補(bǔ)償線路板上的光學(xué)傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】盡可能與外來(lái)光無(wú)關(guān)的光電測(cè)量裝置包括發(fā)送光源(2，102)和補(bǔ)償光源(3，103)，該光源時(shí)間連續(xù)地定時(shí)地多相位地發(fā)出光，其中發(fā)出的光分別相對(duì)彼此相移180°。配備有接收二極管(5，104)的光學(xué)接收器(4)與來(lái)自補(bǔ)償光源(3，103)的光一起接收從發(fā)送光源(2，102)發(fā)出的并且從測(cè)量對(duì)象反射(13)的光，該光包含測(cè)量信號(hào)。在調(diào)節(jié)單元中用于發(fā)送光源(2，102)和補(bǔ)償光源(3，103)的操控信號(hào)如此調(diào)節(jié)，使得在接收器(4)中不同相位之間出現(xiàn)的時(shí)鐘同步信號(hào)差調(diào)節(jié)為零。補(bǔ)償光源(3，103)和接收二極管(5，104)之間的光學(xué)耦合主要通過(guò)測(cè)量裝置(1)的線路板(101)中的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，在該線路板上布置補(bǔ)償光源(3，103)和接收器(4，104)。在最簡(jiǎn)單和最重要的實(shí)現(xiàn)中線路板自身（即其FR4-組件）是補(bǔ)償光源(3，103)和接收二極管(5，104)之間的光學(xué)導(dǎo)體。
【專(zhuān)利說(shuō)明】補(bǔ)償線路板上的光學(xué)傳感器
[0001]本發(fā)明涉及具有權(quán)利要求1的上位概念的特征的光電測(cè)量裝置。
[0002]這種光電測(cè)量裝置根據(jù)所謂ELM0SAG的HAL1S原理工作。這個(gè)在現(xiàn)有技術(shù)中已知的測(cè)量原理此外在下列文獻(xiàn)中描述:US 5，666，037;EP 0706648B1;EP 1671160B1;DE10001955A1;EP 2418512A1。
[0003]測(cè)量裝置(下面也稱為“傳感器”)除發(fā)送光源(下面也稱為“發(fā)送器”)以外還包括補(bǔ)償光源(下面也稱為“補(bǔ)償器”)，其中優(yōu)選輪流由每個(gè)電流驅(qū)動(dòng)器供電的兩個(gè)光源以發(fā)送相位或者補(bǔ)償相位(通常以IR-頻譜)發(fā)出光。對(duì)此時(shí)鐘發(fā)生器用優(yōu)選地相對(duì)彼此180°相移的時(shí)鐘信號(hào)操控電流驅(qū)動(dòng)器。頻率可以位于幾個(gè)kHz到數(shù)十MHz的范圍內(nèi)。
[0004]光學(xué)接收器用光電二極管(下面也稱為“ro”)接收從兩個(gè)光源發(fā)出的光的部分并且將其轉(zhuǎn)換為電流變換信號(hào)，其在分開(kāi)直流電和低頻信號(hào)部分(通常源于環(huán)境光)之后通過(guò)高通功能(例如電容器)導(dǎo)入到互阻抗放大器(TIA)，互阻抗放大器這個(gè)電流信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓。另一方面這個(gè)電壓又在同步解調(diào)器中輪流對(duì)發(fā)送和補(bǔ)償相位分配并且導(dǎo)入到調(diào)節(jié)器，該調(diào)節(jié)器具有該任務(wù)，對(duì)于兩個(gè)時(shí)間上連續(xù)的信號(hào)部分產(chǎn)生相同幅度。對(duì)此調(diào)節(jié)器相應(yīng)調(diào)節(jié)通過(guò)補(bǔ)償器和發(fā)送器的電流的幅度。按照應(yīng)用，可以在恒定發(fā)送器電流幅度的情況下僅調(diào)節(jié)補(bǔ)償器電流的幅度，或相反，在恒定補(bǔ)償器電流幅度的情況下僅調(diào)節(jié)發(fā)送器電流的幅度。補(bǔ)償器電流的幅度通常位于幾個(gè)，較少mA的范圍中。按照應(yīng)用，發(fā)送器電流幅度可以位于幾個(gè)mA到幾百mA的范圍中。
[0005]從發(fā)送器輻射到傳感器的環(huán)境中的光在傳感器之外擊中要測(cè)量(要檢測(cè))的對(duì)象上，對(duì)象將擊中的光的部分反射回到傳感器的光電二極管。由光電二極管中的接收電流和為此使用的發(fā)送器電流形成的比例發(fā)送器-測(cè)量對(duì)象-光電二極管-路段的光學(xué)耦合因數(shù)，傳感器確定該耦合因數(shù)并且在其調(diào)節(jié)器調(diào)整信號(hào)中描繪。
[0006]補(bǔ)償器(補(bǔ)償光源)如此實(shí)現(xiàn)，從其輻射的光不能達(dá)到測(cè)量對(duì)象，而是在傳感器內(nèi)部導(dǎo)入到光電二極管。對(duì)此通常在傳感器內(nèi)部安裝光波導(dǎo)或其他光學(xué)導(dǎo)體，其將光從補(bǔ)償器(直接)傳導(dǎo)到接收器(通常光電二極管)。在實(shí)際轉(zhuǎn)變中將從補(bǔ)償器輻射的光部分調(diào)整到預(yù)定義的大小，使得僅僅輻射的光的某個(gè)(通常較小)部分在補(bǔ)償階段期間撞到傳感器的光電二極管上。在光電二極管中從這個(gè)光部分生成的電流對(duì)為其使用的補(bǔ)償電流的比率是補(bǔ)償器-光電二極管-路段的光學(xué)耦合因數(shù)。該耦合因數(shù)是恒定的，因?yàn)閺难a(bǔ)償器輻射的光基本上不抵達(dá)測(cè)量對(duì)象。因此補(bǔ)償信號(hào)指用于測(cè)量的不變的大小或參考。
[0007]除了這里描述的時(shí)間連續(xù)地定時(shí)的信號(hào)自然還可以使用其他信號(hào)，只要它們適合于實(shí)現(xiàn)接收器輸出信號(hào)的回饋的補(bǔ)償。
[0008]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)任務(wù)在于，提出優(yōu)化的并同時(shí)廉價(jià)的測(cè)量裝置，其根據(jù)補(bǔ)償原理工作，尤其根據(jù)HAL1S補(bǔ)償原理工作。測(cè)量裝置應(yīng)盡可能簡(jiǎn)單以及緊湊地安置。
