專利名稱：一種角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及掃描電鏡用樣品臺，特別是一種角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺。
背景技術：
掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫(yī)學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發(fā)展。掃描電鏡的另一個重要特點是景深大，圖象富立體感。掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。樣品臺是掃描電子顯微鏡的關鍵部件之一，它用以承載樣品，并通過光學系統(tǒng)成像表征樣品的局部特征。然而，樣品斷面、尤其是片狀樣品的端面無法穩(wěn)定地放置在普通的樣品臺上，且常與樣品臺不平行。因此，掃描電鏡用樣品臺的創(chuàng)新和改進是急需解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術之缺陷，本實用新型之目的就是提供一種角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，可有效解決樣品臺無法將樣品的端面穩(wěn)定放置，造成的成像模糊的問題。本實用新型解決的技術方案是，包括基臺體、斷口樣品固定臺體和支撐桿，其特征在于，基臺體上裝有斷口樣品固定臺體和支撐桿，斷口樣品固定臺體的一端經(jīng)第一鉸接件與基臺體的一側相連，構成第一轉(zhuǎn)動副，斷口樣品固定臺體的下部平面中間均布有在同一條直線上的若干半球形槽，支撐桿的一端經(jīng)第二鉸接件與基臺體的另一側相連，構成第二轉(zhuǎn)動副，支撐桿的另一端置于半球形槽內(nèi)，構成斷口樣品固定臺體的傾斜角度調(diào)節(jié)結構。本實用新型結構新穎獨特，簡單合理，易加工，成本低，適用于各種掃描電鏡，可同時安放多個樣品，安裝方便簡單，樣品固定牢固且成像效果好，減小了樣品的制備難度，大大提高掃描電鏡的工作效率，是掃描電鏡用樣品臺上的創(chuàng)新。

圖1為本實用新型的剖面主視圖。圖2為本實用新型支撐桿的剖視結構圖。圖3為本實用新型斷口樣品固定臺體的局部剖面仰視圖。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細說明。由圖1至圖3給出，本實用新型包括基臺體、斷口樣品固定臺體和支撐桿，基臺體
I上裝有斷口樣品固定臺體4和支撐桿3，斷口樣品固定臺體4的一端經(jīng)第一鉸接件5與基臺體I的一側相連，構成第一轉(zhuǎn)動副，斷口樣品固定臺體4的下部平面中間均布有在同一條直線上的若干半球形槽8，支撐桿3的一端經(jīng)第二鉸接件2與基臺體I的另一側相連，構成第二轉(zhuǎn)動副，支撐桿3的另一端置于半球形槽8內(nèi)，構成斷口樣品固定臺體4的傾斜角度調(diào)節(jié)結構。為保證使用效果，所述的支撐桿3由下部的內(nèi)螺紋管6和上部的外螺紋管7旋裝在一起構成長度調(diào)節(jié)裝置，內(nèi)螺紋管6的下部經(jīng)第二鉸接件2與基臺體I相連，外螺紋管7的上部置于半球形槽8內(nèi)；所述的基臺體I為圓形；所述的基臺體I左、右兩側有相對應的第一凸臺la、第二凸臺Ib,斷口樣品固定臺體4的固定端上有圓孔9，第一鉸接件5穿過圓孔裝在第一凸臺Ia上，構成斷口樣品固定臺體轉(zhuǎn)動結構，支撐桿3固定端有通孔11，第二鉸接件2穿過通孔裝在第二凸臺Ib上，構成支撐桿轉(zhuǎn)動結構；所述的支撐桿3上的螺紋采用細牙螺紋，以確?？梢詫悠返乃蕉冗M行微調(diào)。