專利名稱：一種吸入式SF₆氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)領(lǐng)域，具體涉及采用雙波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)原理、自帶溫度補(bǔ)償、具有數(shù)字信號(hào)輸出的高精度吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)方法及裝置。
背景技術(shù)：
在電力系統(tǒng)中，SF6氣體因其具有極好的絕緣性能和滅弧性能，獲得廣泛的應(yīng)用。但是由于SF6比空氣重，一旦泄漏，易沉積于電力開關(guān)室底部，人員進(jìn)入時(shí)造成人體缺氧。且SF6在高溫或電弧作用下，或遇到潮氣時(shí)，會(huì)分解成多種有毒物質(zhì)。故《國(guó)家電網(wǎng)公司電力安全工作規(guī)程》中明確要求對(duì)SF6設(shè)備及場(chǎng)所，需定期進(jìn)行監(jiān)測(cè)和檢查，并規(guī)定濃度IOOOppm為安全警戒值，超過此濃度將對(duì)人的生命造成威脅。負(fù)電暈放電檢測(cè)法是SF6氣體泄漏檢測(cè)較常用的方法之一，該方法通過使用高壓擊穿技術(shù)，利用SF6氣體的電弧阻斷特性，來檢測(cè)其在空氣中的含量。但是由于SF6氣體是強(qiáng)絕緣氣體，濃度超過一定值即會(huì)完全阻止放電，造成較大的測(cè)量誤差。另外，若長(zhǎng)時(shí)間使用容易造成探針老化，縮短傳感器的使用壽命，并且會(huì)產(chǎn)生零點(diǎn)漂移，測(cè)量的可靠性難以保證。隨著紅外探測(cè)技術(shù)的發(fā)展，紅外SF6泄漏監(jiān)測(cè)技術(shù)在體積、功耗、性能、價(jià)格上所具有的以往技術(shù)無法比擬的優(yōu)勢(shì)，使其應(yīng)用日益廣泛。美國(guó)電力科學(xué)研究院首先將紅外探測(cè)技術(shù)應(yīng)用于變電站SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)，目前國(guó)內(nèi)應(yīng)用于SF6泄漏監(jiān)測(cè)的技術(shù)和裝置只是此技術(shù)的簡(jiǎn)單應(yīng)用，具有以下不足:I) 一般采用半帶寬為250nm的干涉濾光片作為測(cè)量濾光片，由于半帶寬較寬，使得相關(guān)SF6泄漏監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)精度較低；2)輸出信號(hào)多為模擬信號(hào)，在實(shí)現(xiàn)數(shù)字輸出、溫度補(bǔ)償、消除光源和環(huán)境因素影響等功能方面存在不足，使用范圍受到很大局限。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出一種采用雙波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)原理，帶有數(shù)字輸出、溫度補(bǔ)償功能、簡(jiǎn)單可靠、靈敏度高的吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)方法及裝置。此方法和裝置能對(duì)SF6泄漏進(jìn)行定量監(jiān)測(cè)并對(duì)外輸出高精度SF6泄漏濃度值，具有監(jiān)測(cè)精度高、穩(wěn)定可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧等優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，該裝置包括出氣口、進(jìn)氣口、紅外光源、窗口片一、窗口片二、參比濾光片、測(cè)量濾光片、雙通道紅外探測(cè)器、溫度探測(cè)器、信號(hào)調(diào)理模塊、Α/D轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)據(jù)處理模塊、光源驅(qū)動(dòng)模塊、裝置本體、端蓋一和端蓋二；內(nèi)部中空的裝置本