[0009]用具有權(quán)利要求1的特征的光電測(cè)量裝置解決這個(gè)任務(wù)。這個(gè)傳感器系統(tǒng)(其盡可能與外來(lái)光無(wú)關(guān)地工作)包括發(fā)送器、補(bǔ)償發(fā)送器和接收器，其可以線性疊加地接收發(fā)送器的發(fā)送信號(hào)和補(bǔ)償器的補(bǔ)償信號(hào)并且產(chǎn)生接收器輸出信號(hào)。發(fā)送器通過(guò)應(yīng)確定其傳輸特性的第一傳輸路段發(fā)送發(fā)送信號(hào)到接收器。補(bǔ)償信號(hào)在穿過(guò)第二傳輸路段之后抵達(dá)接收器。接收器包括優(yōu)選至少一個(gè)接收二極管或光電二極管。它還可以是接收單元，該接收單元包括例如附加地電容器和/或放大器。接收器的其他實(shí)施也是可能的。
[0010]在技術(shù)變換中這種傳感器系統(tǒng)優(yōu)選包括發(fā)送光源和補(bǔ)償光源，其時(shí)間連續(xù)地定時(shí)地多相位地發(fā)出光。發(fā)出的光分別相對(duì)彼此相移，優(yōu)選180度。用于接收光(其包括從光源發(fā)出的時(shí)鐘同步測(cè)量信號(hào))的具有光電二極管的光學(xué)接收器同樣是傳感器系統(tǒng)的部分如時(shí)鐘發(fā)生器，所述時(shí)鐘發(fā)生器產(chǎn)生時(shí)鐘信號(hào)，和用于放大基于接收測(cè)量信號(hào)的測(cè)量信號(hào)電流的放大器單元。測(cè)量信號(hào)電流的時(shí)鐘同步評(píng)估借助于解調(diào)器實(shí)現(xiàn)?？烧{(diào)節(jié)電源產(chǎn)生用于發(fā)送光源的定時(shí)發(fā)送控制電流?？烧{(diào)節(jié)補(bǔ)償電源產(chǎn)生用于補(bǔ)償光源的定時(shí)補(bǔ)償控制電流。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的光電測(cè)量設(shè)備的調(diào)節(jié)單元根據(jù)接收器輸出信號(hào)產(chǎn)生用于操控補(bǔ)償發(fā)送器的補(bǔ)償控制信號(hào)和/或用于操控發(fā)送器的發(fā)送器控制信號(hào)以回饋接收器輸出信號(hào)的調(diào)節(jié)。如此實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，在第一傳輸路段的傳輸特性改變的情況下接收器輸出信號(hào)基本上保持不變，因此在較短時(shí)間之后(通常在若干微秒或毫秒之后，例如在最高100 μ sec之后，優(yōu)選在最高10 μ sec之后)又調(diào)整到在傳輸特性改變之前調(diào)整到的值。傳輸特性的變化例如由對(duì)象在傳輸路段中的運(yùn)動(dòng)帶來(lái)。
[0012]調(diào)節(jié)單元可以典型地產(chǎn)生用于可調(diào)節(jié)發(fā)送光源和/或補(bǔ)償光源的至少一個(gè)操控信號(hào)。調(diào)節(jié)單元優(yōu)選如此構(gòu)造，使得用于控制發(fā)送控制電流的發(fā)送光源和/或用于控制補(bǔ)償控制電流的補(bǔ)償光源在其光強(qiáng)度上可調(diào)節(jié)。優(yōu)選地在光強(qiáng)度的情況下如此調(diào)節(jié)幅度，使得其差異消失。調(diào)節(jié)還可以如此實(shí)現(xiàn)，使得不同相位之間出現(xiàn)的時(shí)鐘同步信號(hào)差變?yōu)榱恪?br> [0013]在本發(fā)明的范圍中一般地還提出了對(duì)廉價(jià)且緊湊的傳感器實(shí)現(xiàn)，尤其具有盡可能少的硬件和裝配花費(fèi)的補(bǔ)償器實(shí)現(xiàn)的要求。會(huì)認(rèn)識(shí)到，用于補(bǔ)償器接合的直至本發(fā)明的時(shí)間點(diǎn)專(zhuān)用于尤其在緊湊電路布置的情況下使用的光導(dǎo)體在多個(gè)應(yīng)用情況中非必須的或者如在此描述的可替換的。已知的單獨(dú)的光導(dǎo)體可成本高地安裝，這是因?yàn)橛行У墓鈱W(xué)接合是必需的，相對(duì)機(jī)械需要易壞并且產(chǎn)生額外成本。當(dāng)然可以在特定應(yīng)用中附加地設(shè)置專(zhuān)用的光波導(dǎo)。
[0014]補(bǔ)償方法(如HAL1S方法)要求補(bǔ)償信號(hào)，補(bǔ)償信號(hào)優(yōu)選在補(bǔ)償LED中產(chǎn)生并且如此調(diào)節(jié)，使得其大小正好和發(fā)送器發(fā)出的并且然后從測(cè)量對(duì)象到接收器(例如光電二極管或接收二極管)傳輸(反射)的光信號(hào)一樣。在現(xiàn)實(shí)實(shí)現(xiàn)中部件接收器，補(bǔ)償光源和發(fā)送光源經(jīng)常布置在線路板或者印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)上或邊上。
[0015]根據(jù)本發(fā)明在補(bǔ)償光源(補(bǔ)償發(fā)送器)和接收器之間存在如此耦合，使得它們至少部分地借助于線路板中的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。補(bǔ)償光源和接收器分別布置在線路板上。補(bǔ)償光源可以布置在線路板或在其側(cè)面上。在本發(fā)明的意義上線路板中的光學(xué)系統(tǒng)是線路板中的布置，其在線路板中傳遞比因此傳送光學(xué)輻射，例如光(可見(jiàn)或不可見(jiàn))。它可以是例如線路板中的玻璃纖維，線路板中的通道或類(lèi)似的結(jié)構(gòu)。
[0016]優(yōu)選地接收器同樣布置在線路板的外側(cè)上。接收器還可以定位在線路板的孔徑中或部分地伸入到孔徑，尤其穿過(guò)孔徑中。接收器可以例如是接收二極管或者光電二極管。
