表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的檢查裝置及檢查方法、表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的 ...的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供能夠簡(jiǎn)便地檢查陽(yáng)極氧化鋁表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀、陽(yáng)極氧化鋁的厚度的檢查裝置和檢查方法等。本發(fā)明的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置的特征在于，其具備：照射單元（22），對(duì)檢查對(duì)象的陽(yáng)極氧化鋁照射光；攝像單元（24），對(duì)通過(guò)偏振單元的光進(jìn)行拍攝；偏振單元（28），使從照射單元照射出的光偏振；以及圖像處理單元（26），基于由使用攝像單元拍攝出的圖像獲得的顏色信息來(lái)判斷陽(yáng)極氧化鋁的狀態(tài)是否良好。
【專(zhuān)利說(shuō)明】表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的檢查裝置及檢查方法、表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法、以及光學(xué)薄膜的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的檢查裝置及檢查方法、表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法、以及光學(xué)薄膜的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]表面形成有表面間距為可見(jiàn)光波長(zhǎng)以下的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的薄片等構(gòu)件由于表現(xiàn)超親水性、超疏水性、低反射等功能，其有用性正受到關(guān)注。特別是已知被稱(chēng)為蛾眼(Moth-eye)結(jié)構(gòu)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的折射率從空氣的折射率向構(gòu)件材料的折射率連續(xù)變化，因此表現(xiàn)優(yōu)異的防反射功能。
[0003]作為這種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的制造方法，已知有(i)對(duì)基材本身的表面直接加工而形成表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的方法；(ii)使用表面形成有與構(gòu)件表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)互補(bǔ)的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)印模具，轉(zhuǎn)印模具的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到透明基材等構(gòu)件本身的表面的方法(例如專(zhuān)利文獻(xiàn)I)等，在生產(chǎn)率等觀點(diǎn)方面，(?)的方法在工業(yè)上優(yōu)異。
[0004]作為在模具的外表面形成反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的方法，已知有電子束繪制法、激光干涉法等。近年來(lái)，作為能夠更簡(jiǎn)單地形成反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的方法，將鋁基材的表面陽(yáng)極氧化的方法正在受到關(guān)注(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-201641號(hào)公報(bào)
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2005-156695號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_9] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0010]通過(guò)將鋁基材的表面陽(yáng)極氧化而形成的陽(yáng)極氧化鋁層為鋁的氧化覆膜(耐酸鋁)，具有間距為可見(jiàn)光波長(zhǎng)以下的多個(gè)細(xì)孔(微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu))。
[0011]這種具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層中，陽(yáng)極氧化時(shí)浸潰鋁基材的電解液的濃度、溫度有不均勻或者鋁基材表面的性狀有參差時(shí)，會(huì)有陽(yáng)極氧化鋁層表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀(細(xì)孔深度、內(nèi)徑、細(xì)孔間的間距等)、陽(yáng)極氧化鋁的厚度等出現(xiàn)不均勻的情況。這種情況下，無(wú)法對(duì)薄片構(gòu)件等轉(zhuǎn)印最適合的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)。
[0012]另外，作為陽(yáng)極氧化鋁的材料的鋁基材可以使用純度高的鋁基材，但用于制造純度聞的招基材的聞純度招的晶粒易因鑄造等而粗大化，在招基材中會(huì)出現(xiàn)肉眼也能夠觀察到的程度的粗晶粒。因此， 使用這種鋁基材制造出的模具的陽(yáng)極氧化鋁的表面也會(huì)出現(xiàn)同樣的晶界圖案。對(duì)此，目前為了將由于晶粒而產(chǎn)生的圖案微細(xì)化且均勻化，實(shí)施通過(guò)壓延、擠出和鍛造等來(lái)制造招基材。然而，即使實(shí)施這種工序，鍛造肖II的鑄造時(shí)的粗大晶粒的痕跡有時(shí)也會(huì)根據(jù)加工方向、重復(fù)次數(shù)等條件而形成晶體取向的不均并殘留在鋁基材中，該斑痕會(huì)在由鋁基材加工而成的具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的模具(主要為基材表面)中以肉眼難以確認(rèn)的流痕形式殘留。這種情況下，流痕會(huì)被轉(zhuǎn)印給薄片構(gòu)件等。
[0013]進(jìn)而，對(duì)于具備這種具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的模具，為了改善成型品的脫模性而在表面附著脫模劑。該脫模劑過(guò)量附著在具有陽(yáng)微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的表面時(shí)，會(huì)產(chǎn)生微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)被脫模劑掩埋、無(wú)法將最合適的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到透明基材等的表面的問(wèn)題。另一方面，脫模劑的量過(guò)少時(shí)，會(huì)有無(wú)法獲得期望的脫模性的問(wèn)題。
[0014]如上所述的陽(yáng)極氧化鋁層表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀不均勻、鋁基材的殘留、脫模劑的過(guò)量或過(guò)少的附著會(huì)對(duì)表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的薄片構(gòu)件的生產(chǎn)造成不良影響。因此，需要檢查陽(yáng)極氧化鋁的表面狀態(tài)是否良好，但問(wèn)題是目前為止不存在簡(jiǎn)便的檢查方法。
