加速度傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種加速度傳感器，其有助于裝置的小型化、提高形狀的自由度，并且實(shí)現(xiàn)加速度的檢測(cè)精度的提高。第一傳感器（21）構(gòu)成為兩軸加速度傳感器，該兩軸加速度傳感器是，彈簧（43）根據(jù)Y、Z方向的加速度進(jìn)行伸縮，通過(guò)使彈簧（43）具有相對(duì)于X方向的加速度的剛性并且限制其進(jìn)行伸縮，從而通過(guò)根據(jù)加速度變動(dòng)的錘部（24）與第一至第三固定電極（28、29）之間的電容的變化來(lái)檢測(cè)Y、Z方向的加速度。加速度傳感器構(gòu)成為第二傳感器與第一傳感器（21）具有相同的結(jié)構(gòu)、通過(guò)第二傳感器來(lái)檢測(cè)X、Z方向的加速度的三軸加速度傳感器。
【專(zhuān)利說(shuō)明】加速度傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)涉及一種加速度傳感器，特別是涉及構(gòu)成為微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Systems:MEMS)的加速度傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，采用MEMS技術(shù)制造的加速度傳感器中存在一種利用電容的加速度傳感器。例如，存在一種在相對(duì)于基板固定的固定電極與設(shè)于能夠相對(duì)于基板相對(duì)變動(dòng)的錘部的可動(dòng)電極之間構(gòu)成電容器，利用該電容器的電容的變化來(lái)檢測(cè)加速度的加速度傳感器(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)I等)。專(zhuān)利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的加速度傳感器構(gòu)成為單軸加速度傳感器，經(jīng)由固定在基板上的支承部和彈性部件(例如彈簧)連接錘部的X方向的兩端部，錘部在X方向變動(dòng)。適用于這樣的單軸加速度傳感器的彈簧形成為例如互成直角的短邊和長(zhǎng)邊交錯(cuò)相連、長(zhǎng)邊沿與伸縮方向成直角的方向(上述文獻(xiàn)中的Y方向)延伸。
[0003]另外，相對(duì)于上述的檢測(cè)作用在一個(gè)方向上的加速度的單軸加速度傳感器，存在一種檢測(cè)作用在XYZ各方向上的加速度的三軸加速度傳感器(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)2?7等)。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的加速度傳感器中，經(jīng)由固定在基板上的四條臂部的每一個(gè)和彈簧連接有錘部，錘部隨著加速度在XYZ各方向變動(dòng)。而且，電容變化是與錘部的可動(dòng)電極與對(duì)應(yīng)于各方向設(shè)置的固定電極的距離的變動(dòng)相對(duì)應(yīng)的，基于電容的變化能夠檢測(cè)出作用在各方向上的加速度。適用于這樣的三軸加速度傳感器的彈簧具有例如長(zhǎng)邊與短邊的長(zhǎng)度大致相等的結(jié)構(gòu)。
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平11-344507號(hào)公報(bào)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特表2005-534016號(hào)公報(bào)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)平06-258340號(hào)公報(bào)
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)4:日本特開(kāi)平05-340960號(hào)公報(bào)
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)5:日本特許第2773495號(hào)公報(bào)
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)6:日本特開(kāi)平07-245413號(hào)公報(bào)
[0010]專(zhuān)利文獻(xiàn)7:日本特許第3327595號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]用于上述三軸加速度傳感器的彈簧保持錘部，使其能夠根據(jù)作用在XYZ各方向的加速度變動(dòng)，并且該彈簧需要具有無(wú)論錘部變動(dòng)方向如何都能夠隨著與作用的加速度的大小進(jìn)行同樣的變動(dòng)的特性。例如，用于三軸加速度傳感器的彈簧，具有相對(duì)于三個(gè)方向的彈簧常數(shù)大致相同的特性。但是，在這種結(jié)構(gòu)的加速度傳感器中，例如彈簧、錘部的制造工藝的缺陷和例如由于在形成彈簧、錘部的蝕刻中產(chǎn)生的彈簧的粗細(xì)、錘部的膜厚的偏差引起錘部重心的偏移，有可能導(dǎo)致錘部產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)。因此，會(huì)產(chǎn)生加速度傳感器對(duì)于除作用在設(shè)定的檢測(cè)方向上的加速度之外的其他方向上的加速度也產(chǎn)生輸出的所謂的他軸靈敏度，從而導(dǎo)致檢測(cè)精度降低或成品率低下等問(wèn)題。[0012]另外，如上所述，在三軸加速度傳感器中，由于根據(jù)加速度的大小需要同樣地檢測(cè)作用在各方向的加速度，而希望采用對(duì)稱(chēng)的結(jié)構(gòu)。例如，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2所示的三軸加速度傳感器中，俯視觀察錘部時(shí)，其形狀為大致正方形。也就是說(shuō)，在這樣的三軸加速度傳感器中，為了得到良好的檢測(cè)精度，錘部形狀的自由度受到極大制約。
