一種三軸微機(jī)械陀螺儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種三軸微機(jī)械陀螺儀，包括基板和固定安裝在基板上的陀螺儀主體。其中陀螺儀主體包括平面檢測單元和z軸檢測單元，平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電極和第一質(zhì)量塊；z軸檢測單元由兩個(gè)模塊組成，沿x軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁、解耦梁、驅(qū)動(dòng)梁、第二質(zhì)量塊和檢測電極。本發(fā)明陀螺儀整體結(jié)構(gòu)采用單驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，采用梳齒電極驅(qū)動(dòng)，平面內(nèi)x軸和y軸通過平板電容檢測，z軸通過梳齒電容檢測，x、y和z軸均實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)和檢測的解耦；本發(fā)明陀螺儀結(jié)構(gòu)緊湊、制作工藝簡單、成本低廉、具有較高性能，能實(shí)現(xiàn)良好的測量精度和靈敏度。
【專利說明】一種三軸微機(jī)械陀螺儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種微機(jī)械陀螺儀，尤其涉及一種單芯片單驅(qū)動(dòng)三軸檢測微機(jī)械陀螺儀。屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]微機(jī)械陀螺儀是用于測量物體運(yùn)動(dòng)角速度的慣性器件，由于它采用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)和制作，因此具有體積小、質(zhì)量輕、適合大批量生產(chǎn)和價(jià)格低廉的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子產(chǎn)品，如數(shù)碼相機(jī)圖像穩(wěn)定、游戲機(jī)運(yùn)動(dòng)控制、智能手機(jī)、掌上電腦和微導(dǎo)航儀等新興產(chǎn)業(yè)上。
[0003]微機(jī)械陀螺儀包括驅(qū)動(dòng)部分和檢測部分，通過驅(qū)動(dòng)和檢測運(yùn)動(dòng)的耦合作用實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)動(dòng)角速度的測量；當(dāng)陀螺處于驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)模態(tài)，并且在與驅(qū)動(dòng)模態(tài)運(yùn)動(dòng)軸向垂直的第二方向有角速度輸入時(shí)，由于哥氏效應(yīng)陀螺儀在檢測軸向產(chǎn)生檢測模態(tài)運(yùn)動(dòng)，通過測量檢測模態(tài)運(yùn)動(dòng)的位移，即刻測定物體的轉(zhuǎn)動(dòng)角速度。隨著微機(jī)電陀螺技術(shù)的發(fā)展，高集成度、低成本的三軸測量陀螺滿足了現(xiàn)代消費(fèi)電子產(chǎn)品的需求，成為微機(jī)電陀螺儀發(fā)展的趨勢(shì)。三軸陀螺儀一般是多個(gè)單軸或 兩軸陀螺儀正交裝配，或者將多個(gè)陀螺儀集成在單個(gè)基板上來實(shí)現(xiàn)，但這些都不能滿足消費(fèi)電子產(chǎn)品對(duì)陀螺儀小型化的要求，并且要求的配套電路設(shè)計(jì)復(fù)雜，隨著技術(shù)的發(fā)展，高集成度微機(jī)械三軸陀螺儀必然會(huì)成為未來三軸陀螺儀的主流。
[0004]近年來國外已經(jīng)已有公司發(fā)布了三軸微機(jī)械陀螺儀，如意法半導(dǎo)體發(fā)布了一種單驅(qū)動(dòng)微機(jī)械三軸陀螺儀(美國專利:US20110154898A1 )，并成功實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。但在其發(fā)明結(jié)構(gòu)中，由于彈性耦合梁和支撐梁采用分離設(shè)計(jì)，一方面使結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，增加了設(shè)計(jì)難度?’另一方面，由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，相當(dāng)于在陀螺設(shè)計(jì)中增加了潛在的誤差源，影響了陀螺儀的設(shè)計(jì)性能，不利于實(shí)現(xiàn)高精度測量。
[0005]本發(fā)明采用單結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，通過將彈性耦合梁和支撐梁進(jìn)行整合從而簡化設(shè)計(jì)，采用靜電驅(qū)動(dòng)和差動(dòng)電容檢測工作方式，體積小，集成度高，功耗小,成本低,適合大批量生產(chǎn)，能實(shí)現(xiàn)良好的測量精度和靈敏度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，提供一種單結(jié)構(gòu)、單驅(qū)動(dòng)三軸微機(jī)械陀螺儀，該陀螺儀簡化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊、驅(qū)動(dòng)方式簡單、成本低廉、適合大批量生產(chǎn)、具有較高性能，能實(shí)現(xiàn)良好的測量精度和靈敏度。