[0017]因此在本發(fā)明的情況下放棄用于從補(bǔ)償器到接收器傳輸光的分離(外部)的光導(dǎo)體。取而代之(必需的)補(bǔ)償光通過(guò)線路板內(nèi)的光學(xué)系統(tǒng)從補(bǔ)償LED傳導(dǎo)到光電二極管。優(yōu)選光學(xué)系統(tǒng)是補(bǔ)償性的，光學(xué)光導(dǎo)體系統(tǒng)。它可以包括例如線路板內(nèi)的通道或孔徑或集成的光波導(dǎo)。線路板可選地可以在其內(nèi)部具有光學(xué)或機(jī)械結(jié)構(gòu)，例如裝入優(yōu)選地金屬柵欄或金屬化，通孔鍍敷(通常實(shí)施為具有金屬鍍層的穿過(guò)孔徑)，狹孔或通道(具有或沒(méi)有金屬鍍層)或其他光學(xué)不透光或部分透光的涂層，其中光學(xué)透光性與可見(jiàn)以及不可見(jiàn)(例如紅外線)范圍中的光有關(guān)。
[0018]在優(yōu)選實(shí)施方式中光學(xué)系統(tǒng)是線路板自身。該線路板必須為此不變或固定。因此不需要分離的光導(dǎo)體系統(tǒng)，因?yàn)槭褂昧擞糜趶难a(bǔ)償器到接收器傳輸光的線路板。光學(xué)信號(hào)至少部分地，優(yōu)選絕大多數(shù)，尤其優(yōu)選僅僅，因此僅通過(guò)線路板傳導(dǎo)到光電二極管。
[0019]“絕大多數(shù)”意味者，至少70%的補(bǔ)償器的發(fā)出的光(補(bǔ)償器輻射)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)傳導(dǎo)到接收器。優(yōu)選至少80% (非常優(yōu)選至少90%)的補(bǔ)償器的發(fā)出的輻射通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)傳導(dǎo)到接收器。在一些實(shí)施方式中并且在確定的線路板或者光學(xué)通道中至少95%的在接收器中接收的補(bǔ)償器輻射(例如光或者IR輻射)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)或者在線路板內(nèi)傳導(dǎo)，優(yōu)選地至少98%，尤其地優(yōu)選至少99%。但是光學(xué)系統(tǒng)還可以是線路板或例如線路板的層中的預(yù)定(有限)區(qū)域或部分。
[0020]因?yàn)榫€路板由玻璃纖維和粘合劑組成，線路板適合作為光學(xué)系統(tǒng)并且用于可見(jiàn)和不可見(jiàn)范圍中的光的光學(xué)傳導(dǎo)。優(yōu)選地線路板由玻璃纖維加強(qiáng)的聚合體，非常優(yōu)選由玻璃纖維加強(qiáng)的環(huán)氧樹(shù)脂組成。尤其優(yōu)選的是FR4材料。附加地和/或備選地可以在線路板中的機(jī)械結(jié)構(gòu)可以支持光學(xué)系統(tǒng)(線路板)。
[0021]線路板或印刷電路板包含由玻璃纖維塊制成的摻和物，以便減弱和控制在線路板中傳送的光。因此線路板非常適合作為光導(dǎo)體用于補(bǔ)償光信號(hào)，因?yàn)檫@里希望減弱信號(hào)。在相同的控制或供給信號(hào)的情況下從測(cè)量對(duì)象到接收器反射的發(fā)送信號(hào)比直接從補(bǔ)償器到接收器傳送的信號(hào)更少。因此減弱通過(guò)線路板降低補(bǔ)償器信號(hào)的信號(hào)水平，使得能夠?qū)崿F(xiàn)調(diào)整電路(補(bǔ)償)的快速，魯棒并且準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)。
[0022]因?yàn)橄到y(tǒng)在補(bǔ)償器和接收器(PD)之間的耦合的偏差方面非常寬容，在許多應(yīng)用情況中可以在這個(gè)位置處可接受50%和更多的容差?？赡芫€路板材料(如例如FR4材料)的較大充電或制造商無(wú)關(guān)的偏差可以非常好并且因此成本低地與在IC中集成或分離構(gòu)造的少花費(fèi)的電子附加功能(例如電流鏡，電阻)均衡。此外實(shí)際光學(xué)補(bǔ)償器耦合隨時(shí)可以簡(jiǎn)單地在裝配的電路中直接在適合于此的測(cè)試模式中借助于示波器測(cè)量直接確定。
[0023]在優(yōu)選實(shí)施方式中補(bǔ)償光源至少部分地集成在線路板中。在同樣優(yōu)選的實(shí)施方式中補(bǔ)償光源完全集成在線路板中。例如補(bǔ)償光源可以在底孔中布置。在多層線路板的情況下其優(yōu)選定位在內(nèi)層之一中。在這樣的布置的情況下內(nèi)層的至少一個(gè)可以涂覆有不透光層，例如有金屬化。不透光層防止，發(fā)出的輻射抵達(dá)到測(cè)量對(duì)象。從補(bǔ)償光源發(fā)出的輻射則抵達(dá)接收器并且優(yōu)選不從線路板出發(fā)，無(wú)論如何不使輻射由測(cè)量對(duì)象反射并且然后首先回送到接收器。
[0024]在具有在內(nèi)層之一中嵌入的補(bǔ)償光源的多層線路板的情況下補(bǔ)償光源和接收器(例如接收二極管或光電二極管)之間的線路板的內(nèi)層優(yōu)選不金屬化或用其他不透光層涂覆。如此確保補(bǔ)償光源和接收器之間的光學(xué)耦合。
[0025]備選地補(bǔ)償光源還可以在所謂反向裝配中在線路板上構(gòu)造。在線路板的外側(cè)上適合所謂涂層(典型地銅層)然后具有凹槽，通過(guò)該凹槽補(bǔ)償光源可以照射到印刷電路板材料。備選地還可以設(shè)置底孔，穿過(guò)孔徑或類(lèi)似物，使得實(shí)現(xiàn)線路板材料中補(bǔ)償光信號(hào)的更好接合?？赡艿氖?，這樣的底孔至少部分地涂覆，以便補(bǔ)償光源的光輻射可以對(duì)應(yīng)地操縱。補(bǔ)償光源可以伸入在這樣的孔徑中。
[0026]在其他優(yōu)選實(shí)施方式中發(fā)送器(例如LED)和/或接收器(例如接收二極管)以反向裝配構(gòu)造在印刷電路板上。然后發(fā)送器通過(guò)線路板中的發(fā)送器穿過(guò)孔徑發(fā)送其光輻射出來(lái)，使得光可以穿過(guò)線路板輻射。
[0027]優(yōu)選發(fā)送器穿過(guò)孔徑同樣具有開(kāi)放角度，該開(kāi)放角度可以位于與接收器的穿過(guò)孔徑的開(kāi)放角度相同的范圍中。然而發(fā)送器穿過(guò)孔徑的開(kāi)放角度還可以具有超過(guò)120度的角度，例如直到大約150度或160度。優(yōu)選地角度在80度和150度之間，尤其優(yōu)選90到120度。發(fā)送器穿過(guò)孔徑優(yōu)選內(nèi)部涂覆，尤其金屬化，使得其無(wú)論如何對(duì)于發(fā)出的輻射不透明。例如可以在孔徑內(nèi)側(cè)上設(shè)置金屬層或銅層。