[0013]另一方面，考慮使用多個(gè)上述的單軸加速度傳感器來(lái)構(gòu)成三軸加速度傳感器。例如，考慮采用使單軸加速度與XYZ各方向相對(duì)應(yīng)地設(shè)置而構(gòu)成的將多個(gè)加速度傳感器排列在同一平面上。但是，采用這樣的結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致裝置的大型化。
[0014]本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)是鑒于上述課題而提出的，目的在于提供一種有助于裝置的小型化、提高形狀的自由度，并且能夠?qū)崿F(xiàn)加速度的檢測(cè)精度的提高的加速度傳感器。
[0015]采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器具有:基板；第一彈性部件，其一端固定在基板上，并且相對(duì)于沿基板的第一方向和與基板正交的第三方向的這兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)；第二彈性部件，其一端固定在基板上，并且相對(duì)于與沿基板的第一方向正交的第二方向和第三方向的這兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)；多個(gè)錘部，其分別與第一和第二彈性部件的另一端連接，并且從基板游離且能夠擺動(dòng)地被第一和第二彈性部件支撐；第一至第三傳感器部，其根據(jù)錘部的擺動(dòng)檢測(cè)第一至第三方向的各加速度。
[0016]該加速度傳感器具有在第一和第三方向具有可撓性的第一彈性部件和在第二和第三方向具有可撓性的第二彈性部件。多個(gè)錘部從基板游離，并且能夠擺動(dòng)地被這樣的在兩個(gè)方向上具有可撓性的第一和第二彈性部件的任一個(gè)支撐。而且，第一至第三傳感器部根據(jù)錘部的擺動(dòng)來(lái)檢測(cè)出第一至第三方向上的加速度。
[0017]這樣的第一和第二彈性部件不具有能夠用于三軸加速度傳感器那樣的對(duì)三個(gè)方向進(jìn)行伸縮撓動(dòng)的特性，但是相對(duì)于沿基板的兩個(gè)方向(第一方向和第二方向)中的其中一個(gè)方向具有剛性。因此，無(wú)須擔(dān)心由于制造工藝的缺陷引起錘部的重心偏移、錘部產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)，能夠構(gòu)成實(shí)現(xiàn)檢測(cè)精度的提高的加速度傳感器。并且，由于能夠抑制制造工藝中的加速度傳感器的特性的偏差，從而實(shí)現(xiàn)成品率的提高。
[0018]并且，在該加速度傳感器中，錘部被第一和第二彈性部件中的一個(gè)彈性部件支撐，并且能夠在兩個(gè)方向上擺動(dòng)。在這種結(jié)構(gòu)中，能夠消除對(duì)用于三軸加速度傳感器的錘部所要求的在結(jié)構(gòu)上的限制，例如能夠消除為了同樣地檢測(cè)出作用在三個(gè)方向上的加速度而要求的俯視觀察時(shí)為正方形的形狀的限制，從而提高形狀的自由度。
[0019]并且，與利用三個(gè)單軸加速度傳感器構(gòu)成三軸加速度傳感器的情況相比，根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器，利用兩個(gè)具有第一彈性部件或第二彈性部件的兩軸加速度傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)與三軸加速度傳感器相同的功能，并且能夠減少設(shè)備的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。
[0020]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，第一至第三傳感器部分別具有電容部，電容部具有設(shè)在基板上的固定電極和設(shè)在錘部上的可動(dòng)電極，第一傳感器部的電容部具有的固定電極和可動(dòng)電極可以形成為沿第二方向的平板狀，第二傳感器部的電容部具有的固定電極和可動(dòng)電極可以形成為沿第一方向的平板狀，第三傳感器部的電容部具有的固定電極和可動(dòng)電極可以形成為沿基板的平板狀。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠構(gòu)成檢測(cè)出各方向的加速度的第一至第三傳感器部分別具有與各方向相對(duì)應(yīng)的平板狀的固定電極和可動(dòng)電極的電容型加速度傳感器。
[0021]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，可以具有多個(gè)第三傳感器部，其基于電容的變化來(lái)檢測(cè)作用在第三方向上的加速度，電容的變化是與電容部的固定電極與可動(dòng)電極之間的距離的變動(dòng)相對(duì)應(yīng)的，基于將多個(gè)第三傳感器部的輸出合成的值來(lái)檢測(cè)第三方向的加速度。
[0022]在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于加速度傳感器具有的第三傳感器部均有助于第三方向的加速度的檢測(cè)，與通過(guò)三個(gè)單軸加速度傳感器構(gòu)成三軸加速度傳感器的情況相比，能夠得到更加小型化的結(jié)構(gòu)。
[0023]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，第一彈性部件在第二方向上的彈簧常數(shù)可以比在第一和第三方向上的彈簧常數(shù)大，第二彈性部件在第一方向上的彈簧常數(shù)可以比在第二和第三方向上的彈簧常數(shù)大。在該加速度傳感器中，能夠容易地構(gòu)成相對(duì)于任意兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)的第一和第二彈性部件。
[0024]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，第三傳感器部具有的電容部的容量值可以比第一、第二傳感器部具有的電容部的容量值大。基于這樣的條件，能夠容易地構(gòu)成本發(fā)明的加速度傳感器。
