中，第一輸入電容測(cè)試點(diǎn)通過(guò)短路電容與電源連接點(diǎn)相連，電源連接點(diǎn)與漏極測(cè)試點(diǎn)相連，第二輸入電容測(cè)試點(diǎn)通過(guò)偏置電感接地；反饋電容測(cè)試點(diǎn)接地；輸出電容測(cè)試點(diǎn)與柵極測(cè)試點(diǎn)相連，并通過(guò)阻斷電阻與源極測(cè)試點(diǎn)相連；與電源連接點(diǎn)相連的高壓電流連接點(diǎn)和與柵極測(cè)試點(diǎn)相連的地電壓電流連接點(diǎn)。該功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試裝置將測(cè)試不同電容參數(shù)時(shí)的電路設(shè)置于同一電路板中，并根據(jù)需要選擇測(cè)試的電容參數(shù)連通相應(yīng)的測(cè)試點(diǎn)，應(yīng)用該裝置進(jìn)行測(cè)試時(shí)，不需要再重新連接電路，簡(jiǎn)化了測(cè)試工作，提高了測(cè)試效率。但是，該功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試電路及裝置只適合于具有三個(gè)引腳的單芯片器件，而對(duì)包括3個(gè)晶體管單元、9個(gè)引腳的130_功率器件并不適用。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種用于130mm功率器件的結(jié)電容測(cè)試電
路及裝置。本實(shí)用新型提供的用于130_功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路包括三個(gè)晶體管單元、電源連接點(diǎn)、低電壓電流連接點(diǎn)、地電壓連接點(diǎn)、電阻、短路電容、電感、第I輸入電容、第I輸出電容、第I反饋電容、第II輸入電容、第II輸出電容、第II反饋電容，所述三個(gè)晶體管單元具有源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)；所述漏極測(cè)試點(diǎn)連接于所述電源連接點(diǎn)，所述柵極測(cè)試點(diǎn)連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述源極測(cè)試點(diǎn)連接于所述電阻的一端，所述電阻的另一端連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述第I輸入電容通過(guò)所述短路電容連接于所述電源連接點(diǎn)，所述第I輸出電容和第I反饋電容懸空設(shè)置，所述第II輸入電容通過(guò)所述電感連接于所述地電壓連接點(diǎn)，所述第II輸出電容連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述第II反饋電容連接于所述地電壓連接點(diǎn)。[0008]作為優(yōu)選，所述源極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的源極相連形成。作為優(yōu)選，所述漏極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的漏極相連形成。作為優(yōu)選，所述柵極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的柵極相連形成。本實(shí)用新型還提供了基于所述用于130_功率器件的結(jié)電容測(cè)試電路的裝置，包括所述測(cè)試電路和金屬盒體，所述金屬盒體內(nèi)設(shè)有測(cè)試夾具，所述功率器件放置于所述測(cè)試夾具上；所述金屬盒體上設(shè)有電源連接端口、低電壓電流連接端口，所述電源連接點(diǎn)連接于所述電源連接端口，所述低電壓電流連接點(diǎn)連接于所述低電壓電流連接端口 ；所述金屬客體上設(shè)有開(kāi)關(guān)組件，所述開(kāi)關(guān)組件具有分別用于對(duì)應(yīng)所述源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)；所述金屬盒體上還設(shè)有BNC同軸電纜接口 ；所述測(cè)試夾具上設(shè)有蓋板和蓋板扣，所述功率器件放置于所述蓋板和蓋板扣之間。作為優(yōu)選，所述測(cè)試夾具上還設(shè)有用于固定所述三個(gè)晶體管單元的各引腳的引腳彈黃。作為優(yōu)選，所述開(kāi)關(guān)組件為切換開(kāi)關(guān)，所述切換開(kāi)關(guān)能夠使開(kāi)關(guān)組件在所述源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)之間切換。本實(shí)用新型提供的功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試電路及裝置能夠適用于包括3個(gè)晶體管單元、9個(gè)引腳的130_功率器件。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于130mm功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路示意圖。
具體實(shí)施方式
為了深入了解本實(shí)用新型，
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。參見(jiàn)附圖1，本實(shí)用新型提供的用于130_功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路包括三個(gè)晶體管單元16、電源連接點(diǎn)1、低電壓電流連接點(diǎn)2、地電壓連接點(diǎn)7、電阻6、短路電容8、電感15、第I輸入電容9、第I輸出電容10、第I反饋電容11、第II輸入電容12、第II輸出電容13及第II反饋電容14，三個(gè)晶體管單元16具有源極測(cè)試點(diǎn)5、漏極測(cè)試點(diǎn)3和柵極測(cè)試點(diǎn)4。漏極測(cè)試點(diǎn)3連接于電源連接點(diǎn)1，柵極測(cè)試點(diǎn)4連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，源極測(cè)試點(diǎn)5連接于電阻6的一端，電阻6的另一端連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，第I輸入電容9通過(guò)短路電容8連接于電源連接點(diǎn)1，第I輸出電容10和第I反饋電容11懸空設(shè)置，第II輸入電容12通過(guò)電感15連接于地電壓連接點(diǎn)7，第II輸出電容13連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，第II反饋電容14連接于地電壓連接點(diǎn)7。其中，源極測(cè)試點(diǎn)5可以由三個(gè)晶體管單元各自的源極相連形成。其中，漏極測(cè)試點(diǎn)3可以由三個(gè)晶體管單元各自的漏極相連形成。