專利名稱：晶圓ic測試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及集成電路測試領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓IC測試設(shè)備。
背景技術(shù)：
在IC (集成電路)的晶圓測試過程中，對實際測試結(jié)果進(jìn)行分析，可反映出上道工序的工藝參數(shù)情況，從而對上道工序晶圓流片工藝的參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控及調(diào)整，以提高產(chǎn)品的成品率。測試結(jié)果信息的顯示有多種，其中MAP圖顯示是目前最有效且能直觀反映出IC成品率分布及上道工序流片工藝的測試結(jié)果的顯示方式。MAP圖顯示即就是將實際測試的結(jié)果以實際晶圓圖形的方式顯示出來，并用不同的顏色顯示不同的測試BIN分布情況。傳統(tǒng)的MAP圖顯示生成方式一般通過通用集成電路測試系統(tǒng)與Prober探針設(shè)備對晶圓IC進(jìn)行測試，將Prober探針設(shè)備產(chǎn)生的坐標(biāo)值與通用集成電路測試系統(tǒng)產(chǎn)生的對應(yīng)IC坐標(biāo)值的測試BIN結(jié)果傳送給PC機(jī)，在PC機(jī)端生成一個MAP圖初始的文本文件，再使用相應(yīng)的MAP圖轉(zhuǎn)換工具將文本文件轉(zhuǎn)換成圖形文件，就可很直觀的反映出實際的晶圓IC測試信息。對于各種通用集成電路測試系統(tǒng)，都可直接或間接的實現(xiàn)MAP圖顯示功能，而當(dāng)需要對大量的技術(shù)參數(shù)要求較低的晶圓IC進(jìn)行測試時，為了進(jìn)一步的降低成本，現(xiàn)有技術(shù)中提供了一種價格低的專用單板機(jī)測試儀來代替成本昂貴的通用集成電路測試系統(tǒng)。而使用該單板測試儀對晶圓IC進(jìn)行測試時，由于單板機(jī)測試儀不能生成并顯示MAP圖，以至于對測試數(shù)據(jù)不能進(jìn)行直觀的分析和處理的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種晶圓IC測試設(shè)備，旨在解決使用單板測試儀對晶圓IC進(jìn)行測試時，由于單板機(jī)測試儀不能生成并顯示MAP圖，以至于對測試數(shù)據(jù)不能進(jìn)行直觀的分析和處理的問題。為此，本實用新型采用以下技術(shù)方案:—種晶圓IC測試設(shè)備,包括測試晶圓IC的單板機(jī)測試儀以及Prober探針設(shè)備，所述晶圓IC測試設(shè)備還包括:生成MAP圖初始文本文件的MAP圖生成裝置，其第一通信端以及第二通信端分別接所述單板機(jī)測試儀以及所述Prober探針設(shè)備；根據(jù)所述MAP圖初始文本文件顯示MAP圖的PC機(jī)，其與所述MAP圖生成裝置的第
三通信端連接。本實用新型提供的晶圓IC測試設(shè)備，通過所述MAP圖生成裝置可將所述單板機(jī)測試儀以及所述Prober探針設(shè)備的測試結(jié)果生成MAP圖初始文本文件，PC機(jī)根據(jù)MAP圖初始文本文件顯示MAP圖。所述MAP圖生成裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低的優(yōu)點(diǎn)，因此在保證低成本的前提下可對晶圓IC的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀的分析和處理。