[0025]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，對(duì)于第一至第三方向的各加速度的靈敏度大致相同，所以能夠構(gòu)成通用性較高的加速度傳感器。
[0026]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，第一彈性部件和第二彈性部件具有相同的結(jié)構(gòu)，而且，第一傳感器部和第二傳感器部也可以具有相同的結(jié)構(gòu)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，有助于裝置的小型化、提高形狀的自由度，并且能夠?qū)崿F(xiàn)加速度檢測(cè)精度的提高、加速度傳感器制造工藝的簡(jiǎn)化。
[0027]并且，在采用本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)的加速度傳感器中，第一彈性部件是沿第一方向的第一邊與沿第二方向的第二邊交錯(cuò)相連、沿第二方向蛇行延伸的彈簧，并且連接第一彈性部件的兩端的距離可以比第一邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)。
[0028]第二彈性部件是沿第一方向的第一邊與沿第二方向的第二邊交錯(cuò)相連、沿第一方向蛇行延伸的彈簧，并且連接第二彈性部件的兩端的距離可以比第二邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠容易地構(gòu)成相對(duì)于兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)的第一和第二彈性部件。
[0029]發(fā)明效果
[0030]根據(jù)本申請(qǐng)所公開(kāi)的技術(shù)，能夠提供有助于裝置的小型化、提高形狀的自由度，并且能夠?qū)崿F(xiàn)加速度的檢測(cè)精度的提高的加速度傳感器。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的加速度傳感器的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0032]圖2 (a)是傳感器的俯視圖，圖2 (b)是圖2 (a)中的A-A線端視圖，圖2 (C)是圖2 Ca)中的B-B線端視圖。
[0033]圖3是表示傳感器的電連接的圖。
[0034]圖4 Ca)是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的彈簧的示意圖，圖4 (b)和圖4 (C)是用于說(shuō)明比較例的彈簧的示意圖。
[0035]圖5是表示折疊次數(shù)與彈簧常數(shù)之間的關(guān)系的曲線圖。
[0036]圖6 Ca)?圖6 (c)是用于說(shuō)明傳感器的制造工藝的端視圖。
[0037]圖7 Ca)?圖7 (c)是用于說(shuō)明傳感器的制造工藝的端視圖。[0038]圖8是用于說(shuō)明其他的加速度傳感器的俯視圖。
[0039]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0040]10加速度傳感器，
[0041]12 基板，
[0042]21第一傳感器，
[0043]24 錘部，
[0044]26彈簧部，
[0045]28第一固定電極，
[0046]29第二固定電極，
[0047]31第二傳感器，
[0048]43 彈簧，
[0049]55第三固定電極，
[0050]112 長(zhǎng)邊，
[0051]111 短邊，
[0052]Kx, Ky, Kz 彈簧常數(shù)
【具體實(shí)施方式】
[0053]下面，參照附圖，對(duì)將本發(fā)明具體化的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，為了便于說(shuō)明，附圖中存在與實(shí)際的尺寸、比例尺不同的部分。
[0054]圖1是表不米用MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)制造的本實(shí)施方式的電容型加速度傳感器的芯片的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)。如圖1所示，俯視觀察時(shí)，加速度傳感器10具有形成為大致長(zhǎng)方形板狀的基板12。加速度傳感器10在沿基板12的長(zhǎng)邊的方向排列設(shè)置的兩個(gè)芯片區(qū)域上分別形成有第一傳感器21和第二傳感器31。另外，在以下的說(shuō)明中，如圖1所示，以沿加速度傳感器10的長(zhǎng)邊的方向(第一和第二傳感器21、31排列設(shè)置的方向)為X方向，以相對(duì)于X方向成直角且沿加速度傳感器10的短邊的方向?yàn)閅方向，以與X方向和Y方向這兩個(gè)方向成直角的方向(相對(duì)于基板12的基板平面垂直的方向)為Z方向。
[0055]第一傳感器21包括邊框部23、錘部24、一對(duì)彈簧部26、第一和第二固定電極28、29。如圖2 (a)所示，俯視觀察時(shí)，邊框部23形成為四邊框狀，其包圍的內(nèi)側(cè)部分設(shè)有錘部24。俯視觀察時(shí)，錘部24形成為大致正方形狀的板狀。錘部24形成有多個(gè)貫通Z方向的貫通孔24A，并且該貫通孔24A相對(duì)于錘部24形成為矩陣狀。另外，該貫通孔24A具有作為通氣孔來(lái)降低錘部24向Z方向移動(dòng)時(shí)的阻力的功能和后文所述的蝕刻犧牲層時(shí)作為蝕刻液的導(dǎo)入口的功能。
[0056]另外，第一傳感器21在Y方向的兩側(cè)部分分別設(shè)有彈簧部26。彈簧部26包括設(shè)在X方向的大致中央部分的梁部41和設(shè)在梁部41上的X方向的兩側(cè)的一對(duì)彈簧43。俯視觀察時(shí)，梁部41形成為大致長(zhǎng)方形的板狀，并且其長(zhǎng)邊沿Y方向設(shè)置。經(jīng)由各彈簧43連接錘部24和梁部41。俯視觀察時(shí)，彈簧43形成為蛇行狀，一端側(cè)的固定端43A固定在梁部41的側(cè)面上，另一端側(cè)的可動(dòng)端43B與錘部24連接。另外，彈簧43的蛇行形狀是互成直角的短邊和長(zhǎng)邊相互連接、短邊沿X方向設(shè)置、長(zhǎng)邊沿Y方向設(shè)置的彎彎曲曲狀。并且，彈簧43的固定在梁部41上的固定端43A與連接有錘部24的可動(dòng)端43B之間的距離比長(zhǎng)邊長(zhǎng)，能夠相對(duì)于X方向提高彈簧43的剛性、限制彈簧43相對(duì)于X方向的伸縮。
