無接觸式電容間距傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及用于簡單地并且可靠地、電容式地、無接觸地并且非破壞性地檢查在襯底（1）上或中或浮動地在襯底（1）中產(chǎn)生的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)（3）的設(shè)備和方法。根據(jù)本發(fā)明使用具有至少兩個傳感器電極面（9）的電容傳感器（11），這些傳感器電極面以彼此不同的、恒定的間距平行于襯底（1）的表面并且相對于襯底（1）的表面并排地被布置。
【專利說明】無接觸式電容間距傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的無接觸的并且非破壞性的檢查的設(shè)備和方法，這些導(dǎo)電結(jié)構(gòu)在襯底上或中或在襯底中浮動地被產(chǎn)生。
[0002]本發(fā)明特別是涉及在分別沿著面延伸的襯底上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的無接觸的并且非破壞性的檢查。相應(yīng)的襯底例如出現(xiàn)在所謂的顯示器底板或印刷電路中。相應(yīng)結(jié)構(gòu)的電氣檢驗在整個顯示器完成之前只能有條件地進(jìn)行。這首先適用于具有毫米或微米范圍內(nèi)的長度或與襯底的邊緣沒有直接接觸的結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0003]導(dǎo)電結(jié)構(gòu)在該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)被完全包圍在襯底中、與襯底的邊緣或表面沒有直接的接觸并且是電絕緣的時候是浮動的。
[0004]用于檢驗電氣功能的一種可能性是使用常規(guī)的探針。在此將針按壓到襯底中的相應(yīng)的導(dǎo)電面上并且建立電連接。隨后，針接觸之間的結(jié)構(gòu)可以關(guān)于導(dǎo)電性或在功能方面被研究。然而這樣的方法具有一些缺點。非破壞性的接觸是不可能的或僅能有條件地進(jìn)行。此外，接觸本身同樣是相對昂貴的。因此必須精確地校準(zhǔn)針并且以所定義的壓力保證接觸。在此針同樣遭受到機械磨損。由于這個昂貴的過程，很多面的檢查和因此“在線”檢查只能有條件地有效地實現(xiàn)。
[0005]另一種常規(guī)的測量方法是光學(xué)檢查。該光學(xué)檢查不能作出關(guān)于電特性或關(guān)于沒有缺陷的功能的任何陳述。然而，該光學(xué)檢查適合于材料檢查。由此可以檢驗結(jié)構(gòu)的橫向幾何形狀。然而不能可靠地識別導(dǎo)致錯誤行為的、導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中的裂紋或位于較深處的印制導(dǎo)線之間的下面的層中的短路。
[0006]另一種常規(guī)的解決方案是所謂的(zugenannt)無接觸式電容檢查。在此，在襯底表面和傳感器之間構(gòu)成依賴于地點的電容。借助該電容耦合隨后可以探測電壓和電容變化。由此可以對襯底的表面進(jìn)行電容式掃描或計算在襯底表面上所施加的電壓。為了相應(yīng)的測量，必須相應(yīng)地為襯底供應(yīng)信號。在電容式表面掃描的情況下，到襯底的信號饋送同樣可以電容式地通過導(dǎo)電的支承面來激勵。由于電容耦合，測量信號對傳導(dǎo)能力或電容的變化作出反應(yīng)并且因此比相應(yīng)的光學(xué)方法更好地適合于相應(yīng)結(jié)構(gòu)的電氣檢查。圖2示出該常規(guī)的方法。然而，在該方法中不可能檢查很小的、未電連接的、即浮動的結(jié)構(gòu)。因此不能對這些結(jié)構(gòu)直接加載信號。在這種情況下，通過襯底容器(Substrataufnahme)的電容稱合是不可能的。對于可測量的信號，襯底容器的耦合面必須決定性地大于傳感器的耦合面，否則不能測量出測量結(jié)果“結(jié)構(gòu)存在”和“結(jié)構(gòu)不存在”之間的差別。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的任務(wù)是提供用于無接觸地并且非破壞性地檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的設(shè)備和方法，使得在x，y，Z笛卡爾坐標(biāo)系中簡單地并且可靠地檢測導(dǎo)電結(jié)構(gòu)沿著Z軸的延伸和/或?qū)щ娊Y(jié)構(gòu)沿著X，y平面的延伸。應(yīng)該能夠有效地檢查多個導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。應(yīng)該可靠地識別例如導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中的裂紋或位于襯底中的印制導(dǎo)線之間的短路。應(yīng)該能夠檢查襯底上或中的電氣結(jié)構(gòu)和浮動的電氣結(jié)構(gòu)。應(yīng)該能夠檢查例如顯示器襯底和印刷電路。
[0008]該任務(wù)通過根據(jù)主權(quán)利要求的裝置和根據(jù)附加權(quán)利要求的所有方法來解決。
[0009]根據(jù)第一方面，提供用于電容式地?zé)o接觸地并且非破壞性地檢查多個在襯底上或中產(chǎn)生的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的設(shè)備，具有定位襯底的導(dǎo)電的襯底支架，借助激勵信號產(chǎn)生裝置所產(chǎn)生的激勵信號被施加到該襯底支架上；被定位在襯底的背離襯底支架的側(cè)上的、具有至少兩個以到襯底的表面的彼此不同的、恒定的間距平行于該表面并且相對于該表面并排地被布置的傳感器電極面的電容傳感器；用于檢測相應(yīng)的傳感器電極面處的相應(yīng)的傳感器測量信號的測量裝置；用于借助所檢測的傳感器測量信號確定導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的空間延伸的分析裝置。
