振動片、電子裝置以及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種振動片、電子裝置以及電子設(shè)備，所述振動片能夠防止或抑制斷線、特別是制造時的斷線。振動片（5）包括：一對基部（311、312），其以分隔的方式而配置；一對振動臂（313、314），其被配置在一對基部（311、312）之間。此外，振動臂（313、314）分別具有位于延伸方向上的兩端部處的一對端部區(qū)域（A1、A2）、和位于端部區(qū)域（A1、A2）之間的中央部區(qū)域（A3）這三個振動區(qū)域。在各個區(qū)域（A1～A3）中分別配置有從振動臂（313、314）的側(cè)面躍上至主面上的電極片（611、621），并且被配置在端部區(qū)域（A1、A2）內(nèi)的電極片的、位于主面上的部分的平均寬度（W1），大于被配置在中央部區(qū)域（A3）內(nèi)的電極片的、位于主面上的部分的平均寬度（W2）。
【專利說明】振動片、電子裝置以及電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種振動片、電子裝置以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為壓力傳感器，已知一種將雙音叉型的振動片接合在隔膜上的結(jié)構(gòu)。在這種結(jié)構(gòu)的壓力傳感器中，通過所施加的壓力，振動片和隔膜一起發(fā)生變形，并通過對與該變形的程度相對應(yīng)地發(fā)生變化的振動片的共振頻率進(jìn)行測定，從而對被施加在壓力傳感器上的壓力的大小進(jìn)行檢測(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]振動片具有一對基部、和對該一對基部進(jìn)行連結(jié)的一對振動臂,在各個振動臂上配置有第一電極片和第二電極片。第一電極片和第二電極片被形成為，在各個振動臂的延伸方向和周向中的每一個方向上交替分布，并且被配置為，在一個振動臂和另一個振動臂上配置相反。已知通過采用這種配置，從而使振動臂的振動效率得到提高的情況。
[0004]然而，在專利文獻(xiàn)I的振動片中，被配置在位于各個振動臂的兩端部處的振動區(qū)域(端部區(qū)域)內(nèi)的側(cè)面上的電極片(在一個振動臂上為第一電極片，在另一個振動臂上為第二電極片)的、躍上至主面上的部分的寬度，和被配置在位于振動臂的中央部處的振動區(qū)域(中央部區(qū)域)內(nèi)的側(cè)面上的電極片(在一個振動臂上為第二電極片，在另一個振動臂上為第一電極片)的、躍上至主面上的部分的寬度分別被構(gòu)成為，較為狹窄且大致相等。當(dāng)采用這種結(jié)構(gòu)時，在制造時(第一、第二電極片的圖案形成工序)，被配置在端部區(qū)域內(nèi)的側(cè)面上的電極片在振動臂的延伸方向上被分割，從而以此為原因而產(chǎn)生斷線。
[0005]具體地進(jìn)行說明，電極片的制造包括:使用光刻法而在被形成于振動臂的表面上的金屬膜上形成抗蝕劑圖案的工序、和使用蝕刻法而對從抗蝕劑圖案中露出的金屬膜進(jìn)行去除的工序?？刮g劑圖案是通過如下方式而形成的，即，向涂敷于金屬膜上的正性光刻膠膜照射曝光用光，并通過顯影而對照射了曝光用光的部分的光刻膠膜進(jìn)行去除。雖然也需要對振動臂的側(cè)面(特別是，將各個振動臂的內(nèi)側(cè)面彼此連接的基部的側(cè)面)實施曝光用光的照射，但此時，被基部的側(cè)面所反射的曝光用光被照射到各個振動臂的端部區(qū)域的側(cè)面、主面的與側(cè)面之間的邊界部附近這種原本不會照射曝光用光的位置，其結(jié)果為，形成一部分不慎發(fā)生了缺損的抗蝕劑圖案。當(dāng)使用這種抗蝕劑圖案來實施蝕刻時，形成于端部區(qū)域的側(cè)面上的電極片將在振動臂的延伸方向上被分割，這種情況將會導(dǎo)致斷線。
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007 - 171123號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠防止或抑制斷線、特別是制造時的斷線的振動片、具備該振動片的電子裝置及電子設(shè)備。
[0008]本發(fā)明為解決上述問題的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實現(xiàn)。
[0009]應(yīng)用例I[0010]本發(fā)明的振動片的特征在于，具有:兩個基部，其以分隔的方式而配置；振動臂，其位于兩個所述基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從上述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度。
[0011 ] 通過設(shè)定為這種結(jié)構(gòu)，從而即使例如在電極片的制造時，端部區(qū)域的電極片的、被形成于振動臂的側(cè)面上的部分不慎被去除，也由于通過躍上至主面上的端部躍上部而維持了導(dǎo)通，因此能夠防止不慎的斷線。
[0012]應(yīng)用例2
[0013]在本發(fā)明的振動片中，優(yōu)選為，所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)的主面上的所述電極片的寬度沿著所述振動臂的延伸方向為固定。
[0014]通過設(shè)定為這種結(jié)構(gòu)，從而防止制造工序中的不慎的斷線，由此使振動臂的振動較為穩(wěn)定。
[0015]應(yīng)用例3
[0016]在本發(fā)明的振動片中，優(yōu)選為，當(dāng)將所述端部區(qū)域內(nèi)的主面上的所述電極片的寬度的平均寬度設(shè)為W，并將所述振動臂在所述端部區(qū)域內(nèi)的平均寬度設(shè)為r時，滿足如下關(guān)系，即，ο </6。
[0017]通過設(shè)定為這種結(jié)構(gòu)，從而能夠?qū)⒄駝颖鄣恼駝有示S持得足夠高，由此能防止制造時的不慎的斷線。
[0018]應(yīng)用例4
[0019]在本發(fā)明的振動片中，優(yōu)選為，所述主面上的所述電極片的平均寬度在7.5 μ m以上。
[0020]通過設(shè)定為這種結(jié)構(gòu)，從而能夠更加可靠地防止制造時的不慎的斷線。
[0021]應(yīng)用例5