[0007]本發(fā)明的上述目的主要是通過如下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的:
一種三軸微機(jī)械陀螺儀，包括基板和固定安裝在基板上的陀螺儀主體，其中陀螺儀主體包括平面檢測單元和z軸檢測單元，所述平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電極和第一質(zhì)量塊；其中第一質(zhì)量塊包括兩個(gè)沿I軸分布的X軸檢測質(zhì)量塊(xl、x2)和兩個(gè)沿X軸分布的y軸檢測質(zhì)量塊(yl、y2)，且所述四個(gè)質(zhì)量塊以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布；所述支撐結(jié)構(gòu)與第一質(zhì)量塊相連；驅(qū)動(dòng)電極與第一質(zhì)量塊連接；此外基板上對(duì)應(yīng)第一質(zhì)量塊的位置制作金屬層，形成平面檢測電極板；Z軸檢測單元由兩個(gè)模塊組成，沿X軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁、解耦梁、驅(qū)動(dòng)梁、第二質(zhì)量塊和檢測電極；其中驅(qū)動(dòng)梁一端連接第一質(zhì)量塊，另一端連接第二質(zhì)量塊；解耦梁分別連接第二質(zhì)量塊和檢測電極；支撐梁一端連接檢測電極，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板上。
[0008]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，支撐結(jié)構(gòu)包括四個(gè)支撐單元，每個(gè)支撐單元包括支撐梁A和支撐梁B，其中支撐梁A兩端分別連接相鄰的X軸質(zhì)量塊和y軸質(zhì)量塊，支撐梁B一端與支撐梁A連接，形成T型支撐單元，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板上。
[0009]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，驅(qū)動(dòng)電極為四個(gè)，分別包括固定電極和可動(dòng)電極，固定電極固置在基板上，可動(dòng)電極與第一質(zhì)量塊連接。
[0010]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，檢測電極為四個(gè)，分別包括檢測固定電極和檢測活動(dòng)電極，檢測固定電極固置在基板上，檢測活動(dòng)電極連接支撐梁和解耦梁。
[0011]一種三軸微機(jī)械陀螺儀，包括基板和固定安裝在基板上的陀螺儀主體，其中陀螺儀主體包括平面檢測單元和Z軸檢測單元，所述平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)電極和第一質(zhì)量塊；其中第一質(zhì)量塊包括兩個(gè)沿I軸分布的X軸檢測質(zhì)量塊(xl、X2)和兩個(gè)沿X軸分布的y軸檢測質(zhì)量塊(yl、y2)，且所述四個(gè)質(zhì)量塊以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布；所述支撐結(jié)構(gòu)與第一質(zhì)量塊相連；驅(qū)動(dòng)電極與第一質(zhì)量塊連接；此外基板上對(duì)應(yīng)第一質(zhì)量塊的位置制作金屬層，形成平面檢測電極板軸檢測單元由兩個(gè)模塊和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)組成，其中兩個(gè)模塊沿X軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁、解耦梁、驅(qū)動(dòng)梁、第二質(zhì)量塊和檢測電極；其中驅(qū)動(dòng)梁一端連接第一質(zhì)量塊，另一端連接第二質(zhì)量塊；解耦梁分別連接第二質(zhì)量塊和檢測電極；支撐梁一端連接檢測電極，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板上；聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)與兩個(gè)模塊的檢測電極相連。
[0012]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，支撐結(jié)構(gòu)包括四個(gè)支撐單元，每個(gè)支撐單元包括支撐梁A和支撐梁B，其中支撐梁A兩端分別連接相鄰的X軸質(zhì)量塊和y軸質(zhì)量塊，支撐梁B一端與支撐梁A連接，形成T型支撐單元，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板上。
[0013]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，驅(qū)動(dòng)電極為四個(gè)，分別包括固定電極和可動(dòng)電極，固定電極固置在基板上，可動(dòng)電極與第一質(zhì)量塊連接。