體形成一個(gè)氣室，氣室內(nèi)壁鍍金反射膜，其上設(shè)出氣口和進(jìn)氣口，裝置本體兩端裝有窗口片一及窗口片二，使氣室密封而不阻礙紅外光傳輸，氣室之中設(shè)置有溫度探測(cè)器，窗口片一的左側(cè)設(shè)有紅外光源，通過端蓋一固定并與裝置本體相連，窗口片二的右側(cè)設(shè)有雙通道紅外探測(cè)器，雙通道紅外探測(cè)器的兩個(gè)通道前面分別裝有參比濾光片和測(cè)量濾光片，從而使得雙通道紅外探測(cè)器能輸出一個(gè)參比信號(hào)和一個(gè)測(cè)量信號(hào)，通過端蓋二固定雙通道紅外探測(cè)器并與裝置本體連為一體，所述的針對(duì)SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)的參比濾光片和測(cè)量濾光片均為超窄帶干涉濾光片，在端蓋二外面設(shè)有電路板，電路板固
定在端蓋二上。其中，電路板上包括信號(hào)調(diào)理模塊，A/D轉(zhuǎn)換模塊，數(shù)據(jù)處理模塊和光源驅(qū)動(dòng)模塊，信號(hào)調(diào)理模塊對(duì)參比信號(hào)和測(cè)量信號(hào)進(jìn)行放大和濾波，A/D轉(zhuǎn)換模塊將模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)處理模塊能夠接收的數(shù)字信號(hào)，數(shù)據(jù)處理模塊根據(jù)接收到的數(shù)字信號(hào)計(jì)算出被測(cè)氣體的濃度并將此濃度對(duì)外輸出，光源驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)紅外光源發(fā)出穩(wěn)定的紅外光。其中，參比濾光片的中心波長(zhǎng)為3.95ym±40nmm，半帶寬為90nm±20nm，測(cè)量濾光片的中心波長(zhǎng)為10.55 μ m±80nm,半帶寬為90nm±20nm。根據(jù)紅外光譜理論，非對(duì)稱極性分子由于內(nèi)部偶極矩轉(zhuǎn)動(dòng)、振動(dòng)等，對(duì)穿過氣體分子的紅外光產(chǎn)生吸收。不同類型的氣體分子偶極矩不同，使得一種氣體分子對(duì)特定波長(zhǎng)的紅外光有明顯的吸收作用。根據(jù)朗伯-比爾定律:I = 10exp(-yCL);其中I為出射光強(qiáng)，Itl為入射光強(qiáng)，C為氣體濃度，L為吸收長(zhǎng)度，μ為氣體的吸收系數(shù)，可改寫為:
C = -1/μL*ln(I0/I)=-1/μL*ln(1/T)從以上公式可知，當(dāng)吸收長(zhǎng)度L與氣體的吸收系數(shù)μ已知時(shí)，
可以通過測(cè)量I和Itl的比值計(jì)算出被測(cè)氣體的濃度，I和Itl的比值稱為透射比^二f。實(shí)際
應(yīng)用中，由于紅外光很容易受多種因素(如溫度，電源電壓波動(dòng)，光源老化等)影響，僅通過單一光束透射光強(qiáng)的衰減不能足以準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)氣體的泄漏。雙波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)原理在單波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)的基礎(chǔ)上增加一個(gè)參比波長(zhǎng)，即選擇被測(cè)氣體對(duì)紅外光吸收最強(qiáng)的吸收峰處的波長(zhǎng)為測(cè)量波長(zhǎng)，而選擇另一個(gè)所有氣體對(duì)其都不具有吸收能力的波長(zhǎng)為參比波長(zhǎng)，使用雙通道紅外探測(cè)器、雙濾光片及處理雙波長(zhǎng)信號(hào)對(duì)應(yīng)的電子電路及算法實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體泄漏的監(jiān)測(cè)。通過一個(gè)測(cè)量濾光片和一個(gè)參比濾光片選擇透過的波長(zhǎng)，透過兩個(gè)濾光片后，相應(yīng)波長(zhǎng)的紅外吸收能量的變化反映到雙通道紅外探測(cè)器上，通過相應(yīng)的信號(hào)處理和計(jì)算后，確定被測(cè)氣體的存在及濃度信息。