[0015]本發(fā)明的目的在于，提供能夠簡(jiǎn)便地檢查上述那樣的模具等中所使用的陽(yáng)極氧化鋁等具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)的檢查裝置及檢查方法，以及提供表面具備具有表面狀態(tài)良好的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁的構(gòu)件的制造方法。
[0016]用于解決問(wèn)題的方案
[0017]本發(fā)明的發(fā)明人等鑒于上述問(wèn)題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，根據(jù)陽(yáng)極氧化鋁等具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好，由這種具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面反射的光的顏色會(huì)發(fā)生變化。即，發(fā)現(xiàn)由陽(yáng)極氧化鋁反射的光的顏色反映出具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好的影響。
[0018]進(jìn)而，本發(fā)明的發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，由具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面反射的光包含關(guān)于具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好的信息，該反射光根據(jù)具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)朝著與形成有陽(yáng)極氧化鋁的表面垂直的方向、或者與形成有陽(yáng)極氧化鋁的表面平行的方向發(fā)生偏振。
[0019]而且發(fā)現(xiàn)，通過(guò)利用偏振板等將偏振方向設(shè)置為適當(dāng)?shù)姆较颍申?yáng)極氧化鋁的表面反射的反射光的顏色變化被增強(qiáng)，從而完成了本發(fā)明。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供構(gòu)件的檢查裝置，所述構(gòu)件是表面具有由多個(gè)細(xì)孔形成的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件，該裝置具備:照射單元，對(duì)檢查對(duì)象的構(gòu)件照射照射光；攝像單元，對(duì)由構(gòu)件反射出的反射光進(jìn)行拍攝；偏振單元，使照射光或朝向攝像單元入射的反射光偏振；以及圖像處理單元，基于由使用攝像單元拍攝出的圖像獲得的顏色信息來(lái)判斷構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好。
[0021〕 根據(jù)具有這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，可以簡(jiǎn)便地檢查具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面的狀態(tài)是否良好。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，偏振單元是以偏振方向相對(duì)于與攝像單元的光軸和構(gòu)件的表面接觸的點(diǎn)處的切面相垂直的方向?yàn)?50°?50°的方式配置的。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，偏振單元是以偏振方向相對(duì)于與攝像單元的光軸和構(gòu)件的表面接觸的點(diǎn)處的切面相平行的方向?yàn)?50°?50°的方式配置的。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，圖像處理單元判斷構(gòu)件的表面處的脫模劑的附著狀態(tài)。
[0025]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，圖像處理單元制作能夠判斷構(gòu)件的流痕的輸出。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，上述構(gòu)件為表面形成有具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，圖像處理單元還判斷陽(yáng)極氧化鋁層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元是以其光軸與構(gòu)件的表面的法線成45。以上且小于90。的角度配置的。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為顏色信息，圖像處理單元基于如8圖像信號(hào)來(lái)判斷構(gòu)件的表面狀態(tài)。
[0030]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為顏色信息，圖像處理單元具有將如8圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為表色系統(tǒng)信息的轉(zhuǎn)換部，基于表色系統(tǒng)信息來(lái)判斷構(gòu)件的表面狀態(tài)。
[0031]根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，能夠提供一種檢查方法，其特征在于，其是構(gòu)件的檢查方法，所述構(gòu)件是表面具有由多個(gè)細(xì)孔形成的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件，該方法具備:照射步驟，對(duì)檢查對(duì)象的構(gòu)件照射照射光；以及攝像步驟，對(duì)由構(gòu)件的表面反射的反射光進(jìn)行拍攝，利用偏振單元使照射光或要被拍攝的反射光偏振，方法還具備:圖像處理步驟，基于由拍攝出的圖像獲得的顏色信息來(lái)判斷構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好。
[0032]根據(jù)具有這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，能夠簡(jiǎn)便地檢查具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面的狀態(tài)是否良好。
[0033]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，偏振方向相對(duì)于與攝像單元的光軸和構(gòu)件接觸的點(diǎn)處的切面相垂直的方向成-50°?50。。
[0034]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，偏振方向相對(duì)于與攝像單元的光軸和構(gòu)件接觸的點(diǎn)處的切面相平行的方向成-50°?50°。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，在圖像處理步驟中，判斷構(gòu)件的表面處的脫模劑的附著狀態(tài)。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，在圖像處理步驟中，制作能夠判斷構(gòu)件的流痕的輸出。
[0037]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，上述構(gòu)件為表面形成有具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件。
[0038]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，在圖像處理步驟中，判斷陽(yáng)極氧化鋁層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元是以其光軸與構(gòu)件的表面的法線成45。以上且小于90。的角度配置的。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為顏色信息，在圖像處理步驟中，基于如8圖像信號(hào)來(lái)判斷構(gòu)件的表面狀態(tài)。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式，攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為顏色信息，在圖像處理步驟中，如8圖像信號(hào)被轉(zhuǎn)換為表色系統(tǒng)信息，基于表色系統(tǒng)信息來(lái)判斷上述構(gòu)件的表面狀態(tài)。