[0022]在本發(fā)明的振動片中，優(yōu)選為，所述振動區(qū)域通過一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域這三個區(qū)域而構(gòu)成。
[0023]由此，能夠更加有效地使振動臂進(jìn)行振動。
[0024]應(yīng)用例6
[0025]本發(fā)明的電子裝置的特征在于，具備如下的振動片，所述振動片具有:兩個基部，其以分隔的方式而配置；振動臂，其位于所述兩個基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從所述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度。
[0026]由此，能夠獲得可靠性較高的電子裝置。
[0027]應(yīng)用例7[0028]本發(fā)明的電子裝置優(yōu)選為壓力檢測元件，所述壓力檢測元件包括:隔膜層，其具有隔膜；所述振動片，其被固定在所述隔膜上。
[0029]由此，電子裝置成為可靠性較高的壓力檢測元件。
[0030]應(yīng)用例8
[0031]本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具備如下的振動片，所述振動片具有:兩個基部，其以分隔的方式而配置；振動臂，其位于兩個所述基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從所述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度。
[0032]由此，能夠獲得可靠性較高的電子設(shè)備。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1為表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的壓力傳感器的立體圖。
[0034]圖2為圖1所示的壓力傳感器的分解立體圖。
[0035]圖3為圖1所示的壓力傳感器所具備的振動片的平面圖，圖3 Ca)為俯視圖，圖3(b)為下表面的透視圖。
[0036]圖4 (a)為沿圖3中的A-A線的剖視圖，圖4 (b)為沿圖3中的B-B線的剖視圖，圖4 (c)為沿圖3中的C-C線的剖視圖。
[0037]圖5為圖3所示的振動片的局部放大俯視圖。
[0038]圖6為對圖1所示的壓力傳感器的動作進(jìn)行說明的剖視圖。
[0039]圖7為用于對壓力傳感器的制造方法進(jìn)行說明的立體圖。
[0040]圖8為用于對壓力傳感器的制造方法進(jìn)行說明的立體圖。
[0041]圖9為用于對壓力傳感器的制造方法進(jìn)行說明的立體圖。
[0042]圖10為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的、便攜式(或筆記本式)的個人計算機的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0043]圖11為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的、移動電話(也包含PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0044]圖12為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的、數(shù)碼照相機的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0045]圖13為表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的、移動體(汽車)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
【具體實施方式】
[0046]以下，根據(jù)附圖所示的實施方式對本發(fā)明的振動片、電子裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0047]第一實施方式
[0048]圖1為，表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的壓力傳感器的立體圖，圖2為，圖1所示的壓力傳感器的分解立體圖，圖3為，圖1所示的壓力傳感器所具備的振動片的平面圖，圖3 (a)為俯視圖，圖3 (b)為下表面的透視圖，圖4 (a)為，沿圖3中的A-A線的剖視圖，圖4 (b)為，沿圖3中的B-B線的剖視圖，圖4 (c)為，沿圖3中的C-C線的剖視圖，圖5為，圖3所示的振動片的局部放大俯視圖，圖6為，對圖1所示的壓力傳感器的動作進(jìn)行說明的剖視圖，圖7、圖8以及圖9為，用于對壓力傳感器的制造方法進(jìn)行說明的立體圖。另夕卜，在以下的說明中，將圖1中的上側(cè)稱為“上”，下側(cè)稱為“下”。對于其他圖而言，也與之相對應(yīng)地進(jìn)行說明。此外，在以下，如圖1所示，將相互正交的三個軸設(shè)定為X軸、Y軸以及Z軸，并將Z軸設(shè)為與壓力傳感器的厚度方向相一致的軸。
[0049]如圖1及圖2所示，壓力傳感器I具有隔膜層2、嵌入有振動片(本發(fā)明的振動片)5以作為振動體31的振動體層3、和基座層4，并以層疊這三個層2、3、4的方式而構(gòu)成。
[0050]優(yōu)選為，隔膜層2、振動體層3以及基座層4分別由水晶構(gòu)成。如此，由于利用相同的材料來構(gòu)成隔膜層2、振動體層3以及基座層4，從而能夠抑制因線膨脹率的不同而產(chǎn)生的、振動片5的非預(yù)期的翹曲或撓曲，進(jìn)而能夠提高壓力傳感器I的壓力檢測精度。特別是，由于利用水晶來構(gòu)成振動體層3，從而成為具有優(yōu)異的溫度特性、振動特性的壓力傳感器I。
[0051]隔膜層2、振動體層3以及基座層4的外形形狀分別可以使用例如光刻法和干式蝕刻或濕式蝕刻等各種蝕刻方法，而由一張水晶平板來形成。
[0052]隔膜層2、振動體層3以及基座層4利用低融點玻璃而被接合在一起。此處，作為低融點玻璃，雖然并不被特別限定，但優(yōu)選使用線膨脹率與水晶接近的釩類的低融點玻璃。由此，能夠抑制因各個層2、3、4與低融點玻璃之間的線膨脹率的不同而產(chǎn)生的、振動片5的非預(yù)期的翹曲或撓曲。
[0053]此外，優(yōu)選在低融點玻璃中含有顆粒狀的隔離物。由于含有隔離物，從而能夠更加有效地抑制因各個層2、3、4與低融點玻璃之間的線膨脹率的不同而產(chǎn)生的、振動片5的非預(yù)期的翹曲或撓曲。另外，隔膜層2、振動體層3以及基座層4之間的接合也可以使用各種粘接劑或Au-Au等金屬-金屬接合，以代替低熔點玻璃。