[0028]不涂覆和涂覆的穿過(guò)孔徑在電子技術(shù)中在構(gòu)造印刷電路板時(shí)經(jīng)常使用。該穿過(guò)孔徑在現(xiàn)有技術(shù)中是已知的并且可簡(jiǎn)單并廉價(jià)地制造。這些稱為途徑(Vias)的穿過(guò)孔徑然后可以不但用于發(fā)送器而且用于接收器，以便實(shí)現(xiàn)光電測(cè)量裝置的廉價(jià)制造。
[0029]本發(fā)明在下面根據(jù)在附圖中描述的特別實(shí)施方式更詳細(xì)地解釋。在此處描述的特點(diǎn)可以單獨(dú)或結(jié)合地使用，以便創(chuàng)造本發(fā)明的優(yōu)選擴(kuò)展方案。所述實(shí)施不表示通過(guò)權(quán)利要求在其一般性上定義的發(fā)明的限制。其示出:
圖1不出具有電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)稱合的從現(xiàn)有技術(shù)已知的Hal1s傳感器的原理電路圖；圖2示出根據(jù)本發(fā)明的光電測(cè)量裝置的第一實(shí)施方式，其中發(fā)送器，接收器和補(bǔ)償光源以反向裝配布置；
圖3示出具有線路板的光電測(cè)量裝置的另一優(yōu)選實(shí)施方式，其中補(bǔ)償光源部分伸入線路板中；
圖4示出具有多層線路板和完整集成的補(bǔ)償光源的測(cè)量裝置；
圖5示出具有發(fā)送器，接收器和補(bǔ)償光源的線路板的頂視圖。
[0030]圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的具有外來(lái)光補(bǔ)償?shù)墓怆姕y(cè)量裝置I的原理。測(cè)量裝置I包括發(fā)送光源2 (發(fā)送器)，補(bǔ)償光源3 (補(bǔ)償器)和光學(xué)接收單元4，其包含光電二極管5，回轉(zhuǎn)器30 (用于在光電二極管中引出低頻電流部分)，互阻抗放大器6和電容器7。時(shí)鐘發(fā)生器8對(duì)供給發(fā)送光源2的可控電源9提供時(shí)鐘信號(hào)。時(shí)鐘發(fā)生器8同時(shí)提供反轉(zhuǎn)時(shí)鐘信號(hào)給供給補(bǔ)償光源3的可控補(bǔ)償電源10。時(shí)鐘信號(hào)和反轉(zhuǎn)時(shí)鐘信號(hào)引導(dǎo)到解調(diào)器11用于由光學(xué)接收單元4基于接收光信號(hào)產(chǎn)生有用信號(hào)電流的時(shí)鐘同步評(píng)估。
[0031]調(diào)節(jié)單元12產(chǎn)生用于可調(diào)節(jié)補(bǔ)償電源10的操控信號(hào)，以便優(yōu)選地可以如此調(diào)節(jié)補(bǔ)償光源3，使得在不同相位之間在接收單元4中出現(xiàn)時(shí)鐘同步有用信號(hào)電流變?yōu)榱?。有用信?hào)電流從而基于從發(fā)送光源2和補(bǔ)償光源3發(fā)出的光部分。
[0032]發(fā)送光源2在第一傳輸路段220上發(fā)送可見(jiàn)或不可見(jiàn)光(輻射)形式的發(fā)送信號(hào)，其中光由接收單元4在穿過(guò)傳輸路段220后接收。如果測(cè)量對(duì)象13存在于測(cè)量裝置I的附近(在(透光)透明傳感器屏蔽14前)，則從發(fā)送光源2發(fā)出的光反射到測(cè)量對(duì)象13上并且回送到光電二極管5。這產(chǎn)生了通過(guò)測(cè)量對(duì)象13的功能耦合221。
[0033]沒(méi)有屏蔽40信號(hào)部分從發(fā)送光源2直接抵達(dá)光電二極管5。信號(hào)部分表示發(fā)送器2的光學(xué)基礎(chǔ)耦合222 (虛線示出)。屏蔽40阻礙光學(xué)基礎(chǔ)耦合222。該基礎(chǔ)耦合在根據(jù)圖1的示出的實(shí)施方式中電通過(guò)可調(diào)節(jié)基礎(chǔ)耦合電源15產(chǎn)生并且因此稱為電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合(EOGK) 231?；A(chǔ)耦合電源15用時(shí)鐘發(fā)生器8的時(shí)鐘信號(hào)提供時(shí)鐘信號(hào)并且由信號(hào)給予器16 (所謂基礎(chǔ)耦合信號(hào)給予器)供給。產(chǎn)生的基礎(chǔ)耦合控制電流引導(dǎo)到基礎(chǔ)耦合光源17，基礎(chǔ)耦合光源17將光直接通過(guò)第二傳輸路段230傳輸?shù)焦怆姸O管5。在此示出的實(shí)施方式中基礎(chǔ)耦合光源17是補(bǔ)償光源3自身。如此切換補(bǔ)償光源，使得其將補(bǔ)償相位的交替的時(shí)鐘同步的光信號(hào)部分也在電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合中發(fā)出?；A(chǔ)耦合光源17的相位相對(duì)由補(bǔ)償電源10供給的補(bǔ)償光源3的相位相移，優(yōu)選180度。這對(duì)應(yīng)于發(fā)送光源2的相位。
[0034]因?yàn)榛A(chǔ)耦合光源17和補(bǔ)償光源3是相同部件，補(bǔ)償光源3因此承擔(dān)兩個(gè)功能。補(bǔ)償光源在基于光學(xué)稱合231的第二傳輸路段230中發(fā)射(可見(jiàn)或不可見(jiàn))光的形式的補(bǔ)償信號(hào)。光由接收器在穿過(guò)傳輸路段230之后接收。因此補(bǔ)償光源3由可調(diào)節(jié)補(bǔ)償電源10并由基礎(chǔ)耦合電源15供給。用于基礎(chǔ)耦合電源15的控制電流在加法圖18中彼此相加并且一起引導(dǎo)到補(bǔ)償光源3。因?yàn)閮蓚€(gè)電流相移，得出疊加的控制電流。
