測試半導(dǎo)體電源開關(guān)的系統(tǒng)和方法
【專利摘要】用于測試包括功率組件的切割的半導(dǎo)體管芯（3）的測試構(gòu)件（A）。所述構(gòu)件包括可連接到電流源（5）的電流輸入，用于給所述功率組件提供大于50安培的電流；可連接到信號分析器的信號輸出（60），用于接收當提供所述電流時感測到的表示了所述功率組件的感測參數(shù)的信號；適于支撐所述半導(dǎo)體管芯（3）的第一接觸單元（1）；相對于所述第一接觸單元可移動安裝的第二接觸單元（2）；以及至少一個導(dǎo)電性彈性護套（4），適于當所述第二接觸單元（2）在測試期間被帶向所述半導(dǎo)體管芯（3）時被夾在所述半導(dǎo)體管芯（3）和所述第二接觸單元（2）之間，所述護套當因此被夾住的時候形成了從所述電流輸入通過所述管芯的至少一部分的電路徑的一部分。
【專利說明】測試半導(dǎo)體電源開關(guān)的系統(tǒng)和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測試構(gòu)件和一種測試包括高功率組件的切割的半導(dǎo)體管芯的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體高功率組件的測試是一項具有挑戰(zhàn)性的任務(wù)。測試的可靠性和一致性取決于流經(jīng)管芯的電流量，更具體地說(對于包括功率場效應(yīng)晶體管(FET)的管芯)，是從漏極端子到源極端子的電流量?？煽啃院鸵恢滦赃M一步取決于在測試期間電源脈沖的持續(xù)時間。
[0003]在測試切割的半導(dǎo)體管芯的已知技術(shù)中，使用了包括了容納用于連接柱塞和接觸點的微彈簧的管的可移動探頭，也稱為“彈簧頂桿(pogos)”，它們例如與功率組件的源極端子物理接觸以便注入期望的電流。該物理接觸是必需的以維持高數(shù)量電流，但該物理接觸可能損害半導(dǎo)體管芯的表面。
[0004]可以從美國專利5，672，979中得知在管芯和測試端子之間使用導(dǎo)電性兼容彈性體。然而，這種彈性體是各向異性導(dǎo)電的，這意味著當它被壓縮的時候，它僅在壓縮方向上導(dǎo)電。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]如所附權(quán)利要求中所描述的，本發(fā)明提供了一種測試構(gòu)件和方法。
[0006]本發(fā)明的具體實施例在從屬權(quán)利要求中被陳述。
[0007]參照下文中描述的實施例，本發(fā)明的這些或其它方面將會很明顯并且被闡述。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]參照附圖，僅僅通過舉例的方式，本發(fā)明的進一步細節(jié)、方面和實施例將被描述。在附圖中，類似的參考數(shù)字被用于表示相同的或功能相似的元件。附圖中的元件為了簡單以及清晰而被圖示，并且不一定按比例繪制。
[0009]圖1示意性地示出了測試構(gòu)件的實施例的示例的框圖。
[0010]圖2示意性地示出了適于圖1的示例的接觸器的實施例的示例的立體圖。
[0011]圖3示意性地示出了圖2的接觸器的部分分解圖。
[0012]圖4示意性地示出了圖2的接觸器沿著圖3的線IV-V的截面圖。
[0013]圖5示意性地示出了接觸器的另一個示例的截面圖。
[0014]圖6示出了用于測試切割的半導(dǎo)體管芯的方法的示例的流程圖。
【具體實施方式】
[0015]圖1示出了測試構(gòu)件A的實施例的示例。所示出的示例包括可連接到高電流電流源5的輸入和可連接到信號分析器的信號輸出60。經(jīng)由該輸入，高電流可以被提供給功率組件。通過該輸出，信號可以被信號分析器接收，所述信號表示當提供電流的時候感測到的功率組件的感測參數(shù)。