[0054]隔膜層
[0055]隔膜層2具有薄壁部21和框部22，其中，所述薄壁部21通過受到來自外部的壓力而發(fā)生變形，所述框部22被形成在該薄壁部21的周圍。此外，隔膜層2具有一對支承部23、24，所述一對支承部23、24從薄壁部21的下表面突出，并在Y軸方向上分隔形成。在這一對支承部23、24上，經(jīng)由低融點玻璃而固定有振動片5。
[0056]基座層
[0057]基座層4以隔著振動體層3而與隔膜層2對置的方式被設(shè)置。在基座層4上設(shè)置有上表面開放的凹部41。通過使該凹部41與被形成在隔膜層2上的凹部(薄壁部21)對置，從而形成空間S，在該空間S內(nèi)設(shè)置有振動片5。
[0058]空間S優(yōu)選為真空狀態(tài)。通過將空間S設(shè)定為真空狀態(tài)，從而能夠降低振動片5的Cl (Crystal Impedance:晶體阻抗)值,進(jìn)而提高頻率穩(wěn)定性。另外，為了將空間S設(shè)為真空狀態(tài)，可列舉出如下方式，例如，在真空狀態(tài)(真空環(huán)境)下對隔膜層2、振動體層3以及基座層4進(jìn)行接合的方法；預(yù)先在基座層4上形成貫穿孔，在常壓下將隔膜層2、振動體層3以及基座層4接合在一起之后，經(jīng)由所述貫穿孔而將空間S形成為真空狀態(tài)，并將填充物(AuS、AuGe等)填充至貫穿孔中從而進(jìn)行密封的方法等。
[0059]振動體層
[0060]振動體層3被配置在隔膜層2和基座層4之間。該振動體層3具有:振動體31(振動片5);框狀的框部32，其被設(shè)置為包圍振動體31的周圍；四個連結(jié)部331、332、333、334，其對振動體31和框部32進(jìn)行連結(jié)。
[0061]框部32具有在從隔膜層2側(cè)進(jìn)行觀察的俯視觀察時，從隔膜層2露出的露出部321，在該露出部321上以在X軸方向上分隔的方式而并排設(shè)置有后文敘述的導(dǎo)電襯墊63、64。
[0062]振動體31具有以在Y軸方向上相互分隔的方式而配置的兩個基部311、312、和對該兩個基部311、312進(jìn)行連結(jié)的一對振動臂313、314。
[0063]振動臂313、314分別位于兩個基部311、312之間，且以從基部311、312中的一方向另一方延伸的方式而配置。此外，振動臂313、314隔開間隔，并相互平行，且呈在Y軸方向上延伸的長條形狀。另外，作為振動臂的數(shù)量，并不限定于兩個，可以為一個，也可以為三個以上。
[0064]這種振動體31在基部311、312處，經(jīng)由低融點玻璃而被固定在支承部23、24上。
[0065]四個連結(jié)部331?334分別呈在X軸方向上延伸的長條形狀，連結(jié)部331、332對基部311和框部32進(jìn)行連結(jié)，連結(jié)部333、334對基部312和框部32進(jìn)行連結(jié)。另外，對于連結(jié)部的數(shù)量或延伸方向，只要能夠?qū)⒄駝芋w31連結(jié)在框部32上則不被特別限定，例如，針對于各個基部311、312，可以形成有一個或三個以上的連結(jié)部。
[0066]在以上這種形狀的振動體層3上形成有導(dǎo)體圖案。導(dǎo)體圖案具有:一對激勵電極61、62，其被形成在振動體31上；一對導(dǎo)電襯墊63、64，其被形成在框部32的露出部321上；配線65、66，其對激勵電極61、62和導(dǎo)電襯墊63、64進(jìn)行電連接。
[0067]在這種壓力傳感器I中，通過振動體31和激勵電極61、62而構(gòu)成了振動片5，當(dāng)向激勵電極61、62之間施加交變電壓時，振動臂313、314將反復(fù)相互接近、遠(yuǎn)離從而進(jìn)行振動。特別是，如本實施方式的振動片5這種雙音叉型的振動片，對牽拉、壓縮應(yīng)力的靈敏度較為良好，作為壓敏元件的分辨率較為優(yōu)異。因此，使用這種振動片5的壓力傳感器I能夠發(fā)揮優(yōu)異的壓力檢測能力。
[0068]—對激勵電極61、62被配置為，使振動片5的振動模式以關(guān)于振動片5的中心軸Y’對稱的模式而進(jìn)行振動。圖3 (a)為，從隔膜層2側(cè)觀察振動片5時的俯視圖，圖3 (b)為，從隔膜層2側(cè)觀察振動片5時的下表面的透視圖。此外，在圖4中，圖示了沿圖3中的A-A線的剖視圖、沿B-B線的剖視圖、以及沿C-C線的剖視圖。
[0069]如圖3及圖4所示，激勵電極61具有:多個電極片611，其被形成在振動臂313、314上；配線612、613，其被形成在基部311上，并且對被形成在振動臂313上的電極片611和被形成在振動臂314上的電極片611進(jìn)行連接；配線614、615，其被形成在基部312上，并且對被形成在振動臂313上的電極片611和被形成在振動臂314上的電極片611進(jìn)行連接。
[0070]與此相同，激勵電極62具有:多個電極片621，其被形成在振動臂313、314上；配線622、623，其被形成在基部311上，并且對被形成在振動臂313上的電極片621和被形成在振動臂314上的電極片621進(jìn)行連接；配線624、625，其被形成在基部312上，并且對被形成在振動臂313上的電極片621和被形成在振動臂314上的電極片621進(jìn)行連接。
[0071]電極片611、621被形成為，在振動臂313、314的長度方向和周向中的每一個方向上交替分布，并且被形成為，在振動臂313和振動臂314上配置相反。
[0072]此外，電極片611、621沿著振動臂313、314的長度方向而交替形成有共計三個。因此，能夠使振動臂313、314與電極片611、621的配置相對應(yīng)，而沿著其長度方向(延伸方向)劃分為三個振動區(qū)域。具體而言，能夠?qū)⒄駝颖?13、314劃分為:第一端部區(qū)域(端部區(qū)域)Al，其包含圖4 (a)的剖面；第二端部區(qū)域(端部區(qū)域)A2，其包含圖4 (b)的剖面；中央部區(qū)域A3，其包含圖4 (c)的剖面，并位于第一端部區(qū)域Al和第二端部區(qū)域A2之間。
[0073]如此，由于振動臂313、314分別具有由三個區(qū)域Al?A3構(gòu)成的振動區(qū)域，從而能夠更高效地使振動臂313、314進(jìn)行振動。因此，使作為壓力傳感器的靈敏度較為優(yōu)異。