[0010]根據(jù)第二方面，提供用于電容式地?zé)o接觸地并且非破壞性地檢查多個在襯底上或中被產(chǎn)生的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的方法，該方法具有下述步驟。借助導(dǎo)電的襯底支架定位襯底，在該襯底支架上施加借助激勵信號產(chǎn)生裝置所產(chǎn)生的激勵信號；在襯底的背離襯底支架的側(cè)上定位具有至少兩個以彼此不同的、恒定的間距平行于襯底的表面并且相對于該表面并排地被布置的傳感器電極面的電容傳感器；借助測量裝置檢測相應(yīng)的傳感器電極面處的相應(yīng)的傳感器測量信號；借助分析裝置來實施借助所檢測的傳感器測量信號對導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的空間延伸的確定。
[0011]根據(jù)本發(fā)明，使用具有傳感器電極的三維構(gòu)成的電容傳感器。在此使用至少兩個相鄰的傳感器電極，其中所述傳感器電極互相垂直地具有偏移。根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備為了測量必須在要測量的面之上以恒定的間距被定位或被移動。在此，在根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備和襯底的導(dǎo)電面之間形成電容耦合。傳感器電極和測量對象之間的電容耦合定義測量電容。該測量電容在高度偏移的傳感器電極之間不同地得出結(jié)果。傳感器電極的傳感器電極面是垂直地高度偏移的。在否則相同的條件下，測量電容的該差別依賴于傳感器電極面的高度偏移和在傳感器和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)之間的間距。因為傳感器電極面的高度偏移是已知的，所以可以由測量信號計算導(dǎo)電結(jié)構(gòu)到傳感器的間距并且可以確定導(dǎo)電結(jié)構(gòu)是否存在。
[0012]根據(jù)本申請，相互高度偏移地布置傳感器電極，使得電容傳感器三維地構(gòu)成。以這種方式可以由測量信號計算間距。根據(jù)本發(fā)明可以實現(xiàn)直接到導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的簡單的絕對的間距測量并且由此推導(dǎo)地實現(xiàn)高度分布(H0henpix)fil)的測量。這不要求直接接觸襯底以便產(chǎn)生信號。同樣可以由例如可以是卡盤的襯底容器電容地包含信號。同樣可以在不導(dǎo)電的襯底中或穿過電氣層測量和檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。只要傳感器電極面完全或以相同的部分與導(dǎo)電結(jié)構(gòu)重疊，根據(jù)本發(fā)明的方法就不依賴于結(jié)構(gòu)大小進(jìn)行測量。因為間距測量只依賴于兩個測量電流的比值，所以可以在結(jié)構(gòu)上施加任意的電信號。如果不施加信號，那么就沒有再充電電流。在這種情況下，傳感器必要時可以被保持在振蕩電位上。本發(fā)明不需要對激勵電壓的高度的認(rèn)識。依賴于工作間距，高度偏移可以適配于測量條件并且被優(yōu)化。
[0013]結(jié)合從屬權(quán)利要求來請求保護(hù)其它的有利的擴展方案。
[0014]根據(jù)一種有利的擴展方案，可以構(gòu)造兩個傳感器電極面并且分析裝置具有除法器并且借助兩個傳感器測量信號相互的比值確定傳感器到導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的間距h。
[0015]根據(jù)另一種有利的擴展方案，分析裝置可以確定，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)是否在傳感器電極面之一和襯底支架之間延伸。[0016]根據(jù)另一種有利的擴展方案，分析裝置可以在確定間距h大于閾值的情況下確定，沒有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)在被分配的傳感器電極和襯底支架之間延伸。該閾值例如可以是傳感器和襯底支架之間的最大可能的間距。
[0017]根據(jù)另一種有利的擴展方案，可以在傳感器電極面之一的平面內(nèi)在傳感器上構(gòu)造至少一個導(dǎo)電屏蔽層?？梢栽趯?dǎo)電屏蔽層上施加地電位。
[0018]根據(jù)另一種有利的擴展方案，至少一個導(dǎo)電屏蔽層可以代替處于相同平面內(nèi)的傳感器電極面。
[0019]根據(jù)另一種有利的擴展方案，激勵信號可以是交流電壓和/或電流信號。
[0020]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器測量信號可以分別是再充電電流。
[0021]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器電極面和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以平行于正交坐標(biāo)系的X，y平面延伸。
[0022]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器電極面可以是同樣大的。
[0023]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器電極面可以是彼此完全一致的。
[0024]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器電極面可以共同對應(yīng)于襯底的表面。
