專利名稱：具有透射及反射光源的照明裝置及光學(xué)檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，尤其涉及用于檢測可透射的被測物體的前后表面的光學(xué)檢測系統(tǒng)，以及應(yīng)用于該光學(xué)檢測系統(tǒng)的照明裝置。
背景技術(shù)：
通常，平板玻璃、觸摸屏、導(dǎo)光板或液晶面板等透光性/半透光性產(chǎn)品在制造中需要通過光學(xué)檢測系統(tǒng)對其進(jìn)行質(zhì)量檢測從而判定產(chǎn)品工藝和制程是否合格，然后以此為依據(jù)對工藝和制程進(jìn)行改善并對產(chǎn)品進(jìn)行修復(fù)以提高產(chǎn)品良率。光學(xué)檢測系統(tǒng)一般包括光源及CCD測試機(jī)，通過光源向被測物體發(fā)射光線，光線經(jīng)被測物體反射到達(dá)CCD測試機(jī)中，通過CCD測試機(jī)對光學(xué)影像轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并進(jìn)行分析比較，從而判斷該被測物體表面是否 合格。如果需要檢測被測物體的第二表面時(shí)，則需要將被測物體反置或者放置另一光學(xué)檢測系統(tǒng)，另一光學(xué)檢測系統(tǒng)發(fā)射的光線入射至被測物體的第二表面并透射或反射至CCD測試機(jī)中，通過CCD測試機(jī)分析判斷該被測物體表面是否合格。然，該種通過兩套光學(xué)檢測系統(tǒng)來檢測被測物體前、后表面或者通過反置被測物體的方法，影響了被測物體表面質(zhì)量檢測的效率，并且，通過兩套光學(xué)檢測系統(tǒng)增加了檢測成本，通過反置的方法由于定位或者擺放易對測物體表面造成影響。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述，本實(shí)用新型有必要提供一種檢測效率高、成本低且在檢測中不易損壞被測物體的光學(xué)檢測系統(tǒng)。此外，還有必要提供一種具有透射及反射光源的照明裝置。一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡、成像單元以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述半反半透鏡將所述反射光源發(fā)出光線和/或所述透射光源發(fā)出的光線反射至成像單元。其中，所述半反半透鏡具有入光面和出光面，該入光面朝向反射光源，反射光源與被測物體的連線與入光面呈45度夾角。其中，所述光學(xué)檢測系統(tǒng)還包括全反射鏡，全反射鏡設(shè)置在半反半透鏡的一側(cè)，用以接收從半反半透鏡反射的光線并反射至成像單元，所述全反射鏡具有反射面，全反射鏡的反射面朝向半反半透鏡的出光面且與該出光面平行。其中，所述光學(xué)檢測系統(tǒng)還包括運(yùn)載平臺，所述運(yùn)載平臺開設(shè)有孔，被測物體設(shè)置在運(yùn)載平臺上，檢測時(shí)透射光源光線經(jīng)過孔照射到被測物體上。其中，所述透射光源為光源模組，該光源模組包括散熱片、光源基板、光源以及擴(kuò)散板，所述光源基板設(shè)置在散熱片上，所述光源設(shè)置在光源基板上，所述光源發(fā)出的光線透過擴(kuò)散板射向被測物體。其中，所述擴(kuò)散板一表面或者相對的二表面為粗糙面。其中，所述擴(kuò)散板一表面為圓柱面或橢圓柱面。其中，所述光源模組還包括機(jī)械擋片，機(jī)械擋片設(shè)置在擴(kuò)散板上方，機(jī)械擋片外側(cè)面為粗糙面，內(nèi)側(cè)面為粗糙面或鏡面。其中，所述機(jī)械擋片為一擋罩，擋罩呈喇叭狀設(shè)在擴(kuò)散板上，所述擋罩較大口徑的一端與擴(kuò)散板接觸，相對的一端形成為口徑尺寸較小的開口。一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；反射光源設(shè)置在被測物體的一側(cè)，半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體 之間，透射光源設(shè)置在被測物體的另一側(cè)，反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述透射光源為光源模組，該光源模組包括光源、擴(kuò)散板以及機(jī)械擋片，機(jī)械擋片設(shè)置在擴(kuò)散板上并形成出光孔，光源設(shè)置在所述擴(kuò)散板下方，使得光源發(fā)出的光線經(jīng)過擴(kuò)散板后經(jīng)過機(jī)械擋片內(nèi)表面的反射而從出光孔匯聚散出照射至待測物體，所述反射光源位于機(jī)械擋片的上方，使得反射光源發(fā)出的光線經(jīng)過外表面的反射而減少進(jìn)入出光孔的光線。