[0035]在測(cè)量對(duì)象在測(cè)量裝置I前不存在測(cè)量對(duì)象時(shí)，補(bǔ)償控制電流用于工作點(diǎn)的調(diào)整。工作點(diǎn)僅與電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合有關(guān)并且因此僅通過(guò)基礎(chǔ)耦合控制電流調(diào)整。這個(gè)系統(tǒng)有很多優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)樵诎l(fā)送光源2和接收二極管4或者光電二極管5之間的純光學(xué)基礎(chǔ)耦合的位置上使用預(yù)定并可調(diào)節(jié)電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合231。
[0036]用上面示出的測(cè)量裝置在純光學(xué)基礎(chǔ)耦合Dse 222比電場(chǎng)光學(xué)產(chǎn)生的基礎(chǔ)耦合Deogk 231小很多的前提下得出，下列基本方程，該基本方程重新給出補(bǔ)償控制電流I。與發(fā)送控制電流Is的比率:......—., ■ P，/ + H
n—15-
在此tls或者》〗c是發(fā)送光源2或者補(bǔ)償光源3的相應(yīng)的效率。Dsf通過(guò)測(cè)量對(duì)象13的傳輸路段220中的要確定的功能光學(xué)稱合。該功能光學(xué)稱合對(duì)應(yīng)于傳輸路段220的要測(cè)量的傳輸特性。D。是第二傳輸路段230中的(固定)光學(xué)補(bǔ)償器稱合。Demk是電場(chǎng)光學(xué)產(chǎn)生的基礎(chǔ)耦合。
[0037]在HS等于或接近等于IlC的另一假設(shè)下,等式簡(jiǎn)化為:
- At + ^Γ,Η；κ

K
Demk因此確定調(diào)節(jié)器的休止工作點(diǎn)并因此決定性地確定傳感器的靈敏度。
[0038]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的光電測(cè)量裝置的技術(shù)變換。它在具有電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合的上述傳感器系統(tǒng)的示例中解釋。必需調(diào)節(jié)單元和其他操控或功率組件由于視野原因而未示出。顯然地定時(shí)發(fā)送或補(bǔ)償信號(hào)的發(fā)出不是強(qiáng)制要求而是可選擇的。
[0039]測(cè)量裝置的實(shí)現(xiàn)表示為具有線路板101，作為發(fā)送光源2的發(fā)送LED102，作為補(bǔ)償光源3的補(bǔ)償LED103以及代表接收單元4或者光電二極管5的接收二極管104。LED作為光源的使用在現(xiàn)有技術(shù)中已知并且具有若干優(yōu)點(diǎn)。光源可以例如發(fā)出IR輻射。顯然地還可以實(shí)現(xiàn)其他光源。因此在最簡(jiǎn)單情況中接收二極管104是接收器(接收單元)4自身。
[0040]根據(jù)圖2部件發(fā)送LED102，補(bǔ)償LED103和接收二極管104以所謂反向裝配安裝在線路板101上。部件優(yōu)選地全部布置在線路板101的相同側(cè)上，優(yōu)選在線路板101的下側(cè)105上。不但線路板101的下側(cè)105而且線路板101的上側(cè)106涂覆有銅層。優(yōu)選地上側(cè)106在補(bǔ)償LED103的區(qū)域和優(yōu)選地附加地在接收二極管104的區(qū)域盡可能大面積地涂覆有銅層107。在線路板的下側(cè)105上還優(yōu)選地布置相應(yīng)導(dǎo)體路徑和信號(hào)路徑。部分地中斷銅層。銅層或其他金屬化，傳導(dǎo)涂層在下面在銅層107的示例中解釋。顯然地還可以使用其他(金屬)層或?qū)κ褂玫墓鈱W(xué)輻射不透明的層。在描述中為簡(jiǎn)單起見(jiàn)導(dǎo)體路徑或信號(hào)路徑還稱為銅層107。
[0041]線路板101由玻璃纖維加強(qiáng)的聚合體，優(yōu)選環(huán)氧樹(shù)脂，尤其優(yōu)選由FR4-材料組成并且包括至少玻璃纖維塊。它作為光學(xué)系統(tǒng)使用，以便將由補(bǔ)償LED 103發(fā)出的輻射傳導(dǎo)到接收二極管104。借此確保補(bǔ)償LED 103和接收二極管104之間的電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合。發(fā)出的光輻射在線路板材料內(nèi)部移動(dòng)并且通過(guò)涂層借助于銅層107抵達(dá)不向外的外側(cè)(下側(cè)105和上側(cè)106)。如此阻礙了，輻射抵達(dá)測(cè)量對(duì)象13并且在那在反射后傳導(dǎo)到接收二極管104。因此(差不多僅僅)阻礙補(bǔ)償LED 103和測(cè)量對(duì)象13之間的耦合。
[0042]在優(yōu)選實(shí)施方式中接收器104布置在線路板101的下側(cè)上。因此接收器104位于穿過(guò)孔徑108的下面，穿過(guò)孔徑108伸展通過(guò)總體線路板101，尤其其厚度。在接收二極管104的區(qū)域中線路板101具有穿過(guò)孔徑108，穿過(guò)孔徑108優(yōu)選可以實(shí)施作為圓柱形孔徑或作為圓錐沉降，以便接收從上側(cè)106上面布置的測(cè)量對(duì)象13回射的光輻射，例如紅外線輻射(IR輻射)。優(yōu)選穿過(guò)孔徑108具有圓錐形孔徑，圓錐形孔徑具有最高120°，優(yōu)選最高90°，尤其優(yōu)選最高60°并且非常優(yōu)選最高45°的開(kāi)放角度。尤其優(yōu)選地開(kāi)放角度是90°。開(kāi)放角度優(yōu)選地背向接收器(4，104);因此孔徑對(duì)著從接收器離開(kāi)指向的側(cè)展開(kāi)。根據(jù)接收二極管104的實(shí)施方式其可以平坦地接觸在孔徑108上或伸入到孔徑108中。