[0014]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，檢測電極為四個(gè)，分別包括檢測固定電極和檢測活動(dòng)電極，檢測固定電極固置在基板上，檢測活動(dòng)電極連接支撐梁、解耦梁和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0015]在上述三軸微機(jī)械陀螺儀中，聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)梁和聯(lián)動(dòng)支撐梁，聯(lián)動(dòng)梁兩端分別與z軸檢測單元的兩個(gè)模塊的檢測活動(dòng)電極相連，聯(lián)動(dòng)支撐梁一端段固置在基座上，另一端與聯(lián)動(dòng)梁相連。
[0016]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下有益效果:
(1)本發(fā)明陀螺儀為單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀，并且三軸通過相同驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)，其結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，驅(qū)動(dòng)方式簡單，可大幅減小陀螺儀體積和重量，并且降低陀螺設(shè)計(jì)難度，使陀螺儀具有較廣的應(yīng)用范圍；
(2)本發(fā)明陀螺儀各檢測軸采用電容差模檢測方式，提高了信號(hào)強(qiáng)度和信噪比，抑制了干擾信號(hào)，能實(shí)現(xiàn)良好的測量精度和靈敏度，
(3)本發(fā)明陀螺儀制作工藝簡單、成本低廉、具有較高性能，適合大批量生產(chǎn)?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0017]圖1和圖5為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2和圖6為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀結(jié)構(gòu)層的示意圖。
[0019]圖3為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀結(jié)構(gòu)層沿A-A剖面圖。
[0020]圖4為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀基板的主視圖。
[0021]圖7為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀驅(qū)動(dòng)和z軸檢測運(yùn)動(dòng)示意圖。
[0022]圖8為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀平面檢測運(yùn)動(dòng)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的描述:
如圖1和圖5所示為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀的立體結(jié)構(gòu)示意圖，三軸陀螺儀包括基板I和固定安置在基板I上的陀螺儀結(jié)構(gòu)2，陀螺儀結(jié)構(gòu)2位于基板I的中央部位，包括平面檢測單元和z軸檢測單元，平面檢測單元和z軸檢測單元分布在結(jié)構(gòu)層外圍，沿X軸或y軸方向?qū)ΨQ分布。
[0024]如圖2和圖6所示為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀結(jié)構(gòu)層的示意圖，由圖可知平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)3、驅(qū)動(dòng)電極4和第一質(zhì)量塊5 ;其中第一質(zhì)量塊包括兩個(gè)沿X軸分布的X軸質(zhì)量塊(xl、x2)和兩個(gè)沿y軸分布的y軸質(zhì)量塊(yl、y2),且所述四個(gè)質(zhì)量塊以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布；平面X軸檢測質(zhì)量塊xl和x2外形相同，沿y軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布，平面I軸檢測質(zhì)量塊yl和12外形相同，沿X軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布。
[0025]支撐結(jié)構(gòu)3包括四個(gè)支撐單元，每個(gè)支撐單元包括支撐梁A3a和支撐梁B3b，其中四個(gè)支撐梁A3a兩端分別依次連接相鄰的X軸質(zhì)量塊和y軸質(zhì)量塊，支撐梁B3b —端與支撐梁A3a中部連接，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板I上。
[0026]驅(qū)動(dòng)電極4為四個(gè)，分別沿X軸和y軸方向均有分布，并沿x軸和y軸以基板中心點(diǎn)對(duì)稱分布。驅(qū)動(dòng)電極4包括固定電極4a和可動(dòng)電極4b，固定電極4a固置在基板I上，可動(dòng)電極4b與第一質(zhì)量塊5連接。