[0016]所示出的示例進一步包括接觸器，它帶有適于在測試期間支撐切割的半導(dǎo)體管芯3的第一接觸單元I。管芯3包括待測試的高功率組件。接觸器進一步包括相對于所述第一接觸單元I可移動安裝的第二接觸單元2。測試構(gòu)件A進一步包括導(dǎo)電性彈性護套4，如稍后將要解釋的，當所述第二接觸單元2被帶向所述半導(dǎo)體管芯3的時候，導(dǎo)電性彈性護套4適于被夾在所述半導(dǎo)體管芯3和所述第二接觸單元2之間。
[0017]當被夾住的時候，護套4在保護管芯的接觸表面的同時形成了從所述電流輸入通過至少一部分管芯3的部分電路徑。當被夾住的時候，護套4有彈性地發(fā)生變形，并因此吸收了由管芯3上的接觸單元2所施加的壓力的至少一部分，從而減少了管芯3的部分的物理變形以及因此損害管芯的風(fēng)險。護套4進一步分散其表面上電流源所提供的電流，從而避免了在管芯3的表面上具有過大電流密度的峰值電流位置。
[0018]已知與常規(guī)“彈簧頂桿”物理接觸來創(chuàng)建幾微米的表面印記，這在后來的接合方面可以產(chǎn)生問題。提供彈性護套4可能會降低這種印記的發(fā)生和深度。此外，彈性護套4還可改善“彈簧頂桿”的使用期，當多個管芯3被測試的時候，“彈簧頂桿”必須反復(fù)接觸。
[0019]管芯3可以是需要被測試的任何類型的管芯。在所示出的示例中，管芯3是切割的裸管芯。然而，管芯可以提供在外殼中，例如，該外殼使得表面與暴露在外部的護套4接觸。管芯3包括高功率組件，在該示例中是如電源開關(guān)一樣進行操作的功率場效應(yīng)晶體管(FET)。然而，管芯3可包括除開關(guān)以外的高功率組件，諸如二極管、放大器等等，并且還可包括除FET以外的半導(dǎo)體器件，諸如例如絕緣柵雙極晶體管(IGBT)、雙極結(jié)點晶體管、高電子遷移率晶體管、半導(dǎo)體閘流管或其它合適的半導(dǎo)體器件。如果它們要求高電流(50安培或更大)來測試，則認為組件是高功率。
[0020]測試構(gòu)件A可以以適合于特定實現(xiàn)的任何方式被實現(xiàn)。例如，可以使用諸如市售的測試儀的測試儀，諸如以下中的一個:
[0021]Teradyne, Inc of North Reading, Massachusetts United States 出售的帶有PVI300 模塊的 Flex 或 uFlex，
[0022]Telco Testing Solutions, LLC of Tempe, Arizona United States 出售的帶有4PG 的 MST，
[0023]SPEA S.p.A.0f Volpiano (TO), Italy 出售的帶有 IPS 儀器的 430 或 600 系列。
[0024]測試構(gòu)件可使用市售的接觸器，諸如由La Chaux-de-Fonds, Switzerland的Ismeca半導(dǎo)體制造的接觸器。
[0025]在圖1的示例中，高電流電流源5被連接到第一接觸單元I和第二接觸單元2，以便在測試期間，從電流源5通過第一接觸單元1、至少一部分管芯3、保護套4以及通過第二接觸單元2形成電流路徑。在這個示例中，在測試期間，第二接觸單元2與導(dǎo)電性護套4的第一表面43物理接觸，因此在單元和護套之間建立了導(dǎo)電性接觸。在測試期間，護套4的第二表面44與管芯3物理接觸，因此在護套4和管芯3之間建立了導(dǎo)電性接觸。在測試期間，管芯3進而與第一接觸單元I物理接觸，因此在第一接觸單元I和管芯3之間建立了導(dǎo)電性接觸。
[0026]導(dǎo)電性彈性保護套4可以以適合于特定實現(xiàn)的任何方式被實現(xiàn)并且由任何合適的材料制成。護套4可以具有諸如圓形、方形等等任何合適的形狀，以及尺寸。在所示出的示例中，保護套被提供有第一開孔41和至少一個附加開孔42，該附加開孔的功能將在下面進行解釋。護套4可能有任何合適的厚度。護套4可以例如具有至少0.1毫米和/或小于2毫米的厚度，諸如0.2毫米。