圖1為本實用新型實施例提供的晶圓IC測試設(shè)備的電路原理框圖；圖2為本實用新型實施例提供的晶圓IC測試設(shè)備的進(jìn)一步的電路原理框圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅用于解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。參照圖1，本實用新型實施例提供的晶圓IC測試設(shè)備的電路原理框圖。一種晶圓IC測試設(shè)備,包括測試晶圓IC的單板機(jī)測試儀I以及Prober探針設(shè)備2，晶圓IC測試設(shè)備還包括:生成MAP圖初始文本文件的MAP圖生成裝置3，其第一通信端以及第二通信端分別接單板機(jī)測試儀I以及Prober探針設(shè)備2 ;根據(jù)MAP圖初始文本文件顯示MAP圖的PC機(jī)4，其與MAP圖生成裝置3的第三通信端連接。參照圖2，本實用新型實施例提供的晶圓IC測試設(shè)備的進(jìn)一步的電路原理框圖。MAP圖生成裝置3包括:主控芯片31 ;TTL接口電路32，TTL接口電路32的第一通信端作為MAP圖生成裝置3的第一通信端接單板機(jī)測試儀1、TTL接口電路32的第二通信端接主控芯片31的單板機(jī)通信端；第一 RS232接口電路33，第一 RS232接口電路33的第一通信端作為MAP圖生成裝置3的第二通信端接Prober探針設(shè)備2、第一 RS232接口電路33的第二通信端接主控芯片31的Prober通信端；第二 RS232接口電路34，第二 RS232接口電路34的第一通信端作為MAP圖生成裝置3的第三通信端接PC機(jī)4、第二 RS232接口電路34的第二通信端接主控芯片31的PC通信端；存儲MAP圖初始文本文件的外部存儲電路35，其與主控芯片31的存儲通信端連接。MAP圖生成裝置3還包括顯示測試信息的IXD顯示電路36，其與主控芯片31的IXD通信端連接。MAP圖生成裝置3還包括輸入測試參數(shù)及對測試過程進(jìn)行控制的按鍵輸入電路37，其與主控芯片31的按鍵通信端連接。外部存儲電路35包括:USB接口電路351，其第一通信端與主控芯片31的存儲通信端連接；U盤352，其與USB接口電路351的第二通信端連接。本實用新型實施例中，主控芯片31采用ATMEML公司的ATmegal28單片機(jī)311。以下對本實用新型實施例提供的晶圓IC測試設(shè)備的工作原理作進(jìn)一步說明。該晶圓IC測試設(shè)備，通過單板機(jī)測試儀I對晶圓IC進(jìn)行測試，其中Prober探針設(shè)備2為晶圓IC測試過程中的輔助設(shè)備，經(jīng)過測試，Prober探針設(shè)備2產(chǎn)生的坐標(biāo)值以及單板機(jī)測試儀I對對應(yīng)晶圓IC坐標(biāo)值的測試BIN結(jié)果傳送至ATmegal28單片機(jī)311，此時ATmegal28單片機(jī)311將生成MAP圖初始文本文件存儲至外部存儲電路35的U盤352中。當(dāng)需要查看所測試的晶圓IC的MAP圖時，PC機(jī)4通過ATmegal28單片機(jī)311讀取存儲在外部存儲電路35的U盤352的MAP圖初始文本文件并顯示MAP圖。一般情況下，在對晶圓IC的測試進(jìn)行調(diào)試時，通過PC機(jī)4進(jìn)行調(diào)試；而在對大批量的晶圓IC進(jìn)行測試時，將測試產(chǎn)生的數(shù)據(jù)存儲在U盤352中。同時，在對晶圓IC的進(jìn)行測試的過程中，可通過按鍵輸入電路37輸入測試參數(shù)及對測試過程進(jìn)行控制；LCD顯示電路36同時可顯示相關(guān)的測試信息。綜上所述，本實用新型提供的晶圓IC測試設(shè)備，通過所述MAP圖生成裝置3的Prober探針設(shè)備2產(chǎn)生的坐標(biāo)值以及單板機(jī)測試儀I對對應(yīng)晶圓IC坐標(biāo)值的測試BIN結(jié)果生成MAP圖初始文本文件，PC機(jī)4根據(jù)MAP圖初始文本文件顯示MAP圖，因此可對晶圓IC的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀的分析和處理。同時，該晶圓IC測試設(shè)備的MAP圖生成裝置3電路結(jié)構(gòu)簡單，成本低，因此在保證低成本的前提下可對晶圓IC的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀的分析和處理。