光學(xué)計(jì)測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】在本發(fā)明的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，利用光對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物(200)進(jìn)行計(jì)測(cè)，具有頭部(10)、控制部(20)、光纖(11)、存儲(chǔ)部(40)。在本發(fā)明的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，光纖(11)連接頭部(10)和控制部(20)。存儲(chǔ)部(40)分別與所制造的頭部(10)的各個(gè)體相關(guān)聯(lián)，存儲(chǔ)由控制部(20)進(jìn)行運(yùn)算所需的信息，來(lái)作為頭部(10)的個(gè)體信息?？刂撇?20)，從相對(duì)于控制部(20)而在物理上獨(dú)立存在的存儲(chǔ)部(40、41)中讀取個(gè)體信息，利用所讀取的個(gè)體信息進(jìn)行運(yùn)算。
【專利說(shuō)明】光學(xué)計(jì)測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及利用光來(lái)對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物進(jìn)行計(jì)測(cè)的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，特別涉及包括使頭部(光頭)接受來(lái)自計(jì)測(cè)對(duì)象物的光的光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，正在開(kāi)發(fā)利用光來(lái)對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物進(jìn)行計(jì)測(cè)的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置。例如，作為以非接觸方式對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物的位移進(jìn)行計(jì)測(cè)的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，正在開(kāi)發(fā)利用共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物的位移進(jìn)行計(jì)測(cè)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置。共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置，具體被美國(guó)專利第4585349號(hào)說(shuō)明書(專利文獻(xiàn)I)所公開(kāi)。專利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置具有色差透鏡，該色差透鏡使從用于出射多個(gè)波長(zhǎng)的光的光源(例如白色光源)中出射的光，沿著光軸而產(chǎn)生色差。在專利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中，因計(jì)測(cè)對(duì)象物的位移不同而導(dǎo)致來(lái)自合焦的色差透鏡的光的波長(zhǎng)不同，因此通過(guò)了針孔(Pin hole)的光的波長(zhǎng)發(fā)生變化，對(duì)通過(guò)了針孔的光的波長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定，來(lái)計(jì)測(cè)出計(jì)測(cè)對(duì)象物的位移。
[0003]另外，在美國(guó)專利第5785651號(hào)說(shuō)明書(專利文獻(xiàn)2)所公開(kāi)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中，取代色差透鏡而使用衍射透鏡，使從光源出射的光沿光軸產(chǎn)生色差。此外，在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中，對(duì)從光源到準(zhǔn)直透鏡的光路以及從準(zhǔn)直透鏡到分光器的光路使用光纖。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:美國(guó)專利第4585349號(hào)說(shuō)明書
[0007]專利文獻(xiàn)2:美國(guó)專利第5785651號(hào)說(shuō)明書

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0009]專利文獻(xiàn)2那樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，用光纖來(lái)來(lái)連接頭部和控制部(控制器)，該頭部包括準(zhǔn)直透鏡等的光學(xué)系統(tǒng)，該控制部包括分光器等的光學(xué)單元，在這樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，頭部的光學(xué)系統(tǒng)的個(gè)體差異大，為了進(jìn)行高精度計(jì)測(cè)，需要一對(duì)一地調(diào)整頭部和控制部。因此，在頭部破損時(shí)，在專利文獻(xiàn)2那樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，不僅是修頭部，連控制部也要配套地郵寄到制造廠家返修，而且需要對(duì)修理后的頭部和控制部進(jìn)行一對(duì)一的調(diào)整。