[0057]圖2 (b)是圖2 (a)的A-A線端視圖，圖2 (C)是圖2 (a)的B-B線端視圖。如圖2 (b)所示，梁部41與基板12上直立設(shè)置的錨定部45 —體形成并且被固定。因此，如圖2 (c)所示，固定的梁部41經(jīng)由彈簧43支撐錘部24，由此能夠使錘部24以浮在基板12的上方的狀態(tài)被保持。并且，錘部24與包圍錘部24的邊框部23相互分離。
[0058]如圖2 (a)所示，第一和第二固定電極28、29設(shè)在第一傳感器21的大致中央部。第一傳感器21具有多組一對(duì)第一和第二固定電極28、29 (本實(shí)施方式中為6組)。第一和第二固定電極28、29的主面形成為沿Z方向的大致長(zhǎng)方形板狀，并且第一和第二固定電極28,29的長(zhǎng)邊沿X方向設(shè)置。第一和第二固定電極28、29各自的主面以相互對(duì)置的方式沿Y方向交錯(cuò)設(shè)置。第一固定電極28在X方向的一端側(cè)(圖中上側(cè)的三個(gè)為左側(cè)，下側(cè)的三個(gè)為右側(cè))與設(shè)有通孔28A且在基板12上形成的配線(省略圖示)電連接。并且，第二固定電極29在與第一固定電極28相反的X方向的一端側(cè)(圖中上側(cè)三個(gè)為右側(cè),下側(cè)三個(gè)為左側(cè))與設(shè)有通孔29A且在基板12上形成的配線(省略圖示)電連接。并且，如圖2 (b)所示，第一和第二固定電極28、29的除設(shè)有通孔28A，29A的端部之外的部分與基板12分離。另外，在包括端部在內(nèi)的第一和第二固定電極28、29的整體也可以與基板12連接。
[0059]如圖2 (b)所示，基板12包括:核心板51、以覆蓋核心板51的上表面的方式而形成的絕緣層53、在絕緣層53上形成的第三固定電極55。與梁部41 一體形成的錨定部45與襯墊58連接，并且錘部24經(jīng)由配線(省略圖示)與外部端子電連接。如圖3所示，在第一傳感器21中，以錘部24為可動(dòng)電極，通過(guò)錘部24與第一和第二固定電極28、29構(gòu)成平行平板電容器Cl、C2。平行平板電容器Cl、C2的電容根據(jù)作用在第一傳感器21的Y方向的加速度而變化。例如，隨著錘部24向Y方向的一個(gè)方向(圖中的上方)變動(dòng)，平行平板電容器Cl的電容減小，而平行平板電容器C2的電容增大。通過(guò)測(cè)量隨著這樣的錘部24與第一和第二固定電極28、29之間的距離的變動(dòng)而變化的平行平板電容器的電容，能夠檢測(cè)出Y方向的加速度。
[0060]例如，將與錘部24連接的測(cè)量點(diǎn)61上的電壓從上述外部端子輸出到處理回路，檢測(cè)出電容器Cl、C2的電位差(電容的差)并計(jì)算出加速度。另外，如圖3所示，為了擴(kuò)大電容的差的輸出從而提高靈敏度，第一傳感器21構(gòu)成為含有各個(gè)電容器Cl、C2的橋式電路。并且，通過(guò)構(gòu)成該橋式電路，各電容器Cl、C2在非檢測(cè)方向的X方向上的電容的變化相互抵消，能夠?qū)崿F(xiàn)所謂的他軸靈敏度的降低。并且，第一傳感器21中可以設(shè)有用于在未作用有加速度的無(wú)負(fù)荷時(shí)解除測(cè)量點(diǎn)61上的偏置電壓的校正電路。
[0061]并且，圖2 (b)所示的第三固定電極55，以在Z方向與錘部24對(duì)置的方式形成在絕緣層53的上表面的整個(gè)區(qū)域。第一傳感器21構(gòu)成為錘部24和第三固定電極55在Z方向?qū)χ玫钠叫衅桨咫娙萜?。該平行平板電容器的電容根?jù)作用在第一傳感器21的Z方向上的加速度而變化。在第一傳感器21中，通過(guò)測(cè)量隨著錘部24與第三固定電極55之間的距離的變動(dòng)而變化的平行平板電容器的電容，能夠檢測(cè)出Z方向的加速度。
[0062]如上所述，第一傳感器21在檢測(cè)作用在Y方向和Z方向的加速度的另一方面，還具有限制彈簧43 (參照?qǐng)D2 (a))在X方向伸縮的結(jié)構(gòu)，使錘部24在X方向不進(jìn)行撓動(dòng)。因此，第一傳感器21構(gòu)成為能夠檢測(cè)Y方向和Z方向的加速度的兩軸加速度傳感器。如圖1所示，具有加速度傳感器10的第二傳感器31與第一傳感器21具有相同的結(jié)構(gòu)，包括:邊框部23、錘部24、一對(duì)彈簧部26、第一和第二固定電極28、29以及第三固定電極(省略圖不)。第二傳感器31形成為以Z方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸將第一傳感器21旋轉(zhuǎn)90度的結(jié)構(gòu)。也就是說(shuō)，第二傳感器31在檢測(cè)作用在X方向和Z方向的加速度的另一方面，能夠限制彈簧部26的彈簧43在Y方向的伸縮，使錘部24在Y方向不進(jìn)行撓動(dòng)。因此，第二傳感器31構(gòu)成為能夠檢測(cè)出X方向和Z方向的加速度的兩軸加速度傳感器。
[0063]在這樣構(gòu)成的加速度傳感器10中，基于第一和第二傳感器21、31的輸出來(lái)檢測(cè)三個(gè)方向的加速度。并且，在加速度傳感器10中，通過(guò)測(cè)量與第一和第二傳感器21、31各自的錘部24與第三固定電極55之間的距離的變動(dòng)相對(duì)應(yīng)的電容的變化來(lái)檢測(cè)相對(duì)于Z方向的加速度。即，加速度傳感器10利用將第一和第二傳感器21、31兩者的輸出合成的值來(lái)檢測(cè)相對(duì)于Z方向的加速度。
[0064]接下來(lái)，對(duì)彈簧43的構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