[0042]根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，能夠提供表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備：通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟；使脫模劑附著在陽(yáng)極氧化鋁層的表面的步驟；以及通過(guò)上述檢查方法檢查脫模劑的附著狀態(tài)的步驟。
[0043]根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，能夠提供表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備：通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟；以及檢查上述陽(yáng)極氧化鋁的步驟。
[0044]根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，能夠提供表面具有陽(yáng)極氧化鋁的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備：通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟；以及通過(guò)上述檢查方法檢查有無(wú)流痕的步驟。
[0045]根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，能夠提供光學(xué)薄膜的制造方法，其轉(zhuǎn)印由上述制造方法制造的構(gòu)件的表面形狀來(lái)制造光學(xué)薄膜。
[0046]發(fā)明的效果
[0047]根據(jù)本發(fā)明，能夠簡(jiǎn)便地檢查用于模具等的陽(yáng)極氧化鋁等具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件的表面狀態(tài)，另外能夠制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀良好的陽(yáng)極氧化鋁的構(gòu)件。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0048]圖I是顯示本發(fā)明實(shí)施方式的表面具有陽(yáng)極氧化鋁的模具的制造方法的各工序的示意性截面圖。
[0049]圖2是顯示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置的示意性俯視圖。
[0050]圖3是顯示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置的示意性側(cè)視圖。
[0051]圖4顯示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置的示意性后視圖。
[0052]圖5是表面具有陽(yáng)極氧化鋁的模具的表面的圖像。
[0053]圖6是將由使用光軸的角度Θ I為5°的攝像單元拍攝出的圖像獲得的、圖5的線102的在各個(gè)像素下的相對(duì)于正常部分的色相差繪制而成的圖。
[0054]圖7是將光軸角度Θ I設(shè)為15°的、與圖6相同的圖。
[0055]圖8是將光軸角度Θ I設(shè)為25°的、與圖6相同的圖。
[0056]圖9是將光軸角度Θ I設(shè)為35°的、與圖6相同的圖。
[0057]圖10是將光軸角度Θ I設(shè)為45°的、與圖6相同的圖。
[0058]圖11是將光軸角度Θ I設(shè)為55°的、與圖6相同的圖。
[0059]圖12是將光軸角度Θ I設(shè)為65°的、與圖6相同的圖。
[0060]圖13是將光軸角度Θ I設(shè)為75°的、與圖6相同的圖。
[0061]圖14是將光軸角度Θ I設(shè)為85°的、與圖6相同的圖。
[0062]圖15是將各個(gè)光軸角度Θ I的圖5的線102的在各個(gè)像素下的相對(duì)于正常部分的色相差的最大值繪制而成的圖。
[0063]圖16是以異常部分的峰值作為縱軸、以偏振板的偏振方向L2相對(duì)于法線的角度Θ 2作為橫軸繪制而成的本發(fā)明實(shí)施例的圖。
[0064]圖17是顯示下述結(jié)果的圖，使用圖2的檢查裝置拍攝脫模處理前的模具，用圖像處理裝置由RGB圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為色相（H)信號(hào)，提取出模具縱向中央附近一周的結(jié)果。
[0065]圖18是顯示下述結(jié)果的圖，使用圖2的檢查裝置拍攝脫模處理后的模具，用圖像處理裝置由RGB圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為色相（H)信號(hào)，提取出模具縱向中央附近一周的結(jié)果。
[0066]圖19是顯示下述結(jié)果的圖，使用圖2的檢查裝置拍攝去除附著的脫模劑后的模具，用圖像處理裝置由RGB圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為色相（H)信號(hào)，提取出模具縱向中央附近一周的結(jié)果。
[0067]圖20是組裝有由本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的制造方法制造的模具的構(gòu)件(光學(xué)薄片）制造裝置的概略圖。
[0068]圖21是由攝像單元拍攝出的、表面具有陽(yáng)極氧化鋁的模具的表面的圖像。
[0069]圖22是表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄片的拍攝圖像。
【具體實(shí)施方式】
[0070]接著，按照?qǐng)D對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的表面具有陽(yáng)極氧化鋁的模具的檢查裝置及檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0071]首先，對(duì)作為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置及成為檢查方法的檢查對(duì)象的表面設(shè)置有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件、即本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的上述那樣的模具的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0072]本實(shí)施方式的表面具有陽(yáng)極氧化鋁的模具的制造方法具備：通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而得到表面具有陽(yáng)極氧化鋁的構(gòu)件的工序（陽(yáng)極氧化工序)、檢查陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)的工序(第I檢查工序)、根據(jù)需要修復(fù)陽(yáng)極氧化鋁的工序(第I修復(fù)工序)、使脫模劑附著在陽(yáng)極氧化鋁表面的工序(脫模處理工序)、通過(guò)本發(fā)明的檢查裝置及方法檢查脫模劑的附著狀態(tài)的工序(第2檢查工序)、以及根據(jù)需要修復(fù)脫模劑的附著狀態(tài)的工序(第2修復(fù)工序)。
[0073]上述模具的制造中的陽(yáng)極氧化工序依照以下工序（a)?（f)的順序進(jìn)行。
[0074]工序（a)?（f)為：
[0075](a)第I氧化覆膜形成工序，在電解液中、恒定電壓下對(duì)鏡面化了的鋁基材進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在鋁基材表面形成氧化覆膜；
[0076](b)氧化覆膜去除工序，去除氧化覆膜，在鋁基材表面形成陽(yáng)極氧化的細(xì)孔發(fā)生占.
