一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，由兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器每圈分別輸出2N和2N-1個(gè)正弦周期信號(hào)，N為自然數(shù)，該兩個(gè)正弦周期信號(hào)之差即為該旋轉(zhuǎn)編碼器的絕對(duì)角度；包括一個(gè)動(dòng)極板和至少一個(gè)定極板，動(dòng)極板至少一面鋪有反射極，定極板在在朝向動(dòng)極板的一面鋪有發(fā)射極和接收極；每個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器由反射極、發(fā)射極和接收極組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極共享一塊動(dòng)極板；反射極是邊界為正弦形包絡(luò)的花瓣型電極，發(fā)射極是環(huán)形均勻布置的柵狀電極，分成4組電氣連接且交替排列的激勵(lì)電極組，接收極是定極板上分別布置于發(fā)射極內(nèi)側(cè)和外側(cè)的兩個(gè)環(huán)形電極。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)編碼器，特別涉及一種可獲得單圈絕對(duì)角位移的電容式旋轉(zhuǎn)編碼器。
【背景技術(shù)】
[0002]旋轉(zhuǎn)編碼器作為一種位置和速度檢測(cè)元件，廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、航空航天、工業(yè)機(jī)器人、新能源、醫(yī)療設(shè)備等測(cè)量和控制領(lǐng)域。目前，旋轉(zhuǎn)編碼器市場(chǎng)幾乎被光電式和電磁式編碼器壟斷。其中，光電式編碼器由于技術(shù)成熟和精度高，應(yīng)用最為廣泛，但是因?yàn)橛泄鈱W(xué)器件，其抗震性較差，對(duì)塵埃和結(jié)露環(huán)境敏感，對(duì)工作環(huán)境要求高。電磁式編碼器能工作在比較惡劣的環(huán)境下，但是因?yàn)閷?duì)電磁干擾敏感，很難實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。此外，高精度的光電式和電磁式編碼器都比較昂貴，一般都只用在高端應(yīng)用場(chǎng)合。
[0003]相比于光電式和電磁式編碼器，設(shè)計(jì)良好的電容式旋轉(zhuǎn)編碼器，不僅可適應(yīng)震動(dòng)、高溫、灰塵、高濕度等惡劣環(huán)境，具備高精度、高分辨率、高可靠性、動(dòng)態(tài)特性好等優(yōu)點(diǎn)，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、功耗低、容易實(shí)現(xiàn)小型化。因而電容式旋轉(zhuǎn)編碼器受到越來(lái)越多的關(guān)注，其應(yīng)用前景可觀。
[0004]已有的電容式旋轉(zhuǎn)編碼器，都是根據(jù)動(dòng)極板改變發(fā)射極與接收極之間電容的耦合面積的原理，通過(guò)分析接收極獲得的周期變化信號(hào)，得到動(dòng)極板的角位移。動(dòng)極板的極板形狀不同，接收極獲得的周期信號(hào)不同。如美國(guó)專(zhuān)利US5598153和US20100148801A1描述電容式旋轉(zhuǎn)編碼器，接收極獲得脈沖信號(hào)，通過(guò)對(duì)脈沖細(xì)分和計(jì)數(shù)來(lái)確定動(dòng)極板角位移，這種編碼器的分辨率和精度都不高。美國(guó)專(zhuān)利US6774642B2中，接收極獲得三角波信號(hào)，通過(guò)測(cè)量三角波的幅值確定動(dòng)極板角位移，這種編碼器抗干擾能力差，外界的機(jī)械擾動(dòng)和干擾信號(hào)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生很大影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題為:克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種測(cè)量精度高、可靠性高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、體積小、功耗低的可獲得單圈絕對(duì)角位移的電容式旋轉(zhuǎn)編碼器。
[0006]本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，由兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器每圈分別輸出2N和2N-l個(gè)正弦周期信號(hào)，N為自然數(shù)，該兩個(gè)正弦周期信號(hào)之差即為該旋轉(zhuǎn)編碼器的絕對(duì)角度；包括一個(gè)動(dòng)極板和至少一個(gè)定極板，動(dòng)極板至少一面鋪有反射極,定極板在在朝向動(dòng)極板的一面鋪有發(fā)射極和接收極；每個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器由反射極、發(fā)射極和接收極組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極共享一塊動(dòng)極板；