[0074]以下，依次對第一端部區(qū)域Al、第二端部區(qū)域A2、中央部區(qū)域A3各個區(qū)域的電極配置進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0075]第一端部區(qū)域Al
[0076]在振動臂313中，于其上表面和下表面上形成有電極片621a、621b,并于兩側(cè)面上形成有電極片611a、611b。此外，電極片611a、611b分別以跨及振動臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振動臂313的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片621a、621b，于隔著該電極片621a、621b的兩端部處形成有電極片611a、611b。此夕卜，電極片621a、621b分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。此夕卜，主面(上表面和下表面)上的電極片611a、611b (躍上部611a’、611b’ )分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。
[0077]另一方面,在振動臂314中，于其上表面和下表面上形成有電極片611c、611d,并于兩側(cè)面上形成有電極片621c、621d。此外，電極片621c、621d分別以跨及振動臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振動臂314的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片611c、611d,于隔著該電極片611c、611d的兩端部處形成有電極片621c、621d。此外，電極片611c、611d分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。此外，主面(上表面和下表面)上的電極片621c、621d (躍上部621c’、621d’)分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。
[0078]此外，電極片611a、611d經(jīng)由被形成在基部311的下表面上的配線612而被電連接，電極片611b、611c經(jīng)由被形成在基部311的上表面上的配線613而被電連接。此外，電極片621a、621c經(jīng)由被形成在基部311的上表面上的配線622而被電連接，電極片621b、621d經(jīng)由被形成在基部311的下表面上的配線623而被電連接。
[0079]第二端部區(qū)域A2
[0080]在振動臂313中，于其上表面和下表面上形成有電極片621e、621f,并于兩側(cè)面上形成有電極片611e、611f。此外，電極片611e、611f分別以跨及振動臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振動臂313的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片621e、621f，于隔著電極片621e、621f的兩端部處形成有電極片611e、611f。此夕卜，電極片621e、621f分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。此夕卜，主面(上表面和下表面)上的電極片611e、611f (躍上部611e’、611f ’ )分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。[0081]另一方面,在振動臂314中，于其上表面和下表面上形成有電極片611g、611h,并于兩側(cè)面上形成有電極片621g、621h。此外，電極片621g、621h分別以跨及振動臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振動臂314的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片611g、611h,于隔著電極片611g、611h的兩端部處形成有電極片621g、621h。此外，電極片611g、611h分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。此外，主面(上面和下面)上的電極片621g、621h (躍上部621g’、621h’)分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。
[0082]另外，電極片611e、611g經(jīng)由被形成在基部312的上表面上的配線614而被電連接，電極片611f、611h經(jīng)由被形成在基部311的下表面上的配線615而被電連接。此外，電極片621e、621h經(jīng)由被形成在基部311的上表面上的配線624而被電連接，電極片621f、621g經(jīng)由被形成在基部311的下表面上的配線625而被電連接。
[0083]中央部區(qū)域A3
[0084]在振動臂313中，于其上表面和下表面上形成有電極片6111、611j,并于兩側(cè)面上形成有電極片6211、621j。此外，電極片6211、621j分別以跨及振動臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振動臂313的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片6111、611j，于隔著電極片6111、611j的兩端部處形成有電極片6211、621j。此外，電極片6111、611j分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，且該寬度互為相等。此外，主面(上表面和下表面)上的電極片6211、621j (躍上部621i’、621j’)分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。
[0085]電極片611i在振動臂313的上表面上的第一端部區(qū)域Al與中央部區(qū)域A3之間，與電極片611a、611b電連接。此外，電極片611j在振動臂313的下表面上的第二端部區(qū)域A2和中央部區(qū)域A3之間，與電極片611e、611f電連接。此外，電極片6211、621j在振動臂313的上表面上的第二端部區(qū)域A2和中央部區(qū)域A3之間，與電極片621e電連接。
