光學(xué)傳感器、光學(xué)傳感器的制造方法、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置制造方法
【專利摘要】提供一種能夠降低檢測光量的變動(dòng)的影響且提高分辨率的光學(xué)傳感器、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置。光學(xué)傳感器包括在第一偏振方向上分離入射光的第一偏振層、接收由第一偏振層分離出的第一分離光的第一受光部、在第二偏振方向上分離入射光的第二偏振層以及接收由第二偏振層分離出的第二分離光的第二受光部，第一受光部和第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置。
【專利說明】光學(xué)傳感器、光學(xué)傳感器的制造方法、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光學(xué)傳感器、光學(xué)傳感器的制造方法、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]編碼器用于檢測各種機(jī)械裝置中可動(dòng)要素的位置、角度。一般地，編碼器存在檢測相對的位置或角度的編碼器和檢測絕對的位置或角度的編碼器。編碼器存在光學(xué)式和磁性式，但是光學(xué)式編碼器容易受到異物等的影響，從而容易受到檢測光量的變動(dòng)的影響。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中記載了抗噪性和通用性良好、能夠檢測準(zhǔn)確的移動(dòng)量的光學(xué)式編碼器的技術(shù)。該技術(shù)為，在檢測光學(xué)系統(tǒng)中，從光源照射至標(biāo)尺的激光透過標(biāo)尺或被標(biāo)尺反射，通過偏振分離單元從透過或被反射的激光分離出規(guī)定偏振方向的偏振分量，通過光強(qiáng)度檢測單元檢測被分離出的偏振分量的光強(qiáng)度。
[0004]另外，在專利文獻(xiàn)2中記載了不受由于異物等引起的檢測光量的變動(dòng)的影響且能夠檢測旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)的絕對角度的光學(xué)式編碼器的技術(shù)。該技術(shù)為，一種被轉(zhuǎn)動(dòng)自如地支承并被檢測其旋轉(zhuǎn)角度的光學(xué)式標(biāo)尺圓板，其具有圓環(huán)狀的信號軌道，該信號軌道具有形成于在該光學(xué)式標(biāo)尺圓板的圓周方向上分割出的各個(gè)區(qū)域中的偏振片，彼此相鄰的上述偏振片具有在該光學(xué)式標(biāo)尺圓板的旋轉(zhuǎn)方向上依次不同的偏振方位，該偏振方位在該光學(xué)式標(biāo)尺圓板旋轉(zhuǎn)一周時(shí)旋轉(zhuǎn)m/2次(m為O以上的整數(shù))。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-194586號公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-168706號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的問題
[0008]專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)如果偏振分量的一方被異物等遮斷，結(jié)果光學(xué)傳感器有可能受到檢測光量的影響。另外，在專利文獻(xiàn)2所公開的技術(shù)中，未考慮進(jìn)行偏振分離的光學(xué)傳感器。
[0009]本發(fā)明是鑒于上述情形而完成的，其目的在于提供一種能夠減少檢測光量的變動(dòng)的影響且提高分辨率的光學(xué)傳感器、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置。
[0010]用于解決問題的方案
[0011]為了解決上述問題并達(dá)到目的，光學(xué)傳感器的特征在于，包括:第一偏振層，其在第一偏振方向上分離入射光；第一受光部，其接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光；第二偏振層，其在第二偏振方向上分離上述入射光；以及第二受光部，其接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光，其中，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置。
[0012]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，入射光被偏振分離為第一分離光和第二分離光。其結(jié)果，運(yùn)算單元能夠根據(jù)在第一偏振方向和第二偏振方向上分離得到的各偏振分量的信號強(qiáng)度來計(jì)算透射光或反射光的偏振角度。第一受光部和第二受光部被異物相同程度地遮蔽的概率提高，從而能夠降低使某一方的信號強(qiáng)度下降得非常低的可能性。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0013]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，運(yùn)算裝置能夠容易地計(jì)算偏振角度。
[0014]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0015]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。因此，光學(xué)傳感器能夠增加和減少入射光的量，調(diào)節(jié)入射光到達(dá)的范圍。其結(jié)果，光學(xué)傳感器能夠高精度地檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0016]為了解決上述問題并達(dá)到目的，光學(xué)傳感器的制造方法的特征在于，包括以下工序:受光部形成工序，在基板的表面上，以接收光的第一受光部和第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置的方式形成受光部；以及偏振層形成工序，將形成第一分離光的第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置使得上述第一分離光入射到上述第一受光部，將形成第二分離光的第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置使得上述第二分離光入射到上述第二受光部，其中，上述第一分離光是上述第一偏振層在第一偏振方向上分離入射光而得到的，上述第二分離光是上述第二偏振層在第二偏振方向上分離上述入射光而得到的。
[0017]通過上述工序制造出的第一受光部和第二受光部被異物相同程度地遮蔽的概率提高，從而能夠降低使某一方的信號強(qiáng)度下降得非常低的可能性。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0018]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，將上述基板作為第一基板，在上述偏振層形成工序中，在第二基板的表面形成上述第一偏振層和上述第二偏振層，將上述第二基板粘貼在上述第一基板上，來將上述第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置，并且將上述第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置。由此，能夠容易地進(jìn)行偏振層與受光部的重疊，并能夠容易地制造光學(xué)傳感器。
[0019]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，將上述基板作為第一基板，在上述偏振層形成工序中，在第二基板的表面形成上述第一偏振層，在第三基板的表面形成上述第二偏振層，將上述第一基板、上述第二基板以及上述第三基板粘貼在一起，來將上述第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置，并且將上述第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置。由此，能夠容易地進(jìn)行偏振層與受光部的重疊，并能夠容易地制造光學(xué)傳感器。
[0020]為了解決上述問題并達(dá)到目的，光學(xué)式編碼器的特征在于，包括:光源；光學(xué)標(biāo)尺，其根據(jù)上述光源的光源光發(fā)生透射或反射的位置的不同而偏振狀態(tài)不同；光學(xué)傳感器，其包括第一偏振層、第一受光部、第二偏振層以及第二受光部，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置，其中，上述第一偏振層在第一偏振方向上分離在上述光學(xué)標(biāo)尺透射或反射上述光源光而入射的入射光，上述第一受光部接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光，上述第二偏振層在第二偏振方向上分離上述入射光，上述第二受光部接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光；以及運(yùn)算單元，其根據(jù)上述第一分離光的光強(qiáng)度和上述第二分離光的光強(qiáng)度來計(jì)算上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對移動(dòng)量。
[0021]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，入射光被偏振分離為第一分離光和第二分離光。其結(jié)果，運(yùn)算單元能夠根據(jù)在第一偏振方向和第二偏振方向上分離得到的各偏振分量的信號強(qiáng)度來計(jì)算透射光或反射光的偏振角度。第一受光部和第二受光部被異物相同程度地遮蔽的概率提高，從而能夠降低使某一方的信號強(qiáng)度下降得非常低的可能性。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0022]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，運(yùn)算裝置能夠容易地計(jì)算偏振角度。