當(dāng)氣室中不存在被測(cè)氣體組分時(shí)，雙通道紅外探測(cè)器接收到的是未被吸收的紅外光，測(cè)量信號(hào)和參比信號(hào)相等；當(dāng)氣室中存在被測(cè)氣體組分時(shí)，測(cè)量光束的能量被吸收，檢測(cè)到的測(cè)量信號(hào)要小于參比光束的信號(hào)。設(shè)未通入3匕氣體時(shí)透過測(cè)量通道的光強(qiáng)為Itl，參比通道的光強(qiáng)為I, ;通入一定濃度SF6氣體后測(cè)量通道的光強(qiáng)為I，參比通道光強(qiáng)為r ;則透射比T = I' 0I/10r。對(duì)確定的氣體監(jiān)測(cè)裝置，有確定的Γ。的值，監(jiān)測(cè)時(shí)只要測(cè)得I和Γ，通過電路系統(tǒng)的信號(hào)處理后，就可以得到被測(cè)SF6氣體的濃度信息。這種參比處理能有效的消除光源不穩(wěn)定、光電器件的零點(diǎn)漂移等對(duì)測(cè)量精度的影響，使得雙波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)具有較高的測(cè)量精度。根據(jù)以上分析，本發(fā)明另外提供一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)的方法，采用上述的吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，通過真空泵連接出氣口，促使被測(cè)泄漏氣體由進(jìn)氣口不斷流入氣室，連接外部電源供電以后，光源驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)紅外光源發(fā)出的紅外光，經(jīng)過進(jìn)入氣室內(nèi)的氣體吸收，又經(jīng)過參比濾光片和測(cè)量濾光片后到達(dá)雙通道紅外探測(cè)器，雙通道紅外探測(cè)器兩個(gè)通道分別產(chǎn)生一個(gè)包含光源和環(huán)境信息的參比信號(hào)和一個(gè)包含被測(cè)氣體濃度信息的測(cè)量信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)通過信號(hào)調(diào)理模塊的放大、濾波和A/D轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)之后，輸入到數(shù)據(jù)處理模塊，數(shù)據(jù)處理模塊通過數(shù)據(jù)處理排除掉光源和環(huán)境的影響，根據(jù)事先寫入的濃度計(jì)算模型得到被測(cè)泄漏SF6氣體的濃度，與此同時(shí)，溫度探測(cè)器也將探測(cè)到的被測(cè)泄漏SF6氣體的溫度輸入到數(shù)據(jù)處理模塊，數(shù)據(jù)處理模塊再對(duì)被測(cè)泄漏SF6氣體濃度進(jìn)行溫度修正，從而得到真實(shí)的被測(cè)泄漏SF6氣體濃度，將此SF6濃度對(duì)外輸出。其中，所述的數(shù)據(jù)處理模塊中數(shù)據(jù)處理時(shí)針對(duì)泄漏SF6氣體的特性，采用多點(diǎn)標(biāo)定方法，建立泄漏SF6氣體濃度計(jì)算模型，標(biāo)定時(shí)，在泄漏SF6監(jiān)測(cè)量程范圍內(nèi)選擇多個(gè)濃度點(diǎn)，配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣，根據(jù)測(cè)量電壓和參比電壓得到一個(gè)只包含氣體濃度信息的變量D以消除光源的影響，根據(jù)D值與標(biāo)準(zhǔn)濃度Xtl值之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立泄漏SF6氣體濃度計(jì)算模型，將此模型及標(biāo)定時(shí)的溫度信息一并寫入單片機(jī)存儲(chǔ)器內(nèi)，實(shí)際監(jiān)測(cè)時(shí)，數(shù)據(jù)處理模塊接收測(cè)量電壓、參比電壓和溫度三個(gè)數(shù)值，先計(jì)算出泄漏SF6氣體濃度信息變量D，以排除可能存在的光源波動(dòng)和環(huán)境影響，再根據(jù)事先寫入的泄漏SF6氣體濃度計(jì)算模型計(jì)算出對(duì)應(yīng)的濃度值，然后根據(jù)溫度進(jìn)行溫度補(bǔ)償，得到補(bǔ)償后的泄漏SF6氣體濃度，此濃度即為被測(cè)泄漏SF6氣體的真實(shí)濃度值。