[0086]另一方面,在振動臂314中，于其上表面和下表面上形成有電極片621k、6211,并于兩側(cè)面上形成有電極片611K6111。此外，電極片電極片611K6111分別以跨及振動臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此,在振動臂314的上表面和下表面上，于寬度方向上的中央部處形成有電極片621k、6211，于隔著電極片621k、6211的兩端部處形成有電極片電極片611k、6111。此外，電極片62lk、6211分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，并且該寬度互為相等。此外，主面(上表面和下表面)上的電極片611k、6111 (躍上部611k’、6111’)分別沿著Y軸方向而具有大致固定的寬度，且該寬度互為相等。
[0087]此外，電極片621k在振動臂313的上表面上的第一端部區(qū)域Al和中央部區(qū)域A3之間，與電極片621c、621d電連接。此外，電極片6211在振動臂313的下表面上的第二端部區(qū)域A2和中央部區(qū)域A3之間，與電極片621g、621h電連接。此外，電極片611k、6111在振動臂313的上表面上的第二端部區(qū)域A2和中央部區(qū)域A3之間，與電極片611g電連接。
[0088]以上，對激勵電極61、62的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)說明。如圖5所示，在振動片5中，被形成在第一端部區(qū)域Al (第二端部區(qū)域A2)內(nèi)的躍上部的寬度(平均寬度)被構(gòu)成為，大于被形成在中央部區(qū)域A3內(nèi)的躍上部的寬度(平均寬度)。以下，代表性地對被形成在振動臂313的上表面上的躍上部611b’、621j’的寬度的不同進(jìn)行說明，對于其他躍上部(例如躍上部611f’、621j’，躍上部621d’、6111’，躍上部621h，、6111，等)，省略其說明。[0089]當(dāng)將躍上部611b’的寬度(平均寬度)設(shè)為W1，將躍上部621j’的寬度(平均寬度)設(shè)為W2時，W1、W2滿足Wl >W2的關(guān)系。通過使W1、W2滿足這種關(guān)系，從而能夠防止制造時的激勵電極61、62的斷線。
[0090]如后文所述，在振動片5的制造工序中，包括在振動體31的表面上形成激勵電極61、62的工序,在該工序中，包括使用光刻法而在被形成于振動體31的表面上的金屬膜上形成抗蝕劑圖案(掩膜)的工序、和使用蝕刻法而對從抗蝕劑圖案中露出的金屬膜進(jìn)行去除的工序。
[0091]抗蝕劑圖案是通過如下方式而形成的，S卩，向涂布在金屬膜上的正性光刻膠膜照射曝光用光，并通過顯影而對照射了曝光用光的部分的光刻膠膜進(jìn)行去除。雖然也需要對振動體31的側(cè)面(特別是，各個振動臂313、314的內(nèi)側(cè)面、將振動臂313、314的內(nèi)側(cè)面彼此連結(jié)的基部311、312的側(cè)面)實施曝光用光的照射，但此時，被基部311、312的側(cè)面所反射的曝光用光被照射到各個振動臂313、314的端部區(qū)域Al、A2的側(cè)面、主面的與側(cè)面的邊界部附近這種原本不會照射曝光用光的區(qū)域，其結(jié)果為，形成有一部分不慎發(fā)生了缺損的抗蝕劑圖案。當(dāng)使用這種抗蝕劑圖案進(jìn)行蝕刻時，被形成在端部區(qū)域Al、A2的側(cè)面上的電極片611、621在振動臂313、314的延伸方向上將被分割，這有可能導(dǎo)致斷線。
[0092]然而，通過滿足Wl > W2的關(guān)系，從而即使例如位于振動臂313、314的端部區(qū)域Al、A2的側(cè)面上的金屬膜(電極片611、621)的一部分不慎被去除，也由于通過被形成在其上表面和下表面上的躍上部611’、621’而確保了電連接，因此防止了激勵電極61、62的斷線。
[0093]另外，作為Wl的值，雖然未被特別限定，但優(yōu)選在7.5μπι以上。通過設(shè)定為這種大小，從而能夠更加顯著地發(fā)揮上述效果。此處，雖然為了提高上述效果，而優(yōu)選進(jìn)一步增大Wl，但如果增大Wl，則必須與之相對應(yīng)地減少與躍上部611’并排形成的電極片621a的寬度。然而，當(dāng)減少電極片621a的寬度時，振動臂313的振動特性將降低。因此，從抑制振動特性的降低的觀點出發(fā)，優(yōu)選將Wl設(shè)定在振動臂313的寬度的1/6以下的程度。S卩，當(dāng)將振動臂313的寬度(第一端部區(qū)域的平均寬度)設(shè)定為W3時，優(yōu)選為滿足O < Wl < W3/6的關(guān)系，并且更優(yōu)選為滿足7.5 < Wl < W3/6的關(guān)系。根據(jù)同樣的觀點，對于被配置在振動臂的上表面及下表面上的電極而言，優(yōu)選為端部區(qū)域<中央部區(qū)域，并且優(yōu)選為端部區(qū)域的電極片611 (C、d、g、h)、621 (a、b、e、f)的寬度在振動臂的一半以上。
[0094]此外，通過使W1、W2滿足Wl > W2的關(guān)系，從而形成振動效率優(yōu)異的振動片5。在第一端部區(qū)域Al、第二端部區(qū)域A2以及中央部區(qū)域A3中，最有助于振動臂313的振動的區(qū)域為中央部區(qū)域A3。因此，優(yōu)選為，在振動臂313的中央部區(qū)域A3中，尤其要盡可能較大地形成被形成于上表面和下表面上的電極片6111、611j的寬度，以提高電場效率。只要滿足Wl > W2的關(guān)系，則在中央部區(qū)域A3中，便能夠減小躍上部621 j的寬度，并與之相對應(yīng)地增大電極片6111、611j的寬度。因此，形成振動效率優(yōu)異的振動片5。
[0095]另外，雖然為了進(jìn)一步提高上述效果，而優(yōu)選設(shè)定為W2 = 0，但在考慮到制造時的電極片621的圖案形成精度(通過光刻法形成掩膜的形成精度)時，優(yōu)選將W2設(shè)定為2μπι左右。當(dāng)采用這種值時，將能夠有效地防止隨著制造時的掩膜的偏移而產(chǎn)生的激勵電極61、62的斷線，且能夠充分地發(fā)揮上述效果。
[0096]此外，在振動片5中，于各個區(qū)域Α1、Α2、Α3中，被形成在振動臂313、314的上表面和下表面上的各個電極片611、612的寬度沿著Y軸方向相等，并且，躍上部611’、621’的寬度沿著Y軸方向相等，而且，在振動臂313、314的上表面和下表面上，沿著寬度方向鄰接的電極片之間的分隔距離(由圖5中的D所表示的距離)沿著Y軸方向相等。由于通過采用這種電極配置，能夠使均勻的電場作用在振動臂313、314的長度方向上的整個區(qū)域內(nèi)，因此振動臂313、314的振動較為穩(wěn)定。此外，由于能夠防止電場向預(yù)定位置的集中，因此形成了即使對于強激勵也能夠在強度上充分承受的激勵電極61、62。