[0025]根據(jù)另一種有利的擴展方案，襯底可以是液晶顯示器(IXD, Liquid CrystalDisplay)的屏幕玻璃襯底并且導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以是印制導(dǎo)線或像素面。同樣，襯底和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以構(gòu)造印刷電子電路。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以是TFT電極(薄膜晶體管(Thin Film Transistor)電極)上的印制導(dǎo)線或像素面。
[0026]根據(jù)另一種有利的擴展方案，相對移動裝置可以將襯底的表面和傳感器以相對于彼此恒定的間距相對移動到多個測量位置中。
[0027]根據(jù)另一種有利的擴展方案，傳感器可以具有多個傳感器電極面組，并且同時提供多個測量位置，其中所述傳感器電極面組以規(guī)則的圖案覆蓋襯底的表面。
[0028]根據(jù)另一種有利的擴展方案，規(guī)則的圖案可以行狀地覆蓋襯底的表面。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]借助實施例，結(jié)合圖進(jìn)一步描述本發(fā)明。其中:
圖1a和Ib示出要檢查的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的實施例；
圖2a到2c示出常規(guī)的無接觸式電容檢查的實施例；
圖3示出根據(jù)本發(fā)明裝置的一個實施例；
圖4a到4c示出根據(jù)本發(fā)明的測量的實施例；
圖5示出根據(jù)本發(fā)明的間距計算的一個實施例；
圖6不出有利的傳感器電極的實施例；
圖7a和7b示出根據(jù)本發(fā)明的方法的兩個測量實例。
【具體實施方式】
[0030]圖1a和Ib示出要檢查的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的實施例。圖1a示出作為導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的一個實施例的一個導(dǎo)電表面。附圖標(biāo)記3在此表示該導(dǎo)電表面。圖1b示出導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3的其它的實施例。因此導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3可以在襯底I中被構(gòu)造。替代地，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)同樣可以在襯底I上或下被構(gòu)造。該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3同樣可以浮動地被提供。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)特別小的浮動的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)面3的無接觸的檢查并且此外從電容傳感器到根據(jù)圖1a的襯底I的結(jié)構(gòu)化表面的間距的測量。通過這樣的間距測量，可以測量作為根據(jù)圖1a的三維地導(dǎo)電的結(jié)構(gòu)化表面3的第三維度的高度。以這種方式可以實行分布測量。同樣可以幾何地、更確切地說同樣在第三維度中測定根據(jù)圖1b的電介質(zhì)內(nèi)部的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3。
[0031]圖2a到2c示出常規(guī)的無接觸的電容檢查的實施例。在襯底I的表面和傳感器之間構(gòu)造依賴于地點的電容。借助該電容耦合可以隨后探測電壓和電容變化。此外，在接地面8和襯底容器5之間構(gòu)造有電容。圖2a示出沒有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的裝置，圖2b示出具有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3的裝置并且圖2c示出具有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3的常規(guī)的裝置，該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的面對應(yīng)于襯底容器5的面。
[0032]圖3示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的一個實施例。
[0033]根據(jù)本發(fā)明使用電容傳感器，該電容傳感器提供至少兩個相互平行的、不在一個平面內(nèi)并且相對于要檢查的結(jié)構(gòu)并排的分離的傳感器電極面。在該傳感器處，在其朝向要檢查的結(jié)構(gòu)的側(cè)上，特別有利地分別構(gòu)造分離的傳感器電極，以便產(chǎn)生每個根據(jù)本發(fā)明的傳感器電極面。這樣的傳感器電極在此特別有利地沿著笛卡爾坐標(biāo)系的X，y平面延伸，其中傳感器電極在z方向上的空間延伸是較小的。該差別可以位于例如至少十的一次冪的范圍內(nèi)。以這種方式產(chǎn)生的傳感器電極例如可以作為傳感器電極層被完成。寬度和深度可以在毫米范圍內(nèi)并且厚度可以在微米范圍內(nèi)。電容傳感器的朝向要檢查的結(jié)構(gòu)的表面的走向被構(gòu)造，使得各個平行的傳感器電極層在Z方向上相互偏移并且相對于X，y平面并排。相應(yīng)的傳感器電極或傳感器電極層由傳感器承載，使得電場的場力線僅在傳感器電極或傳感器電極層的朝向襯底的沿著x，y平面在空間上延伸的面處終止或開始。這樣的面被稱為相應(yīng)的傳感器電極面。因此傳感器電極特別有利地被構(gòu)造為傳感器電極層。