[0027]護套4可以具有任何合適的尺寸，并且例如具有大于第二接觸單元2的接觸表面的表面等效r。由此，可以確保通過接觸單元2提供的任何電流經(jīng)過保護套4，并且在管芯3上沒有由接觸單元2產(chǎn)生的直接物理接觸壓力。
[0028]此外，護套4可以具有與管芯3的電接觸表面，其中該表面大于與第二接觸單元2的電接觸表面-這盡可能均勻地擴散了電流，以降低由于峰值電流位置和過大電流密度而引起的電弧風(fēng)險。
[0029]保護套4可以例如由一種材料制成，該材料表現(xiàn)出比如耐高溫的熱性能，它是通過經(jīng)受至少125°C的永久溫度和至少150°C的峰值溫度，優(yōu)選地是180°C ;以及有助于排散在測試期間產(chǎn)生的焦耳效應(yīng)能量的足夠?qū)嵝浴?br> [0030]例如，保護套4可以由導(dǎo)電性彈性體制成。護套4例如可以是薄片材，其中該薄片材由裝有金屬或諸如鋼和/或銅粒子的其它導(dǎo)電粒子的彈性材料制成以便表現(xiàn)出良好的導(dǎo)電性。已找到一種合適的材料，即帶有鍍銀銅粒子的基于硅的彈性體，諸如由Getelec ofBuc出售的產(chǎn)品參考GT1000的材料。
[0031]在本領(lǐng)域中已知各向異性導(dǎo)電彈性體，例如在US5672979中，但它們本質(zhì)上不適于用作導(dǎo)電性彈性護套4。它們需要壓力來導(dǎo)電，并且通常僅用于信號的連接。為了繼續(xù)加熱到最小，電氣路徑中的IR壓降應(yīng)盡可能保持低-這意味著如果各向異性導(dǎo)電彈性體被用于高電流測試，則將需要很高的壓力來減少加熱，但是增加壓力就增加了對管芯接觸表面造成損害的風(fēng)險。此外，流經(jīng)各向異性導(dǎo)電彈性體的電流被局限在壓力之下的區(qū)域內(nèi)，這就增加了峰值電流位置和過大電流密度的風(fēng)險。
[0032]當?shù)蛪罕幻鞔_肯定的時候，保護套4可以具有高電導(dǎo)，或可以具有不受壓力影響的電導(dǎo)率。選擇一種允許電流在任一方向上流動的材料可以是有利的，使得相同的護套4可以被用于不同類型的高功率組件，例如，P-類型或N-類型。
[0033]它可以是單層或多層材料，例如多層不同組成的層壓。而且，多個保護套可以被堆疊并且插入在管芯表面和第一和/或第二接觸單元之間。護套4可以包括在片材兩邊以這樣一種方式嵌入在彈性材料中的金屬網(wǎng)或金屬網(wǎng)格，其中至少一個部分網(wǎng)格暴露出來以及存在位于兩邊之間的導(dǎo)電接觸，同時彈性材料吸收了施加在片材表面上的壓力。而且，例如，保護套4可以由彈性導(dǎo)電高分子制成。而且，保護套可以是例如橡膠的一層或多層彈性材料的片材，其中細金屬線在該片材的兩個表面之間延伸。本領(lǐng)域技術(shù)人員將認識到護套可以以符合所需導(dǎo)電性和彈性的任何其它合適的方式被實現(xiàn)。
[0034]此外，護套4可以被提供有管芯并且被封裝在一起，例如，以當在管芯上提供接合線的時候保護管芯。因此，護套4可以是包括管芯的構(gòu)件的一部分，并且隨后被封裝以及根據(jù)需要相對于管芯和/或外殼被永久固定，其中管芯和護套4被封裝在所述外殼中。
[0035]接觸器可以以適合于特定實現(xiàn)的任何方式被實現(xiàn)。雖然在該說明書中，術(shù)語“接觸器”被用于指一部分測試構(gòu)件，但是為了方便起見，將明顯的是，其一些部分可形成測試構(gòu)件的不可缺少的部分。參照圖2，其中示出的接觸器的示例包括第一接觸單元I和第二接觸單元2。管芯3在圖2中未示出。當開始測試的時候，第一接觸和第二接觸朝向彼此移動，其中保護套4被放置在管芯和第二接觸單元2之間，以便建立上面解釋的物理接觸并且護套4被夾在第二接觸單元2和管芯之間。
[0036]一旦建立了電路徑，則可以經(jīng)由電流路徑通過管芯發(fā)送高電流并且可以觀察到管芯的參數(shù)。在圖1的示例中，測試構(gòu)件包括放置有傳感器輸入61的傳感器6，以便可以感測管芯3的期望的參數(shù)。傳感器6被連接到輸出60以便允許信號分析器接收表示感測到的參數(shù)的信號，諸如管芯的一些部分上的溫度、電壓降等等。