[0023]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0024]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。因此，光學(xué)傳感器能夠增加和減少入射光的量，調(diào)節(jié)入射光到達(dá)的范圍。其結(jié)果，光學(xué)傳感器能夠高精度地檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0025]為了解決上述問題并達(dá)到目的，扭矩檢測裝置利用扭桿(torsion bar)的扭轉(zhuǎn)來檢測扭矩，其特征在于，該扭矩檢測裝置包括:第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸，該第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸通過扭桿進(jìn)行連結(jié)，該扭桿通過被輸入扭矩而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)；多個(gè)光學(xué)標(biāo)尺，其與上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸各自的旋轉(zhuǎn)相對應(yīng)地進(jìn)行連動(dòng)；光學(xué)傳感器，其與上述光學(xué)標(biāo)尺成對設(shè)置，并且檢測根據(jù)所照射的光源光在上述光學(xué)標(biāo)尺發(fā)生透射或反射的位置的不同而變化的透射光或反射光的偏振狀態(tài)；以及運(yùn)算單元，其計(jì)算上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對的旋轉(zhuǎn)角度，并計(jì)算上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)位移，上述光學(xué)傳感器包括:第一偏振層，其在第一偏振方向上分離上述透射光或上述反射光的入射光；第一受光部，其接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光；第二偏振層，其在第二偏振方向上分離上述入射光；以及第二受光部，其接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光，其中，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置。
[0026]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，入射光被偏振分離為第一分離光和第二分離光。其結(jié)果，運(yùn)算單元能夠根據(jù)在第一偏振方向和第二偏振方向上分離得到的各偏振分量的信號強(qiáng)度來計(jì)算透射光或反射光的偏振角度。第一受光部和第二受光部被異物相同程度地遮蔽的概率提高，從而能夠降低使某一方的信號強(qiáng)度下降得非常低的可能性。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0027]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，運(yùn)算裝置能夠容易地計(jì)算偏振角度。[0028]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，光學(xué)傳感器也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0029]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。因此，光學(xué)傳感器能夠增加和減少入射光的量，調(diào)節(jié)入射光到達(dá)的范圍。其結(jié)果，光學(xué)傳感器能夠高精度地檢測透射光或反射光的偏振方向的變化。
[0030]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，上述運(yùn)算單元根據(jù)上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對的旋轉(zhuǎn)角度來計(jì)算上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸中的至少一個(gè)的絕對的旋轉(zhuǎn)角度，輸出根據(jù)上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)位移求出的扭矩檢測值和上述絕對的旋轉(zhuǎn)角度。由此，扭矩檢測裝置能夠作為扭矩角度傳感器發(fā)揮功能。
[0031]作為本發(fā)明的期望的方式，優(yōu)選的是，電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置具備上述的扭矩檢測裝置，將上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸安裝于轉(zhuǎn)向軸。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置能夠由扭矩檢測裝置將通過方向盤傳遞到輸入軸的駕駛員的轉(zhuǎn)向力檢測為轉(zhuǎn)向扭矩。
[0032]發(fā)明的效果
[0033]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠降低檢測光量的變動(dòng)的影響且提高分辨率的光學(xué)傳感器、光學(xué)式編碼器、扭矩檢測裝置以及電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1是實(shí)施方式I所涉及的編碼器部件的結(jié)構(gòu)圖。
[0035]圖2-1是說明光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0036]圖2-2是說明光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的變形例的說明圖。
[0037]圖3是實(shí)施方式I所涉及的編碼器的框圖。
[0038]圖4是表示實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵(wire grid)圖案的一例的說明圖。
[0039]圖5是用于說明實(shí)施方式I所涉及的金屬細(xì)線(wire)的圖案的一例的說明圖。
[0040]圖6是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與偏振軸方向的關(guān)系的說明圖。
[0041]圖7是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與偏振軸方向的關(guān)系的說明圖。
[0042]圖8-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0043]圖8-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0044]圖9-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0045]圖9-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0046]圖10-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0047]圖10-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0048]圖11-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的檢測范圍的說明圖。
[0049]圖11-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的檢測范圍的說明圖。
[0050]圖11-3是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的檢測范圍的說明圖。[0051]圖11-4是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的檢測范圍的說明圖。
[0052]圖12-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0053]圖12-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0054]圖13-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的偏振分量的分離的說明圖。
[0055]圖13-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的偏振分量的分離的說明圖。
[0056]圖13-3是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的偏振分量的分離的說明圖。
[0057]圖14是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的旋轉(zhuǎn)角度與差動(dòng)信號的關(guān)系的說明圖。
[0058]圖15-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0059]圖15-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0060]圖15-3是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0061]圖16是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0062]圖17是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的流程圖。