[0097]以上，對壓力傳感器I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。這種壓力傳感器I以如下方式進(jìn)行動作。當(dāng)如圖6 (a)所示的壓力被施加于隔膜層2上時，如圖6 (b)所示，薄壁部21將以使兩個支承部23、24的下表面外擴的方式進(jìn)行撓曲。通過該薄壁部21的撓曲，從而在振動臂313,314上施加有牽拉力。由于振動片5具有當(dāng)振動臂313、314上施加有牽拉應(yīng)力時振蕩頻率將增高的特性，因此通過對振動片5的振蕩頻率的變化量進(jìn)行檢測，并根據(jù)所檢測出的振蕩頻率的變化量，從而能夠?qū)С霰皇┘佑趬毫鞲衅鱅上的壓力的大小。
[0098]2.振動片的制造方法
[0099]振動片5的制造方法包括:準(zhǔn)備振動體31的工序、和在振動體31的表面上形成激勵電極61、62的工序。
[0100]首先，如圖7所示，準(zhǔn)備水晶平板，通過使用光刻法和蝕刻法(濕式蝕刻)而將該水晶平板圖案形成為預(yù)定形狀，從而獲得振動體層3。在所獲得的振動體31的側(cè)面上顯現(xiàn)出水晶的結(jié)晶面。
[0101]接下來，如圖8所示，通過蒸鍍或濺射而在振動體31的表面上形成金屬膜600。雖然作為金屬膜600的結(jié)構(gòu)，只要能夠獲得激勵電極61、62則并不被特別限定，但優(yōu)選設(shè)定為例如由Ni (鎳)、Cr (鉻)等構(gòu)成的基底層和由Au (金)、Ag (銀)、Cu (銅)等構(gòu)成的電極層層疊而成的層疊結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠形成與振動體31的貼緊性優(yōu)異并且導(dǎo)電性優(yōu)異的激勵電極61、62。接下來，在金屬膜600上形成光刻膠膜(正性光刻膠膜)700。
[0102]接下來，以與金屬膜600的欲去除部分(構(gòu)成激勵電極61、62的部分以外的部分)相對應(yīng)的方式，經(jīng)由掩膜而向光刻膠膜700照射曝光用光以進(jìn)行曝光，并通過顯影液而對曝光了的部分進(jìn)行去除。由此，形成了僅在與激勵電極61、62相對應(yīng)的部分處形成有光刻膠膜的抗蝕劑圖案。并且，通過經(jīng)由該抗蝕劑圖案來進(jìn)行濕式蝕刻，從而對金屬膜600的從抗蝕劑圖案中露出的部分進(jìn)行去除。通過以上操作，從而在振動體31上形成了激勵電極61、62。
[0103]此處，在實施曝光時，對振動體31的側(cè)面部分也需要照射曝光用光。特別是，由于基部311的對振動臂313的內(nèi)周面彼此進(jìn)行連結(jié)的側(cè)面311’的、水晶的結(jié)晶面露出，從而并排構(gòu)成了多個朝向不同方向的面。由于為了形成配線613、623而需要向側(cè)面311’照射曝光用光，因此當(dāng)如圖8所示這樣照射曝光用光LL時，存在曝光用光LL在側(cè)面311’上發(fā)生反射，且反射后的曝光用光LL’被照射到振動臂313的內(nèi)側(cè)面上的可能性。由于反射后的曝光用光LL’所照射的位置為，成為電極片611 (611b)的部分，因此為原本不被照射曝光用光LL的區(qū)域。如此，當(dāng)在振動臂313、314內(nèi)側(cè)面的非預(yù)期的區(qū)域內(nèi)照射有曝光用光LL時，例如，如圖9所示，位于電極片611b的振動臂313的內(nèi)側(cè)面上的部位將不慎被去除，這將成為斷線的原因。
[0104]然而，如上文所述，由于在振動片5中，被形成于第一端部區(qū)域Al內(nèi)的躍上部611b’的寬度Wl被構(gòu)成為，大于被形成于中央部區(qū)域A3內(nèi)的躍上部621j’的寬度W2，SP，由于形成于第一端部區(qū)域Al內(nèi)的躍上部611b’的寬度Wl被確保為足夠?qū)?，因此即使產(chǎn)生了上述這種非預(yù)期的去除部，也能夠通過躍上部611b’來充分地確保導(dǎo)通(能夠防止斷線)。另外，雖然在上述的說明中，對向側(cè)面311’照射并發(fā)生了反射的曝光用光LL’被照射至振動臂313的內(nèi)側(cè)面上的情況進(jìn)行了說明，但對于如下情況而言也是相同的，所述情況包括:向側(cè)面311’照射并發(fā)生了反射的曝光用光LL’被照射至振動臂314的內(nèi)側(cè)面上的情況；向基部312的對振動臂313的內(nèi)周面彼此進(jìn)行連結(jié)的側(cè)面照射并發(fā)生了反射的曝光用光LL’被照射至振動臂313、314的內(nèi)側(cè)面上的情況。
[0105]此外，雖然由于在實施濕式蝕刻時，蝕刻液容易滯留在電極片611、621的角部(例如圖9中的81?84等)處，因此在現(xiàn)有技術(shù)中，存在電極片611、621從這些角部處被剝離的可能性，但在振動片5中，由于形成于第一端部區(qū)域Al內(nèi)的躍上部611b’的寬度Wl被確保為足夠?qū)?，因此能夠有效地防止這種電極片611、621的剝離。因此，從這一觀點出發(fā)也能夠防止斷線。
[0106]以上，對振動片5的制造方法進(jìn)行了說明。
[0107]另外，如上文所述，作為Wl的值，雖然未被特別限定，但優(yōu)選在7.5μπι以上。通過上述制造方法，分別制造各100個Wl = 7.5 μ m的振動片5、和Wl = 4 μ m的振動片5，并確認(rèn)有無斷線。其結(jié)果為，在Wl = 7.5μπι時，斷線的振動片5為1%左右，與此相對，在Wl =4 μ m時，斷線的振動片5為10%左右。如此，通過將Wl設(shè)定在7.5 μ m以上，從而能夠有效地發(fā)揮上述效果(斷線防止的效果)。
[0108]此外，如上文所述，優(yōu)選將Wl設(shè)定在振動臂313、314的寬度的1/6以下的程度，更優(yōu)選設(shè)定在1/10以下。對于第一、第二端部區(qū)域A1、A2的電極片611 (c、d、g、h)、621 (a、b、e、f)而言，也優(yōu)選為將電極寬度設(shè)定在振動臂的一半以上。利用上述制造方法，分別制造各100個Wl為振動臂313、314的寬度的1/6的振動片5、和Wl為振動臂313、314的寬度的1/5的振動片5，并根據(jù)Cl值而對振動效率進(jìn)行測定。其結(jié)果為，Wl為振動臂313、314的寬度的1/5的振動片5的Cl值，相對于Wl為振動臂313、314的寬度的1/6的振動片5的Cl值而言，平均劣化了 20%左右。由此可知，通過將Wl設(shè)定在振動臂313、314的寬度的1/6以下的程度，從而發(fā)揮了優(yōu)異的振動效率。