一種照明裝置，用于為檢測被測物體提供光照條件，該照明裝置包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡。其中，所述透射光源包括擴(kuò)散板，所述擴(kuò)散板至少一表面為粗糙面，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡透過測物體表面在所述粗糙面處減弱，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)粗糙面增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡。其中，所述透射光源還包括機(jī)械擋片，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡透過測物體表面在機(jī)械擋片處被遮擋，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)機(jī)械擋片反射增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型光學(xué)檢測系統(tǒng)通過設(shè)置反射光源與透射光源，使得被測物體表面可充分檢測，在檢測前表面時(shí)開啟反射光源而關(guān)閉透射光源，在檢測后表面時(shí)開啟透射光源而關(guān)閉反射光源，無需通過使用兩套光照設(shè)備來分別檢測被測物體的前后表面，提高了檢測物件的檢測效率，降低了檢測成本，且在檢測過程中無需重新置放被測物體，在檢測中不易損壞被測物體。

圖I為本實(shí)用新型光學(xué)檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為用于圖I所示的光學(xué)檢測系統(tǒng)的透射光源的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為應(yīng)用于光學(xué)檢測系統(tǒng)的光源模組。
具體實(shí)施方式
為詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說明。請參閱圖1，所示為一光學(xué)檢測系統(tǒng)10，用于檢測被測物體20。被測物體20可為液晶面板、觸摸屏、導(dǎo) 光板、平板玻璃等透明/半透明物體。光學(xué)檢測系統(tǒng)10包括反射光源
11、半反半透鏡12、全反射鏡13、成像單元14以及透射光源15。該光學(xué)檢測系統(tǒng)10可以用于檢測被測物體20表面或者內(nèi)部的缺陷，例如起泡，劃痕等。反射光源11設(shè)置在被測物體20的前方，半反半透鏡12設(shè)置在反射光源11與被測物體20之間。該半反半透鏡12可反射與透射光線，該半反半透鏡12具有一入光面121和一出光面122，該入光面121朝向反射光源11，使得反射光源11發(fā)出的光線到達(dá)入光面121。通過設(shè)置半反半透鏡12，即調(diào)整半反半透鏡12相對反射光源11的角度，使得反射光源11入射至半反半透鏡12上透射的光線而投射至被測物體20上。本實(shí)施例中，通過將半反半透鏡12的入光面121與反射光源11發(fā)出的光線大致呈45度角設(shè)置，使得反射光源11經(jīng)透射的光線與反射光源11發(fā)出的光線在同一直線上，且垂直地投入至被測物體20的前表面。被測物體20設(shè)置在一平臺30上，通過反射光源11經(jīng)透射的光線投射至被測物體20前表面后經(jīng)被測物體20前表面反射，光線被反射至半反半透鏡12的出光面122上。平臺30上開設(shè)有通光孔32，以供透射光源15發(fā)出的光線穿過該通光孔32照射到被測物體20的后表面。全反射鏡13設(shè)置在半反半透鏡12的一側(cè)，使得入射至半反半透鏡12的出光面122的光線可經(jīng)該出光面122反射而照射至全反射鏡13上。全反射鏡13具有反射面131，可將入射至該反射面131的光線全部反射至成像單元14。通過設(shè)置全反射鏡13，即調(diào)整全反射鏡13的反射面131，使得入射至全反射鏡13的反射面131的光線可充分投射至成像單元14上。本實(shí)施例中，所述全反射鏡13的反射面131朝向半反半透鏡12的出光面122且與該出光面122平行。從而，被測物體20前表面反射的光線經(jīng)半反半透鏡12的出光面122反射而投射至全反射鏡13的反射面131上，然后全部反射至成像單元14上。所述成像單元14包括相機(jī)141及鏡頭142。