[0063]圖18-1是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0064]圖18-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0065]圖18-3是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0066]圖18-4是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0067]圖18-5是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0068]圖18-6是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0069]圖19是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的變形例的說明圖。
[0070]圖20是實(shí)施方式I的變形例所涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)圖。
[0071]圖21是實(shí)施方式2所涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)圖。
[0072]圖22是實(shí)施方式2所涉及的編碼器的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。
[0073]圖23是表示實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0074]圖24-1是用于說明實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0075]圖24-2是用于說明實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0076]圖25-1是用于說明實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0077]圖25-2是用于說明實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。
[0078]圖26是用于說明實(shí)施方式2所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與偏振軸方向的關(guān)系的說明圖。
[0079]圖27是實(shí)施方式2的變形例所涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)圖。
[0080]圖28是實(shí)施方式3所涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)圖。
[0081]圖29是表示實(shí)施方式3所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0082]圖30是用于說明實(shí)施方式3所涉及的光學(xué)傳感器的旋轉(zhuǎn)角度與差動(dòng)信號的關(guān)系的說明圖。
[0083]圖31是實(shí)施方式3的變形例所涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)圖。
[0084]圖32是用于說明實(shí)施方式4所涉及的扭矩傳感器的主要結(jié)構(gòu)部件的分解立體圖。
[0085]圖33-1是說明實(shí)施方式4所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。[0086]圖33-2是示意性地說明實(shí)施方式4所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0087]圖34是說明實(shí)施方式4所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0088]圖35是實(shí)施方式4所涉及的扭矩檢測裝置的框圖。
[0089]圖36是用于說明實(shí)施方式4所涉及的扭矩傳感器的變形例的說明圖。
[0090]圖37是說明實(shí)施方式5所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0091]圖38是說明實(shí)施方式6所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0092]圖39是用于示意性地說明實(shí)施方式7所涉及的扭矩傳感器的說明圖。
[0093]圖40是說明實(shí)施方式7所涉及的扭矩傳感器的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0094]圖41是用于說明實(shí)施方式7所涉及的扭矩傳感器的變形例的說明圖。
[0095]圖42是實(shí)施方式8所涉及的扭矩傳感器的結(jié)構(gòu)圖。
[0096]圖43是實(shí)施方式8所涉及的扭矩傳感器的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。
[0097]圖44是實(shí)施方式8的變形例所涉及的扭矩傳感器的結(jié)構(gòu)圖。
[0098]圖45是實(shí)施方式9所涉及的電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0099]圖46是實(shí)施方式10所涉及的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)圖。
[0100]圖47是實(shí)施方式10的變形例所涉及的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)圖。
[0101]圖48是用于說明實(shí)施方式11所涉及的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0102]圖49是用于說明實(shí)施方式12所涉及的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0103]圖50是用于說明實(shí)施方式12所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0104]圖51是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的流程圖。
[0105]圖52-1是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0106]圖52-2是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0107]圖52-3是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0108]圖52-4是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0109]圖52-5是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的說明圖。
[0110]圖53-1是用于說明實(shí)施方式13的變形例所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的偏振層的制造的說明圖。
[0111]圖53-2是用于說明實(shí)施方式13的變形例所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的偏振層的制造的說明圖。
[0112]圖53-3是用于說明實(shí)施方式13的變形例所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的偏振層的制造的說明圖。
[0113]圖54-1是用于說明實(shí)施方式13的另一變形例所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的偏振層的制造的說明圖。
[0114]圖54-2是用于說明實(shí)施方式13的另一變形例所涉及的光學(xué)傳感器的制造工序的偏振層的制造的說明圖。[0115]圖55是用于說明實(shí)施方式13所涉及的光學(xué)傳感器的一例的說明圖。
[0116]圖56是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的流程圖。
[0117]圖57-1是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0118]圖57-2是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0119]圖57-3是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0120]圖57-4是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0121]圖57-5是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0122]圖57-6是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0123]圖58是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的光入射部的平面圖。