[0010]進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)2那樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，由于需要對(duì)頭部和控制部進(jìn)行一對(duì)一的調(diào)整，因此在具有多個(gè)光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的情況下，也不能僅更換頭部而改變裝置的設(shè)計(jì)布局，而是需要使頭部和控制部一體地進(jìn)行移動(dòng)。因此，在專利文獻(xiàn)2那樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中存在如下問(wèn)題:在改變裝置的設(shè)計(jì)布局時(shí)，與僅更換頭部的來(lái)改變裝置的設(shè)計(jì)布局的情況相比，更加費(fèi)工夫(費(fèi)力費(fèi)時(shí))。
[0011]另外，正在開(kāi)發(fā)這樣的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置:將對(duì)頭部和控制部進(jìn)行了調(diào)整的信息(例如修正系數(shù)等)存儲(chǔ)在頭部的存儲(chǔ)部中，在連接頭部和控制部時(shí)，從存儲(chǔ)部讀取信息。在該光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，預(yù)先存儲(chǔ)了對(duì)頭部進(jìn)行了調(diào)整的信息，因此，不必使頭部與控制部一對(duì)一對(duì)應(yīng)，在頭部破損時(shí)能夠僅將頭部郵寄至制造廠家返修，并且，也能夠僅更換頭部來(lái)改變裝置的設(shè)計(jì)布局。
[0012]但是，在該光學(xué)計(jì)測(cè)裝置中，需要在頭部中設(shè)置包括存儲(chǔ)部在內(nèi)的電路部，因此會(huì)導(dǎo)致頭部大型化。進(jìn)而，由于需要從控制部讀取存儲(chǔ)在頭部的存儲(chǔ)部中的信息，因此在頭部和控制部之間除了連接光纖以外還需要連接電線。
[0013]本發(fā)明正是鑒于此而做出的，目的在于提供一種光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，在不使頭部大型化的前提下，能夠具有相對(duì)于控制部來(lái)更換頭部這樣的互換性。
[0014]用于解決問(wèn)題的手段
[0015]本發(fā)明的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置具有頭部、控制部、光纖、存儲(chǔ)部。頭部包括接受來(lái)自計(jì)測(cè)對(duì)象物的光的光學(xué)系統(tǒng)?？刂撇堪ü鈱W(xué)單元，該光學(xué)單元將由頭部接受的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，控制部對(duì)由光學(xué)單元轉(zhuǎn)換來(lái)的電信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，輸出計(jì)測(cè)結(jié)果。光纖連接頭部和控制部，成為對(duì)頭部的光學(xué)系統(tǒng)與控制部的光學(xué)單元進(jìn)行連接的光路。存儲(chǔ)部分別與所制造的頭部的各個(gè)體相關(guān)聯(lián)，存儲(chǔ)由控制部進(jìn)行運(yùn)算所需的信息，來(lái)作為頭部的個(gè)體信息。控制部從相對(duì)于控制部而在物理上獨(dú)立存在的存儲(chǔ)部中讀取個(gè)體信息，利用所讀取的個(gè)體信息進(jìn)行運(yùn)算。
[0016]另外，優(yōu)選地，存儲(chǔ)部具有以電性方式存儲(chǔ)個(gè)體信息的存儲(chǔ)介質(zhì)，通過(guò)與控制部的輸入端子相連接，能夠從存儲(chǔ)介質(zhì)讀取個(gè)體信息。
[0017]另外，優(yōu)選地，存儲(chǔ)部具有以磁性或光學(xué)方式存儲(chǔ)個(gè)體信息的存儲(chǔ)介質(zhì)，利用控制部?jī)?nèi)置或所連接的讀取部，從存儲(chǔ)介質(zhì)讀取個(gè)體信息。
[0018]另外，優(yōu)選地，存儲(chǔ)部與頭部系在一起，或者與頭部所連接的光纖系在一起。
[0019]另外，優(yōu)選地，存儲(chǔ)部?jī)?nèi)置于與控制部連接的光纖的連接器部?jī)?nèi)，通過(guò)用于將連接器部連接至控制部的操作，能夠?qū)⒋鎯?chǔ)部連接至控制部的輸入端子。
[0020]另外，優(yōu)選地，控制部存儲(chǔ)有特定信息，在無(wú)法從存儲(chǔ)部讀取個(gè)體信息的情況下，該特定信息能夠作為運(yùn)算所需的信息使用。
[0021]發(fā)明的效果
