專利名稱：金屬層線寬測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬層線寬測量裝置。
背景技術(shù)：
在TFT-LCD制造業(yè)中，CD設(shè)備是基本的監(jiān)控線寬(CriticalDimension，CD)的測量設(shè)備。由于CD設(shè)備是通過對灰度圖像中光的強弱變化來判定基板中不同膜層的邊界的，通過⑶設(shè)備在對金屬層線寬(Final Inspection⑶，F(xiàn)I⑶)進行測量時，測量結(jié)果會受到燈光強弱影響，而且這種光學(xué)CD結(jié)果與實際值相差較大，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、測量準(zhǔn)確性高的金屬層線寬測量裝置。(二)技術(shù)方案為解決上述問題，本實用新型提供了一種金屬層線寬測量裝置，包括光發(fā)射裝置，包括發(fā)射檢測光信號的發(fā)光單元；光接收裝置，與所述光發(fā)射裝置相對設(shè)置，接收所述光發(fā)射裝置發(fā)出的光信號并生成光強信號；所述光發(fā)射裝置和光接收裝置分別位于被測基板兩側(cè)；信號處理裝置，與所述光接收裝置連接，對所述光接收裝置接收的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。優(yōu)選地，所述光發(fā)射裝置進一步包括接收被被測基板反射的光信號并生成光強信號的受光單兀。優(yōu)選地，所述信號處理裝置還與所述受光單元連接，分別對所述光接收裝置和受光單元生成的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。優(yōu)選地，進一步包括與所述光發(fā)射裝置和光接收裝置固定、沿被測基板的金屬層線寬方向相對于所述被測基板移動的掃描移動裝置。優(yōu)選地，進一步包括供所述被測基板固定、沿被測基板的金屬層線寬方向相對于所述光發(fā)射裝置和光接收裝置移動的掃描移動裝置。優(yōu)選地，進一步包括向所述掃描移動裝置發(fā)送移動控制信號的移動控制裝置。優(yōu)選地，所述移動控制裝置還與所述信號處理裝置連接，向所述信號處理裝置發(fā)送移動參數(shù)信號，所述信號處理裝置根據(jù)所述移動參數(shù)信號對所述光強信號進行處理，得到所述測量結(jié)果。(三)有益效果本實用新型的測量裝置可以消除照射燈光對測量結(jié)果的影響，避免由于燈光變化或維護后對設(shè)備測量結(jié)果造成偏差；本實用新型的測量裝置得到的測量結(jié)果不受金屬層折射光影響，與實際結(jié)果偏差較??；本實用新型的測量裝置的信號數(shù)據(jù)處理相對灰度圖像光強弱分析更加簡單。

圖1為根據(jù)本實用新型實施例一種金屬層線寬測量裝置的結(jié)構(gòu)示意框圖；圖2為根據(jù)本實用新型實施例另一種金屬層線寬測量裝置的結(jié)構(gòu)示意框圖；圖3為根據(jù)本實用新型實施例另一種金屬層線寬測量裝置的測量示意圖；圖4為根據(jù)本實用新型實施例另一種金屬層線寬測量裝置得到的兩個光強信號的曲線圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細(xì)說明如下。如圖1所示，本實施例記載了一種金屬層線寬測量裝置，包括光發(fā)射裝置110，包括發(fā)射檢測光信號的發(fā)光單元；光接收裝置120，與所述光發(fā)射裝置110相對設(shè)置，接收所述光發(fā)射裝置110發(fā)出的光信號并生成光強信號；所述光發(fā)射裝置110和光接收裝置120分別位于被測基板130兩側(cè)；信號處理裝置140，與所述光接收裝置120連接，對所述光接收裝置120發(fā)送的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。在被測基板130經(jīng)過所述光發(fā)射裝置110和光接收裝置120之間的部分為不含有金屬層的透明層時，所述光發(fā)射裝置110發(fā)射的光信號能被光接收裝置120接收到；含有金屬層時，所述光發(fā)射裝置110發(fā)射的光信號不能被光接收裝置120接收到；所述信號處理裝置140根據(jù)所述光接收裝置120發(fā)送的光強信號即可判斷被測基板130的該部分是否包含金屬層，進而得到整個金屬層的線寬。其結(jié)構(gòu)簡單、測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠并且對信號的處理也比較容易。如圖2所示為本實用新型另一個實施例記載的金屬層線寬測量裝置。在本實施例中除了圖1所示實施例記載的光發(fā)射裝置210、光接收裝置220以及信號處理裝置230外，所述測量裝置還包括屬于光發(fā)射裝置210、接收被測基板240反射的光信號并生成對應(yīng)光強信號的受光單元212 ；與所述光發(fā)射裝置210和光接收裝置220固定、沿被測基板240的金屬層243線寬方向相對于所述被測基板240移動的掃描移動裝置250 ;以及向所述掃描移動裝置250發(fā)送移動控制信號的移動控制裝置260。所述信號處理裝置230還分別與所述受光單元212和移動控制裝置260連接，用于接收所述受光單元212發(fā)送的光強信號以及所述移動控制裝置260發(fā)送的移動參數(shù)信號；再根據(jù)所述移動參數(shù)信號對所述光接收裝置220和受光單元212發(fā)送的光強信號進行處理，得到金屬層243線寬的測量結(jié)果。