[0124]圖59-1是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0125]圖59-2是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0126]圖59-3是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0127]圖59-4是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0128]圖59-5是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0129]圖59-6是用于說明實(shí)施方式14所涉及的光學(xué)傳感器的封裝制造工序的說明圖。
[0130]圖60是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的平面圖。
[0131]圖61是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的光出射部的平面圖。
[0132]圖62是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的變形例的平面圖。
[0133]圖63是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的另一變形例的平面圖。
[0134]圖64是用于說明對實(shí)施方式15所涉及的光源的光源光進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)光路徑的一例的平面圖。
[0135]圖65是用于說明對實(shí)施方式15所涉及的光源的光源光進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)光路徑的一例的平面圖。
[0136]圖66是用于說明對實(shí)施方式15所涉及的光源的光源光進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)光路徑的一例的平面圖。
[0137]圖67是用于說明對實(shí)施方式15所涉及的光源的光源光進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)光路徑的一例的平面圖。
[0138]圖68是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的流程圖。
[0139]圖69-1是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0140]圖69-2是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0141]圖69-3是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0142]圖69-4是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0143]圖69-5是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0144]圖69-6是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的封裝制造工序的說明圖。
[0145]圖70是用于說明實(shí)施方式15所涉及的光源的遮蔽的示意圖。
[0146]圖71是用于說明實(shí)施方式15所涉及的提高了遮蔽效率的光源的說明圖。
[0147]圖72是用于說明實(shí)施方式15所涉及的提高了遮蔽效率的光源的說明圖。
[0148]圖73是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的流程圖。
[0149]圖74-1是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。[0150]圖74-2是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0151]圖74-3是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0152]圖74-4是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0153]圖74-5是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0154]圖74-6是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0155]圖74-7是用于說明實(shí)施方式16所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0156]圖75是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的流程圖。
[0157]圖76-1是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0158]圖76-2是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0159]圖76-3是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0160]圖76-4是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0161]圖76-5是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0162]圖76-6是用于說明實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的制造工序的說明圖。
[0163]圖77是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0164]圖78是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0165]圖79是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0166]圖80是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0167]圖81是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0168]圖82是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0169]圖83是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0170]圖84是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0171]圖85是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0172]圖86是表示實(shí)施方式17所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。
[0173]圖87是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的說明圖。
[0174]圖88是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)傳感器的偏振軸的說明圖。
[0175]圖89是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)傳感器的偏振軸的說明圖。
[0176]圖90是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)傳感器的偏振軸的說明圖。
[0177]圖91是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的變形例的說明圖。
[0178]圖92是用于說明實(shí)施方式18所涉及的光學(xué)傳感器的變形例的說明圖。
[0179]圖93是用于說明實(shí)施方式18所涉及的編碼器的輸出的說明圖。
[0180]圖94是用于說明實(shí)施方式19所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的說明圖。
[0181]圖95是用于說明實(shí)施方式19所涉及的光學(xué)傳感器的偏振軸的說明圖。
[0182]圖96是用于說明實(shí)施方式19所涉及的光學(xué)傳感器的偏振軸的說明圖。
[0183]圖97是用于說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的輸出的說明圖。
[0184]圖98是用于說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的輸出的說明圖。
[0185]圖99是用于說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的變形例的說明圖。
[0186]圖100是用于說明圖99所示的編碼器的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0187]圖101是用于說明圖99所示的編碼器的光學(xué)傳感器的說明圖。
[0188]圖102是用于說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的變形例的說明圖。[0189]圖103是用于說明圖102所示的編碼器的光學(xué)傳感器的配置的說明圖。
[0190]圖104是實(shí)施方式19所涉及的編碼器的框圖。
[0191]圖105是實(shí)施方式19所涉及的編碼器的框圖。
[0192]圖106是說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的角度檢測用信號輸出的說明圖。
[0193]圖107是說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的角度檢測用信號輸出的說明圖。
