專利名稱：點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于微應(yīng)力支撐領(lǐng)域，具體涉及一種點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
點(diǎn)衍射干涉儀利用小孔衍射光束作為測試的基準(zhǔn)波前，這種干涉儀是一種高精度的光學(xué)波前測量設(shè)備。一般情況下，小孔的制備是在鍍有薄膜的薄玻璃基板上對(duì)薄膜進(jìn)行刻蝕完成的。由于小孔的形貌和小孔的面形精度會(huì)對(duì)衍射波前的質(zhì)量產(chǎn)生影響，因此需要減少支撐結(jié)構(gòu)中應(yīng)力對(duì)小孔板的影響，保證小孔板的平整。采用常規(guī)的機(jī)械裝配手段或者直接進(jìn)行粘膠的方法，會(huì)由于機(jī)械受力不均或粘結(jié)劑收縮導(dǎo)致小孔板產(chǎn)生形變。因此需要研究一種應(yīng)力小，能夠使小孔板均勻受力的支撐結(jié)構(gòu)，來保證小孔板的面形精度。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供了一種點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)具有應(yīng)力小的特點(diǎn)，使小孔板均勻受力，從而減少小孔板的應(yīng)力變形。本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下:點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括支撐基板和小孔板，在支撐基板上有一個(gè)以支撐基板的圓心為圓心的圓形凹槽；小孔板的直徑與凹槽的內(nèi)徑相同且小孔板的邊緣與凹槽的內(nèi)徑邊緣緊密貼合；所述凹槽內(nèi)均勻分布光學(xué)膠，支撐結(jié)構(gòu)通過光學(xué)膠與小孔板連接。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過毛細(xì)現(xiàn)象由光學(xué)膠把小孔板和支撐基板緊密固定，使小孔板由圓心向四周發(fā)散的應(yīng)力盡可能的減小，并降低小孔板的形變。


圖1本發(fā)明點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。圖2本發(fā)明點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)的整體三維圖。圖3本發(fā)明點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)的剖面三維圖。圖中:1、支撐基板，2、光學(xué)膠，3、薄膜，4、玻璃基板，5、小孔，6、小孔板，7、通孔和
8、凹槽。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖1、圖2和圖3所示，點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)包括支撐基板I和小孔板6，支撐結(jié)構(gòu)I具有一通孔7，通孔7的大小大于點(diǎn)衍射干涉儀的出光口徑，保證對(duì)小孔5的照明光束能夠完全通過。在支撐基板I上有一個(gè)以支撐基板I的圓心為圓心的圓形凹槽8 ;凹槽8的橫截面為V型，其開口最寬處小于2mm。小孔板6由薄膜3和玻璃基板4構(gòu)成，薄膜3附在玻璃基板4的上底面，在薄膜3的中心開孔。小孔板6的直徑與凹槽8的內(nèi)徑長度相同且小孔板6的外邊緣與凹槽8內(nèi)徑的外邊緣緊密貼合，安裝時(shí)二者應(yīng)該嚴(yán)格的對(duì)齊。凹槽8內(nèi)應(yīng)采用細(xì)管導(dǎo)入光學(xué)膠2，以保證涂抹的均勻性和防止氣泡進(jìn)入，將整個(gè)裝置水平放置一段時(shí)間，光學(xué)膠2會(huì)因?yàn)槊?xì)現(xiàn)象與小孔板6接觸，同時(shí)受重力影響光學(xué)膠2會(huì)均勻沿凹槽分布，與小孔板6均勻接觸，起到連接小孔板6和支撐基板I的作用，其中光學(xué)膠的楊氏模量小于等于2.3X104lb/in2，如環(huán)氧樹脂光學(xué)膠。
權(quán)利要求
1.點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括支撐基板和小孔板，其特征在于，在所述支撐基板上有一個(gè)以支撐基板的圓心為圓心的圓形凹槽；所述小孔板的直徑與凹槽的內(nèi)徑相同且小孔板的邊緣與凹槽的內(nèi)徑邊緣緊密貼合；所述凹槽內(nèi)均勻分布光學(xué)膠，支撐結(jié)構(gòu)通過光學(xué)膠與小孔板連接。
2.如權(quán)利要求1所述的點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述小孔板由玻璃基板和薄膜構(gòu)成，薄膜附在玻璃基板的上底面，在薄膜的中心開孔。
3.如權(quán)利要求1所述的點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)具有一通孔，通孔的大小大于點(diǎn)衍射干涉儀的出光口徑。
4.如權(quán)利要求1所述的點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凹槽的橫截面為V型，其開口最寬處小 于2mm。
全文摘要
點(diǎn)衍射干涉儀小孔板的支撐結(jié)構(gòu)屬于微應(yīng)力支撐領(lǐng)域，該結(jié)構(gòu)具有應(yīng)力小的特點(diǎn)，使小孔板均勻受力，從而減少小孔板的應(yīng)力變形。該結(jié)構(gòu)由支撐基板和小孔板組成，在支撐基板上有一個(gè)以支撐基板的圓心為圓心的圓形凹槽；小孔板的直徑與凹槽的內(nèi)徑相同且小孔板的邊緣與凹槽的內(nèi)徑邊緣緊密貼合；所述凹槽內(nèi)均勻分布光學(xué)膠，支撐結(jié)構(gòu)通過光學(xué)膠與小孔板連接。本發(fā)明通過毛細(xì)現(xiàn)象由光學(xué)膠把小孔板和支撐基板緊密固定，使小孔板由圓心向四周發(fā)散的應(yīng)力盡可能的減小，并降低小孔板的形變。
文檔編號(hào)G01J9/02GK103217225SQ201310085979
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月18日
發(fā)明者馬冬梅, 邵晶, 張海濤, 聶真威, 周烽, 盧增雄 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所