基于達曼光柵的同步相移干涉裝置制造方法
【專利摘要】一種基于達曼光柵的同步相移干涉裝置，該裝置由激光器，擴束準直單元，分光棱鏡，四象限相位板，合束棱鏡，第一反射鏡，待測物體，達曼光柵分束整形單元，第二反射鏡，會聚透鏡，探測器陣列，計算機構(gòu)成。本發(fā)明大大降低了系統(tǒng)的波像差，對偏振不敏感，因而不存在偏振像差，測量精度高，易于使用。
【專利說明】基于達曼光柵的同步相移干涉裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學干涉計量測試領(lǐng)域，特別是一種基于達曼光柵的同步相移干涉裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]達曼光柵是一種典型的衍射光學元件，具有等光強分束、高衍射效率、制作工藝簡單、可大規(guī)模復(fù)制等優(yōu)點；由Da_ann和Gortle于1971年發(fā)明，在先技術(shù)[I](參見:Dammann, H.and E.Klotz, Coherent Optical Generation and Inspection ofTwo-dimensional Periodic Structures.0ptica Acta:1nternational Journal ofOptics, 1977.24(4):p.505-515)中，它作為夫瑯禾費型光學元件，入射光經(jīng)過它產(chǎn)生的夫瑯禾費衍射圖樣是一定點陣數(shù)目的等光強光斑，完全避免了一般振幅光柵因sine函數(shù)強度包絡(luò)所引起的譜點光強不均勻，可以根據(jù)需求將物象復(fù)制為任意數(shù)目，并按照一定空間位置排布° 在先技術(shù)[2](參見:Zhou, C.and L.Liu, Numerical study of Dammann arrayilluminators.Applied Optics, 1995.34(26))中，周常河給出了 2到64點陣的達曼光柵斷點部分解集，并分析了相位制作誤差及側(cè)壁腐蝕誤差對光柵性能的影響。
[0003]相移干涉技術(shù)是現(xiàn)今廣泛使用的光學面型測試技術(shù)，相移是將波前的相位信息加載到高頻部分，通過高通濾波技術(shù)即可以準確得到相位信息。該技術(shù)使用干涉儀采集一組相移干涉圖，每幅圖之間具有特定的相位差，根據(jù)干涉圖通過四步移相法解出被測相位，該方法已被本領(lǐng)域科研人員所熟知。
[0004]在先技術(shù)[3](參見:李兵，職亞楠，周煜，戴恩文，孫建鋒，侯培培，劉立人，分束光柵子光束陣列的位相和光強測量裝置和方法，2013，申請?zhí)?CN201210444533.X)中，采用的是基于Mach-Zender干涉儀的傳統(tǒng)相移干涉裝置，該裝置是在一段時間內(nèi)順序采集相移干涉圖，因此測試精度受到振動、氣流擾動等時變環(huán)境因素的影響。
[0005]在先技術(shù)[4](參見:艾華，楊鵬，曹艷波，一種同步偏振移相干涉儀，2013，
【發(fā)明者】張寧, 周煜, 劉立人, 孫建鋒, 宋強, 許倩 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所