成像單元14接收從全反射鏡13的反射面131上反射的光線，其可將光學(xué)影像轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并傳送至圖像分析機(jī)進(jìn)行分析比較，從而判斷該被測物體表面是否合格。所述透射光源15設(shè)置在被測物體20的后方，透射光源15發(fā)出的光線投射至被測物體20的后表面，并經(jīng)被測物體20透射后投射至所述半反半透鏡12的出光面122上，半反半透鏡12的出光面122反射而投射至全反射鏡13的反射面131上，然后全部反射至成像單元14上。成像單元14將被測物體20的后表面的光學(xué)影像轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號并傳送至圖像分析機(jī)進(jìn)行分析比較，從而判斷該被測物體20的后表面是否合格。本實(shí)施例中，被測物體20設(shè)置在所述平臺30上，該平臺30開設(shè)有通光孔32，使得透射光源15發(fā)出的光線投射至被測物體20的待測的后表面上。使用該光學(xué)檢測系統(tǒng)10檢測被測物體20時(shí)，將被測物體20放置在平臺30上；檢查被測物體20前表面時(shí)，關(guān)閉透射光源15，反射光源11發(fā)出光線至半反半透鏡12，從半反半透鏡12透射的光線照射至被測物體20的前表面后經(jīng)被測物體20反射回至半反半透鏡12的出光面122，出光面122進(jìn)一步將被測物體20前表面反射的光線反射至全反射鏡13，全反射鏡13將光線反射至成像單元14，以檢測被測物體20前表面；[0030]檢查被測物體20后表面時(shí)，關(guān)閉反射光源11，透射光源15發(fā)出光線入射至被測物體20的后表面，并經(jīng)被測物體20透射至半反半透鏡12，半反半透鏡12將被測物體20透射的光線反射至全反射鏡13，全反射鏡13將光線反射至成像單元14，以檢測被測物體20的后表面?；蛘咄瑫r(shí)檢測被測物體20前后表面時(shí)，反射光源11和透射光源15同時(shí)開啟，反射光源11發(fā)出光 線至半反半透鏡12，從半反半透鏡透射12的光線照射至被測物體20的前表面后經(jīng)被測物體20反射至半反半透鏡12，透射光源15發(fā)出光線入射至被測物體20的后表面，并經(jīng)被測物體20透射至半反半透鏡12，此時(shí)兩路光線匯聚在一起經(jīng)半反半透鏡12反射至全反射鏡13，全反射鏡13將光線反射至成像單元14，以同時(shí)檢測被測物體20的前后表面。如此，可對被測物體20的整體表面缺陷進(jìn)行充分檢測，在檢測被測物體20的前表面時(shí)開啟反射光源11而關(guān)閉透射光源15，在檢測被測物體20后表面時(shí)開啟透射光源15而關(guān)閉反射光源11，無需如傳統(tǒng)的通過使用兩套光學(xué)檢測系統(tǒng)來分別檢測被測物體的前后表面，提高了檢測物體的檢測效率，降低了檢測成本，且在檢測過程中無需重新置放被測物體20，在檢測中不易損壞被測物體20。本實(shí)用新型光學(xué)檢測系統(tǒng)10進(jìn)一步的改善，由于被測物體20為透明/半透明物體，反射光源11設(shè)置在被測物體20的前方，透射光源15設(shè)置在被測物體20的后方，當(dāng)使用反射光源11而關(guān)閉透射光源15對被測物體20進(jìn)行檢測時(shí)，部分光線透射被測物體20而投射至透射光源15的表面，透射光源15的表面會(huì)反射而產(chǎn)生雜散光線，雜散光線投射至半反半透鏡12，從而對被測物體20前表面的檢測造成不良影響，對檢測的精度具有一定影響。請參閱圖2，提供一透射光源15，透射光源15包括發(fā)光體150、擋板151與漫射板152。擋板151上開設(shè)有孔1511，漫射板152設(shè)置在孔1511內(nèi)。該漫射板152的上下表面均為粗糙面，使得反射光源11發(fā)出的投射至被測物體20的光線，透射過被測物體20并投射至漫射板152上，漫射板152對光線漫射，減少了透射至透射光源15表面的光線，對應(yīng)地減少了透射光源15表面的反射投入至半反半透鏡12。如此，可以提高對被測物體20前表面檢測精度?？梢岳斫?，漫射板152亦可只是其上表面為粗糙面。漫射板152亦可設(shè)置擋板151上,位于孔1511上方。進(jìn)一步地，為了加強(qiáng)透射光源15的光線強(qiáng)度，提高透射光源15的利用率，并且避免漫射板152上除對應(yīng)被測物體20區(qū)域外的其他區(qū)域產(chǎn)生的雜散光線投射至半反半透鏡12上造成對測物體20后表面檢測精度的影響，漫射板152上還設(shè)置有擋罩153。擋罩153呈喇叭狀罩設(shè)在漫射板152上，其中較大口徑的喇叭口的一端與漫射板152接觸，相對喇叭口的一端形成為口徑尺寸較小的開口 1531。