[0022]通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，將存儲(chǔ)了頭部的個(gè)體信息的存儲(chǔ)部，分別針對(duì)所制造的頭部的各個(gè)體設(shè)置關(guān)聯(lián)關(guān)系，控制部從存儲(chǔ)部讀取頭部的個(gè)體信息，利用該個(gè)體信息進(jìn)行運(yùn)算，因此，即使更換頭部也能夠進(jìn)行高精度計(jì)測(cè)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0024]圖2是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中采用的頭部的共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0025]圖3是對(duì)在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中用于取得波長(zhǎng)-距離修正系數(shù)的調(diào)整進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。
[0026]圖4是對(duì)在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置中使頭部與存儲(chǔ)部相關(guān)聯(lián)的其它結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。
[0027]圖5是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。[0028]圖6是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的其它結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0029]圖7是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0031](第一實(shí)施方式)
[0032]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖1所示的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，是利用共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物200的位移(與計(jì)測(cè)對(duì)象物200之間的距離的變化)進(jìn)行計(jì)測(cè)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100。在用共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100進(jìn)行計(jì)測(cè)的計(jì)測(cè)對(duì)象物200中，例如有液晶顯示面板的液晶層間隙(cell gap)等。
[0033]共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100具有:頭部10，其具有共焦點(diǎn)的光學(xué)系統(tǒng)；控制部20，其經(jīng)由光纖11而光學(xué)連接(各部)；監(jiān)視部30，其顯示從控制部20輸出的信號(hào)；存儲(chǔ)部40，其存儲(chǔ)后述的頭部10的個(gè)體信息。
[0034]頭部10具有衍射透鏡I和物鏡(對(duì)物透鏡)2，與衍射透鏡I相比，物鏡2配置在靠近計(jì)測(cè)對(duì)象物200 —側(cè)。衍射透鏡I的焦點(diǎn)距離(下面簡(jiǎn)稱焦距)大于物鏡焦距差，所述物鏡焦距差是從衍射透鏡到物鏡的距離與物鏡的焦距之間的差。
[0035]在此，衍射透鏡I是這樣的光學(xué)元件:使從后述的用于出射多個(gè)波長(zhǎng)的光的光源(例如，白色光源)所出射的光，沿光軸方向產(chǎn)生色差。衍射透鏡1，在透鏡的表面，周期性的形成有例如位相衍射圖(kinoform)形狀或二維(binary)形狀(層次形狀、階梯形狀)等的細(xì)微的起伏形狀，或者，形成有使光透過(guò)率周期性改變的振幅型的波帶片(zone plate)。此外，衍射透鏡I的結(jié)構(gòu)并不僅限于上述記載的結(jié)構(gòu)。
[0036]物鏡2是這樣的光學(xué)元件:其使通過(guò)衍射透鏡I而產(chǎn)生了色差的光會(huì)聚到計(jì)測(cè)對(duì)象物200上。此外，在下面的說(shuō)明中，共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100所采用的用于出射多個(gè)波長(zhǎng)的光的光源是白色光源。
[0037]從白色光源出射的光，經(jīng)由光纖11而被引導(dǎo)至頭部10。為了能夠使從光纖11出射的光在衍射透鏡I中有效利用，需要使光纖11的數(shù)值孔徑(NA numerical aperture)與衍射透鏡I的數(shù)值孔徑一致。因此，在光纖11與衍射透鏡I之間設(shè)置聚光透鏡3，將光纖11的數(shù)值孔徑與衍射透鏡I的數(shù)值孔徑調(diào)整為一致。
[0038]光纖11是從頭部10到控制部20的光路，并且也發(fā)揮針孔的功能。即，在由物鏡2會(huì)聚的光中，在計(jì)測(cè)對(duì)象物200上合焦的光是在光纖11的開(kāi)口部合焦的。因此，光纖11發(fā)揮這樣的針孔的功能:對(duì)在計(jì)測(cè)對(duì)象物200上不會(huì)合焦的波長(zhǎng)的光進(jìn)行遮擋，使能夠在計(jì)測(cè)對(duì)象物200上合焦的光通過(guò)。對(duì)于從頭部10到控制部20的光路使用光纖11，因此不需要(另外設(shè)置)針孔。
[0039]在共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100中，對(duì)于從頭部10到控制部20的光路使用了光纖11，因此，能夠使頭部10相對(duì)于控制部20而靈活地移動(dòng)。