[0039]例如，所述信號處理裝置230根據(jù)受光單元212接收較強光強信號和光接收裝置220接收較弱光強信號的時間、以及掃描移動裝置250移動的速度和移動的方向等移動參數(shù)信號，計算出所述掃描移動裝置250在金屬層243上對應(yīng)移動的距離，進而得到所述金屬層243的線寬。在本實用新型的其它實施例中，所述掃描移動裝置250還可以供所述被測基板240固定、沿被測基板240的金屬層243線寬方向相對于所述光發(fā)射裝置210和光接收裝置220移動。 如圖3和圖4所示，在本實施例中，被測基板240包括玻璃基板241、非晶硅(a_Si )層242以及金屬層243，其中玻璃基板241和a_Si層242為透明的透光層，光發(fā)射裝置210和光接收裝置220在所述掃描移動裝置250的作用下，沿著金屬層243的線寬方向a按一定速度同步移動，在沒有經(jīng)過金屬層243的位置，光發(fā)射裝置210的發(fā)光單元211發(fā)射的光信號被光接收裝置220接收后生成圖4中實線所示的光強信號輸出；在經(jīng)過金屬層243的位置，光發(fā)射裝置210發(fā)送的光信號被所述金屬層243反射后，回到光發(fā)射裝置210，被光發(fā)射裝置210的受光單元212接收后生成圖4中點劃線所示的光強信號輸出。本實施例通過同時設(shè)置受光單元212和光接收裝置220，對二者產(chǎn)生的光強信號進行處理，可以使得測量結(jié)果的準(zhǔn)確性得到更大保障，避免光接收裝置220和受光單元212之一收到干擾而產(chǎn)生測量誤差。為消除膜層不均勻?qū)Y(jié)果影響，本實施例可通過所述移動控制裝置260設(shè)置移動掃描裝置在所述被測基板240上掃描一個往返輪回。本實用新型通過光發(fā)射裝置和光接收裝置保持同步掃描金屬膜層，通過分析光發(fā)射裝置和光接收裝置接收到的信號強度變化，計算金屬層線寬值，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種金屬層線寬測量裝置，其特征在于，包括 光發(fā)射裝置，包括發(fā)射檢測光信號的發(fā)光單元； 光接收裝置，與所述光發(fā)射裝置相對設(shè)置，接收所述光發(fā)射裝置發(fā)出的光信號并生成光強信號；所述光發(fā)射裝置和光接收裝置分別位于被測基板兩側(cè)； 信號處理裝置，與所述光接收裝置連接，對所述光接收裝置接收的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。
2.如權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述光發(fā)射裝置進一步包括接收被被測基板反射的光信號并生成光強信號的受光單元。
3.如權(quán)利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述信號處理裝置還與所述受光單元連接，分別對所述光接收裝置和受光單元生成的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。
4.如權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，進一步包括與所述光發(fā)射裝置和光接收裝置固定、沿被測基板的金屬層線寬方向相對于所述被測基板移動的掃描移動裝置。
5.如權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，進一步包括供所述被測基板固定、沿被測基板的金屬層線寬方向相對于所述光發(fā)射裝置和光接收裝置移動的掃描移動裝置。
6.如權(quán)利要求4或5所述的測量裝置，其特征在于，進一步包括向所述掃描移動裝置發(fā)送移動控制信號的移動控制裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的測量裝置，其特征在于，所述移動控制裝置還與所述信號處理裝置連接，向所述信號處理裝置發(fā)送移動參數(shù)信號，所述信號處理裝置根據(jù)所述移動參數(shù)信號對所述光強信號進行處理，得到所述測量結(jié)果。
專利摘要本實用新型公開了一種金屬層線寬測量裝置，包括光發(fā)射裝置，包括發(fā)射檢測光信號的發(fā)光單元；光接收裝置，與所述光發(fā)射裝置相對設(shè)置，接收所述光發(fā)射裝置發(fā)出的光信號并生成光強信號；所述光發(fā)射裝置和光接收裝置分別位于被測基板兩側(cè)；信號處理裝置，與所述光接收裝置連接，對所述光接收裝置接收的光強信號進行處理，得到測量結(jié)果。本實用新型通過光發(fā)射裝置和光接收裝置保持同步掃描金屬膜層，通過分析光發(fā)射裝置和光接收裝置接收到的信號強度變化，計算金屬層線寬值，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。
文檔編號G01B11/02GK202903138SQ20122063733
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月27日
發(fā)明者劉杰, 曲泓銘, 安峰, 張光明, 李偉, 宋泳珍, 鄭云友, 吳成龍 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司