專利名稱：檢漏儀用內部校準漏孔的制作方法
技術領域：
檢漏儀用內部校準漏孔[0001]技術領域[0002]本實用新型與氦質譜檢漏儀的內置校準漏孔有關。[0003]背景技術[0004]目前國內外氦質譜檢漏儀所用的內置校準漏孔大多數采用薄膜滲透型，利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，但溫度對滲氦率的影響很大，溫度系數為3%/°C左右，使用時需要進行修正，否則溫度變化會對測試結果帶來一定的影響。[0005]實用新型內容[0006]本實用新型的目的是提供一種結構簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠的檢漏儀用內部校準漏孔。[0007]本實用新型是這樣實現(xiàn)的本實用新型檢漏儀用內部校準漏孔，儲氣瓶I的一端與內套管3連接，內套管除了出口端5外，其余部分軸向位于儲氣瓶內儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥4連接，內套管內軸向有毛細管2，毛細管2的一端通過內套管端面上的小孔與儲氣瓶I相通，毛細管2的另一端與過濾蓋6的內端面連接，過濾蓋6的外螺紋與內套管3的出口端5的內螺紋配合。[0009]毛細管2與內套管端面上的小孔動配合，與過濾蓋6內端面固連或與過濾蓋6內端面的盲孔動配合。[0010]本實用新型結構簡單，使用方便，漏率穩(wěn)定可靠，受溫度影響小。采用毛細管型，溫度對漏率的影響很小，溫度系數為O. 3%/K，使用時不需要進行修正，能夠提供穩(wěn)定可靠的氦氣泄漏率。[0011]
[0012]圖1為本實用新型結構圖。[0013]具體實施方式
[0014]內套管3先與儲氣瓶I的一側焊接，然后再焊接儲氣瓶I的另一側；內套管3上有略大于毛細管2外徑的小孔，毛細管插內套管3中，縫隙填入AB膠。過濾蓋6通過螺紋與出口端5連接，過濾蓋為6為燒結型，可以過濾外面的灰塵和水氣。出口端5位于儲氣瓶I 外側。[0015]本實用新型的工作原理[0016]根據一定壓力下，毛細管兩端存在壓差，向外進行氣體的泄漏。[0017]將氣源閥4與高純氦氣瓶相連，打開氣源閥4，向儲氣瓶I內充入O. 3Mpa壓力的氦氣后，關閉氣源閥4，切斷與氦氣瓶的連接。儲氣瓶I內的氦氣會通過毛細管2經裝有過濾蓋6的出口端5流出，毛細管的泄漏率通過下面的方法校準確定[0018]將本校準漏孔與氦檢漏儀相連，記錄此時在檢漏儀上的輸出值UL，，然后再將參照漏孔接入檢漏儀，記錄輸出值UE，則本校準漏孔的漏率為[0019]Ql=Ul/Ue XQe[0020]式中也一校準漏孔漏率，PamVs[0021]Ul —校準漏孔在檢漏儀上產生的輸出值[0022]Ur一參照漏孔在檢漏儀上產生的輸出值[0023]Qr一參照漏孔漏率(由上級計量機構測定)[0024]主要技術參數[0025]1.漏率I(T8Pa. m3/s[0026]2.漏孔類型毛細管[0027]3.介質99. 999% He[0028]4.不確定度土 15%[0029]5.有效期一年。·
權利要求1.檢漏儀用內部校準漏孔，其特征在于儲氣瓶(I)的一端與內套管(3)連接，內套管除了出口端(5)外，其余部分軸向位于儲氣瓶內，儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥(4)連接， 內套管內軸向有毛細管(2)，毛細管(2)的一端通過內套管端面上的小孔與儲氣瓶(I)相通，毛細管(2)的另一端與過濾蓋(6)的內端面連接，過濾蓋(6)的外螺紋與內套管(3)的出口端(5)的內螺紋配合。
2.根據權利要求1所述的檢漏儀用內部校準漏孔，其特征在于毛細管(2)與內套管端面上的小孔動配合，與過濾蓋(6)內端面固連或與過濾蓋(6)內端面的盲孔動配合。
專利摘要本實用新型為檢漏儀用內部校準漏孔，解決已有校準漏孔滲氦率受溫度影響，測試精度差，使用不便的問題。儲氣瓶(1)的一端與內套管(3)連接，內套管除了出口端(5)外，其余部分軸向位于儲氣瓶內，儲氣瓶另一端通過氣管與氣源閥(4)連接，內套管內軸向有毛細管(2)，毛細管(2)的一端通過內套管端面上的小孔與儲氣瓶(1)相通，毛細管(2)的另一端與過濾蓋(6)的內端面連接，過濾蓋(6)的外螺紋與內套管(3)的出口端(5)的內螺紋配合。
文檔編號G01M3/20GK202836897SQ20122054542
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月24日 優(yōu)先權日2012年10月24日
發(fā)明者張果, 江鑫, 朱思蓮, 袁陽 申請人:愛發(fā)科東方真空(成都)有限公司