[0040]控制部20具有作為白色光源的白色LED (Light Emitting Diode:發(fā)光二極管)21、分支光纖22、分光器23、攝像元件24、控制電路部25。雖然使用白色LED21作為白色光源，但也可以使用其它光源，只要是能夠出射白色光的光源即可。
[0041]分支光纖22，在與光纖11連接的一側(cè)具有一條光纖22a，在其相反的一側(cè)具有二條光纖22b、22c。此外，光纖22b連接至白色LED21，光纖22c連接至分光器23。因此，分支光纖22能夠?qū)陌咨獿ED21出射的光引導(dǎo)至光纖11，并且，能夠經(jīng)由光纖11而將從頭部10返回的光引導(dǎo)至分光器23。
[0042]分光器23具有:凹面鏡23a，其對(duì)從頭部10返回的光進(jìn)行反射；衍射柵格23b，其入射由凹面鏡23a反射來(lái)的光；聚光透鏡23c,其對(duì)從衍射柵格23b出射的光進(jìn)行會(huì)聚。分光器23只要能夠按照每個(gè)波長(zhǎng)來(lái)區(qū)分(分離)從頭部10返回的光即可，可以使用單色式(Czerny-Turner type)、利特羅式(Littrow type)等中的任意型號(hào)的分光器。
[0043]攝像元件24是用于對(duì)從分光器23出射的光的強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)定的線性CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor:互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)和 / 或CXD(Charge Coupled Device:電荷耦合器件)。在此，在共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100中，由分光器23以及攝像元件24構(gòu)成測(cè)定部，該測(cè)定部按照每個(gè)波長(zhǎng)來(lái)測(cè)定從頭部10返回的光的強(qiáng)度。此外，測(cè)定部只要能夠按照每個(gè)波長(zhǎng)來(lái)測(cè)定從頭部10返回的光的強(qiáng)度即可，可以由CCD等的攝像元件24的單體構(gòu)成。另外，攝像元件24也可以是二維的CMOS和/或二維的(XD。
[0044]控制電路 部25具有:分光控制電路部25a，其控制白色LED21、攝像元件24等的動(dòng)作；信號(hào)處理電路部25b，其對(duì)從攝像元件24輸出的信號(hào)進(jìn)行處理。進(jìn)而，控制電路部25具有:輸入接口 25c，其用于輸入調(diào)整信號(hào)、后述的頭部10的個(gè)體信息，該調(diào)整信號(hào)是用于對(duì)白色LED21、攝像元件24等的動(dòng)作進(jìn)行調(diào)整的信號(hào)；輸出接口 25d，其與監(jiān)視部30電連接，用于輸出對(duì)攝像元件24的信號(hào)進(jìn)行處理后的結(jié)果。
[0045]此外，在控制部20中，由分光器23、攝像元件24以及控制電路部25的分光控制電路部25a構(gòu)成光學(xué)單元，該光學(xué)單元將由頭部10接受的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。控制電路部25的信號(hào)處理電路部25b針對(duì)由光學(xué)單元轉(zhuǎn)換來(lái)的電信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，輸出計(jì)測(cè)結(jié)果。
[0046]監(jiān)視部30顯示由攝像元件24輸出的信號(hào)。監(jiān)視部30描畫出從頭部10返回的光的光譜波形，例如顯出計(jì)測(cè)對(duì)象物200的距離為123.45 μ m。
[0047]在存儲(chǔ)部40中，分別逐個(gè)與所制造的頭部10的個(gè)體相對(duì)應(yīng)關(guān)聯(lián)地，存儲(chǔ)用于在控制部20中進(jìn)行運(yùn)算所需的頭部10的信息，來(lái)作為個(gè)體信息。在此，在用于對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物200的位移進(jìn)行計(jì)測(cè)的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100的情況下，頭部10的個(gè)體信息是后述的波長(zhǎng)-距離修正系數(shù)。
[0048]接著，說(shuō)明頭部10的個(gè)體信息即波長(zhǎng)-距離修正系數(shù)。圖2是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100中采用的頭部10的共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2所示的共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，是與衍射透鏡I相比，物鏡2配置在計(jì)測(cè)對(duì)象物200 —側(cè)的結(jié)構(gòu)。即，在共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100中，通過(guò)衍射透鏡I使從光纖11的端部出射的光沿光軸方向產(chǎn)生色差，通過(guò)物鏡2使產(chǎn)生了色差的光會(huì)聚到計(jì)測(cè)對(duì)象物200上。