[0034]傳感器11為了測量以恒定的間距在襯底I的表面之上被定位或被移動。在此，傳感器11例如可以借助空氣軸承被平放在氣墊上。以這種方式得出恒定的平均的間距，其中間距的變化通過空氣軸承來補償、即被平均。假如要測量的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3存在，那么該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可以被構(gòu)造在襯底I上或中。在傳感器11和優(yōu)選地沿著襯底I的與傳感器電極的面9平行的面延伸的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3之間形成電容耦合Cl和C2。傳感器電極11和測量對象I或3之間的電容耦合定義測量電容。所述測量電容Cl和C2在第一和第二傳感器電極面9之間是不同的。可選地，可以在傳感器11的朝向測量對象I和3的側(cè)上構(gòu)造接地面8。測量電容Cl和C2在高度偏移的(h5henversetzt)傳感器電極面9之間是不同的。在否則相同的條件下，該差別依賴于傳感器電極面9的高度偏移和在傳感器11和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3之間的間距。因為傳感器電極面9的高度偏移d是已知的，所以可以由傳感器測量信號計算導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3到傳感器11的間距h。圖3示出作為襯底支架5的承載并且固定襯底I的導(dǎo)電的襯底容器，在該襯底支架上施加借助激勵信號產(chǎn)生裝置7所產(chǎn)生的激勵信號或激勵信號被饋送到該襯底支架。在襯底I的背離襯底容器的側(cè)上，定位具有至少兩個以到襯底容器5的彼此不同的、恒定的間距被布置的傳感器電極面9的電容傳感器11。測量裝置12檢測相應(yīng)傳感器電極面9的相應(yīng)傳感器測量信號，其中借助分析裝置13，借助激勵信號和所檢測的傳感器測量信號的兩個信號來確定導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3的空間延伸。
[0035]利用電容傳感器11只能直接測量再充電電流。這些再充電電流通過以下等式來描述:
【權(quán)利要求】
1.用于電容式地、無接觸地并且非破壞性地檢查多個在襯底(I)上或中產(chǎn)生的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的設(shè)備，具有: 一定位所述襯底(I)的導(dǎo)電的襯底支架(5)，借助激勵信號產(chǎn)生裝置(7)所產(chǎn)生的激勵信號被施加到所述襯底支架上； 一被定位在襯底(I)的背離所述襯底支架(5)的側(cè)上的、具有至少兩個以彼此不同的、恒定的間距平行于所述襯底(I)的表面并且相對于所述襯底(I)的表面并排地被布置的傳感器電極面(9)的電容傳感器(11)； 一用于檢測相應(yīng)傳感器電極面(9)處的相應(yīng)傳感器測量信號的測量裝置(12)； 一用于借助所檢測的傳感器測量信號來確定導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的空間延伸的分析裝置(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，兩個傳感器電極面(9a、9b)被構(gòu)造并且所述分析裝置(13)具有除法器并且借助兩個傳感器測量信號相互的比值確定所述傳感器(11)到導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的間距(h)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述分析裝置(13)確定，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)是否在所述傳感器電 極面之一(9a)和所述襯底支架(5)之間延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述分析裝置(13)在確定間距(h)大于閾值的情況下確定，沒有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)在被分配的傳感器電極(9a)和所述襯底支架(5)之間延伸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，在所述傳感器電極面之一(9b)的平面內(nèi)，至少一個導(dǎo)電屏蔽層(8 )在所述傳感器(11)上被構(gòu)造。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個導(dǎo)電屏蔽層(8)代替位于相同平面內(nèi)的傳感器電極面(9b )。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述激勵信號是交流電壓和/或電流信號。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，傳感器測量信號分別是再充電電流。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)和所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)平行于正交坐標(biāo)系的X，y平面延伸。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)是同樣大的。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)是彼此完全一致的。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳感器電極面(9)共同對應(yīng)于所述襯底(I)的表面。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述襯底(I)是液晶顯示器(IXD，LiquidCrystal Display)的屏幕玻璃襯底并且所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)是印制導(dǎo)線或像素面。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，相對移動裝置將所述襯底(I)的表面和所述傳感器(11)以相對于彼此恒定的間距相對移動到多個測量位置中。