該開口 1531的尺寸對應(yīng)平臺30上通光孔32的尺寸，使發(fā)光體150發(fā)出的光線穿過漫射板152、開口 1531以及通光孔32、被測物體20而投射至半反半透鏡12上。擋罩153朝向漫射板152的內(nèi)側(cè)面為反射面，如粗糙面或鏡面，擋罩外側(cè)面可為粗糙面。透射光源15發(fā)出的光線透過漫射板152投入到擋罩153內(nèi)側(cè)面上時(shí)，將被該內(nèi)側(cè)面反射而重新投射至漫射板152，漫射板152反射或透射該光線，如此經(jīng)過多次反射或透射后，光線可匯聚從所述開口 1531射出，如此，該擋罩153極大地提高了透射光源15的光線的利用率，也提高了透射光源15的光線強(qiáng)度。同時(shí)，通過設(shè)置擋罩153，使得漫射板152上除被測物體20區(qū)域外的其他區(qū)域產(chǎn)生的雜散光線不能投射至半反半透鏡12上，避免了對被測物體20后表面檢測精度的影響。綜上，通過在平臺30上設(shè)置漫射板152并通過在漫射板152外圍設(shè)置擋罩153，漫射板152可使得反射光源11發(fā)出的光線中透過被測物體20的光線投射至漫射板152上發(fā)生漫反射，而不會(huì)直接投射至透射光源15上發(fā)生反射而造成對被測物體20前表面的檢測精度不高。通過設(shè)置擋罩153可使得透射光源15發(fā)出的光線匯聚而從對應(yīng)被測物體20尺寸大小的開口 1531射出，提高了透射光源15的光線的利用率，也提高了透射光源15的光線強(qiáng)度；且漫射板152上除對應(yīng)被測物體20區(qū)域外的其他區(qū)域產(chǎn)生的雜散光線不能投射至半反半透鏡12上，避免了對被測物體20后表面檢測精度的影響。請進(jìn)一步參閱圖3，進(jìn)一步利用圖2所示的透射光源的漫射板結(jié)構(gòu)制作的另一光源模組40，該光源模組40包括散熱片41、光源基板42、LED芯片43、擴(kuò)散板44以及機(jī)械擋 片45。所述光源基板42設(shè)置在散熱片41上，所述LED芯片43設(shè)置在光源基板42上，所述擴(kuò)散板44設(shè)置在LED芯片43的上方，該擴(kuò)散板44相當(dāng)圖2中所述的漫射板152，所述機(jī)械擋片45相當(dāng)于圖2中所述的擋罩153，機(jī)械擋片45設(shè)置在擴(kuò)散板44上且圍成一出光孔452。該光源模組40可作為圖I中的透射光源15，與反射光源11、半反半透鏡12、全反射鏡
13、成像單元14形成光學(xué)檢測系統(tǒng)?？梢岳斫?，為了增加LED芯片43發(fā)出的光線照射到被測物體20后表面的強(qiáng)度，還可以在擴(kuò)散板44底部設(shè)置聚光板(圖未示)，以增加光照強(qiáng)度。當(dāng)然所述擴(kuò)散板44亦可設(shè)計(jì)為具有聚光作用的板。如擴(kuò)散板44152的上表面可以為曲面，如圓柱面或橢圓柱面，下表面為粗糙面，上表面設(shè)計(jì)成曲面可增加漫射板152的聚光作用，提高漫射光線強(qiáng)度。此外，所述的LED芯片43可以為其他光源代替，例如氙燈，氙燈可以進(jìn)一步提高照明的亮度。本實(shí)用新型光學(xué)檢測系統(tǒng)通過透射光源與反射光源集成在同一套成像系統(tǒng)中，在保證照明光斑亮度與均勻性滿足要求的情況下，不會(huì)對應(yīng)用正光時(shí)的檢測造成干擾，節(jié)省了成本。此外，所述全反射鏡13可以省略，通過成像單元14位置調(diào)整，如橫向倒置，使半反半透鏡12反射的光線直接照射至成像單元14接收即可。上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，其特征在于具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡、成像單元以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述半反半透鏡將所述反射光源發(fā)出光線和/或所述透射光源發(fā)出的光線反射至成像單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于所述光學(xué)檢測系統(tǒng)還包括全反射鏡，全反射鏡設(shè)置在半反半透鏡的一側(cè)，用以接收從半反半透鏡反射的光線并反射至成像單元，所述全反射鏡具有反射面，全反射鏡的反射面朝向半反半透鏡的出光面且與該出光面平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于所述透射光源為光源模組，該光源模組包括散熱片、光源基板、光源以及擴(kuò)散板，所述光源基板設(shè)置在散熱片上，所述光源設(shè)置在光源基板上，所述光源發(fā)出的光線透過擴(kuò)