[0049]首先，在圖2所示的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100的光學(xué)系統(tǒng)中，將從光纖11的端部到衍射透鏡I為止的距離設(shè)為a，將從衍射透鏡I到物鏡2為止的距離設(shè)為b，將從物鏡2到被物鏡2合焦的點(diǎn)為止的距離設(shè)為cO)。進(jìn)而，就衍射透鏡I而言,將光的波長(zhǎng)為λ ^時(shí)的焦距設(shè)為fd(1，將有效徑(有效直徑)設(shè)為％。此外，使距離a與焦距fd(l相等。就物鏡2而言，將焦距設(shè)為f。，將有效徑(有效直徑)設(shè)為(Pb (λ)。
[0050]并且，在圖2所示的共焦點(diǎn)計(jì)測(cè)裝置100的光學(xué)系統(tǒng)中，利用一般的透鏡的公式，能夠按照(式I)那樣表現(xiàn)出從光纖11的端部到衍射透鏡I為止的距離a、從衍射透鏡I到被衍射透鏡I將來(lái)自光纖11的出射光合焦的點(diǎn)為止的距離ag( λ )(未圖示)衍射透鏡I的焦距fd( λ )之間的關(guān)系，以及從衍射透鏡I到物鏡2為止的距離b、從物鏡2到被物鏡2合焦的點(diǎn)為止的距離c(X)、物鏡2的焦距f。之間的關(guān)系。此外，物鏡2的色差可以忽略。
[0051][數(shù)學(xué)式I]
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，利用光來(lái)對(duì)計(jì)測(cè)對(duì)象物進(jìn)行計(jì)測(cè)，其特征在于， 具有: 頭部(10)，其包括光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)接受來(lái)自所述計(jì)測(cè)對(duì)象物的光， 控制部(20)，其包括光學(xué)單元，該光學(xué)單元將由所述頭部(10)接受的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，所述控制部對(duì)由所述光學(xué)單元轉(zhuǎn)換來(lái)的所述電信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算，輸出計(jì)測(cè)結(jié)果， 光纖(11)，其連接所述頭部(10)和所述控制部(20)，成為對(duì)所述頭部(10)的所述光學(xué)系統(tǒng)與所述控制部(20)的所述光學(xué)單元進(jìn)行連接的光路， 存儲(chǔ)部(40、41)，其分別與所制造的所述頭部(10)的各個(gè)體相關(guān)聯(lián)，存儲(chǔ)由所述控制部(20)進(jìn)行所述運(yùn)算所需的信息，來(lái)作為所述頭部(10)的個(gè)體信息； 所述控制部(20)，從相對(duì)于所述控制部(20)而在物理上獨(dú)立存在的所述存儲(chǔ)部(40、41)中讀取所述個(gè)體信息，利用所讀取的所述個(gè)體信息進(jìn)行所述運(yùn)算。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，其特征在于， 所述存儲(chǔ)部(40、41)，具有以電性方式存儲(chǔ)所述個(gè)體信息的存儲(chǔ)介質(zhì)，通過(guò)與所述控制部(20)的輸入端子(25c2)相連接，能夠從所述存儲(chǔ)介質(zhì)讀取所述個(gè)體信息。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，其特征在于， 所述存儲(chǔ)部(40、41)，具有以磁性或光學(xué)方式存儲(chǔ)所述個(gè)體信息的存儲(chǔ)介質(zhì)，利用所述控制部(20)內(nèi)置或所連接的讀取部，從所述存儲(chǔ)介質(zhì)讀取所述個(gè)體信息。
4.如權(quán)利要求2或3所述的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，其特征在于， 所述存儲(chǔ)部(40、41)，與所述頭部(10)系在一起，或者與所述頭部(10)所連接的所述光纖(11)系在一起。
5.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，其特征在于， 所述存儲(chǔ)部(40、41)，內(nèi)置于與所述控制部(20)連接的所述光纖(11)的連接器部?jī)?nèi)，通過(guò)用于將所述連接器部連接至所述控制部(20)的操作，能夠?qū)⑺龃鎯?chǔ)部連接至所述控制部(20)的所述輸入端子(25c2)。
6.如權(quán)利要求1?3中任意一項(xiàng)所述的光學(xué)計(jì)測(cè)裝置，其特征在于， 所述控制部(20)存儲(chǔ)有特定信息， 在無(wú)法從所述存儲(chǔ)部(40、41)讀取所述個(gè)體信息的情況下，該特定信息能夠作為所述運(yùn)算所需的信息使用。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK103988046SQ201280057337
【公開(kāi)日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2012年9月12日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月22日
【發(fā)明者】山川慎介, 的場(chǎng)賢一, 松井優(yōu)貴, 嶋田浩二 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社