申請人:要指出的是，本申請上述給出的僅僅是一種實施例，并不是用于限制本申請的保護范圍，凡是用等同或等效替代手段所做出與本申請本質(zhì)上相同的技術方案均屬于本申請的保護范圍。本實用新型的使用情況是，首先將樣品10用導電膠12粘附在斷口樣品固定臺體4的上表面，觀察樣品與基臺體I的平行度，然后旋轉(zhuǎn)外螺紋桿7進行長度調(diào)節(jié)，若仍無法達到水平要求，則改變外螺紋桿另一端在半球形槽8中的位置，樣品通過斷口樣品固定臺體4的轉(zhuǎn)動平行于基臺體1，再將其放入掃描電鏡的檢測腔體中檢測樣品的斷口形貌。本實用新型結構新穎獨特，簡單合理，易加工，成本低，適用于各種掃描電鏡，可同時安放多個樣品，安裝方便簡單，樣品固定牢固且成像效果好，減小了樣品的制備難度，大大提高掃描電鏡的工作效率，是掃描電鏡用樣品臺上的創(chuàng)新。
權利要求1.一種角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，包括基臺體、斷口樣品固定臺體和支撐桿，其特征在于，基臺體(I)上裝有斷口樣品固定臺體(4)和支撐桿(3)，斷口樣品固定臺體(4)的一端經(jīng)第一鉸接件(5)與基臺體(I)的一側相連，構成第一轉(zhuǎn)動副，斷口樣品固定臺體(4)的下部平面中間均布有在同一條直線上的若干半球形槽(8)，支撐桿(3)的一端經(jīng)第二鉸接件(2)與基臺體(I)的另一側相連，構成第二轉(zhuǎn)動副，支撐桿(3)的另一端置于半球形槽(8)內(nèi)，構成斷口樣品固定臺體(4)的傾斜角度調(diào)節(jié)結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，其特征在于，所述的支撐桿(3)由下部的內(nèi)螺紋管(6)和上部的外螺紋管(7)旋裝在一起構成長度調(diào)節(jié)裝置，內(nèi)螺紋管(6)的下部經(jīng)第二鉸接件(2)與基臺體(I)相連，外螺紋管(7)的上部置于半球形槽(8)內(nèi)。
3.根據(jù)權利要求1所述的角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，其特征在于，所述的基臺體(O為圓形。
4.根據(jù)權利要求1所述的角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，其特征在于，所述的基臺體(I)左、右兩側有相對應的第一凸臺(la)、第二凸臺(Ib),斷口樣品固定臺體(4)的固定端上有圓孔(9)，第一鉸接件(5)穿過圓孔裝在第一凸臺(Ia)上，構成斷口樣品固定臺體轉(zhuǎn)動結構，支撐桿(3 )固定端有通孔(11)，第二鉸接件(2 )穿過通孔裝在第二凸臺(Ib )上，構成支撐桿轉(zhuǎn)動結構。
專利摘要本實用新型涉及角度可調(diào)式掃描電鏡用樣品臺，可有效解決樣品臺無法將樣品的端面穩(wěn)定放置，造成的成像模糊的問題，其解決的技術方案是，包括基臺體、斷口樣品固定臺體和支撐桿，其特征在于，基臺體上裝有斷口樣品固定臺體和支撐桿，斷口樣品固定臺體的一端經(jīng)第一鉸接件與基臺體的一側相連，構成第一轉(zhuǎn)動副，斷口樣品固定臺體的下部平面中間均布有在同一條直線上的若干半球形槽，支撐桿的一端經(jīng)第二鉸接件與基臺體的另一側相連，構成第二轉(zhuǎn)動副，支撐桿的另一端置于半球形槽內(nèi)，構成斷口樣品固定臺體的傾斜角度調(diào)節(jié)結構，本實用新型結構新穎獨特，簡單合理，易加工，成本低，成像效果好，提高掃描電鏡的工作效率，是掃描電鏡用樣品臺上的創(chuàng)新。
文檔編號G01N1/36GK202903575SQ20122063331
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月27日 優(yōu)先權日2012年11月27日
發(fā)明者陳永, 劉勝新, 趙益弘 申請人:鄭州大學