[0043]在發(fā)送LED 102上面布置發(fā)送穿過(guò)孔徑109，發(fā)送穿過(guò)孔徑109優(yōu)選地構(gòu)造成圓柱形。發(fā)送穿過(guò)孔徑還可以通過(guò)圓錐沉降產(chǎn)生并且具有開(kāi)放角度，開(kāi)放角度優(yōu)選位于在零與150度之間，尤其優(yōu)選在大約90度。發(fā)送穿過(guò)孔徑109優(yōu)選地在其內(nèi)側(cè)涂覆有涂層114，使得從發(fā)送LED102發(fā)出的光輻射穿過(guò)線路板102，而不侵入線路板。同樣阻礙發(fā)送LED102和接收二極管104穿過(guò)線路板101的直接耦合。發(fā)送器和接收器之間的純光學(xué)基礎(chǔ)耦合未發(fā)生，因?yàn)槠渫ㄟ^(guò)由補(bǔ)償LED 103承擔(dān)的電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合替換。
[0044]在補(bǔ)償LED 103的區(qū)域中線路板101的下側(cè)105上的銅層107相應(yīng)地解除。同樣可以補(bǔ)償LED 103的發(fā)出的光輻射最優(yōu)地侵入線路板101。通過(guò)上側(cè)106和下側(cè)105上的外銅層光在線路板101內(nèi)部引導(dǎo)并且在通過(guò)線路板材料相應(yīng)減弱和控制之后抵達(dá)接收二極管104。通過(guò)合適調(diào)節(jié)可以制造補(bǔ)償LED103和接收二極管104之間的希望電場(chǎng)光學(xué)基礎(chǔ)耦合。
[0045]因此在接收二極管104 (接收器)上疊加來(lái)自補(bǔ)償LED 103的補(bǔ)償輻射和反射的輻射，反射的輻射在測(cè)量對(duì)象13由發(fā)送LED 102用紅外線輻射或光照射之后由測(cè)量對(duì)象13反射到線路板101的外面。
[0046]如果補(bǔ)償LED至少部分地伸入到線路板101中，可改善補(bǔ)償LED 103和接收二極管104之間的耦合。對(duì)此例如，如圖3中所示，盲孔孔徑或者盲孔110設(shè)置在線路板101中，補(bǔ)償LED 103照射在線路板101中。
[0047]線路板101 (PCB)的上側(cè)106上的銅層(Cu)相對(duì)盲孔110在這個(gè)位置上是一般封閉的，使得沒(méi)有(光)輻射可以從補(bǔ)償LED 103抵達(dá)到測(cè)量對(duì)象13并且也不能被測(cè)量對(duì)象影響。
[0048]甚至在具有僅兩個(gè)銅層的簡(jiǎn)單線路板(雙層線路板)的情況下通常層之一實(shí)施為主體層。在多層線路板的情況下線路板101的至少一個(gè)側(cè)實(shí)施成具有盡可能大面積的封閉的銅層107，其總歸作為主體層使用并且在電路或者印刷電路板101的干擾耐受性的角度下并且在EMV角度下例如作為電屏蔽使用。因此由此未提高花費(fèi)并且無(wú)論如何存在的銅層也用于光學(xué)屏蔽。還在印刷電路板下側(cè)105上盡可能封閉銅面107，使得其同時(shí)作為補(bǔ)償器103和光電二極管(接收二極管104)之間的區(qū)域中的IR輻射的“鏡”起作用。因此這產(chǎn)生了線路板101內(nèi)部的一種光學(xué)波導(dǎo)，換句話說(shuō)，線路板101自身形成光學(xué)波導(dǎo)。
[0049]在這里表示的實(shí)現(xiàn)中補(bǔ)償LED103不伸入印刷電路板101中而是平坦緊貼(如例如在實(shí)驗(yàn)中使用的型號(hào)為SFH4257R，Osram的二極管的情況下)在印刷電路板下側(cè)105上并且通過(guò)下銅涂層107中的相應(yīng)釋放照射在線路板101的FR4-材料中。
[0050]因此補(bǔ)償不要求印刷電路板101上附加的結(jié)構(gòu)空間，這此外實(shí)現(xiàn)非常薄屏蔽(少光學(xué)發(fā)送器基礎(chǔ)耦合?高靈敏度/有效距離)。此外光電二極管/接收LED104可以在需要時(shí)最優(yōu)通過(guò)簡(jiǎn)單的出于EMV原因經(jīng)常總歸存在的屏蔽板相對(duì)(散射)光的寄生照射，還與發(fā)送LED102并且與補(bǔ)償LED103，通過(guò)PCB后側(cè)105非常好光學(xué)隔離。
[0051]討論的所有反向類(lèi)型的光電二極管(PD)適合作為接收器。根據(jù)應(yīng)用ro可以通過(guò)簡(jiǎn)單(圓柱形)孔徑或還通過(guò)圓錐沉降不但接收來(lái)自要測(cè)量的對(duì)象的IR-輻射而且接收補(bǔ)償輻射。優(yōu)選地除了簡(jiǎn)單孔徑之外還有具有開(kāi)放角度的圓錐形孔徑，該開(kāi)放角度為至少5°，優(yōu)選至少20°，30°，45° ,60° ,90°或120°。尤其優(yōu)選開(kāi)放角度至少10°。圓錐形孔徑優(yōu)選如此布置和構(gòu)造，使得補(bǔ)償光(來(lái)自補(bǔ)償器的光)，外來(lái)光(干擾光)和有用信號(hào)光(從發(fā)送器102福射的從對(duì)象13反射的光)在接收器104上,尤其在光電二極管的光敏性的芯片面上在接近相同的位置出現(xiàn)。
[0052]根據(jù)兩層測(cè)試印刷電路板在給出的IR-組件的情況下實(shí)驗(yàn)距離和若干邊緣條件(途徑，具有/沒(méi)有圓錐沉降，線路板上的邊緣層，等等)的函數(shù)中光學(xué)補(bǔ)償器耦合的依賴性。在給出FR4-線路板材料的情況下示出兩個(gè)決定性的依賴性:印刷電路板的厚度和優(yōu)選地補(bǔ)償光源和接收器之間要保留的距離。印刷電路板越厚，光學(xué)傳導(dǎo)特性越好并且越多補(bǔ)償信號(hào)到達(dá)接收器并且補(bǔ)償器和接收器之間的距離可以或者必須越大。在相對(duì)較薄的印刷電路板的情況下，尤其當(dāng)補(bǔ)償器未伸入盲孔孔徑而是平坦布置在印刷電路板上的情況下，補(bǔ)償器和接收器之間的距離必須相對(duì)來(lái)說(shuō)比較小(例如小上述距離的大約20%)。
[0053]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)，提供已知HAL1S傳感器(因此沒(méi)有專(zhuān)用(獨(dú)立)光導(dǎo)體并且沒(méi)有相關(guān)技術(shù)要求和/或條件)中的補(bǔ)償?shù)絺鞲衅髌帘蔚墓鈾C(jī)械裝置。這最終導(dǎo)致實(shí)現(xiàn)比以前緊湊，尤其平面，以及簡(jiǎn)單(并因此廉價(jià))的HAL1S傳感器。