[0077](c)第2氧化覆膜形成工序，在電解液中、恒定電壓下對(duì)形成有細(xì)孔發(fā)生點(diǎn)的鋁基材再次進(jìn)行陽(yáng)極氧化，形成具有與細(xì)孔發(fā)生點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的細(xì)孔的氧化覆膜；
[0078](d)孔徑擴(kuò)大處理工序，使細(xì)孔的直徑擴(kuò)大；
[0079](e)氧化覆膜生長(zhǎng)工序，工序（d)后，在電解液中、恒定電壓下再次進(jìn)行陽(yáng)極氧化；
[0080](f)重復(fù)工序，重復(fù)進(jìn)行孔徑擴(kuò)大處理工序（d)和氧化覆膜生長(zhǎng)工序（e)，得到具有多個(gè)細(xì)孔的陽(yáng)極氧化鋁形成于鋁基材表面的微細(xì)的凹凸形狀圖案。
[0081]采用具有工序（a)?（f)的方法，在鏡面化了的鋁基材表面形成具有直徑自開(kāi)口部向深度方向逐漸縮小的圓錐形狀、且周期性排列的多個(gè)細(xì)孔，結(jié)果得到表面形成有具有多個(gè)細(xì)孔(微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)）的陽(yáng)極氧化鋁的模具。
[0082]也可以根據(jù)轉(zhuǎn)印了模具表面的材料的用途，從工序（C)開(kāi)始進(jìn)行而不進(jìn)行工序(a)，盡管會(huì)使細(xì)孔排列的規(guī)整性略微降低
[0083]本實(shí)施方式中，作為鋁基材使用了圓筒狀的鋁基材，也可以使用平板狀的鋁基材。[0084]以下，詳細(xì)說(shuō)明工序（a)?（f)。
[0085]工序（a):
[0086]在工序（a)之前，進(jìn)行利用車(chē)刀切削鋁基材的表面從而形成鏡面的鏡面處理。另夕卜，在工序（a)之前，也可以進(jìn)行去除鋁基材表面的氧化覆膜的前處理。作為去除氧化覆膜的方法，可列舉出浸潰于鉻酸/磷酸混合液的方法等。
[0087]通過(guò)在電解液中、恒定電壓下對(duì)圖I (a)所示的鏡面化了的鋁基材10的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化，如圖I (b)所示地在鋁基材10的表面形成具有細(xì)孔12的氧化覆膜14。
[0088]作為電解液，可列舉出酸性電解液、堿性電解液，優(yōu)選酸性電解液。作為酸性電解液，可列舉出草酸、硫酸、它們的混合物等。
[0089]使用草酸作為電解液時(shí)，草酸的濃度優(yōu)選為O. 7M以下。草酸的濃度超過(guò)O. 7M時(shí)，會(huì)有陽(yáng)極氧化時(shí)的電流值變得過(guò)高而氧化覆膜的表面變粗糙的情況。
[0090]另外，通過(guò)將陽(yáng)極氧化時(shí)的電壓設(shè)為30?60V，能夠得到表面形成有具有間距為IOOnm左右的規(guī)整性高的細(xì)孔的陽(yáng)極氧化鋁的模具。陽(yáng)極氧化時(shí)的電壓無(wú)論比該范圍高還是低，均會(huì)有規(guī)整性下降的傾向，有時(shí)間距變得比可見(jiàn)光的波長(zhǎng)大。
[0091]電解液的溫度優(yōu)選為60°C以下，更優(yōu)選為45°C以下。電解液的溫度超過(guò)60°C時(shí)，會(huì)有引起所謂“鍍層灰暗并有斑點(diǎn)”的現(xiàn)象的傾向，會(huì)有細(xì)孔被破壞、或者表面熔化而打亂細(xì)孔的規(guī)整性的情況。
[0092]使用硫酸作為電解液時(shí)，硫酸的濃度優(yōu)選為O. 7M以下。硫酸的濃度超過(guò)O. 7M時(shí)，會(huì)有陽(yáng)極氧化時(shí)的電流值變得過(guò)高而變得無(wú)法維持恒定電壓的情況。
[0093]另外，通過(guò)將陽(yáng)極氧化時(shí)的電壓設(shè)為25?30V，能夠得到表面形成有具有間距為63nm左右的規(guī)整性高的細(xì)孔的陽(yáng)極氧化鋁的模具。陽(yáng)極氧化時(shí)的電壓無(wú)論比該范圍高還是低，均會(huì)有規(guī)整性下降的傾向，有時(shí)間距變得比可見(jiàn)光的波長(zhǎng)大。
[0094]工序（a)中，通過(guò)長(zhǎng)時(shí)間實(shí)施陽(yáng)極氧化而使所形成的氧化覆膜14變厚，能夠提高細(xì)孔排列的規(guī)整性，但此時(shí)，通過(guò)將氧化覆膜14的厚度設(shè)為O. 01?30 μ m以下，可以進(jìn)一步抑制由于晶界產(chǎn)生的巨大凹凸，能夠得到更加適合于光學(xué)用途的構(gòu)件的制造中的模具。
[0095]氧化覆膜14的厚度更優(yōu)選為O. 5?10 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為I?3 μ m。氧化覆膜14的厚度可以用場(chǎng)發(fā)射型掃描電子顯微鏡等進(jìn)行觀察。
[0096]工序（b):
[0097]通過(guò)去除由工序（a)形成的氧化覆膜14，如圖I (C)所示，使在位于被去除的氧化覆膜14下方的鋁基材(被稱(chēng)為阻隔層。）上對(duì)應(yīng)于細(xì)孔12形成的周期性的凹坑、即細(xì)孔發(fā)生點(diǎn)16露出。
[0098]先去除所形成的氧化覆膜14，形成陽(yáng)極氧化的細(xì)孔發(fā)生點(diǎn)16，由此可以提高最終形成的細(xì)孔的規(guī)整性(例如，參照益田、“應(yīng)用物理”、2000年、第69卷、第5號(hào)、p. 558。）。
[0099]作為去除氧化覆膜14的方法，可列舉出利用不使鋁溶解而選擇性溶解氧化鋁的溶液進(jìn)行去除的方法。作為這種溶液，例如可列舉出鉻酸/磷酸混合液等。
[0100]工序（C):
[0101]在電解液中、恒定電壓下對(duì)形成有細(xì)孔發(fā)生點(diǎn)16的鋁基材10再次進(jìn)行陽(yáng)極氧化，再次形成氧化覆膜。
[0102]工序（C)中，在與工序（a)相同的條件（電解液濃度、電解液溫度、化成電壓等）下進(jìn)行陽(yáng)極氧化。
[0103]由此，如圖I (d)所示，能夠形成形成有圓柱狀細(xì)孔12’的氧化覆膜14’。工序（C)中，越延長(zhǎng)陽(yáng)極氧化的時(shí)間，能夠得到越深的細(xì)孔，但例如在制造用于制造防反射構(gòu)件等光學(xué)構(gòu)件的模具的情況下，此處只要形成O. 01?O. 5 μ m左右的氧化覆膜即可，沒(méi)有必要形成工序（a)中形成的那么厚的氧化覆膜。