[0109]電子設(shè)備
[0110]接下來，根據(jù)圖10?圖13，對應(yīng)用了本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備(本發(fā)明的電子設(shè)備)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0111]圖10為，表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的便攜式(或筆記本式)的個人計算機的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個人計算機1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、和具備顯示部2000的顯示單元1106而構(gòu)成,顯示單元1106以能夠經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動的方式被支承。在這種個人計算機1100中，內(nèi)置有用于對外部壓力或操作時的手指的按壓進(jìn)行檢測的壓力傳感器I。
[0112]圖11為，表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的移動電話(也包含PHS(Personal Handy-phone System:個人移動電話系統(tǒng)))1200的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，移動電話1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202和聽筒1204之間配置有顯示部2000。在這種移動電話1200中內(nèi)置有用于對外部壓力或操作時的手指的按壓進(jìn)行檢測的壓力傳感器I。
[0113]圖12為，表示應(yīng)用了具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。此處，通常的照相機通過被攝物體的光學(xué)圖像而使銀鹽感光膠片感光，與此相對，數(shù)碼照相機1300通過(XD(ChargeCoupled Device:電荷稱合元件)等攝像元件而對被攝物體的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0114]在數(shù)碼照相機1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部，并且成為根據(jù)由CCD產(chǎn)生的攝像信號來進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包含光學(xué)鏡片(攝像光學(xué)系統(tǒng))及C⑶等在內(nèi)的受光單元1304。
[0115]在這種數(shù)碼照相機1300中，當(dāng)攝像者對顯示在顯示部上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門1306時，該時間點的CXD的攝像信號將被傳送并存儲于存儲器1308中。此夕卜，在該數(shù)碼照相機1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有影像信號輸出端子1312、和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，而在影像信號輸出端子1312上連接有影像監(jiān)控器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機1440。并且，形成有如下的結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作，從而使被儲存于存儲器1308中的攝像信號被輸出至影像監(jiān)控器1430或個人計算機1440中。在這種數(shù)碼照相機1300中，內(nèi)置有用于對外部壓力或操作時的手指的按壓進(jìn)行檢測的壓力傳感器I。
[0116]圖13為，表示應(yīng)用了配備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的移動體(汽車)的結(jié)構(gòu)的立體圖。汽車1500具有車身1501和四個車輪1502，并被構(gòu)成為，通過被設(shè)置在車身1501中的未圖示的發(fā)動機而使車輪1502進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在這種汽車1500中內(nèi)置有壓力傳感器I。壓力傳感器I可以作為對車身1501的傾斜進(jìn)行檢測的傾斜計、或?qū)嚿?501的加速度進(jìn)行檢測的角速度傳感器而使用，例如，能夠根據(jù)來自壓力傳感器I的信號而對車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測，并根據(jù)檢測結(jié)果而對懸架的硬軟進(jìn)行控制、或?qū)Ω鱾€車輪1502的制動進(jìn)行控制。除此之外，這種電子部件也可以在兩足步行機器人或無線電控制直升飛機中進(jìn)行利用。
[0117]另外，具備有本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備除了能夠應(yīng)用于圖10的個人計算機(便攜式個人計算機)、圖11的移動電話、圖12的數(shù)碼照相機、圖13的移動體中之外，還能夠應(yīng)用于如下裝置中，例如，噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺式電子計算機、電子游戲機、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (point of sale:銷售點)終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量儀器類(例如，車輛、飛機、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等。