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)為:本實(shí)用新型采用雙波長(zhǎng)紅外監(jiān)測(cè)原理，是一種高效、安全的SF6泄漏監(jiān)測(cè)技術(shù)，具有監(jiān)測(cè)精度高、穩(wěn)定性好、可靠性高、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。氣室內(nèi)壁鍍金反射膜、選用超窄帶干涉濾光片作為測(cè)量濾光片，可以有效地提高裝置的測(cè)量精度。將電路部分集成在較小的電路板上，并緊湊地裝配在端蓋上，以盡量減少本裝置的體積，使得裝置非常小巧。測(cè)試結(jié)果數(shù)字輸出，自帶溫度補(bǔ)償?shù)?，使得輸出結(jié)果更加準(zhǔn)確、便利。根據(jù)泄漏SF6氣體特性建立的計(jì)算模型、標(biāo)定及算法，保證了泄漏SF6氣體監(jiān)測(cè)的準(zhǔn)確性。本實(shí)用新型的吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)方法及裝置是電網(wǎng)SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)和報(bào)警必不可少的關(guān)鍵技術(shù)，其推廣應(yīng)用將有利于提高電網(wǎng)的安全運(yùn)行和保障電力從業(yè)人員的安全。

圖1為本實(shí)用新型的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中:1.出氣口、2.進(jìn)氣口、3.紅外光源、4.窗口片一、5.窗口片二、6.參比濾光片、7.測(cè)量濾光片、8.雙通道紅外探測(cè)器、9.溫度探測(cè)器、10.信號(hào)調(diào)理模塊、11.Α/D轉(zhuǎn)換模塊、12.數(shù)據(jù)處理模塊、13.光源驅(qū)動(dòng)模塊、14.裝置本體、15.端蓋一、16.端蓋二；圖2為七點(diǎn)標(biāo)定方法流程圖；圖3為本實(shí)用新型的數(shù)據(jù)處理流程圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)施例的具體結(jié)構(gòu)見附圖1，內(nèi)部中空的裝置本體14形成一個(gè)氣室，氣室內(nèi)壁鍍金反射膜，其上設(shè)出氣口 I和進(jìn)氣口 2，裝置本體14兩端裝有窗口片4和5，使氣室密封而不阻礙紅外光傳輸，氣室之中設(shè)置有溫度探測(cè)器9。窗口片4的左側(cè)設(shè)有紅外光源3，通過端蓋15固定并與裝置本體14相連。窗口片5的右側(cè)設(shè)有雙通道紅外探測(cè)器8，雙通道紅外探測(cè)器8的兩個(gè)通道前面分別裝有參比濾光片6和測(cè)量濾光片7，從而使得雙通道紅外探測(cè)器8能輸出一個(gè)參比信號(hào)和一個(gè)測(cè)量信號(hào)，通過端蓋16固定雙通道紅外探測(cè)器8并與裝置本體14連為一體。所述的針對(duì)SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)的參比濾光片6和測(cè)量濾光片7均為超窄帶干涉濾光片，參比濾光片6的中心波長(zhǎng)為3.95 μ m±40nm,半帶寬為90nm±20nm,測(cè)量濾光片7的中心波長(zhǎng)為10.55ym±80nm，半帶寬為90nm±20nm。