[0037]在圖2所示出的示例中,第一接觸單元I具有平坦的接觸表面11,該表面實質(zhì)上平行于支撐體9的支撐平面P1，支撐體9支撐第一接觸單元I。如在圖3和圖4中更詳細示出的，管芯3在管芯的底表面上與接觸表面11接觸，該底表面通常由基板的底表面形成，其中已經(jīng)在該基板內(nèi)和/或基板上形成功率組件。
[0038]第二接觸單元2可以以適合于特定實現(xiàn)的任何方式被實現(xiàn)，并且如所圖示的，多虧互補支撐體19圍繞支撐體9，可以相對于第一接觸單元I (以及第一接觸單元I的支撐體9)可旋轉(zhuǎn)安裝，繞著與接觸表面11平行的X軸轉(zhuǎn)動。然而，在替代實施例中，互補支撐體19和第二接觸單元2例如使用導(dǎo)軌布置也可滑動安裝在支撐體9上或以其它方式相對于第一接觸單元I是可移動的。
[0039]如圖3中所示，第二接觸單元2包括至少一個或幾個可移動探頭21、23、24，也簡稱為“彈簧頂桿”。彈簧頂桿具有各自的尖端或接觸表面22，它們相對于支撐件19是可移動的，如下面更詳細地解釋的。
[0040]在所示出的示例中，彈簧頂桿包括可滑動安裝、并在方向Z上延伸的較大的可移動探頭21，其中方向Z垂直于互補支撐件19的主平面P2。例如通過如本領(lǐng)域已知的彈性部件(未示出)、彈簧等等，較大的可移動探頭21中的每一個在遠離第二接觸單元2的主體19的方向上被偏置，在該示例中是平行于探頭21的縱向方向。如在此所描繪的，較大的可移動探頭21中的每一個包括實質(zhì)上是圓柱形的接觸部件51和導(dǎo)桿52，其中接觸部件51帶有實質(zhì)上是平坦的、在此被稱為“第二接觸表面22”的接觸表面22。
[0041]第二接觸單元2進一步包括也以類似方式可滑動安裝的較小的可移動探頭23、24。較小的可移動探頭23、24展現(xiàn)了與較大的可移動探頭所描述的類似形狀并且以類似方式向下偏置，但是它們不意在驅(qū)動高電流。在所示出的示例中，它們不接觸保護套4并且穿過開孔41、42直接接觸管芯3的表面。
[0042]探頭21、23、24適于通過將其移動到與平面P2平行的合適位置以及選擇接觸表面22的合適尺寸來接觸管芯3上的電觸頭。在測試期間施加的壓力可以被偏壓元件調(diào)整-將接觸表面22放置成Z和/或選擇合適的彈性部件和/或調(diào)節(jié)由彈性部件施加的力。探頭
21、23、24隨后被連接到合適的電流或電壓源、或診斷輸入。
[0043]在所示出的示例中，管芯3具有由MOS FET晶體管形成的高功率半導(dǎo)體開關(guān)。將要在測試構(gòu)件A上測試的管芯3具有帶有漏極觸頭31的底面、帶有源極觸頭32和柵極觸頭33的頂面。較小的可移動探頭23、24包括意在與管芯的柵極觸頭33連接的第一輔助觸頭23，以及至少一個優(yōu)選地兩個意在與源極觸頭32連接的第二輔助探頭24。第一輔助觸頭23能夠向柵極觸頭33提供控制電壓。第二輔助探頭24能夠感測源極觸頭32上的電壓和溫度，例如用于診斷目的，并且可以例如被連接到圖1中所示出的傳感器輸入61。
[0044]涵蓋與保護套的所有連接可能會導(dǎo)致過大泄漏電流，例如超過InA，這可能會影響測試的準確性。開孔41、42意味著導(dǎo)電性保護套4并沒有涵蓋所有連接。開孔面向每一個低電流或診斷連接，在高電流連接和低電流或診斷連接之間提供了高度絕緣。低電流連接也被認為包括沒有電流流過的連接，諸如到柵極的測試連接。
[0045]通過防止任何意外的或不想要的效果，諸如電阻、電壓降、電容接觸或寄生電容，直接接觸管芯3還可能減少測量和測試誤差。