[0054]在優(yōu)選實(shí)施方式中補(bǔ)償LED 103至少部分地集成在底孔110中(如例如在制造商Harvatek的型號(hào)HT-260IRPJ的二極管的情況下)。優(yōu)選補(bǔ)償LED 103完全或接近完全由底孔110容納。
[0055]參考圖3顯然的是，從補(bǔ)償LED 103發(fā)出的光輻射如何在上側(cè)106和下側(cè)105的銅層107上反射。在從線路板101的FR4材料在接收器穿過(guò)孔徑108中射出的情況下如此控制光輻射，使得輻射以足夠強(qiáng)度并且可靠可復(fù)制地抵達(dá)接收二極管104。來(lái)自補(bǔ)償LED 103的從開(kāi)口 108在測(cè)量對(duì)象13 (其布置在線路板101的上側(cè)106的上面)的方向上的輻射的射出可忽略地小，使得其在離開(kāi)口 108幾厘米距離而沒(méi)有用于實(shí)際應(yīng)用的意義。
[0056]顯然可認(rèn)識(shí)到，接收二極管104不僅接收來(lái)自補(bǔ)償LED 103的輻射。此外輻射還在接收二極管104的相同敏感區(qū)域中疊加，該輻射由發(fā)送LED 102發(fā)出并且由測(cè)量對(duì)象13反射。
[0057]圖4示出具有四層線路板110的根據(jù)本發(fā)明的光電測(cè)量裝置的實(shí)施方式。在兩個(gè)內(nèi)層111，112之間設(shè)置空腔113，其中容納補(bǔ)償LED 103或者補(bǔ)償器。內(nèi)層111和112如此構(gòu)造，從補(bǔ)償LED 103發(fā)出的輻射可以傳導(dǎo)到接收二極管104。在示出的實(shí)施方式中內(nèi)部層(內(nèi)層111)在補(bǔ)償光源或者補(bǔ)償LED 103和接收器或者接收二極管104之間的區(qū)域121中沒(méi)有銅層107。在這個(gè)區(qū)域121中也沒(méi)有其他金屬化或不透光層存在。由此確保，從補(bǔ)償LED 103發(fā)出的光輻射到達(dá)接收二極管104。發(fā)出的輻射在光學(xué)系統(tǒng)線路板中傳導(dǎo)，因?yàn)榫€路板材料(例如FR4材料)的玻璃纖維塊確保足夠良好的光學(xué)傳導(dǎo)。在材料中出現(xiàn)的散射對(duì)系統(tǒng)沒(méi)有負(fù)面影響，相反，擴(kuò)散性確保了接收二極管(例如光電二極管)的敏感區(qū)域的期望的均質(zhì)(均勻)照明并且因此有利于傳感器的良好可再生產(chǎn)性。
[0058]在具有多個(gè)銅層(內(nèi)層)的線路板的情況下重要的是，在補(bǔ)償LED 103和接收LED104之間的區(qū)域121中內(nèi)層111，112上的銅層在盡可能良好的透視的意義上盡可能省去。所有其他阻光元件(途徑，孔徑，等等)也優(yōu)選地從這個(gè)區(qū)域脫離。
[0059]在根據(jù)圖4的實(shí)施方式中可認(rèn)識(shí)到，發(fā)送穿過(guò)孔徑109同樣具有對(duì)線路板的上側(cè)106展開(kāi)的開(kāi)放角度。借此可以從發(fā)送器照亮貼近線路板101前面的更大區(qū)域。因此仍然可以正確識(shí)別在傳感器附近的姿勢(shì)。
[0060]圖5示出根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量裝置的線路板101上的頂視圖。在線路板101的三個(gè)角中布置多個(gè)發(fā)送LED。空間不同布置的發(fā)送器的信號(hào)的評(píng)估不僅實(shí)現(xiàn)了線路板101的前面或者上面的對(duì)象的存在的檢測(cè)，而且實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)，其方向，簡(jiǎn)單距離變化，接近性，整體姿態(tài)或類(lèi)似的。
[0061]接收二極管104優(yōu)選地在線路板101的中間的區(qū)域中布置，使得其到三個(gè)發(fā)送LED的距離類(lèi)似并且優(yōu)選盡可能相同。顯然地還可能的是，定位其他地點(diǎn)上的接收二極管104。在這樣的不對(duì)稱布置的情況下優(yōu)選地接收二極管到單獨(dú)發(fā)送LED的不同距離的均衡在調(diào)節(jié)器中進(jìn)行。
[0062]補(bǔ)償LED 103優(yōu)選比發(fā)送LED 102更接近接收二極管104布置。
[0063]在本發(fā)明的范圍中示出，補(bǔ)償二極管或者補(bǔ)償LED 103尤其在從Imm到2mm(例如
1.55mm)的線路板厚度的情況下優(yōu)選地距離接收器或者接收二極管104至少5mm，尤其優(yōu)選至少7mm。還已經(jīng)示出，兩個(gè)元件之間的距離優(yōu)選地最高15mm,優(yōu)選優(yōu)選最高1mm,非常優(yōu)選最高9mm。然而這個(gè)距離指示取決于二極管類(lèi)型，材料和線路板101的厚度，如上面解釋的一樣。
【權(quán)利要求】
1.光電測(cè)量裝置，其具有光學(xué)發(fā)送器(2)、光學(xué)補(bǔ)償發(fā)送器(3)和光學(xué)接收器(4)用于測(cè)量發(fā)送器(2)和接收器(4)之間的第一傳輸路段(220)的傳輸特性，其中 -發(fā)送器(2)在傳輸路段(220)上發(fā)送發(fā)送信號(hào)，所述發(fā)送信號(hào)在穿過(guò)第一傳輸路段(220)的至少一部分之后由接收器(104)檢測(cè)到， -補(bǔ)償發(fā)送器(3)在第二傳輸路段(230)上發(fā)送補(bǔ)償信號(hào)，所述補(bǔ)償信號(hào)由接收器在穿過(guò)第二傳輸路段(230)之后檢測(cè)到， -構(gòu)造并且布置接收器(104)，以便線性疊加發(fā)送信號(hào)和補(bǔ)償信號(hào)并且從中形成接收器輸出信號(hào)， -調(diào)節(jié)單元(12)，其從接收器輸出信號(hào)如此產(chǎn)生用于操控補(bǔ)償發(fā)送器(3)的補(bǔ)償控制信號(hào)和/或用于操控發(fā)送器(2)的發(fā)送器控制信號(hào)用于回饋調(diào)節(jié)接收器輸出信號(hào)，使得在第一傳輸路段(220)的傳輸特性的變化的情況下接收器輸出信號(hào)基本上保持不變； 其特征在于，補(bǔ)償發(fā)送器(3)和接收器(104)的耦合至少部分地通過(guò)線路板(101)中的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，在所述線路板上布置補(bǔ)償發(fā)送器(3)和接收器(104)。