[0065]圖4 (a)所示的彈簧100是彈簧43的一個(gè)例子。如上所述，彈簧100構(gòu)成為互成直角的短邊111和長(zhǎng)邊112交錯(cuò)相連的形狀。另外，如圖4 (a)?圖4 (c)所示，在以下的說(shuō)明中，將短邊111的長(zhǎng)度稱(chēng)為L(zhǎng)I，長(zhǎng)邊112的長(zhǎng)度稱(chēng)為L(zhǎng)2進(jìn)行說(shuō)明。并且，圖4 (a)?圖4 (c)所示的方向表示彈簧100、100A、100B伸縮的方向。
[0066]彈簧100的長(zhǎng)度L2比長(zhǎng)度LI長(zhǎng)，連接錘部24 (參照?qǐng)D2 (a))與各梁部41 (參照?qǐng)D2 (a))之間的距離L3比長(zhǎng)度L2長(zhǎng)。在此，在彈簧100中，以在Y方向的往復(fù)次數(shù)，換句話說(shuō)在Y方向的一端側(cè)折返的次數(shù)(以下稱(chēng)為“折疊次數(shù)”)為η。在圖4 (a)所示的彈簧100中，折疊次數(shù)η為15次。彈簧100的折疊次數(shù)η與對(duì)應(yīng)于X、Y、Z各方向的彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz相關(guān)。于是，本發(fā)明的
【發(fā)明者】通過(guò)關(guān)于彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz相對(duì)于彈簧100的折疊次數(shù)η的變化進(jìn)行反復(fù)的研究、模擬等，而得到本發(fā)明。具體地說(shuō)，如圖4 (a)所示，例如，在與Z方向正交的平面上，使彈簧100占有的區(qū)域S (圖中以陰影覆蓋的部分)的面積為定值，改變折疊次數(shù)η并且進(jìn)行彈簧常數(shù)Kx、Ky, Kz的研究。
[0067]圖5是表示彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz的值相對(duì)于折疊次數(shù)η的曲線圖。如圖5所示，X方向的彈簧常數(shù)Kx隨著折疊次數(shù)η的增加而增大。圖中以實(shí)線所示的曲線表示試算彈簧常數(shù)Kx的結(jié)果，并且從中可知隨著折疊次數(shù)η的增加相對(duì)于X方向的剛性增強(qiáng)、從而彈簧伸縮被限制。
[0068]另一方面，Y方向的彈簧常數(shù)Ky隨著折疊次數(shù)η的增加而減小。圖中以虛線表示的曲線表示試算彈簧常數(shù)Ky的結(jié)果，可知隨著折疊次數(shù)η的增加，相對(duì)于Y方向的剛性降低，變得容易撓動(dòng)。同樣，Z方向的彈簧常數(shù)Kz隨著折疊次數(shù)η的增加而減小。圖中以點(diǎn)劃線表示的曲線表示彈簧常數(shù)Kz的試算結(jié)果，可知隨著折疊次數(shù)η的增加，Z方向變得容易撓動(dòng)。
[0069]根據(jù)以上內(nèi)容，利用圖5所示的曲線圖，基于彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz將彈簧100分為三種類(lèi)別。例如，以各彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz為近似的值的折疊次數(shù)η為基準(zhǔn)值nl (例如nl=10)，以折疊次數(shù)η比基準(zhǔn)值nl小的彈簧100為第一種類(lèi)。被分類(lèi)為該第一種類(lèi)的彈簧100是例如圖4 (b)所示的折疊次數(shù)η為5次的彈簧100Α。該彈簧100Α的兩端的距離L3比長(zhǎng)度L2短。彈簧100Α具有相對(duì)于X方向容易位移，而相對(duì)于Υ、Ζ方向的伸縮被限制的特性。也就是說(shuō)，這樣的彈簧100Α具有在一個(gè)方向上伸縮的特性，例如日本特開(kāi)平11-344507號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)所示的單軸加速度傳感器所采用的彈簧。[0070]接下來(lái)，以折疊次數(shù)η為基準(zhǔn)值nl，各彈簧常數(shù)Kx、Ky、Kz大致相同的彈簧100為第二種類(lèi)。被分類(lèi)為該第二種類(lèi)的彈簧100是例如圖4(c)所示的折疊次數(shù)η為10次的彈簧100Β。該彈簧100Β的兩端的距離L3與長(zhǎng)度L2大致相等，能夠相對(duì)于Χ、Υ、Ζ各方向位移。也就是說(shuō)，這種彈簧100Β具有在三個(gè)方向伸縮或撓動(dòng)的特性，例如日本特表2005-534016號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)中所示的用于三軸加速度傳感器的彈簧。
[0071]而且，本實(shí)施方式的圖4 Ca)所示的彈簧100是折疊次數(shù)η比基準(zhǔn)值nl大的、被分類(lèi)為第三種類(lèi)的彈簧，其具有相對(duì)于兩個(gè)方向的撓動(dòng)性。詳細(xì)地說(shuō)，彈簧100的短邊111與長(zhǎng)邊112相連、相對(duì)于蛇行延伸的X方向的剛性高且難以伸縮。并且，彈簧100相對(duì)于與蛇行延伸的X方向正交的Y方向具有撓動(dòng)性。并且，彈簧100相對(duì)于Z方向具有撓動(dòng)性，其Z方向與設(shè)定彈簧100占有的區(qū)域S的平面垂直。因此，在具有這樣的特性的彈簧100 (彈簧43)的第一傳感器21中，能夠檢測(cè)出作用在Y方向和Z方向上的加速度，并且由于錘部24在X方向上不變動(dòng)，能夠抑制X方向上的他軸靈敏度、實(shí)現(xiàn)檢測(cè)精度的提高。
[0072]接下來(lái)，對(duì)這樣構(gòu)成的加速度傳感器10的靈敏度進(jìn)行說(shuō)明。
[0073]加速度傳感器10利用第一和第二傳感器21、31兩者的輸出來(lái)檢測(cè)相對(duì)于Z方向的加速度。在此，以相對(duì)的電極的面積為S、電極的距離為d、介電常數(shù)為ε，電容C可以通過(guò)下式表示。
[0074]C= ε S/d.........(I)
[0075]錘部24在平面方向形成為與Z方向正交的平板狀，并且能夠使檢測(cè)相對(duì)于Z方向的加速度的可動(dòng)電極的面積S比其他方向(X方向，Y方向)大。