[0104]工序（d):
[0105]工序（C)后，進(jìn)行使工序（C)中形成的細(xì)孔12’的直徑擴(kuò)大的孔徑擴(kuò)大處理，如圖
I(e)所示，使細(xì)孔12’的直徑擴(kuò)大而成為細(xì)孔12”。
[0106]作為孔徑擴(kuò)大處理的具體方法，可列舉出浸潰于溶解氧化鋁的溶液中，從而通過(guò)蝕刻使工序（c)中形成的細(xì)孔的直徑擴(kuò)大的方法。作為這種溶液，例如可列舉出5質(zhì)量％左右的磷酸水溶液等。越延長(zhǎng)工序（d)的時(shí)間，細(xì)孔的直徑變得越大。
[0107]工序（e):
[0108]再次進(jìn)行陽(yáng)極氧化，形成如圖1(f)所示那樣的自工序（d)中直徑擴(kuò)大了的細(xì)孔12”的底部向下方延伸的小直徑的細(xì)孔18。
[0109]陽(yáng)極氧化按照與工序（C)相同的條件進(jìn)行即可。越延長(zhǎng)陽(yáng)極氧化的時(shí)間，能夠得到越深的細(xì)孔。
[0110]工序（f):
[0111]通過(guò)重復(fù)進(jìn)行工序（d)和工序（e)，如圖I (g)所示，細(xì)孔的形狀成為自開(kāi)口部向深度方向直徑逐漸縮小的圓錐形狀。其結(jié)果，能夠得到表面形成有具有周期性的多個(gè)細(xì)孔的陽(yáng)極氧化鋁的模具R。優(yōu)選最后以工序（d)結(jié)束。
[0112]通過(guò)適當(dāng)設(shè)定工序（d)和工序（e)的條件、例如陽(yáng)極氧化的時(shí)間及孔徑擴(kuò)大處理的時(shí)間，能夠形成各種形狀的細(xì)孔。因此，根據(jù)要由模具制造的構(gòu)件的用途等來(lái)適當(dāng)設(shè)定這些條件即可。另外，在該模具為制造防反射膜等防反射構(gòu)件的模具時(shí)，通過(guò)如此恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定條件，可以任意變更細(xì)孔的間距、深度，因此還能夠設(shè)計(jì)最適合的折射率變化。
[0113]如此獲得的模具在表面形成有多個(gè)周期性的細(xì)孔，結(jié)果使表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)。而且，該微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)中的細(xì)孔的間距為可見(jiàn)光的波長(zhǎng)以下、即400nm以下時(shí)，形成所謂的蛾眼結(jié)構(gòu)。
[0114]其中，“間距”是指從微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的凹部(細(xì)孔）的中心到與其相鄰的凹部(細(xì)孔）的中心的距離。間距比400nm大時(shí)，會(huì)引起可見(jiàn)光的散射，不表現(xiàn)充分的防反射功能，所以不適合制造防反射膜等防反射構(gòu)件。
[0115]模具為制造防反射膜等防反射構(gòu)件的模具時(shí)，細(xì)孔的間距為可見(jiàn)光的波長(zhǎng)以下，并且細(xì)孔的深度優(yōu)選為50nm以上、更優(yōu)選為IOOnm以上。
[0116]深度是指從微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的凹部(細(xì)孔）的開(kāi)口部到最深部的距離。
[0117]細(xì)孔的深度為50nm以上時(shí)，通過(guò)模具表面的轉(zhuǎn)印形成的光學(xué)用途的構(gòu)件的表面、即轉(zhuǎn)印面的反射率下降。
[0118]另外，模具的細(xì)孔的深寬比(深度/間距)優(yōu)選為I. O?4.0，更優(yōu)選為I. 3?3. 5，進(jìn)一步優(yōu)選為I. 8?3. 5，最優(yōu)選為2. O?3. O。深寬比為1.0以上時(shí)，能夠形成反射率低的轉(zhuǎn)印面，其入射角依賴性、波長(zhǎng)依賴性也變得足夠小。深寬比大于4. O時(shí),會(huì)有轉(zhuǎn)印面的機(jī)械強(qiáng)度降低的傾向。[0119]模具的形成有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的表面還可以實(shí)施脫模處理以使脫模變得容易。作為脫模處理的方法，例如可列舉出涂覆有機(jī)硅系聚合物、氟聚合物的方法；蒸鍍氟化物的方法；涂覆氟系或氟硅系的硅烷化合物的方法；等。
[0120]如此制作的模具例如可以用于下述制造薄片的用途：在該模具與透明基材薄膜之間夾持活性能量射線固化性樹(shù)脂組合物，對(duì)活性能量射線固化性樹(shù)脂組合物照射活性能量射線使該活性能量射線固化性樹(shù)脂組合物固化，制造出在基材薄膜上形成有具有與模具表面(氧化鋁表面）的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)互補(bǔ)的形狀的固化層的薄片(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0121]接著，對(duì)利用如上所述的方法等制造的、外周面形成有氧化鋁層的模具R的檢查裝置及方法進(jìn)行說(shuō)明。該檢查裝置被用于檢查陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)的工序(第I及第2檢查工序)。
[0122]圖2至圖4是顯示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的陽(yáng)極氧化鋁的檢查裝置20的示意性俯視圖、側(cè)視圖及后視圖。
[0123]檢查裝置20具備：旋轉(zhuǎn)單元(未圖示)，支撐表面形成有具有多個(gè)細(xì)孔(微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)）的陽(yáng)極氧化鋁層的輥狀模具R，并使其以縱向軸線為中心旋轉(zhuǎn)；照明裝置(照射單元）22，對(duì)模具R的外表面照射沿模具R的軸向延展的線狀光線；彩色線陣CCD照相機(jī)(攝像單元）24，對(duì)由照明裝置22照射、并由模具R的外周面反射的光進(jìn)行拍攝；圖像處理裝置（圖像處理單元）26，處理來(lái)自彩色線陣CCD照相機(jī)24的圖像信號(hào)；以及移動(dòng)單元(未圖示)，使模具R、照明裝置22及彩色線陣CCD照相機(jī)24沿著模具R的縱向相對(duì)移動(dòng)。