[0046]執(zhí)行測試以使高電流流經(jīng)管芯?？梢赃B續(xù)地或以脈沖的形式提供電流。為此目的，測試儀適于提供可以從OA變化到例如50A或更大、100A或更大、或200A或更大的最大值。測試儀還可以適于提供例如500A或更大、IkA或更大、或2kA或更大的電流。在圖3-5的示例中，取決于管芯3上的FET的P-類型或N-類型，電流可以例如從源極32觸頭流到漏極觸頭31，或從漏極觸頭31流到源極32觸頭。例如，源極到漏極的電流可以被用于主體二極管測試，以及從漏極到源極的電流可以被用于導(dǎo)通電阻(RDS-on)和能量測試。護套4被插入或“夾”在源極觸頭32和更大的可移動探頭21之間，并因此保護了管芯的接觸表面-護套4避免了由探頭21對觸頭32的物理影響引起的損害和/或由于在管芯3的表面上具有過大電流密度的峰值電流位置而引起的電流引致的損害。應(yīng)注意，護套4在一定數(shù)量的測試周期之后可以被新的護套代替，因為在測試期間在護套4上可能發(fā)生一些損害。
[0047]圖4示出了圖3中的接觸器的示例的更加詳細的示意截面圖。在所示出的示例中，第一接觸表面11經(jīng)由電纜81被鏈接到測試設(shè)備(未示出)，而第二接觸表面22經(jīng)由另一個電纜82以及第一輔助觸頭23也被鏈接到測試設(shè)備。
[0048]第一接觸單元I受到支撐件9的支撐，而管芯3位于第一接觸單元I上并且受到第一接觸單元I的支撐，其中由管芯的底表面形成的漏極觸頭31直接接觸第一接觸表面11。護套4被放置在管芯3的頂表面和第二接觸單元2之間，在這個示例中，該頂表面是由漏極觸頭32和柵極觸頭33形成的。當?shù)诙佑|單元2移向第一接觸單元I的時候，較大的可移動探頭21開始接觸護套4，并且開始擠壓彈性護套4，其然后進而擠壓管芯3的源極觸頭32。因此，建立了通過管芯的電流路徑。
[0049]當?shù)诙佑|單元2移向第一接觸單元I的時候(或反之亦然)，第一輔助觸頭23被放置成面向第一開孔41并且穿過開孔直接接觸管芯的表面，并因此直接擠壓柵極觸頭33，而不接觸護套4。同樣地，第二輔助觸頭24被放置成面向第二開孔42并且穿過開孔直接接觸管芯的表面，并因此直接擠壓源極觸頭而不接觸護套4。上述提到的偏壓元件對每一個移動的觸頭施加了足夠的壓力以保證良好質(zhì)量的接觸。
[0050]一旦第一接觸單元I和第二接觸單元2朝向彼此移動以建立電流路徑，則電流源5可以被控制成根據(jù)適合于特定測試的電流分布提供電流，并且可以感測和分析管芯的期望的參數(shù)。
[0051]參照圖5中，其中示出的示例包括第二導(dǎo)電性彈性保護套40，其類似于在形成漏極觸頭31的示例中的插入在第一接觸表面11和管芯3的底表面之間的第一護套4。因此，管芯在底表面和頂表面都受到保護。
[0052]參照圖6的流程圖，其中示出的示例包括(參照圖6中的塊的//之間的字母):
[0053]/a/-將包括了高功率組件的切割的半導(dǎo)體管芯3置于第一接觸單元I上，
[0054]M-將導(dǎo)電性彈性護套4置于半導(dǎo)體管芯3上，
[0055]Izl-使第二接觸單元2相對于第一接觸單元可移動安裝，以接觸導(dǎo)電性護套4，較大的可移動探頭21偏壓特征給護套4施加了向下的力，以及
[0056]/d/-提供通過護套4在第二接觸單元2和半導(dǎo)體管芯3之間流動的高測試電流，同時用合適的電壓激活柵極觸頭33。
[0057]在/a/之前，在框/aO/中，第二導(dǎo)電性彈性護套40可以被置于第一接觸單元I上，在這種情況下，在框/a/中，半導(dǎo)體管芯3被置于導(dǎo)電性彈性護套40上。
[0058]此外，在框/a/和/aO/之前，在框/aOO/中，上述方法還可以包括提供導(dǎo)電性彈性護套4，其中至少一個開孔41面向管芯3的觸頭。
[0059]在前面的說明中，參照本發(fā)明實施例的特定示例已經(jīng)對本發(fā)明進行了描述。然而，將明顯的是，在不脫離所附權(quán)利要求中所陳述的本發(fā)明的寬范圍精神及范圍的情況下，可做出各種修改和變化。
[0060]由于本發(fā)明說明的實施例可能大部分是通過使用本領(lǐng)域所屬技術(shù)人員所熟知的電子組件和電路被實施，所以不會在比上述所說明的認為有必要的程度大的任何程度上解釋細節(jié)，以用于對本發(fā)明基本概念的理解以及認識并且為了不混淆或偏離本發(fā)明所教之內(nèi)容。