[0194]圖108是說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的角度檢測用信號輸出的說明圖。
[0195]圖109是說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的角度檢測用信號輸出的說明圖。
[0196]圖110是說明實(shí)施方式19所涉及的編碼器的角度檢測用信號輸出的流程圖。
[0197]圖111是用于說明實(shí)施方式20所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的說明圖。
[0198]圖112是用于說明實(shí)施方式20所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與角度范圍的關(guān)系的說明圖。
[0199]圖113-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的說明圖。
[0200]圖113-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的說明圖。
[0201]圖114-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0202]圖114-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0203]圖114-3是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0204]圖114-4是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0205]圖115-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0206]圖115-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0207]圖115-3是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0208]圖115-4是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0209]圖116-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0210]圖116-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0211]圖116-3是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0212]圖116-4是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0213]圖117-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。[0214]圖117-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0215]圖117-3是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0216]圖117-4是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0217]圖118-1是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0218]圖118-2是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0219]圖118-3是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0220]圖118-4是用于說明實(shí)施方式21所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0221]圖119-1是用于說明比較例所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0222]圖119-2是用于說明比較例所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0223]圖119-3是用于說明比較例所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0224]圖119-4是用于說明比較例所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與利薩如角度的關(guān)系的說明圖。
[0225]圖120是說明實(shí)施方式22所涉及的扭矩檢測裝置的動(dòng)作的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0226]參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式(實(shí)施方式)。本發(fā)明不限定于下面的實(shí)施方式所記載的內(nèi)容。另外，下面所記載的結(jié)構(gòu)要素中包含本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠容易設(shè)想的要素、實(shí)質(zhì)相同的要素。還能夠適當(dāng)?shù)亟M合下面所記載的結(jié)構(gòu)要素。
[0227](實(shí)施方式I)
[0228]圖1是實(shí)施方式I所涉及的編碼器部件的結(jié)構(gòu)圖。編碼器部件I具有與電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)機(jī)械連結(jié)的軸29、定子20、轉(zhuǎn)子10以及將能夠讀取信號圖案的后述的光學(xué)傳感器進(jìn)行封裝得到的光學(xué)傳感器封裝件31。
[0229]轉(zhuǎn)子10具有作為圓板形狀的部件的光學(xué)標(biāo)尺11。光學(xué)標(biāo)尺11例如由硅、玻璃、高分子材料等形成。光學(xué)標(biāo)尺11在一方或兩方的板面上具有信號軌道Tl。另外，在轉(zhuǎn)子10上，相對于安裝有光學(xué)標(biāo)尺11的板面在另一方的板面上安裝有軸29。
[0230]定子20與軸29和轉(zhuǎn)子10相獨(dú)立地固定。定子20具有軸承部21。定子20通過軸承部21將軸29能夠旋轉(zhuǎn)地進(jìn)行支承。當(dāng)軸29由于來自電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，與軸29連動(dòng)地轉(zhuǎn)子10以中心O為軸中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。光學(xué)傳感器封裝件31通過外殼與定子20固定在一起。當(dāng)轉(zhuǎn)子10旋轉(zhuǎn)時(shí)，光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl相對于光學(xué)傳感器封裝件31相對地移動(dòng)。
[0231]圖2-1是說明光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的說明圖。當(dāng)上述轉(zhuǎn)子10旋轉(zhuǎn)時(shí)，光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl例如沿R方向相對于光學(xué)傳感器封裝件31相對地移動(dòng)。光學(xué)傳感器封裝件31包括能夠讀取光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl的光學(xué)傳感器35和光源41。光源41的光源光71在光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl上發(fā)生反射，光學(xué)傳感器35將該反射的反射光72作為入射光進(jìn)行檢測。實(shí)施方式I所涉及的編碼器部件I不限于上述的反射型的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置，也可以是透射型的光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置。
[0232]圖2-2是說明光學(xué)標(biāo)尺和光學(xué)傳感器的配置的變形例的說明圖。當(dāng)上述轉(zhuǎn)子10旋轉(zhuǎn)時(shí)，光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl例如沿R方向相對于光學(xué)傳感器封裝件31相對地移動(dòng)。如圖2-2所示，在透射型的變形例中，光學(xué)傳感器封裝件31包括能夠讀取光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl的光學(xué)傳感器35。而且,光源41隔著光學(xué)標(biāo)尺11配置在與光學(xué)傳感器35相向的位置上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，光源41的光源光71透過光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl,光學(xué)傳感器35將該透過的透射光73作為入射光進(jìn)行檢測。
[0233]圖3是實(shí)施方式I所涉及的編碼器的框圖。編碼器2具備上述的編碼器部件I以及運(yùn)算裝置3，如圖3所示，編碼器部件I的光學(xué)傳感器35與運(yùn)算裝置3相連接。運(yùn)算裝置3與電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)機(jī)械的控制部5相連接。