2.如權(quán)利要求1所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，第二傳輸路段(230)包括線路板(101)中的光學(xué)系統(tǒng)。
3.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)和接收器(4，104)之間的光學(xué)耦合絕大多數(shù)或僅僅通過(guò)線路板(101)中的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。
4.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，光學(xué)系統(tǒng)是補(bǔ)償性的光學(xué)光導(dǎo)體系統(tǒng)，所述光導(dǎo)體系統(tǒng)優(yōu)選自身為線路板(101)。
5.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)至少部分地集成在線路板(101)中。
6.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，線路板(101)是多層線路板并且補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)集成在內(nèi)層(111，112)之一中，其中補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)和接收器(4，104)之間的線路板(101)的所述內(nèi)層(111，112)優(yōu)選沒(méi)有包括金屬化，尤其沒(méi)有包括銅層(107)。
7.如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)以反向裝配安裝在線路板(101)上并且通過(guò)外銅層(107)中的凹槽射入到線路板(101)。
8.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，接收器(4，104)布置在線路板(101)的下側(cè)(105)上在穿過(guò)孔徑(108)下面，所述穿過(guò)孔徑優(yōu)選是圓柱形或圓維形并且進(jìn)一步優(yōu)選地具有最聞120°，優(yōu)選最聞90°，尤其優(yōu)選90°并且非常優(yōu)選最聞45°的從接收器(4，104)背離的開(kāi)放角度。
9.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，線路板(101)由玻璃纖維加強(qiáng)的聚合體組成，優(yōu)選由玻璃纖維加強(qiáng)的環(huán)氧樹(shù)脂組成，尤其優(yōu)選由FR-4材料組成并且優(yōu)選在上側(cè)(106)和/或下側(cè)(105)上至少部分地用金屬層，優(yōu)選用銅層(107)覆蓋。
10.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)遠(yuǎn)離接收器(4,104)至少5mm,優(yōu)選至少7mm和/或遠(yuǎn)離優(yōu)選最高15mm。
11.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，用于發(fā)送器(2，102)的穿過(guò)孔徑(109)內(nèi)部金屬化，優(yōu)選用金屬層，尤其優(yōu)選用銅層覆蓋在孔徑內(nèi)側(cè)上。
12.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于，發(fā)送器(2，102)和接收器(4，104)之間的距離比補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)和接收器(4，104)之間的距離更大。
13.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的光電測(cè)量裝置，其特征在于， -發(fā)送器(2，102)和補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)時(shí)間連續(xù)地定時(shí)地，多相位地發(fā)出光，其中發(fā)出的光分別相對(duì)彼此相移優(yōu)選180° , -測(cè)量裝置具有用于產(chǎn)生時(shí)鐘信號(hào)的時(shí)鐘發(fā)生器(8)、用于時(shí)鐘同步地評(píng)估接收器輸出信號(hào)的解調(diào)器(11)、用于產(chǎn)生用于發(fā)送器(2，102)的定時(shí)發(fā)送器控制電流的可調(diào)節(jié)電源(9)和用于產(chǎn)生用于補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)的定時(shí)補(bǔ)償控制電流的可調(diào)節(jié)補(bǔ)償電源(10)以及-用于產(chǎn)生用于可調(diào)節(jié)電源(9)和/或補(bǔ)償電源(10)的至少一個(gè)操控信號(hào)的調(diào)節(jié)單元(12)如此構(gòu)造，使得補(bǔ)償發(fā)送器(3，103)和/或發(fā)送器(2，102)通過(guò)補(bǔ)償控制電流和/或發(fā)送控制電流的控制對(duì)其光強(qiáng)度在幅度上可如此調(diào)節(jié)，使得不同相位之間出現(xiàn)的時(shí)鐘同步信號(hào)差變?yōu)榱恪?br> 【文檔編號(hào)】G01S17/02GK104185799SQ201280068964
【公開(kāi)日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月3日
【發(fā)明者】E.施維寧格 申請(qǐng)人:梅卡雷斯系統(tǒng)有限責(zé)任公司