[0061]此外，在描述和權(quán)利要求中的術(shù)語“前面”、“后面”、“頂部”、“底部”、“上面”、“下面”
等等，如果有的話，是用于描述性的目的并且不一定用于描述永久性的相對位置。應(yīng)了解術(shù)語的這種用法在合適的情況下是可以互換的以便本發(fā)明所描述的實施例例如，能夠在其它方向而不是本發(fā)明所說明的或在其它方面進行操作。
[0062]然而，其它修改、變化和替代也是可能的。說明書和附圖相應(yīng)地被認為是從說明性的而不是嚴格意義上來講的。
[0063]在權(quán)利要求中，放置在括號之間的任何參照符號不得被解釋為限制權(quán)利要求。單詞“包括”不排除除了權(quán)利要求中列出的那些之外的其它元件或步驟的存在。此外，如在此使用的詞語“一”或“一個”被定義為一個或不止一個。而且，即使當同一權(quán)利要求包括介紹性短語“一個或多個”或“至少一個”以及諸如“一”或“一個”的不定冠詞時，在權(quán)利要求中諸如“至少一個”以及“一個或多個”的介紹性短語的使用也不應(yīng)該被解釋成暗示通過不定冠詞“一”或“一個”引入的其它權(quán)利要求元素將包括這樣介紹的權(quán)利要求元素的任何特定權(quán)利要求限制成僅包含一個這樣的元素的發(fā)明。對于定冠詞的使用也是如此。除非另有說明，使用諸如“第一”以及“第二”的術(shù)語來任意地區(qū)分這樣的術(shù)語描述的元素。因此，這些術(shù)語不一定旨在指示這樣的元素的時間或其它優(yōu)先次序。在相互不同的權(quán)利要求中記載某些措施的事實并不指示這些措施的組合不能被用于獲取優(yōu)勢。
【權(quán)利要求】
1.一種用于測試包括高功率組件的切割的半導(dǎo)體管芯(3)的測試構(gòu)件(A)，所述構(gòu)件包括: 電流輸入，所述電流輸入可連接到電流源(5 )，用于向所述高功率組件提供高電流； 第一接觸單元(I )，所述第一接觸單元(I)適于支撐所述半導(dǎo)體管芯(3); 第二接觸單元(2)，所述第二接觸單元(2)相對于所述第一接觸單元可移動安裝； 至少一個導(dǎo)電性彈性護套(4)，所述至少一個導(dǎo)電性彈性護套(4)適于當所述第二接觸單元(2)在測試期間被帶向所述半導(dǎo)體管芯(3)時被夾在所述半導(dǎo)體管芯(3)和所述第二接觸單元(2)之間，所述護套(4)當因此被夾住時形成了從所述電流輸入通過所述高功率組件的至少一部分的電路徑的一部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試構(gòu)件，包括信號輸出(60)，所述信號輸出(60)可連接到信號分析器，用于接收表示當提供所述高電流時感測到的所述高功率組件的感測參數(shù)的信號。
3.根據(jù)任何權(quán)利要求1或2中的任一項所述的測試構(gòu)件，其中所述護套(4)具有與所述管芯(3)的電接觸表面，與所述管芯(3)的電接觸表面大于與所述第二接觸單元(2)的電接觸表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項所述的測試構(gòu)件，其中所述高功率組件是功率FET晶體管，其中所述第一接觸單元(I)包括適于與所述半導(dǎo)體管芯(3)上的漏極觸頭(31)接觸的至少一個第一接觸表面(11)，并且其中所述第二接觸單元(2)包括適于與所述半導(dǎo)體管芯(3 )上的源極觸頭(32 )接觸的至少一個第二接觸表面(22 