[0124]檢查裝置20還具備偏振板28，配置在彩色線陣CXD照相機(jī)24的前方、使朝向彩色線陣CXD照相機(jī)24入射的光偏振。
[0125]因?yàn)殛?yáng)極氧化鋁、脫模劑通常為透明的，所以由陽(yáng)極氧化鋁的表面反射的光、入射至陽(yáng)極氧化鋁層的光根據(jù)陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀(細(xì)孔的深度、內(nèi)徑，細(xì)孔間的間距等)、陽(yáng)極氧化鋁的厚度、脫模劑的厚度而成為發(fā)生偏振的光。因此，通過(guò)將透過(guò)偏振光的偏振板設(shè)置在彩色線陣CCD照相機(jī)24的前方，可以選擇性接收透過(guò)陽(yáng)極氧化鋁層的光，所以可以更準(zhǔn)確地檢出陽(yáng)極氧化鋁的缺陷。
[0126]配置照明裝置22使得線狀光線以沿著模具R的縱向軸線延展的取向照射到模具R的外周面。作為照明裝置22，可列舉出高頻點(diǎn)燈的熒光燈點(diǎn)燈裝置、條棒照明（rodillumination)、線狀配置的光纖照明、LED照明等。
[0127]彩色線陣CXD照相機(jī)24是一維配置有多個(gè)彩色CXD元件的照相機(jī)，用彩色CXD元件接收由照明裝置22照射、并由模具R的陽(yáng)極氧化鋁反射的光，逐個(gè)像素地輸出RGB圖像信號(hào)。
[0128]彩色線陣CCD照相機(jī)24被配置成直線狀延長(zhǎng)的拍攝范圍能夠使得沿著模具R的縱向軸線延展地照射到模具R的外周面。
[0129]另外，彩色線陣CXD照相機(jī)24優(yōu)選如下配置：彩色線陣CXD照相機(jī)24的光軸LI的角度Θ1 (圖3)相對(duì)于光軸LI和處于拍攝范圍內(nèi)的模具R的陽(yáng)極氧化鋁接觸的點(diǎn)處的表面(切面）的法線NI成45?89. 9°。
[0130]角度Θ1為45°以上時(shí)，與陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的、來(lái)自陽(yáng)極氧化鋁的反射光的顏色明確地顯現(xiàn)。從排除噪音的影響的觀點(diǎn)出發(fā)，角度Θ I優(yōu)選為65°以上，更優(yōu)選為70°以上，進(jìn)一步優(yōu)選為80°以上。另一方面，角度Θ1為90°以上時(shí)，難以拍攝，因此角度9 1設(shè)為低于90。。
[0131]角度0 1為89.9°附近時(shí)，對(duì)于模具I？的圓周方向的拍攝范圍變大而使拍攝分辨率下降，因此也可以在模具I？的拍攝視場(chǎng)附近設(shè)置狹縫等來(lái)抑制拍攝分辨率的降低。
[0132]需要說(shuō)明的是，攝像單元只要配置成能夠接收由照射單元照射到模具、并由模具尺反射的光即可，優(yōu)選配置成攝像單元的光軸與照射單元的光軸相對(duì)于法線附對(duì)稱(chēng)。
[0133]陽(yáng)極氧化鋁通常是透明的，因此由陽(yáng)極氧化鋁的表面反射的光、入射至陽(yáng)極氧化鋁層的光根據(jù)陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀(細(xì)孔的深度、內(nèi)徑，細(xì)孔間的間距等 ?、陽(yáng)極氧化鋁的厚度而成為發(fā)生偏振的光。
[0134]偏振板的偏振方向根據(jù)陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀、陽(yáng)極氧化鋁的厚度適當(dāng)?shù)剡x擇與形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相垂直的方向或者與形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相平行的方向的任一者。
[0135]本實(shí)施方式中，偏振板28的偏振方向以相對(duì)于與攝像單元的光軸和模具接觸的點(diǎn)處的模具的切面中的形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相垂直的方向或者與形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相水平的方向成-50°?50°的方式配置。
[0136]角度為-50°?50°的范圍時(shí)，與沒(méi)有偏振板時(shí)相比，檢出靈敏度為同等或同等以上。為-45°?45。的范圍時(shí)，與沒(méi)有偏振板時(shí)相比，檢出靈敏度明顯變高；為-30。?30。的范圍時(shí)，檢出靈敏度進(jìn)一步變高；為-15°?15。的范圍時(shí)，檢出靈敏度變得更高；0°為最優(yōu)選。
[0137]接著，按照?qǐng)D2至圖4詳細(xì)說(shuō)明偏振板28產(chǎn)生的偏振方向。
[0138]如圖4所示地配置偏振板28，使得處于拍攝范圍內(nèi)的模具I？的陽(yáng)極氧化鋁層的表面(切面)的法線附與偏振板28的偏振方向12所成角度0 2處于規(guī)定范圍內(nèi)。
[0139]其中，法線附與偏振方向12相一致時(shí)，附與12所成角度設(shè)為0度。
[0140]本申請(qǐng)中，如圖4所示，后方觀察時(shí)，偏振方向12相對(duì)于法線附順時(shí)針旋轉(zhuǎn)的情況下，附與[2所成角度設(shè)為0度?180度；偏振方向12相對(duì)于法線附逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的情況下，附與12所成角度設(shè)為0?-180度。
[0141]本實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，根據(jù)檢查對(duì)象的陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀、陽(yáng)極氧化鋁的厚度，以法線附與偏振板的偏振方向[2的角度0 2為-50°?50。及40。?140°中的任一者的方式配置。
[0142]角度0 2為-50°?50。時(shí)，能夠有效拍攝縱向偏振光，因此能夠有效檢查反射光向與形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相垂直的方向偏振的模具，所述反射光充分包含陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀、陽(yáng)極氧化鋁的厚度等信息。