散板射向被測物體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于所述擴(kuò)散板一表面或者相對的二表面為粗糙面、圓柱面或橢圓柱面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于所述光源模組還包括機(jī)械擋片，機(jī)械擋片設(shè)置在擴(kuò)散板上方，機(jī)械擋片外側(cè)面為粗糙面，內(nèi)側(cè)面為粗糙面或鏡面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，其特征在于所述機(jī)械擋片為一擋罩，擋罩呈喇叭狀設(shè)在擴(kuò)散板上，所述擋罩較大口徑的一端與擴(kuò)散板接觸，相對的一端形成為口徑尺寸較小的開口。
7.一種具有透射及反射光源的光學(xué)檢測系統(tǒng)，用于檢測被測物體，其特征在于光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；反射光源設(shè)置在被測物體的一側(cè)，半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，透射光源設(shè)置在被測物體的另一側(cè)，反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，透射光源發(fā)出光線透過被測物體并照射至半反半透鏡，所述透射光源為光源模組，該光源模組包括光源、擴(kuò)散板以及機(jī)械擋片，機(jī)械擋片設(shè)置在擴(kuò)散板上并形成出光孔，光源設(shè)置在所述擴(kuò)散板下方，使得光源發(fā)出的光線經(jīng)過擴(kuò)散板后經(jīng)過機(jī)械擋片內(nèi)表面的反射而從出光孔匯聚散出照射至待測物體，所述反射光源位于機(jī)械擋片的上方，使得反射光源發(fā)出的光線經(jīng)過外表面的反射而減少進(jìn)入出光孔的光線。
8.一種具有透射及反射光源的照明裝置，用于為檢測被測物體提供光照條件，其特征在于該照明裝置包括反射光源、半反半透鏡以及透射光源；所述反射光源與透射光源設(shè)置在被測物體的相對的兩側(cè)，所述半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡照射至被測物體表面后反射至半反半透鏡，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的照明裝置，其特征在于所述透射光源包括擴(kuò)散板，所述擴(kuò)散板至少一表面為粗糙面，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡透過測物體表面在所述粗糙面處減弱，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)粗糙面增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的照明裝置，其特征在于所述透射光源還包括機(jī)械擋片，所述反射光源發(fā)出光線穿過半反半透鏡透過測物體表面在機(jī)械擋片處被遮擋，所述透射光源發(fā)出光線經(jīng)機(jī)械擋片反射增強(qiáng)后透過被測物體并照射至半反半透鏡?！?br> 專利摘要本實(shí)用新型公開了一種具有透射及反射光源的照明裝置，以及應(yīng)用該照明裝置的光學(xué)檢測系統(tǒng)。該光學(xué)檢測系統(tǒng)包括反射光源、透射光源、成像單元、半反半透鏡以及全反射鏡；反射光源設(shè)置在被測物體的一側(cè)，半反半透鏡設(shè)置在反射光源與被測物體之間，透射光源設(shè)置在被測物體的另一側(cè)，全反射鏡設(shè)置在半反半透鏡的一側(cè)，用以接收從半反半透鏡反射的光線并反射至成像單元。本光學(xué)檢測系統(tǒng)通過設(shè)置反射光源與透射光源，使得被測物體表面結(jié)構(gòu)可充分檢測，在檢測前表面結(jié)構(gòu)時(shí)開啟反射光源而關(guān)閉透射光源，在檢測后表面結(jié)構(gòu)時(shí)開啟透射光源而關(guān)閉反射光源，也可同時(shí)開啟反射光源和透射光源對被測物體前后表面結(jié)構(gòu)同時(shí)進(jìn)行檢測，提高了檢測物件的檢測效率。
文檔編號G01N21/958GK202794062SQ20122050633
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月28日
發(fā)明者張梁, 李波, 樊思民, 董玉靜, 溫曄 申請人:肇慶中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司