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4`中的任一項所述的測試構(gòu)件，其中所述第二接觸單元(2)包括至少一個第一輔助觸頭(23)并且其中所述護套(4)包括適于面向所述半導(dǎo)體管芯(3)的觸頭(33)的第一開孔(41)，由此所述第一輔助觸頭(23)適于直接接觸所述觸頭(33)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測試構(gòu)件，其中所述第二接觸單元(2)進一步包括至少一個第二輔助觸頭(24)，并且其中所述護套(4)進一步包括面向所述第二輔助觸頭(24)的至少一個對應(yīng)的附加開孔(42)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5或6中的任一項所述的測試構(gòu)件，其中:所述功率FET晶體管具有漏極觸頭(31)、源極觸頭(32)以及柵極觸頭(33)， 所述第一接觸單元(I)的所述第一接觸表面(11)適于接觸所述漏極觸頭(31 )， 所述第二接觸單元(2)的所述第二接觸表面(22)適于利用所述護套(4)的插入接觸所述源極觸頭(32)，以及 所述第二接觸單元(2)的所述輔助觸頭(23)適于直接接觸所述柵極觸頭(33)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中的任一項所述的測試構(gòu)件，其中所述護套(4)由裝有鋼和/或銅粒子的彈性材料制成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中的任一項所述的測試構(gòu)件，包括第二導(dǎo)電性彈性護套(40)，所述第二導(dǎo)電性彈性護套(40)適于被夾在所述半導(dǎo)體管芯(3)和所述第一接觸單元(I)之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測試構(gòu)件，其中所述第二護套(40)的各自表面分別與所述第一接觸單元(I)的所述第一接觸表面(11)和所述管芯的底表面直接接觸。
11.一種用于測試形成切割的半導(dǎo)體管芯的一部分的高功率組件的方法，所述方法包括: /a/-將所述半導(dǎo)體管芯(3 )置于具有第一接觸表面(11)的第一接觸單元(I)上， /b/-將導(dǎo)電性彈性護套(4)置于所述半導(dǎo)體管芯上， /c/-使第二接觸單元(2)相對于所述第一接觸單元可移動安裝，以接觸所述護套(4)，所述第二接觸單元(2)具有第二接觸表面(22)，以及 /d/-提供通過所述護套(4)在所述半導(dǎo)體管芯和所述第二接觸單元(2)之間流動的高測試電流。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，包括:在/a/之前， /aO/-將第二導(dǎo)電性彈性護套(40)置于所述第一接觸單元(I)上，并且其中在步驟/a/中，所述半導(dǎo)體管芯(3)被置于所述第二導(dǎo)電性護套(40)上，由此所述測試電流通過所述第二護套(40)在所述第一接觸單元(I)和所述半導(dǎo)體管芯之間以及通過所述護套(4)在所述半導(dǎo)體管芯和所述第二接觸單元(2)之間流動。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，包括:在/a/之前， /aOO/-提供護套以及將其形成至切割的半導(dǎo)體管芯(3)的所述表面，其中至少一個開孔(41)面向所述半導(dǎo)體管芯(3)的柵極觸頭(33)。
14.一種導(dǎo)電性彈性護套，所述導(dǎo)電性彈性護套適于根據(jù)任何權(quán)利要求1-10中的任何一項所述的測試構(gòu)件。
15.一種測試構(gòu)件，包括: 根據(jù)權(quán)利要求14所述的導(dǎo)電性彈性護套，以及 包括功率組件的切割的半導(dǎo)體管芯。
【文檔編號】G01R1/04GK103492886SQ201280019522
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2012年4月19日 優(yōu)先權(quán)日:2011年4月21日
【發(fā)明者】帕特里克·黑林格 申請人:飛思卡爾半導(dǎo)體公司