[0143]另外，角度0 2為40。?140°時(shí)，能夠有效拍攝橫向偏振光，因此能夠有效檢查反射光向與形成有陽(yáng)極氧化鋁的平面相水平的方向偏振的模具，所述反射光充分包含陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀、陽(yáng)極氧化鋁的厚度等信息。
[0144]圖像處理裝置26具備:判斷部(未圖示),基于由使用彩色線陣照相機(jī)24拍攝出的圖像獲得的如8圖像信號(hào)(顏色信息),判斷模具I？的表面狀態(tài)是否良好即陽(yáng)極氧化鋁的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的形狀(細(xì)孔的深度、內(nèi)徑，細(xì)孔間的間距等?、陽(yáng)極氧化鋁的厚度、流痕的有無(wú)、及脫模劑的附著狀態(tài)；接口部(未圖示)，將冗0照相機(jī)等與各判斷部等之間電連接；以及記憶部(未圖示),記憶用于顏色信息判斷的閾值等。I示裝置等作為外圍設(shè)備。其中，輸入裝置等輸入裝置；顯示裝置是指'、液晶顯示
'拍攝模具的整個(gè)外周面，使模具1照明裝:模具I？的縱向相對(duì)平行移動(dòng)。
尺使照明裝置22和彩色線陣照相機(jī)24定的照明裝置22和彩色線陣照相機(jī)24的縱向平行移動(dòng)。
置20的模具I？的檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的細(xì)孔的深度和細(xì)孔間的間才表面的陽(yáng)極氧化，得到模具1元上，由線狀照明裝置22對(duì)旋轉(zhuǎn)的輥狀模照相機(jī)24拍攝透過(guò)偏振板28的來(lái)自于
24沿著模具I？的縱向平行移動(dòng)，進(jìn)而使模內(nèi)徑，細(xì)孔間的間距等)、陽(yáng)極氧化鋁的厚度等是否處于規(guī)定范圍內(nèi)。此時(shí)，通過(guò)目視從由經(jīng)過(guò)增強(qiáng)對(duì)比度處理的圖像信號(hào)獲得的圖像上確認(rèn)模具R的流痕的狀態(tài)是否處于允許范圍。
[0159]具體而言，進(jìn)行判斷時(shí)，提取出顏色的灰階處于事先設(shè)定的灰階(閾值)的范圍外的NG像素，當(dāng)規(guī)定區(qū)域(例如2000 X 4000像素)中的NG像素的比例超過(guò)規(guī)定比例(例如5%)時(shí)等，將檢查對(duì)象的|吳具R判斷為不良品。
[0160]另外，采用上述構(gòu)成通過(guò)目視確認(rèn)了模具R的流痕是否處于允許范圍，還可以求出所獲得的圖像信號(hào)的RGB或者HSL的平均值，逐個(gè)像素地沿橫向或縱向掃描圖像信號(hào)，統(tǒng)計(jì)存在跨越平均值的變化的情況，根據(jù)計(jì)數(shù)是否在規(guī)定范圍內(nèi)來(lái)判斷模具R表面的陽(yáng)極氧化鋁層中的流痕是否處于允許范圍。
[0161]完全沒(méi)有流痕時(shí)，計(jì)數(shù)為O ;而流痕程度大時(shí)，跨越平均值的次數(shù)增加，導(dǎo)致計(jì)數(shù)變大。
[0162]另外，也可以將獲得的圖像信號(hào)的RGB或HSL信號(hào)進(jìn)行傅里葉變換，根據(jù)規(guī)定范圍內(nèi)的頻帶的強(qiáng)度是否在規(guī)定范圍內(nèi)來(lái)判斷模具R的流痕是否處于允許范圍。
[0163]需要說(shuō)明的是，用于判斷模具R的流痕是否處于規(guī)定范圍內(nèi)的確定方法不限于上述方法。
[0164]例如，使用RGB圖像信號(hào)進(jìn)行判斷時(shí)的閾值可以如下確定。
[0165]準(zhǔn)備陽(yáng)極氧化鋁的細(xì)孔的深度及細(xì)孔間的間距分別為200nm及100nm、100nm及100nm、200nm 及 200nm 這三種模具 A、B、C。 [0166]使用圖2所示的檢查裝置的線狀照明裝置22 (照射單元)和彩色線陣CCD照相機(jī)24 (攝像單元)對(duì)這三種模具的表面進(jìn)行拍攝。將256灰階的RGB圖像信號(hào)的平均值示于表1。
[0167][表 I]
[0168]
【權(quán)利要求】
1.一種檢查裝置，其特征在于，其是構(gòu)件的檢查裝置，所述構(gòu)件是表面具有由多個(gè)細(xì)孔形成的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件，該裝置具備: 照射單元，對(duì)檢查對(duì)象的構(gòu)件照射照射光； 攝像單元，對(duì)由所述構(gòu)件反射的反射光進(jìn)行拍攝； 偏振單元，使所述照射光或朝向該攝像單元入射的所述反射光偏振；以及圖像處理單元，基于由使用所述攝像單元拍攝出的圖像獲得的顏色信息來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，所述偏振單元是以偏振方向相對(duì)于與所述攝像單元的光軸和所述構(gòu)件的表面接觸的點(diǎn)處的切面相垂直的方向?yàn)?50°~50°的方式配置的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，所述偏振單元是以偏振方向相對(duì)于與所述攝像單元的光軸和所述構(gòu)件的表面接觸的點(diǎn)處的切面相平行的方向?yàn)?50°~50°的方式配置的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，所述圖像處理單元判斷所述構(gòu)件的表面處的脫模劑的附著狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，所述圖像處理單元制作能夠判斷所述構(gòu)件的流痕的狀態(tài)的輸出。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 ~5中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的檢查裝置，其中，所述構(gòu)件是表面形成有具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查裝置，其中，所述圖像處理單元判斷所述陽(yáng)極氧化鋁層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，所述攝像單元是以其光軸與所述構(gòu)件的表面的法線成45。