[0234]編碼器2通過光學(xué)傳感器35檢測光源光71在光學(xué)標(biāo)尺11發(fā)生透射或反射而入射的反射光72或透射光73。運(yùn)算裝置3根據(jù)光學(xué)傳感器35的檢測信號計(jì)算編碼器部件I的轉(zhuǎn)子10與光學(xué)傳感器封裝件31的相對位置，將相對位置的信息作為控制信號輸出到電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)機(jī)械的控制部5。
[0235]運(yùn)算裝置3是個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)等計(jì)算機(jī)，包括輸入接口 4a、輸出接口 4b、CPU (Central Processing Unit:中央處理單兀)4c、ROM (Read Only Memory:只讀存儲器)4d、RAM (Random Access Memory:隨機(jī)存取存儲器)4e以及內(nèi)部存儲裝置4f。輸入接口 4a、輸出接口 4b、CPU4c、R0M4d、RAM4e以及內(nèi)部存儲裝置4f通過內(nèi)部總線進(jìn)行連接。此夕卜，運(yùn)算裝置3也可以由專用的處理電路構(gòu)成。
[0236]輸入接口 4a接收來自編碼器部件I的光學(xué)傳感器35的輸入信號，并輸出到CPU4c。輸出接口 4b接收來自CPU4c的控制信號，并輸出到控制部5。
[0237]在R0M4d中存儲有BIOS (Basic Input Output System:基本輸入輸出系統(tǒng))等的程序。內(nèi)部存儲裝置4f例如是HDD (Hard Disk Drive:硬盤驅(qū)動(dòng)器)、快閃存儲器等，存儲有操作系統(tǒng)程序、應(yīng)用程序。CPU4c通過在將RAM4e用作工作區(qū)的同時(shí)執(zhí)行存儲在R0M4d、內(nèi)部存儲裝置4f中的程序，來實(shí)現(xiàn)各種功能。
[0238]內(nèi)部存儲裝置4f中存儲有將光學(xué)標(biāo)尺11中的后述的偏振軸與光學(xué)傳感器35的輸出進(jìn)行對應(yīng)的數(shù)據(jù)庫。
[0239]圖4是表示實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的一例的說明圖。圖4所示的信號軌道Tl的被稱為線柵圖案的金屬細(xì)線(wire) g的排列形成在圖1所示的光學(xué)標(biāo)尺11上。
[0240]多個(gè)金屬細(xì)線g以不交叉且切線方向連續(xù)變化的方式進(jìn)行配置。相鄰的金屬細(xì)線g之間是光源光71的全部或一部分能夠透過的透過區(qū)域W。在金屬細(xì)線g的寬度和相鄰的金屬細(xì)線g的間隔、即金屬細(xì)線g的寬度和透過區(qū)域w的寬度與光源41的光源光71的波長相比充分小的情況下，光學(xué)標(biāo)尺11能夠?qū)庠垂?1的反射光72或透射光73進(jìn)行偏振分離。
[0241]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠與切線方向相應(yīng)地，根據(jù)所照射的光源光71在光學(xué)標(biāo)尺11發(fā)生透射或反射的位置的不同而改變透射光73或反射光72的偏振狀態(tài)。因此，上述光學(xué)標(biāo)尺11不需要使偏振方向不同的部分變細(xì)。其結(jié)果，光學(xué)標(biāo)尺11即使小也能夠形成高分辨率。而且，小的光學(xué)標(biāo)尺11能夠?qū)庠?1和光學(xué)傳感器35的配置提供自由度。另外，與光感應(yīng)的偏振片相比，光學(xué)標(biāo)尺11能夠提高耐熱性。另外，光學(xué)標(biāo)尺11形成為沒有局部地交叉那樣的部分的直線圖案，因此能夠形成精度提高且誤差少的光學(xué)標(biāo)尺。另外，光學(xué)標(biāo)尺11也能夠通過集體的曝光或者納米壓印技術(shù)來穩(wěn)定地進(jìn)行制造，因此能夠形成精度提高且誤差少的光學(xué)標(biāo)尺。
[0242]圖5是用于說明實(shí)施方式I所涉及的金屬細(xì)線(wire)的圖案的一例的說明圖。關(guān)于金屬細(xì)線g，使圖5所示的圖案距坐標(biāo)(0，0)的距離不同，并且以切線方向固定的方式排列多個(gè)，來如圖4所示那樣剪切成環(huán)狀。圖6和圖7是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的旋轉(zhuǎn)角度與偏振軸方向的關(guān)系的說明圖。在圖6中，將旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為erot，將以金屬細(xì)線的極徑方向?yàn)榛鶞?zhǔn)的切線角度、即由光學(xué)傳感器封裝件31檢測出的切線TGL的切線方向的角度變化設(shè)為9d。當(dāng)將旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為360°、即信號軌道Tl旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，0d如圖7所示那樣變化。在圖5所示的金屬細(xì)線g的圖案中，在旋轉(zhuǎn)角度0rot從0°變?yōu)?5°的情況下，例如切線角度0d從90°變?yōu)?5°。同樣地，在旋轉(zhuǎn)角度Θ rot從15°變?yōu)?0°的情況下，例如切線角度0d從45°變?yōu)?0°。這樣，光學(xué)標(biāo)尺11的切線角度0d能夠與旋轉(zhuǎn)角度Θ rot相應(yīng)地以規(guī)定的關(guān)系周期性地變化。如圖7所示，每當(dāng)旋轉(zhuǎn)角度Θ rot變化30°時(shí)，切線角度0d的值都產(chǎn)生跳躍，但是運(yùn)算裝置3能夠?qū)⒚慨?dāng)旋轉(zhuǎn)角度Θ rot變化30°時(shí)的切線角度0d的值就切線方向(偏振軸)而言都作為相同的值進(jìn)行處理。這樣，對于切線角度Gd的變化量為45°的情況進(jìn)行了說明，但是本實(shí)施方式不限定于此，例如切線角度Qd的變化量也可以為45°以下。
[0243]圖8_1、圖8_2、圖9_1、圖9_2以及圖10_1、圖10_2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的線柵圖案的說明圖。由于根據(jù)作為切線角度的Gd檢測偏振軸，因此本實(shí)施方式的線柵圖案的相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2在保持相同的切線角度的同時(shí)連續(xù)地變化。而且，如圖8-1和圖9-1所示，本實(shí)施方式的線柵圖案在切線角度不同的情況下以透過區(qū)域的寬度Awl和透過區(qū)域的寬度Aw2不同的方式排列。
[0244]例如相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2彎曲的區(qū)域的圖8-1所示的透過區(qū)域的寬度Awl大于圖9-1所示的透過區(qū)域的寬度Aw2。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠容易地以切線方向連續(xù)變化的方式配置多個(gè)金屬細(xì)線。而且，相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2形成如圖10-1那樣的線柵圖案。另外，當(dāng)相鄰的金屬細(xì)線g以相同的規(guī)律性排列時(shí)，能夠形成具有如圖4所示那樣的線柵圖案的信號軌道Tl。
[0245]圖8-2和圖9-2所示的本實(shí)施方式的線柵圖案示出了圖4所示的金屬細(xì)線g的中心線。由于將作為切線角度的Gd檢測為偏振軸，因此本實(shí)施方式的線柵圖案的相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2在保持相同的切線角度的同時(shí)連續(xù)地變化。另外，線柵圖案的相鄰的金屬細(xì)線g2和金屬細(xì)線g3在保持相同的切線角度的同時(shí)連續(xù)地變化。金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的切線角度的變化的基準(zhǔn)點(diǎn)為上述轉(zhuǎn)子10的中心0(與圖5的(O, O)對應(yīng)的位置)。
[0246]如圖8-2所示，在半徑方向上，相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2的中心線間的間距(間隔)Awl與相鄰的金屬細(xì)線g2和金屬細(xì)線g3的中心線間的間距Awl相同。如圖
9-2所示，在半徑方向上，相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2的中心線間的間距Aw2與相鄰的金屬細(xì)線g2和金屬細(xì)線g3的中心線間的間距Aw2相同。由此，在金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的相同的半徑方向上，金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的切線角度相同。
[0247]另外，多個(gè)金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3以不交叉且切線方向連續(xù)變化的方式進(jìn)行配置。其結(jié)果，在切線角度不同的位置(半徑方向不同的位置)，例如以圖8-2所示的間距Awl和圖9-2所示的間距Λ W2不同的方式排列。例如相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2彎曲的(波浪)區(qū)域的圖8-2所示的間距Awl大于圖9-2所示的間距Aw2。這樣，在相鄰的金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的金屬細(xì)線的間距Awl (間隔)相等的范圍內(nèi)多個(gè)金屬細(xì)線的切線方向?yàn)橄嗤某?，在間距Awl(間隔)與間距Aw2(間隔)不同的范圍內(nèi)金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的切線方向的朝向不同。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠容易地以切線方向連續(xù)變化的方式配置多個(gè)金屬細(xì)線。