[0076]因此，在本實(shí)施方式的第一和第二傳感器21、31中，能夠使用于檢測(cè)作用在Z方向上的加速度而設(shè)置的電容的大小比其他兩個(gè)方向大。
[0077]另外，利用上述式(1)，電容的變化量AC相對(duì)于距離的變化量Ad的大小如下式所示。
[0078]Δ C/ Δ d = ε S/d2....(2)
[0079]另外，根據(jù)運(yùn)動(dòng)方程式、彈性法則，作用在錘部24上的力如下式所示。
[0080]F = ma = kA d (m:錘部24的質(zhì)量，a:加速度，k:彈簧常數(shù))..(3)
[0081]根據(jù)上述式(2)、(3)，電容的變化量Λ C如下式所示。
[0082]Δ C = ( ε S/d2*m/k) a = (C/k*m/d) a......(4)
[0083]因此，根據(jù)上述式(4)，提高本實(shí)施方式的電容型加速度傳感器10的對(duì)于加速度a的靈敏度(電容的變化量)需要增大作為重物的錘部24的質(zhì)量m、增大由錘部24與第一至第三固定電極28、29、55分別構(gòu)成的電容器的電容C或減少?gòu)椈沙?shù)Kx、Ky、Kz。質(zhì)量m與錘部24的大小相關(guān)。在Z方向，電容C與錘部24的與Z方向正交的方向的面積S相關(guān)。如圖2 (a)所示，俯視觀察時(shí)，加速度傳感器10中的錘部24占據(jù)了平面的大部分區(qū)域。與之相對(duì)，考慮采用例如將單軸加速度傳感器(上述日本特開(kāi)平11-344507號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)所公開(kāi)的加速度傳感器等)與XYZ各方向?qū)?yīng)設(shè)置，將多個(gè)加速度傳感器排列在同一平面上的結(jié)構(gòu)。但是，在這樣的結(jié)構(gòu)中，俯視觀察時(shí)，有助于Z軸方向的加速度檢測(cè)的錘部?jī)H占據(jù)平面的一部分區(qū)域。也就是說(shuō)，本實(shí)施方式的加速度傳感器10有助于所有傳感器(第一和第二傳感器21、31)對(duì)Z方向的加速度的檢測(cè)，與構(gòu)成對(duì)于Z方向具有相同的靈敏度的三軸加速度傳感器的情況相比，具有更加小型化的結(jié)構(gòu)。[0084]并且，優(yōu)選電容型的加速度傳感器對(duì)于XYZ各方向的靈敏度大致相同。如上述式
(4)所示，為了使對(duì)于各方向的靈敏度大致相同，考慮使各方向的電容C與彈簧常數(shù)k的比相等。例如，在上述加速度傳感器10中，以檢測(cè)X方向的加速度的第二傳感器31的錘部24與第一和第二固定電極28、29的電極之間的電容為Cx,以彈簧43的相對(duì)于X方向的彈簧常數(shù)為kx。并且，以檢測(cè)Y方向的加速度的第一傳感器21的錘部24與第一和第二固定電極28,29的電極之間的電容為Cy，彈簧43的相對(duì)于Y方向的彈簧常數(shù)為ky。另外，在本實(shí)施方式中，由于第一和第二傳感器21、31具有相同結(jié)構(gòu)，電容Cx和Cy、彈簧常數(shù)kx和ky分別具有相同的值。并且，以檢測(cè)第一和第二傳感器21、31的Z方向的加速度的錘部24與第三固定電極55的電極之間的電容分別為電容Czl，Cz2，以各傳感器21、31的彈簧43的相對(duì)于Z方向的彈簧常數(shù)分別為kzI，kz2。另外，在本實(shí)施方式中，第一和第二傳感器21、31具有相同的結(jié)構(gòu)，所以電容Cz 1、Cz2的值是相同的。同樣，彈簧常數(shù)kz 1、kz2的值是相同的。
[0085]而且，為了使這種情況下的各方向的電容C與彈簧常數(shù)k的比相等，優(yōu)選滿(mǎn)足下式。
[0086]2*Cx/kz = 2*Cy/ky = (Czl/kzl+Cz2/kz2)....(5)
[0087]因此，通過(guò)將上述式(5)的值設(shè)計(jì)為指標(biāo)，能夠使相互正交的三軸的各個(gè)方向的加速度的靈敏度相等，能夠容易地構(gòu)成本實(shí)施方式的加速度傳感器10。另外，如圖3所示，本實(shí)施方式的第一和第二傳感器21、31分別構(gòu)成含有電容器Cl、C2的橋式電路,利用各電容器C1、C2的電容的差來(lái)計(jì)算加速度。因此，各傳感器21、31的對(duì)于各方向的靈敏度，與例如將電容器C1、C2中的其中一個(gè)電容器的容量擴(kuò)大2倍的值相關(guān)。上述式(5)采用了這樣的電容型加速度傳感器中所用到的橋式電路。
[0088]接下來(lái)，對(duì)第一傳感器21的制造方法的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。另外，由于第二傳感器31的制造方法與第一傳感器21是相同的，所以省略了說(shuō)明。
[0089]首先，準(zhǔn)備如圖6 (a)的核心板200。核心板200是例如由單晶硅構(gòu)成的晶片。在核心板200上形成多個(gè)傳感器元件，然后進(jìn)行切片，并且通過(guò)對(duì)多個(gè)第一傳感器21進(jìn)行單片化而進(jìn)行制造。
[0090]在核心板200的表面形成絕緣層210。絕緣層210是利用例如熱氧化法、沉積法在氮化硅(SiNx)、二氧化硅膜之上層疊氮化硅的膜而形成的。然后，例如利用光刻技術(shù)在絕緣層210的表面形成任意圖形的第三固定電極212、襯墊214和未圖不的配線。第三固定電極212和配線(省略圖示)等采用了多晶硅等對(duì)后文所述的犧牲層215的蝕刻有耐性的材料。另外，在利用LSI技術(shù)一般將鋁用于第三固定電極212和未圖示的配線的情況下，優(yōu)選在該鋁之上層疊氮化硅膜或利用多層層疊膜構(gòu)成上述絕緣層210并在其中，提高對(duì)犧牲層215的蝕刻的耐性。如上所述，可以由多層層疊膜來(lái)構(gòu)成絕緣層210、第三固定電極212和配線(省略圖示)。并且，第三固定電極212和配線(省略圖示)可以由具有導(dǎo)電性的多層來(lái)構(gòu)成。