[0027]如圖2所示的，z軸檢測單元由兩個(gè)模塊組成，沿X軸以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁7、解耦梁8、驅(qū)動(dòng)梁9、第二質(zhì)量塊10和檢測電極11 ;其中驅(qū)動(dòng)梁9 一端連接第一質(zhì)量塊5，另一端連接第二質(zhì)量塊10 ;解耦梁8分別連接第二質(zhì)量塊10和檢測電極11 ;支撐梁7 —端連接檢測電極11另一端通過錨點(diǎn)固定在基板I上。
[0028]檢測電極11為四個(gè)，平行于y軸在第二質(zhì)量塊兩側(cè)分布，分別包括檢測固定電極Ilb和檢測活動(dòng)電極11a，檢測固定電極Ilb固置在基板I上，檢測活動(dòng)電極Ila連接支撐梁7和解耦梁8。如圖3所示為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀結(jié)構(gòu)層沿A-A剖面圖。
[0029]如圖6所示的，z軸檢測單元由兩個(gè)模塊和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)組成，其中兩個(gè)模塊沿X軸以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁7、解耦梁8、驅(qū)動(dòng)梁9、第二質(zhì)量塊10和檢測電極11 ;其中驅(qū)動(dòng)梁9 一端連接第一質(zhì)量塊5，另一端連接第二質(zhì)量塊10 ;解耦梁8分別連接第二質(zhì)量塊10和檢測電極11 ;支撐梁7 —端連接檢測電極11另一端通過錨點(diǎn)固定在基板I上；聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)兩端分別與兩個(gè)模塊的檢測電極11相連。
[0030]檢測電極11為四個(gè)，平行于y軸在第二質(zhì)量塊兩側(cè)分布，分別包括檢測固定電極Ilb和檢測活動(dòng)電極11a，檢測固定電極Ilb固置在基板I上，檢測活動(dòng)電極Ila連接支撐梁7、解耦梁8和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0031]聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)梁12和聯(lián)動(dòng)支撐梁13，聯(lián)動(dòng)梁12兩端分別與z軸檢測單元的兩個(gè)模塊的檢測活動(dòng)電極相連，聯(lián)動(dòng)支撐梁一段固置在基座I上，另一端與聯(lián)動(dòng)梁(12)相連。
[0032]此外基板I上對(duì)應(yīng)第一質(zhì)量塊5的位置制作金屬層，形成平面檢測電極板6，如圖4所示為本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀基板的主視圖。
[0033]本發(fā)明單結(jié)構(gòu)微機(jī)械三軸陀螺儀，其運(yùn)動(dòng)方式如圖7和圖8所示，受力驅(qū)動(dòng)時(shí)，X軸和I軸質(zhì)量塊5做相向和相背運(yùn)動(dòng)，且X軸質(zhì)量塊xl、X2相向運(yùn)動(dòng)時(shí)，y軸質(zhì)量塊yl、y2相背運(yùn)動(dòng)，X軸質(zhì)量塊xl、x2相背運(yùn)動(dòng)時(shí)，y軸質(zhì)量塊yl、y2相向運(yùn)動(dòng)，z軸檢測質(zhì)量塊10與相連接的平面檢測單元的質(zhì)量塊5 —起運(yùn)動(dòng)。假設(shè)驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度為V，陀螺轉(zhuǎn)動(dòng)角速度為W，根據(jù)陀螺儀工作原理，在X、y和z軸方向上質(zhì)量塊哥氏加速度:x軸:
【權(quán)利要求】
1.一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:包括基板(I)和固定安裝在基板(I)上的陀螺儀主體(2)，其中陀螺儀主體(2)包括平面檢測單元和Z軸檢測單元；所述平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)(3)、驅(qū)動(dòng)電極(4)和第一質(zhì)量塊(5)，其中第一質(zhì)量塊(5)包括兩個(gè)沿y軸分布的X軸檢測質(zhì)量塊(xl、x2)和兩個(gè)沿X軸分布的y軸檢測質(zhì)量塊(yl、y2),且所述四個(gè)質(zhì)量塊以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，所述支撐結(jié)構(gòu)(3)與第一質(zhì)量塊(5)相連，所述驅(qū)動(dòng)電極(4)與第一質(zhì)量塊(5)連接，此外基板(I)上對(duì)應(yīng)第一質(zhì)量塊(5)的位置制作金屬層，形成平面檢測電極板(6);所述z軸檢測單元由兩個(gè)模塊組成，沿X軸以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁(7)、解耦梁(8)、驅(qū)動(dòng)梁(9)、第二質(zhì)量塊(10)和檢測電極(11)，其中驅(qū)動(dòng)梁(9) 