[0248]上述金屬細(xì)線間的間距也可以如圖10-2所示那樣用相鄰的金屬細(xì)線gl的邊緣部與金屬細(xì)線g2的邊緣部的間隔來定義。在相同的半徑方向上，相鄰的金屬細(xì)線gl的邊緣部和金屬細(xì)線g2的邊緣部間的間距(間隔)AW3與相鄰的金屬細(xì)線g2的邊緣部和金屬細(xì)線g3的邊緣部間的間距AW3相同。另外，在半徑方向上，相鄰的金屬細(xì)線gl的邊緣部和金屬細(xì)線g2的邊緣部間的間距Aw4與相鄰的金屬細(xì)線g2的邊緣部和金屬細(xì)線g3的邊緣部間的間距AW4相同。由此，在金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的相同的半徑方向上，金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3的切線角度相同。
[0249]另外，多個(gè)金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3以不交叉且切線方向連續(xù)變化的方式進(jìn)行配置。其結(jié)果，在切線角度不同的情況下，本實(shí)施方式的線柵圖案例如以圖
10-2所示的間距Aw3和間距ΛW4不同的方式排列。相鄰的金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2彎曲的(波浪)區(qū)域的圖10-2所示的間距Aw3大于金屬細(xì)線gl和金屬細(xì)線g2呈直線的區(qū)域的間距Aw4。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠容易地以切線方向連續(xù)變化的方式配置多個(gè)金屬細(xì)線。
[0250]如以上說明的那樣，多個(gè)金屬細(xì)線gl、金屬細(xì)線g2以及金屬細(xì)線g3當(dāng)以相同的規(guī)律性排列時(shí)，能夠形成具有如圖4所示那樣的線柵圖案的信號軌道Tl。另外，圖4所示的多個(gè)金屬細(xì)線g以閉合曲線為基礎(chǔ)，配置成以上述中心O為基準(zhǔn)點(diǎn)在相同的半徑方向上相鄰的金屬細(xì)線g的間距(間隔)為相等的間隔。另外，光學(xué)標(biāo)尺11能夠?qū)⒔饘偌?xì)線g制造為連續(xù)的圖案。因此，光學(xué)標(biāo)尺11由簡單的線-間隔的圖案形成，因此例如能夠提高光刻工藝的精度。其結(jié)果，光學(xué)標(biāo)尺11能夠形成為精度高的標(biāo)尺。另外，如果在以中心O為基準(zhǔn)點(diǎn)的相同的半徑方向上，以相鄰的金屬細(xì)線g的間距(間隔)為相等的間隔的方式進(jìn)行配置，則只要是以中心O為基準(zhǔn)點(diǎn)的不同的半徑方向，就可以不使相鄰的金屬細(xì)線g的間距(間隔)、即金屬細(xì)線gl、g2、g3的線-間隔之比為1:1，而使其根據(jù)場所適當(dāng)?shù)刈兓?。這樣，關(guān)于光學(xué)標(biāo)尺11，能夠通過變更線寬比來進(jìn)行偏振比的校正。
[0251]圖11-1、圖11-2、圖11-3、圖11_4是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)標(biāo)尺的檢測范圍的說明圖。在圖11-1中，光學(xué)傳感器35基于信號軌道Tl的感測范圍Cl的線柵圖案來檢測偏振軸。在圖11-2中，光學(xué)傳感器35基于信號軌道Tl的感測范圍C2的線柵圖案檢測偏振軸。在此，感測范圍是指光源光在光學(xué)標(biāo)尺11發(fā)生透射或反射的范圍。
[0252]如圖11-1和圖11-2所示，光學(xué)標(biāo)尺11沿R方向旋轉(zhuǎn)，光學(xué)標(biāo)尺的信號軌道Tl的感測范圍發(fā)生變化。如上所述，光學(xué)標(biāo)尺11的信號軌道Tl以切線方向連續(xù)變化的方式配置多個(gè)金屬細(xì)線。也就是說，如上所述，信號軌道Tl在感測范圍Cl中，相鄰的上述多個(gè)金屬細(xì)線g的間隔相等。另外，在感測范圍C2中，相鄰的上述多個(gè)金屬細(xì)線g的間隔相等。
[0253]而且，有時(shí)在感測范圍Cl中相鄰的上述多個(gè)金屬細(xì)線g的間隔與在感測范圍C2中相鄰的上述多個(gè)金屬細(xì)線g的間隔不同。也就是說，在切線方向不同的位置，相鄰的多個(gè)金屬細(xì)線g的間隔不同。而且，照射至多個(gè)金屬細(xì)線g的光源光71成為具有根據(jù)切線方向的不同而變化的偏振軸的反射光72或透射光73。
[0254]圖11-3示出了圖11-1所示的感測范圍Cl的圖案方向P90例如為+90°的情形。圖11-4示出了圖11-2所示的感測范圍C2的圖案方向P45為+45°的情形。這樣，隨著線柵圖案的切線角度的變化，向光學(xué)傳感器35入射的入射光的偏振軸與光學(xué)標(biāo)尺11的旋轉(zhuǎn)相應(yīng)地變化。因此，只要檢測出偏振軸的變化，就能夠掌握光學(xué)標(biāo)尺11的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。接著，說明檢測偏振軸的變化并作為偏振分離單元的實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器35。
[0255]圖12-1和圖12-2是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的說明圖。如圖12-1所不,光學(xué)傳感器35包括第一光學(xué)傳感器36A和第二光學(xué)傳感器36B。第一光學(xué)傳感器36A包括在第一偏振方向上分離入射光的第一偏振層和接收由該第一偏振層分離出的第一分離光的第一受光部，能夠檢測第一偏振方向的光強(qiáng)度。第二光學(xué)傳感器36B包括在第二偏振方向上分尚上述入射光的第二偏振層和接收由該第二偏振層分尚出的第二分尚光的第二受光部，能夠檢測第二偏振方向的光強(qiáng)度。
[0256]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，入射光被偏振分離為第一分離光和第二分離光。其結(jié)果，運(yùn)算裝置3能夠根據(jù)在第一偏振方向和第二偏振方向上分離得到的各偏振分量的信號強(qiáng)度來計(jì)算反射光72或透射光73的偏振角度。第一偏振方向和第二偏振方向更為優(yōu)選是相對地相差90°的方向。由此，運(yùn)算裝置3能夠容易地進(jìn)行偏振角度的計(jì)算。
[0257]如圖12-2所不,光學(xué)傳感器35也可以將第一光學(xué)傳感器36A和第二光學(xué)傳感器36B縱橫交替地排列。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使異物遮蔽了感測范圍的一部分，第一光學(xué)傳感器36A和第二光學(xué)傳感器36B被相同程度地遮蔽的概率提高，從而也能夠降低使某一方的信號強(qiáng)度下降得非常低的可能性。因此，即使由于異物而入射光的光強(qiáng)度減少，編碼器2也能夠在降低了異物的影響的狀態(tài)下利用后述的差動(dòng)信號V檢測偏振方向的變化。
[0258]圖13-1、圖13-2以及圖13_3是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的偏振分量的分離的說明圖。如圖13-1那樣，通過光學(xué)標(biāo)尺11使光源光71向偏振方向Pm偏振的入射光入射至光學(xué)傳感器35的感測范圍Tm。在圖13-1中，在光學(xué)傳感器35的感測范圍Tm內(nèi)存在異物Dl和異物D2。入射光的偏振方向Pm能夠用上述的第一偏振方向的分量的信號強(qiáng)度1(-)和第二偏振方向的分量的信號強(qiáng)度I (+)來表現(xiàn)。第一偏振方向和第二偏振方向優(yōu)選為相差90°的方向,相對于基準(zhǔn)方向形成為例如+45°分量和-45°分量。
[0259]如圖13-2所不,第一光學(xué)傳感器36A通過在第一偏振方向上分離入射光的第一偏振層進(jìn)行檢測，因此檢測出第一偏振方向的分量的信號強(qiáng)度I (_)。如圖13-3所示，第二光學(xué)傳感器36B通過在第二偏振方向上分離入射光的第二偏振層進(jìn)行檢測，因此檢測出第二偏振方向的分量的信號強(qiáng)度I (+)。
[0260]上述的圖3所示的運(yùn)算裝置3獲取光學(xué)傳感器35的檢測信號、即第一偏振方向的分量的信號強(qiáng)度1(-)和第二偏振方向的分量的信號強(qiáng)度U+)。然后，運(yùn)算裝置3依照下述式(I)，根據(jù)第一偏振方向的分量的信號強(qiáng)度I (-)和第二偏振方向的分量的信號強(qiáng)度I (+)計(jì)算差動(dòng)信號V。
[0261][式1]
[0262]V = [I (+) -1 (-) ]/[I (+) +I (-) ] = sin (2 Θ d)…(1)
[0263]通過式(I)計(jì)算出的差動(dòng)信號V不包含受到光源41的光強(qiáng)度的影響的參數(shù)，從而編碼器2能夠降低光學(xué)傳感器35與光學(xué)標(biāo)尺11之間的距離、光源41的光強(qiáng)度的偏差等的影響。另外，即使如圖13-1所示那樣由于異物Dl和異物D2而入射光的光強(qiáng)度減少，編碼器2也能夠在降低了異物Dl和異物D2的影響的狀態(tài)下利用差動(dòng)信號V檢測上述偏振方向Pm的變化。
[0264]圖14是用于說明實(shí)施方式I所涉及的光學(xué)傳感器的旋轉(zhuǎn)角度與差動(dòng)信號的關(guān)系的說明圖。圖14的縱軸是差動(dòng)信號V，橫軸表示圖6所示的旋轉(zhuǎn)角度0rot。在旋轉(zhuǎn)角度0rot為360°、即光學(xué)標(biāo)尺11旋轉(zhuǎn)一周的情況下，差動(dòng)信號V表示6個(gè)周期的波形。這與圖5所示的金屬細(xì)線的圖案在360°具有6個(gè)周期的波浪的曲線的周期一致。例如，圖14所示的差動(dòng)信號V的波形為正弦波形。此外，波浪的波數(shù)是例示的，不限定于上述的周期。另外，差動(dòng)信號V在透射光的情況和反射光的情況下雖然相位不同，但都保持6個(gè)周期的波形。