以上所述僅為本實用新型優(yōu)選實施例，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的原理之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓IC測試設(shè)備，包括測試晶圓IC的單板機(jī)測試儀(I)以及Prober探針設(shè)備(2)，其特征在于，所述晶圓IC測試設(shè)備還包括: 生成MAP圖初始文本文件的MAP圖生成裝置(3)，其第一通信端以及第二通信端分別接所述單板機(jī)測試儀(I)以及所述Prober探針設(shè)備(2)； 根據(jù)所述MAP圖初始文本文件顯示MAP圖的PC機(jī)(4)，其與所述MAP圖生成裝置(3)的第三通信端連接。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓IC測試設(shè)備，其特征在于，所述MAP圖生成裝置(3)包括: 主控芯片(31)； TTL接口電路(32)，所述TTL接口電路(32)的第一通信端作為所述MAP圖生成裝置(3)的第一通信端接所述單板機(jī)測試儀(I)、所述TTL接口電路(32)的第二通信端接所述主控芯片(31)的單板機(jī)通信端； 第一 RS232接口電路(33)，所述第一 RS232接口電路(33)的第一通信端作為所述MAP圖生成裝置(3 )的第二通信端接所述Prober探針設(shè)備(2 )、所述第一 RS232接口電路(33 )的第二通信端接所述主控芯片(31)的Prober通信端； 第二 RS232接口電路(34)，所述第二 RS232接口電路(34)的第一通信端作為所述MAP圖生成裝置(3)的第三通信端接所述PC機(jī)(4)、所述第二 RS232接口電路(34)的第二通信端接所述主控芯片(31)的PC通信端； 存儲所述MAP圖初始文本文件的外部存儲電路(35)，其與所述主控芯片(31)的存儲通信端連接。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓IC測試設(shè)備，其特征在于，所述MAP圖生成裝置(3)還包括顯示測試信息的IXD顯示電路(36)，其與所述主控芯片(31)的IXD通信端連接。
4.如權(quán)利要求2所述的晶圓IC測試設(shè)備，其特征在于，所述MAP圖生成裝置(3)還包括輸入測試參數(shù)及對測試過程進(jìn)行控制的按鍵輸入電路(37)，其與所述主控芯片(31)的按鍵通信端連接。
5.如權(quán)利要求2所述的晶圓IC測試設(shè)備，其特征在于，所述外部存儲電路(35)包括: USB接口電路(351)，其第一通信端與所述主控芯片(31)的存儲通信端連接； U盤(352 )，其與所述USB接口電路(351)的第二通信端連接。
6.如權(quán)利要求2-5任一項所述的晶圓IC測試設(shè)備，其特征在于，所述主控芯片(31)采用ATMEML公司的ATmegal28單片機(jī)(311)。
專利摘要本實用新型涉及集成電路測試領(lǐng)域，提供了一種晶圓IC測試設(shè)備。該晶圓IC測試設(shè)備包括測試晶圓IC的單板機(jī)測試儀以及Prober探針設(shè)備；生成MAP圖初始文本文件的MAP圖生成裝置，其第一通信端以及第二通信端分別接所述單板機(jī)測試儀以及所述Prober探針設(shè)備；根據(jù)所述MAP圖初始文本文件顯示MAP圖的PC機(jī)，其與所述MAP圖生成裝置的第三通信端連接。本實用新型提供的MAP圖生成裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低的優(yōu)點(diǎn)，因此在保證低成本的前提下可對晶圓IC的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行直觀的分析和處理。
文檔編號G01R31/28GK202939275SQ20122052534
公開日2013年5月15日 申請日期2012年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月15日
發(fā)明者方盼 申請人:深圳安博電子有限公司