其中，柵極測(cè)試點(diǎn)4可以由三個(gè)晶體管單元各自的柵極相連形成。本實(shí)用新型還提供了基于用于130mm功率器件的結(jié)電容測(cè)試電路的裝置，包括測(cè)試電路和金屬盒體，金屬盒體內(nèi)設(shè)有測(cè)試夾具，功率器件放置于測(cè)試夾具上；金屬盒體上設(shè)有電源連接端口、低電壓電流連接端口，電源連接點(diǎn)連接于電源連接端口，低電壓電流連接點(diǎn)連接于低電壓電流連接端口 ；金屬盒體上設(shè)有開(kāi)關(guān)組件，開(kāi)關(guān)組件具有分別用于對(duì)應(yīng)源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)；金屬盒體上還設(shè)有BNC同軸電纜接口 ；測(cè)試夾具上設(shè)有蓋板和蓋板扣，功率器件放置于蓋板和蓋板扣之間，從而，使功率器件與測(cè)試夾具之間的接觸更牢固。其中，測(cè)試夾具上還可以設(shè)有用于固定三個(gè)晶體管單元的各引腳的引腳彈簧，從而，使三個(gè)晶體管單元的各引腳的固定更牢固。其中，開(kāi)關(guān)組件可以為切換開(kāi)關(guān)，切換開(kāi)關(guān)能夠使開(kāi)關(guān)組件在源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)之間切換，從而，使測(cè)試點(diǎn)的切換能夠通過(guò)開(kāi)關(guān)組件實(shí)現(xiàn)，這就節(jié)省了更換時(shí)間，能夠提高測(cè)試效率。本實(shí)用新型提供的功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試電路及裝置能夠適用于包括3個(gè)晶體管單元、9個(gè)引腳的130_功率器件。以上所述的具體實(shí)施方式
，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于130mm功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路，其特征在于，包括三個(gè)晶體管單元、電源連接點(diǎn)、低電壓電流連接點(diǎn)、地電壓連接點(diǎn)、電阻、短路電容、電感、第I輸入電容、第I輸出電容、第I反饋電容、第II輸入電容、第II輸出電容、第II反饋電容，所述三個(gè)晶體管單元具有源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)；所述漏極測(cè)試點(diǎn)連接于所述電源連接點(diǎn)，所述柵極測(cè)試點(diǎn)連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述源極測(cè)試點(diǎn)連接于所述電阻的一端，所述電阻的另一端連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述第I輸入電容通過(guò)所述短路電容連接于所述電源連接點(diǎn)，所述第I輸出電容和第I反饋電容懸空設(shè)置，所述第II輸入電容通過(guò)所述電感連接于所述地電壓連接點(diǎn)，所述第II輸出電容連接于所述低電壓電流連接點(diǎn)，所述第II反饋電容連接于所述地電壓連接
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試電路，其特征在于，所述源極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的源極相連形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試電路，其特征在于，所述漏極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的漏極相連形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試電路，其特征在于，所述柵極測(cè)試點(diǎn)由所述三個(gè)晶體管單元各自的柵極相連形成。
5.一種利用如權(quán)利要求1所述的用于130_功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路的裝置， 包括所述測(cè)試電路和金屬盒體，所述金屬盒體內(nèi)設(shè)有測(cè)試夾具，所述功率器件放置于所述測(cè)試夾具上；所述金屬盒體上設(shè)有電源連接端口、低電壓電流連接端口，所述電源連接點(diǎn)連接于所述電源連接端口，所述低電壓電流連接點(diǎn)連接于所述低電壓電流連接端口 ；所述金屬盒體上設(shè)有開(kāi)關(guān)組件，所述開(kāi)關(guān)組件具有分別用于對(duì)應(yīng)所述源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)；所述金屬盒體上還設(shè)有BNC同軸電纜接口 ；其特征在于，所述測(cè)試夾具上設(shè)有蓋板和蓋板扣，所述功率器件放置于所述蓋板和蓋板扣之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述測(cè)試夾具上還設(shè)有用于固定所述三個(gè)晶體管單元的各引腳的引腳彈簧。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述開(kāi)關(guān)組件為切換開(kāi)關(guān)，所述切換開(kāi)關(guān)能夠使開(kāi)關(guān)組件在所述源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)之間切換。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種本用于130mm功率器件模塊的結(jié)電容測(cè)試電路，屬于功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試裝置技術(shù)領(lǐng)域。該電路包括三個(gè)晶體管單元、電源連接點(diǎn)、低電壓電流連接點(diǎn)、地電壓連接點(diǎn)、電阻、短路電容、電感、第Ⅰ輸入電容、第Ⅰ輸出電容、第Ⅰ反饋電容、第Ⅱ輸入電容、第Ⅱ輸出電容、第Ⅱ反饋電容，該三個(gè)晶體管單元具有源極測(cè)試點(diǎn)、漏極測(cè)試點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)。本實(shí)用新型還公開(kāi)了基于該用于130mm功率器件的結(jié)電容測(cè)試電路的裝置。該測(cè)試電路及裝置能夠適用于包括3個(gè)晶體管單元、9個(gè)引腳的130mm功率器件。
文檔編號(hào)G01R27/26GK202854239SQ20122048863
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者高振鵬, 朱陽(yáng)軍, 陸江, 胡愛(ài)斌, 佘超群, 成星 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所