以上且小于90。的角度配置的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中， 所述攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為所述顏色信息， 所述圖像處理單元基于所述如8圖像信號(hào)來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中， 所述攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為所述顏色信息， 所述圖像處理單元具有將所述如8圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為表色系統(tǒng)信息的轉(zhuǎn)換部，基于該表色系統(tǒng)信息來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)。
11.一種檢查方法，其特征在于，其是構(gòu)件的檢查方法，所述構(gòu)件是表面具有由多個(gè)細(xì)孔形成的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的構(gòu)件，該方法具備: 照射步驟，對(duì)檢查對(duì)象的所述構(gòu)件照射照射光； 攝像步驟，對(duì)由所述構(gòu)件的表面反射的反射光進(jìn)行拍攝； 利用偏振單元使所述照射光或要被拍攝的所述反射光偏振；所述方法還具備: 圖像處理步驟，基于由拍攝出的圖像獲得的顏色信息來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)是否良好。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中，所述偏振方向相對(duì)于與所述攝像單元的光軸和所述構(gòu)件接觸的點(diǎn)處的切面相垂直的方向成-50°~50。。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中，所述偏振方向相對(duì)于與所述攝像單元的光軸和所述構(gòu)件接觸的點(diǎn)處的切面相平行的方向成-50°~50。。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中，在所述圖像處理步驟中，判斷所述構(gòu)件的表面處的脫模劑的附著狀態(tài)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，在所述圖像處理步驟中，制作能夠判斷所述構(gòu)件的流痕的輸出。
16.根據(jù)權(quán)利要求11~15中任一項(xiàng)所述的構(gòu)件的檢查裝置，其中，所述構(gòu)件是表面形成有具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的檢查方法，其中，在所述圖像處理步驟中，判斷所述陽(yáng)極氧化鋁層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的狀態(tài)。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中，所述攝像單元是以其光軸與所述構(gòu)件的表面的法線成45。以上且小于90。的角度配置的。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中， 所述攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為所述顏色信息， 在所述圖像處理步驟中，基于所述如8圖像信號(hào)來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)。
20.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中， 所述攝像單元輸出如8圖像信號(hào)作為所述顏色信息， 在所述圖像處理步驟中，將所述如8圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為表色系統(tǒng)信息，基于該表色系統(tǒng)信息來(lái)判斷所述構(gòu)件的表面狀態(tài)。
21.—種表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備: 通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在所述鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟； 使脫模劑附著在所述陽(yáng)極氧化鋁層的表面的步驟；以及 通過(guò)權(quán)利要求14所述的檢查方法檢查所述脫模劑的附著狀態(tài)的步驟。
22.—種表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備: 通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在所述鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟；以及 通過(guò)權(quán)利要求17所述的檢查方法檢查所述陽(yáng)極氧化鋁層的步驟。
23.—種表面具有陽(yáng)極氧化鋁層的構(gòu)件的制造方法，其特征在于，該方法具備: 通過(guò)對(duì)鋁基材的表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化從而在所述鋁基材的表面形成陽(yáng)極氧化鋁層的步驟；以及 通過(guò)權(quán)利要求15所述的檢查方法檢查有無(wú)所述流痕的步驟。
24.一種光學(xué)薄膜的制造方法，其轉(zhuǎn)印由權(quán)利要求21~23所述的方法制造的所述構(gòu)件的表面形狀來(lái)制造光學(xué)薄膜。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK103842803SQ201280046980
【公開(kāi)日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月26日
【發(fā)明者】福山三文, 石丸輝太, 松原雄二 申請(qǐng)人:三菱麗陽(yáng)株式會(huì)社