[0091]然后，如圖6 (b)所示，形成覆蓋絕緣層210和第三固定電極212的犧牲層215。犧牲層215是將二氧化娃通過(guò)例如化學(xué)氣相沉積(CVD:Chemical Vapor Deposition)法成膜而形成的。犧牲層215的厚度為例如2μπι (微米)。然后，如圖6 (c)所示，使襯墊214的表面的一部分露出犧牲層215地形成接觸孔216。接觸孔216是利用例如光刻技術(shù)而形成的。
[0092]然后，如圖7 (a)所示，在犧牲層215之上形成電極層217。接觸孔216內(nèi)充填有電極層217的一部分。電極層217是例如將多晶硅通過(guò)CVD法成膜而形成的。電極層217的厚度為例如5?10 μ m。然后，如圖7 (b)所示，對(duì)電極層217進(jìn)行蝕刻，形成貫通孔219及第一和第二固定電極220、221。對(duì)電極層217的蝕刻是例如利用光刻技術(shù)在電極層217上形成任意圖形的抗蝕刻層(省略圖示)，通過(guò)Deep-RIE (Reactive 1n Etching)法對(duì)從該抗蝕刻層的開(kāi)口部露出的區(qū)域進(jìn)行異向性蝕刻。另外，未圖示的彈簧43是例如與上述第一和第二固定電極220、221在同一工序中形成的。
[0093]然后，如圖7 (C)所示，蝕刻犧牲層215。犧牲層215的蝕刻是例如從形成在電極層217上的貫通孔219等導(dǎo)入蝕刻液(例如緩沖氫氟酸酸(BHF))而進(jìn)行的。通過(guò)這種方式形成圖1所示的第一傳感器21。
[0094]根據(jù)上述實(shí)施方式，能夠得到以下效果。
[0095](I)通過(guò)使具有加速度傳感器10的第一傳感器21的彈簧43根據(jù)Y、Z方向的加速度伸縮，而限制相對(duì)于X方向的加速度的伸縮，從而能夠從根據(jù)加速度進(jìn)行變動(dòng)的錘部24與第一至第三固定電極28、29，55之間的電容的變化檢測(cè)出Y、Z方向的加速度。也就是說(shuō)，第一傳感器21構(gòu)成為彈簧43相對(duì)于X方向具有剛性而作為兩軸加速度傳感器。加速度傳感器10構(gòu)成為第二傳感器31與第一傳感器21具有同樣的結(jié)構(gòu)、通過(guò)利用第二傳感器31檢測(cè)出X、Z方向的加速度而作為三軸加速度傳感器。在這樣的結(jié)構(gòu)中，各傳感器21、31的彈簧43相對(duì)于一個(gè)方向具有剛性，無(wú)須擔(dān)心由于制造工藝的缺陷導(dǎo)致錘部24的旋轉(zhuǎn)、重心偏移，能夠構(gòu)成實(shí)現(xiàn)檢測(cè)精度的提高的加速度傳感器10。
[0096](2)加速度傳感器10利用第一和第二傳感器21、31兩者的輸出來(lái)檢測(cè)相對(duì)于Z方向的加速度。由此，在加速度傳感器10中，由于所有的傳感器(第一和第二傳感器21、31)有助于對(duì)Z方向的加速度的檢測(cè)，與通過(guò)三個(gè)單軸加速度傳感器來(lái)構(gòu)成三軸加速度傳感器的情況相比，能夠得到更加小型化的結(jié)構(gòu)。
[0097](3)在俯視觀察第一傳感器21時(shí)，彈簧43的可動(dòng)端43Β相對(duì)于固定端43Α位于外偵U。在這樣的結(jié)構(gòu)中，能夠減輕作用在錘部24上的旋轉(zhuǎn)力矩的影響，并且能夠?qū)崿F(xiàn)第一傳感器21的檢測(cè)精度的提高。
[0098]另外，本發(fā)明不是限于上述實(shí)施方式的發(fā)明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種改良、變更。
[0099]例如，在上述實(shí)施方式中，俯視觀察時(shí)，第一傳感器21形成為大致正方形，但并不限于此。例如，如圖8所示的第一和第二傳感器301、302在俯視觀察時(shí)形成為大致長(zhǎng)方形。第一和第二傳感器301、302在俯視觀察時(shí)形成為長(zhǎng)邊沿X方向延伸的大致長(zhǎng)方形狀。第一傳感器301的彈簧311與上述實(shí)施方式的第一傳感器21的彈簧43相比,其X方向的長(zhǎng)度較長(zhǎng)、Y方向的長(zhǎng)度較短。并且，第二傳感器302的彈簧312與上述實(shí)施方式的第二傳感器31的彈簧43相比，其X方向的長(zhǎng)度較長(zhǎng)、Y方向的長(zhǎng)度較短。在這樣的結(jié)構(gòu)中，彈簧311，312相對(duì)于一個(gè)方向具有剛性,第一和第二傳感器301、302構(gòu)成為兩軸加速度傳感器。也就是說(shuō)，根據(jù)本實(shí)施方式的第一和第二傳感器21、31的結(jié)構(gòu)，能夠減少結(jié)構(gòu)上的限制、提高形狀的自由度。
[0100]并且，在上述實(shí)施方式中雖未提及，在如圖8所示的第一和第二傳感器301、302中，設(shè)有用于防止錘部24與各部件之間的粘滯的限位器320。限位器320形成為直立設(shè)置在基板12 (參照?qǐng)D1)上并且在Z方向貫通錘部24的柱狀。通過(guò)使限位器320與錘部24卡合，能夠防止錘部24與其他部件，例如第一固定電極28粘在一起。并且，雖然未做圖示，限位器320的與錘部24相對(duì)的面設(shè)有凸部，能夠減小限位器320與錘部24之間的接觸面積，有效地防止粘滯。并且，將這樣的凸部設(shè)置在其他部件上，例如在錨定部45的與錘部24對(duì)置的面上進(jìn)行設(shè)置，也能夠?qū)崿F(xiàn)限位器320的功能。并且，防止粘滯的機(jī)構(gòu)不限于限位器320，例如也可以對(duì)任意部件的端面進(jìn)行表面加工，使其具有疏水性。
[0101]并且，在上述實(shí)施方式中，采用了錘部24作為可動(dòng)電極，但是也可以設(shè)置與錘部24 一體或分體的可動(dòng)電極。
[0102]并且，利用上述彈簧43那樣的具有對(duì)兩個(gè)方向進(jìn)行伸縮或撓動(dòng)的特性的彈性部件，只要能夠檢測(cè)出作用在傳感器10上的加速度，也可以采用除電容之外的機(jī)構(gòu)。
[0103]并且，各部件的形狀.結(jié)構(gòu)等僅為一個(gè)例子，可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏＠?，第一傳感?1和第二傳感器31可以具有不同的結(jié)構(gòu)。