在端蓋16外面設(shè)有電路板，電路板固定在端蓋16上，電路板上包括信號(hào)調(diào)理模塊10，A/D轉(zhuǎn)換模塊11，數(shù)據(jù)處理模塊12和光源驅(qū)動(dòng)模塊13，信號(hào)調(diào)理模塊10對(duì)參比信號(hào)和測(cè)量信號(hào)進(jìn)行放大和濾波，A/D轉(zhuǎn)換模塊11將模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)處理模塊12能夠接收的數(shù)字信號(hào)，數(shù)據(jù)處理模塊12根據(jù)接收到的數(shù)字信號(hào)計(jì)算出被測(cè)氣體的濃度并將此濃度對(duì)外輸出，光源驅(qū)動(dòng)模塊13驅(qū)動(dòng)紅外光源3發(fā)出穩(wěn)定的紅外光。通過真空泵連接出氣口 1，促使被測(cè)泄漏SF6氣體由進(jìn)氣口 2不斷流入氣室。連接外部電源供電以后，光源驅(qū)動(dòng)模塊13驅(qū)動(dòng)紅外光源3發(fā)出紅外光，經(jīng)過進(jìn)入氣室內(nèi)的氣體吸收，又經(jīng)過參比濾光片6和測(cè)量濾光片7到達(dá)雙通道紅外探測(cè)器8，雙通道紅外探測(cè)器8兩個(gè)通道分別產(chǎn)生一個(gè)包含光源和環(huán)境信息的參比信號(hào)和一個(gè)包含被測(cè)氣體濃度信息的測(cè)量信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)通過信號(hào)調(diào)理模塊10的放大、濾波和A/D轉(zhuǎn)換模塊11轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)之后，輸入到數(shù)據(jù)處理模塊12，數(shù)據(jù)處理模塊12通過數(shù)據(jù)處理排除掉光源和環(huán)境的影響，根據(jù)事先寫入的濃度計(jì)算模型得到被測(cè)泄漏SF6氣體的濃度。與此同時(shí)，溫度探測(cè)器9也將探測(cè)到的被測(cè)泄漏SF6氣體的溫度輸入到數(shù)據(jù)處理模塊12，數(shù)據(jù)處理模塊12再對(duì)被測(cè)泄漏SF6氣體濃度進(jìn)行溫度修正，從而得到真實(shí)的被測(cè)泄漏SF6氣體濃度，將此SF6濃度對(duì)外輸出。數(shù)據(jù)處理程序針對(duì)SF6氣體的特性，采用多點(diǎn)標(biāo)定的方法，本實(shí)施例選擇七個(gè)標(biāo)定點(diǎn)，建立泄漏SF6氣體濃度計(jì)算模型，七點(diǎn)標(biāo)定方法的流程見附圖2。標(biāo)定時(shí)，在泄漏SF6&測(cè)量程范圍內(nèi)選擇7個(gè)濃度點(diǎn)，配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣，送入標(biāo)準(zhǔn)混合氣后，根據(jù)測(cè)量電壓Vm和參比電壓VKrf得到一個(gè)只包含氣體濃度信息的變量D，根據(jù)D值與標(biāo)準(zhǔn)濃度Xtl值之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立SF6氣體濃度計(jì)算模型，將此模型寫入單片機(jī)存儲(chǔ)器內(nèi)。實(shí)際監(jiān)測(cè)時(shí)，數(shù)據(jù)處理模塊12接收測(cè)量電壓Vm、參比電壓VKef和溫度Tm三個(gè)數(shù)值，先計(jì)算出氣體濃度信息變量D，以排除可能存在的光源波動(dòng)和環(huán)境影響，再根據(jù)事先寫入的濃度計(jì)算模型采用查表法計(jì)算出對(duì)應(yīng)的濃度值Xm。然后根據(jù)溫度Tm計(jì)算出溫度補(bǔ)償系數(shù)K進(jìn)行溫度補(bǔ)償，得到補(bǔ)償后的氣體濃度Xt，此濃度即為被測(cè)SF6氣體的真實(shí)濃度值，將此數(shù)值對(duì)外輸出，其流程見附圖3。