15.根據(jù)權(quán)利要求1或14所述的設(shè)備，其特征在于，所述傳感器(11)具有多個傳感器電極面(9a、9b)組，并且同時提供多個測量位置，其中所述傳感器電極面組以規(guī)則的圖案覆蓋所述襯底(I)的表面。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其特征在于，所述規(guī)則的圖案行狀地覆蓋所述襯底(I)的表面。
17.用于電容式地、無接觸地并且非破壞性地檢查多個在襯底(I)上或中產(chǎn)生的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的方法，具有以下步驟: 一借助導(dǎo)電的襯底支架(5)定位所述襯底(I )，借助激勵信號產(chǎn)生裝置(7)所產(chǎn)生的激勵信號被施加到所述襯底支架上； 一在所述襯底(I)的背離所述襯底支架(5)的側(cè)上定位具有至少兩個以到所述襯底(I)的表面的彼此不同的、恒定的間距并且相對于所述襯底(I)的表面并排地被布置的傳感器電極面(9)的電容傳感器(11)； 一借助測量裝置(12)檢測相應(yīng)傳感器電極面(9)處的相應(yīng)傳感器測量信號； 一借助分析裝置(13)來實施借助所檢測的傳感器測量信號對導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的空間延伸的確定。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，兩個傳感器電極面(9a、9b)被構(gòu)造并且所述分析裝置(13)具有除法器并且借助兩個傳感器測量信號相互的比值確定所述傳感器(II)到導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的間距(h)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的方法，其特征在于，所述分析裝置(13)確定，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)是否在所述傳感器電極面之一(9a)和所述襯底支架(5)之間延伸。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其特征在于，所述分析裝置(13)在確定間距(h)大于閾值的情況下確定，沒有導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)在被分配的傳感器電極(9a)和所述襯底支架(5)之間延伸。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，在所述傳感器電極面之一(9b)的平面內(nèi)，至少一個導(dǎo)電屏蔽層(8)在傳感器(11)上被構(gòu)造，其中地電位被施加在所述導(dǎo)電屏蔽層(8)上。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于，所述至少一個導(dǎo)電屏蔽層(8)代替位于相同平面內(nèi)的傳感器電極面(％)。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，交流電壓和/或電流信號作為所述激勵信號被注入。
24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，傳感器測量信號分別是再充電電流。
25.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)和所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)平行于正交坐標(biāo)系的X，y平面延伸。
26.根據(jù)權(quán)利要求17或25所述的方法，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)是同樣大的。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述傳感器電極面(9a、9b)是彼此完全一致的。
28.根據(jù)權(quán)利要求26或27所述的方法，其特征在于，所述傳感器電極面(9)共同對應(yīng)于所述襯底(I)的表面。
29.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述襯底(I)是液晶顯示器(IXD，Liquid Crystal Display)的屏幕玻璃襯底并且所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)是印制導(dǎo)線或像素面。
30.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，相對移動裝置將所述襯底(I)的表面和所述傳感器(11)以相對于彼此恒定的間距相對移動到多個測量位置中。
31.根據(jù)權(quán)利要求17或30所述的方法，其特征在于，所述傳感器(11)具有多個傳感器電極面(9a、9b)組，并且同時提供多個測量位置，其中所述傳感器電極面組以規(guī)則的圖案覆蓋所述襯底(I)的表面。
32.根據(jù) 權(quán)利要求31所述的方法，其特征在于，所述規(guī)則的圖案行狀地覆蓋所述襯底(I)的表面。
【文檔編號】G01B7/06GK103765235SQ201280041589
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月26日
【發(fā)明者】F.阿拉塔斯, M.克德爾, A.希克 申請人:西門子公司