一端連接第一質(zhì)量塊(5)，另一端連接第二質(zhì)量塊(10)，解耦梁(8)分別連接第二質(zhì)量塊(10)和檢測電極(11)，支撐梁(7)—端連接檢測電極(11)，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板(I)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述支撐結(jié)構(gòu)(3)包括四個(gè)支撐單元，每個(gè)支撐單元包括支撐梁A (3a)和支撐梁B (3b)，其中支撐梁A (3a)兩端分別連接相鄰的X軸質(zhì)量塊和y軸質(zhì)量塊，支撐梁B (3b)—端與支撐梁A (3a)中部連接，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板(I)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)電極(4)為四個(gè)，分別包括固定電極(4a)和可動(dòng)電極(4b )，固定電極(4a)固置在基板(I)上，可動(dòng)電極(4b)與第一質(zhì)量塊(5)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述檢測電極(11)為四個(gè)，分別包括檢測固定電極(Ilb)和檢測活動(dòng)電極(11a)，檢測固定電極(Ilb)固置在基板(I)上，檢測活動(dòng)電極(I Ia)連接支撐梁(7 )和解耦梁(8 )。
5.一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:包括基板(I)和固定安裝在基板(I)上的陀螺儀主體(2)，其中陀螺儀主體(2)包括平面檢測單元和z軸檢測單元；所述平面檢測單元包括支撐結(jié)構(gòu)(3)、驅(qū)動(dòng)電極(4)和`第一質(zhì)量塊(5)，其中第一質(zhì)量塊(5)包括兩個(gè)沿y軸分布的X軸檢測質(zhì)量塊(xl、x2)和兩個(gè)沿X軸分布的y軸檢測質(zhì)量塊(yl、y2)，且所述四個(gè)質(zhì)量塊以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，所述支撐結(jié)構(gòu)(3)與第一質(zhì)量塊(5)相連，所述驅(qū)動(dòng)電極(4)與第一質(zhì)量塊(5 )連接，此外基板(I)上對(duì)應(yīng)第一質(zhì)量塊(5 )的位置制作金屬層，形成平面檢測電極板(6);所述z軸檢測單元由兩個(gè)檢測模塊和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)組成，其中兩個(gè)檢測模塊沿X軸以基板(I)中心點(diǎn)對(duì)稱分布，每個(gè)模塊包括支撐梁(7)、解耦梁(8)、驅(qū)動(dòng)梁(9)、第二質(zhì)量塊(10)和檢測電極(11)，其中驅(qū)動(dòng)梁(9)一端連接第一質(zhì)量塊(5)，另一端連接第二質(zhì)量塊(10)，解耦梁(8)分別連接第二質(zhì)量塊(10)和檢測電極(11)，支撐梁(7)—端連接檢測電極(11)，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板(I)上，聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)與兩個(gè)模塊的檢測電極(11)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述支撐結(jié)構(gòu)(3)包括四個(gè)支撐單元，每個(gè)支撐單元包括支撐梁A (3a)和支撐梁B (3b)，其中支撐梁A (3a)兩端分別連接相鄰的X軸質(zhì)量塊和y軸質(zhì)量塊，支撐梁B (3b)—端與支撐梁A (3a)中部連接，另一端通過錨點(diǎn)固定在基板(I)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)電極(4)為四個(gè)，分別包括固定電極(4a)和可動(dòng)電極(4b)，固定電極(4a)固置在基板(I)上，可動(dòng)電極(4b)與第一質(zhì)量塊(5)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三軸微機(jī)械陀螺儀，其特征在于:所述檢測電極(11)為四個(gè)，分別包括檢測固定電極(Ilb)和檢測活動(dòng)電極(11a)，檢測固定電極(Ilb)固置在基板(I)上，檢測活動(dòng)電極(Ila)連接支撐梁(7)、解耦梁(8)和聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三軸微機(jī)電陀螺儀，其特征在于:所述聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)梁(12)和聯(lián)動(dòng)支撐梁(13)，聯(lián)動(dòng)梁(12)兩端分別與z軸檢測單元的兩個(gè)模塊的檢測活動(dòng)電極(Ila)相連，聯(lián)動(dòng)支 撐梁一段固置在基座(I)上，另一端與聯(lián)動(dòng)梁(12)相連。
【文檔編號(hào)】G01C19/5747GK103438878SQ201310417720
【公開日】2013年12月11日 申請(qǐng)日期:2013年9月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月15日
【發(fā)明者】滕金燕 申請(qǐng)人:滕金燕