權(quán)利要求1.一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:該裝置包括出氣口(I)、進(jìn)氣口(2)、紅外光源(3)、窗口片一(4)、窗口片二(5)、參比濾光片(6)、測(cè)量濾光片(7)、雙通道紅外探測(cè)器(8)、溫度探測(cè)器(9)、信號(hào)調(diào)理模塊(10)、A/D轉(zhuǎn)換模塊(11)、數(shù)據(jù)處理模塊(12)、光源驅(qū)動(dòng)模塊(13)、裝置本體(14)、端蓋一(15)和端蓋二(16);內(nèi)部中空的裝置本體(14)形成一個(gè)氣室，氣室內(nèi)壁鍍金反射膜，其上設(shè)出氣口( I)和進(jìn)氣口(2)，裝置本體(14)兩端裝有窗口片一(4)及窗口片二(5),使氣室密封而不阻礙紅外光傳輸,氣室之中設(shè)置有溫度探測(cè)器(9)，窗口片一(4)的左側(cè)設(shè)有紅外光源(3)，通過端蓋一(15)固定并與裝置本體(14)相連，窗口片二(5)的右側(cè)設(shè)有雙通道紅外探測(cè)器(8)，雙通道紅外探測(cè)器(8)的兩個(gè)通道前面分別裝有參比濾光片(6)和測(cè)量濾光片(7)，從而使得雙通道紅外探測(cè)器(8)能輸出一個(gè)參比信號(hào)和一個(gè)測(cè)量信號(hào)，通過端蓋二(16)固定雙通道紅外探測(cè)器(8)并與裝置本體(14)連為一體，所述的針對(duì)SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)的參比濾光片(6)和測(cè)量濾光片(7)均為超窄帶干涉濾光片，在端蓋二( 16)外面設(shè)有電路板，電路板固定在端蓋二( 16)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:電路板上包括信號(hào)調(diào)理模塊(10)，A/D轉(zhuǎn)換模塊(11)，數(shù)據(jù)處理模塊(12)和光源驅(qū)動(dòng)模塊(13)，信號(hào)調(diào)理模塊(10)對(duì)參比信號(hào)和測(cè)量信號(hào)進(jìn)行放大和濾波，A/D轉(zhuǎn)換模塊(11)將模擬電信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)處理模塊(12)能夠接收的數(shù)字信號(hào)，數(shù)據(jù)處理模塊(12)根據(jù)接收到的數(shù)字信號(hào)計(jì)算出被測(cè)氣體的濃度并將此濃度對(duì)外輸出，光源驅(qū)動(dòng)模塊(13)驅(qū)動(dòng)紅外光源(3)發(fā)出穩(wěn)定的紅外光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:參比濾光片(6)的中心波長(zhǎng)為3.95 μ m±40nmm,半帶寬為90nm±20nm,測(cè)量濾光片(7)的中心波長(zhǎng)為.10.55 μ m±80nm,半帶寬為 90nm±20nm。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)裝置，該裝置包括出氣口(1)、進(jìn)氣口(2)、紅外光源(3)、窗口片一(4)、窗口片二(5)、參比濾光片(6)、測(cè)量濾光片(7)、雙通道紅外探測(cè)器(8)、溫度探測(cè)器(9)、信號(hào)調(diào)理模塊(10)、A/D轉(zhuǎn)換模塊(11)、數(shù)據(jù)處理模塊(12)、光源驅(qū)動(dòng)模塊(13)、裝置本體(14)、端蓋一(15)和端蓋二(16)。本實(shí)用新型帶有數(shù)字輸出、溫度補(bǔ)償功能、簡(jiǎn)單可靠、靈敏度高的吸入式SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)方法及裝置該方法和裝置能對(duì)SF6泄漏進(jìn)行定量監(jiān)測(cè)并對(duì)外輸出高精度SF6泄漏濃度值，具有監(jiān)測(cè)精度高、穩(wěn)定可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N21/35GK202916062SQ20122063159
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月26日
發(fā)明者趙建華, 陳迎春 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)