[0265]運(yùn)算裝置3在RAM4e和內(nèi)部存儲裝置4f中的至少一個(gè)中存儲有圖14所示的旋轉(zhuǎn)角度Θ rot與差動(dòng)信號V的關(guān)系的信息，CPU4c能夠根據(jù)差動(dòng)信號V的信息來計(jì)算轉(zhuǎn)子10的轉(zhuǎn)數(shù)。
[0266]例如，運(yùn)算裝置3能夠根據(jù)圖7所示的切線角度Θ d與旋轉(zhuǎn)角度Θ rot的關(guān)系和上述式(I)所示的差動(dòng)信號V來計(jì)算切線角度0d。此外，如圖7所示，在將與切線角度0d變化最大量時(shí)的光學(xué)標(biāo)尺Ii的波數(shù)(波浪個(gè)數(shù))有關(guān)的旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為最大角度emax的情況下，每一個(gè)Θ rot時(shí)的Θ d的變化率如式(2)那樣。
[0267][式2]
[0268]
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)傳感器，其特征在于，包括: 第一偏振層，其在第一偏振方向上分離入射光； 第一受光部，其接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光； 第二偏振層，其在第二偏振方向上分離上述入射光；以及 第二受光部，其接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光， 其中，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)傳感器，其特征在于， 上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)傳感器，其特征在于， 上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)傳感器，其特征在于， 還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。
5.一種光學(xué)傳 感器的制造方法，其特征在于，包括以下工序: 受光部形成工序，在基板的表面上，以接收光的第一受光部和第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置的方式形成受光部；以及 偏振層形成工序，將形成第一分離光的第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置使得上述第一分離光入射到上述第一受光部，將形成第二分離光的第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置使得上述第二分離光入射到上述第二受光部，其中，上述第一分離光是上述第一偏振層在第一偏振方向上分離入射光而得到的，上述第二分離光是上述第二偏振層在第二偏振方向上分離上述入射光而得到的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)傳感器的制造方法，其特征在于， 將上述基板作為第一基板， 在上述偏振層形成工序中，在第二基板的表面形成上述第一偏振層和上述第二偏振層，將上述第二基板粘貼在上述第一基板上，來將上述第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置，并且將上述第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)傳感器的制造方法，其特征在于， 將上述基板作為第一基板， 在上述偏振層形成工序中，在第二基板的表面形成上述第一偏振層，在第三基板的表面形成上述第二偏振層，將上述第一基板、上述第二基板以及上述第三基板粘貼在一起，來將上述第一偏振層與上述第一受光部相重疊地配置，并且將上述第二偏振層與上述第二受光部相重疊地配置。
8.一種光學(xué)式編碼器，其特征在于，包括: 光源；光學(xué)標(biāo)尺，其根據(jù)上述光源的光源光發(fā)生透射或反射的位置的不同而偏振狀態(tài)不同；光學(xué)傳感器，其包括第一偏振層、第一受光部、第二偏振層以及第二受光部，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置，其中，上述第一偏振層在第一偏振方向上分離在上述光學(xué)標(biāo)尺透射或反射上述光源光而入射的入射光，上述第一受光部接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光，上述第二偏振層在第二偏振方向上分離上述入射光，上述第二受光部接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光；以及 運(yùn)算單元，其根據(jù)上述第一分離光的光強(qiáng)度和上述第二分離光的光強(qiáng)度來計(jì)算上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對移動(dòng)量。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)式編碼器，其特征在于， 上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的光學(xué)式編碼器，其特征在于， 上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。
11.根據(jù)權(quán)利要求8至10中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)式編碼器，其特征在于， 還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。
12.—種扭矩檢測裝置，其特征在于，利用扭桿的扭轉(zhuǎn)來檢測扭矩， 該扭矩檢測裝置包括: 第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸，該第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸通過扭桿進(jìn)行連結(jié)，該扭桿通過被輸入扭矩而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)； 多個(gè)光學(xué)標(biāo)尺，其與上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸各自的旋轉(zhuǎn)相對應(yīng)地進(jìn)行連動(dòng)； 光學(xué)傳感器，其與上述光學(xué)標(biāo)尺成對設(shè)置，并且檢測根據(jù)所照射的光源光在上述光學(xué)標(biāo)尺發(fā)生透射或反射的位置的不同而變化的透射光或反射光的偏振狀態(tài)；以及 運(yùn)算單元，其計(jì)算上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對的旋轉(zhuǎn)角度，并計(jì)算上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)位移， 上述光學(xué)傳感器包括: 第一偏振層，其在第一偏振方向上分離上述透射光或上述反射光的入射光； 第一受光部，其接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光； 第二偏振層，其在第二偏振方向上分離上述入射光；以及 第二受光部，其接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光， 其中，上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地配置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的扭矩檢測裝置，其特征在于， 上述第一分離光的偏振軸和上述第二分離光的偏振軸相對地相差90°。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的扭矩檢測裝置，其特征在于， 上述第一受光部和上述第二受光部呈彼此隔開固定距離地相嚙合的梳齒狀。
15.根據(jù)權(quán)利要求12至14中的任一項(xiàng)所述的扭矩檢測裝置，其特征在于， 還包括遮光膜，該遮光膜對向上述第一受光部和上述第二受光部入射的上述入射光進(jìn)行限制。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至15中的任一項(xiàng)所述的扭矩檢測裝置，其特征在于， 上述運(yùn)算單元根據(jù)上述光學(xué)標(biāo)尺與上述光學(xué)傳感器的相對的旋轉(zhuǎn)角度來計(jì)算上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸中 的至少一個(gè)的絕對的旋轉(zhuǎn)角度，輸出根據(jù)上述第一旋轉(zhuǎn)軸和上述第二旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)位移求出的扭矩檢測值和上述絕對的旋轉(zhuǎn)角度。
17.—種電動(dòng)動(dòng)力轉(zhuǎn)向裝置，其具備根據(jù)權(quán)利要求12至16中的任一項(xiàng)所述的扭矩檢測裝置，將上述第一旋轉(zhuǎn)軸和 上述第二旋轉(zhuǎn)軸安裝于轉(zhuǎn)向軸。
【文檔編號】G01D5/347GK103906997SQ201280053880
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月31日
【發(fā)明者】小口壽明, 笹尾邦彥, 杉田澄雄 申請人:日本精工株式會(huì)社