[0118]以上，雖然根據(jù)圖示的實施方式而對本發(fā)明的振動片、電子裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，各個部分的結(jié)構(gòu)也可以置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。
[0119]此外，雖然在上述實施方式中，對通過水晶而構(gòu)成了振動體層(振動體)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但作為振動體層的構(gòu)成材料，并不限定于水晶，也可以通過例如鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、鈦酸鋇等水晶之外的壓電材料而構(gòu)成。
[0120]此外，雖然在上述實施方式中，振動片的振動臂在長度方向上被劃分為三個振動區(qū)域(第一端部區(qū)域、第二端部區(qū)域以及中央部區(qū)域)，但并不限定于此，例如也可以被劃分為五個區(qū)域。換言之，可以采用如下結(jié)構(gòu)，即，沿著振動臂的延伸方向，中央部區(qū)域被劃分為第一中央部區(qū)域、第二中央部區(qū)域以及第三中央部區(qū)域。在這種情況下，一方的電極片和另一方的電極片也在振動臂的長度方向上被交替地配置。
[0121]符號說明 [0122]I…壓力傳感器；2…隔膜層；21...薄壁部；22…框部；23、24…支承部；3…振動體層；31…振動體；311、312…基部；311’…側(cè)面；313、314…振動臂；32…框部；321...露出部；331、332、333、334…連結(jié)部；4…基座部;41…凹部;5…振動片;600…金屬膜;61、62…激勵電極;611、611a ~6111,621,621a ~6211 …電極片;611，、611a，、611b，、611e，、611f’、611k’、61ir、621’、621c’、621d’、621g’、621h’、621i’、621j’、62ir …躍上部；612、613、614、615、622、623、624、625…配線；63、64…導(dǎo)電襯墊；65、66…配線；700…光刻膠膜；81~84…角部；1100…個人計算機;1102…鍵盤;1104…主體部;1106…顯示單元;1200...移動電話;1202…操作按鈕;1204…聽筒;1206…話筒;1300…數(shù)碼照相機;1302…殼體；1304…受光單兀；1306…快門；1308…存儲器；1312…影像信號輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…影像監(jiān)控器；1440…個人計算機；1500…汽車；1501…車身；1502…車輪；2000…顯示部；AL...第一端部區(qū)域；A2…第二端部區(qū)域；A3...中央部區(qū)域；D…分隔距離；LL、LL’…曝光用光；W1、W2、W3...寬度。
【權(quán)利要求】
1.一種振動片，其特征在于，具有: 兩個基部，其以分隔的方式而配置； 振動臂，其位于兩個所述基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從所述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度。
2.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)的主面上的所述電極片的寬度沿著所述振動臂的延伸方向為固定。
3.如權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于， 當(dāng)將所述端部區(qū)域內(nèi)的主面上的、所述電極片的寬度的平均寬度設(shè)為W，并將所述振動臂在所述端部區(qū)域內(nèi)的平均寬度設(shè)為r時，滿足如下的關(guān)系，即，ο < w < w’ /6。
4.如權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于， 所述主面上的所述電極片的平均寬度在7.5 μ m以上。
5.如權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于， 所述振動區(qū)域通過一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域這三個區(qū)域而構(gòu)成。
6.一種電子裝置，其特征在于， 具備如下的振動片， 所述振動片具有: 兩個基部，其以分隔的方式而配置； 振動臂，其位于兩個所述基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從所述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度。
7.如權(quán)利要求6所述的電子裝置，其中， 所述電子設(shè)備為如下的壓力檢測元件， 所述壓力檢測元件包括: 隔膜層，其具有隔膜； 所述振動片，其被固定在所述隔膜上。
8.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具備如下的振動片， 所述振動片具有: 兩個基部，其以分隔的方式而配置； 振動臂，其位于兩個所述基部之間，且以從一個所述基部朝向另一個所述基部延伸的方式而配置，并對兩個所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述振動臂具有振動區(qū)域，所述振動區(qū)域具備位于延伸方向上的兩端部側(cè)的一對端部區(qū)域、和位于一對所述端部區(qū)域之間的中央部區(qū)域，在一對所述端部區(qū)域和所述中央部區(qū)域內(nèi)，分別配置有從所述振動臂的側(cè)面躍上至與所述側(cè)面相連接的主面上的電極片，并且所述端部區(qū)域內(nèi)的所述主面上的所述電極片的平均寬度，大于所述中央部區(qū)域內(nèi)的所述主面`上的所述電極片的平均寬度。
【文檔編號】G01L1/10GK103575429SQ201310335021
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年8月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月6日
【發(fā)明者】市川想 申請人:精工愛普生株式會社