[0104]附帶說(shuō)明的是，加速度傳感器10作為加速度傳感器的一個(gè)例子，錘部24作為錘部和可動(dòng)電極的一個(gè)例子，第一至第三固定電極28、29、55作為固定電極的一個(gè)例子,彈簧43作為第一和第二彈性部件的一個(gè)例子，長(zhǎng)邊Π2和短邊111作為第一邊和第二邊的一個(gè)例子，彈簧常數(shù)Kx、Ky> Kz作為彈簧常數(shù)的一個(gè)例子而被舉出。
[0105]接下來(lái)，對(duì)根據(jù)上述實(shí)施方式的內(nèi)容引出的技術(shù)思想進(jìn)行說(shuō)明。
[0106]在本發(fā)明的第二方面的加速度傳感器的基礎(chǔ)上，所述第三傳感器部具有:第一電容部，其與具有所述第一傳感器部的第一傳感器相對(duì)應(yīng)；第二電容部，其與具有所述第二傳感器部的第二傳感器相對(duì)應(yīng)。
[0107]將2* {(所述第一傳感器部具有的所述電容部的容量值)/ (所述第一彈性部件的所述第一方向的彈簧常數(shù))}、
[0108]2* {(所述第二傳感器部具有的所述電容部的容量值)/ (所述第二彈性部件的所述第二方向的彈簧常數(shù))}、以及{(所述第三傳感器部具有的所述第一電容部的容量值)/ (所述第一彈性部件的所述第三方向的彈簧常數(shù))+ (所述第三傳感器部具有的所述第二電容部的容量值)/ (所述第二彈性部件的所述第三方向的彈簧常數(shù))}設(shè)為相等的值。
[0109]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，與利用上述實(shí)施方式中的式(5)說(shuō)明的內(nèi)容相對(duì)應(yīng)，第三傳感器部具有與第一傳感器相對(duì)應(yīng)的第一電容部和與第二傳感器相對(duì)應(yīng)的第二電容部，
[0110]將2* {(第一傳感器部具有的電容部的容量值)/ (第一彈性部件的第一方向的彈簧常數(shù))}、2* {(第二傳感器部具有的電容部的容量值)/ (第二彈性部件的第二方向的彈簧常數(shù))}、以及{(第三傳感器部具有的第一電容部的容量值)/ (第一彈性部件的第三方向的彈簧常數(shù))+ (第三傳感器部具有的第二電容部的容量值)/ (第二彈性部件的第三方向的彈簧常數(shù))}設(shè)為相等的值?；谶@樣的條件，能夠容易地構(gòu)成對(duì)于相互正交的三軸的各方向的加速度的靈敏度相等的加速度傳感器。
【權(quán)利要求】
1.一種加速度傳感器，其特征在于，具有: 基板； 第一彈性部件，其一端固定在所述基板上，并且相對(duì)于沿所述基板的第一方向和與所述基板正交的第三方向的這兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)； 第二彈性部件，其一端固定在所述基板上，并且相對(duì)于與沿所述基板的所述第一方向正交的第二方向和所述第三方向的這兩個(gè)方向的加速度進(jìn)行撓動(dòng)； 多個(gè)錘部，其分別與所述第一和第二彈性部件的另一端連接，并且從所述基板游離且能夠擺動(dòng)地被所述第一和第二彈性部件支撐； 第一至第三傳感器部，其根據(jù)所述錘部的擺動(dòng)檢測(cè)所述第一至第三方向的各加速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述第一至第三傳感器部分別具有電容部，所述電容部具有設(shè)在所述基板上的固定電極和設(shè)在所述錘部上的可動(dòng)電極， 所述第一傳感器部的所述電容部具有的所述固定電極和所述可動(dòng)電極形成為沿所述第二方向的平板狀， 所述第二傳感器部的所述電容部具有的所述固定電極和所述可動(dòng)電極形成為沿所述第一方向的平板狀， 所述第三傳感器部的所述電容部具有的所述固定電極和所述可動(dòng)電極形成為沿所述基板的平板狀?！?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于， 具有多個(gè)所述第三傳感器部，其基于電容的變化來(lái)檢測(cè)作用在所述第三方向上的加速度，所述電容的變化是與所述電容部的所述固定電極與所述可動(dòng)電極之間的距離的變動(dòng)相對(duì)應(yīng)的， 基于將多個(gè)所述第三傳感器部的輸出合成的值來(lái)檢測(cè)所述第三方向的加速度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述第三傳感器部具有的所述電容部的容量值比所述第一、第二傳感器部具有的所述電容部的容量值大。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述第一彈性部件在所述第二方向上的彈簧常數(shù)比在所述第一和第三方向上的彈簧常數(shù)大， 所述第二彈性部件在所述第一方向上的彈簧常數(shù)比在所述第二和第三方向上的彈簧常數(shù)大。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于， 對(duì)于所述第一至第三方向的各加速度的靈敏度大致相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述第一彈性部件與所述第二彈性部件具有相同的結(jié)構(gòu)，而且，所述第一傳感器部與所述第二傳感器部具有相同的結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的加速度傳感器，其特征在于， 所述第一彈性部件是沿所述第一方向的第一邊與沿所述第二方向的第二邊交錯(cuò)相連、沿所述第二方向蛇行延伸的彈簧，并且連接所述第一彈性部件的兩端的距離比所述第一邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)， 所述第二彈性部件是沿所述第一方向的第一邊與沿所述第二方向的第二邊交錯(cuò)相連、沿所述第一方向蛇行延伸的彈簧，并且連接所述第二彈性部件的兩端的距離比所述第二邊的長(zhǎng) 度長(zhǎng)。
【文檔編號(hào)】G01P15/18GK103713158SQ201310454580
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月2日
【發(fā)明者】鈴木利尚 申請(qǐng)人:雅馬哈株式會(huì)社