[0007]所述發(fā)射極是定極板上環(huán)形均勻布置的柵狀電極，分成4組電氣連接且交替排列的激勵(lì)電極組，其中一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N個(gè)電極，另一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N_1個(gè)電極，N為自然數(shù)；
[0008]所述接收極是定極板上分別布置于發(fā)射極內(nèi)側(cè)和外側(cè)的兩個(gè)環(huán)形電極；[0009]所述反射極是動(dòng)極板上邊界為正弦形包絡(luò)且嵌合在一起的兩塊花瓣型電極，正弦形邊界的位置正對(duì)定極板的發(fā)射極，正弦形邊界的周期數(shù)與其所面對(duì)的發(fā)射極的激勵(lì)電極組中電極的個(gè)數(shù)相同。
[0010]進(jìn)一步的，所述發(fā)射極、接收極和反射極都是由電路板印制而成。
[0011]進(jìn)一步的，所述定極板的不同的電極區(qū)域之間、定極板和動(dòng)極板的邊緣都有保護(hù)電極，以屏蔽外界的電磁干擾，減小電容的邊緣效應(yīng)和寄生電容的影響。
[0012]進(jìn)一步的，所述定極板的未印制發(fā)射極和接收極的一面設(shè)置有信號(hào)激勵(lì)和信號(hào)處理裝置，信號(hào)激勵(lì)裝置產(chǎn)生4組相位差為90°的正弦信號(hào)，通過(guò)電路板的過(guò)孔施加給發(fā)射極的4組激勵(lì)電極組，信號(hào)處理裝置對(duì)接收極的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)與處理，解算出動(dòng)極板的角位移。
[0013]進(jìn)一步的，所述增量式旋轉(zhuǎn)編碼器包括兩種工作方式，一種是相位的調(diào)制與解調(diào)，將動(dòng)極板的角位移調(diào)制為信號(hào)的相位，利用鑒相解調(diào)獲得動(dòng)極板的角位移，另一種是幅值的調(diào)制與解調(diào)，將動(dòng)極板的角位移調(diào)制為信號(hào)的幅值，利用鑒幅解調(diào)獲得動(dòng)極板的角位移。
[0014]本發(fā)明的原理:由發(fā)射極的各激勵(lì)電極組和反射極構(gòu)成的電容的耦合面積，會(huì)隨著動(dòng)極板的旋轉(zhuǎn)而周期性改變，使得發(fā)射極產(chǎn)生的電場(chǎng)被電容的變化調(diào)制，將動(dòng)極板的角位移信息轉(zhuǎn)換為正弦信號(hào)的相位或幅值，通過(guò)對(duì)接收極接收到的正弦信號(hào)進(jìn)行鑒相解調(diào)或鑒幅解調(diào)即可獲得動(dòng)極板的角位移。本發(fā)明提供的一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，由兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器每圈分別輸出2N和2N-l個(gè)正弦周期信號(hào)，N為自然數(shù)，該兩個(gè)正弦周期信號(hào)之差即為該旋轉(zhuǎn)編碼器的絕對(duì)角度；包括一個(gè)動(dòng)極板和至少一個(gè)定極板，動(dòng)極板至少一面鋪有反射極，定極板在在朝向動(dòng)極板的一面鋪有發(fā)射極和接收極；每個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器由反射極、發(fā)射極和接收極組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器串聯(lián)或并聯(lián)在一起，串聯(lián)時(shí)，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極分別位于動(dòng)極板的兩面，動(dòng)極板的兩側(cè)各有一個(gè)定極板，分別鋪有兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的發(fā)射極和接收極，并聯(lián)時(shí)，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極分別位于動(dòng)極板一面內(nèi)側(cè)和外側(cè)，構(gòu)成兩個(gè)同心圓環(huán)，反射極的對(duì)面有一個(gè)定極板，定極板中正對(duì)兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的內(nèi)環(huán)和外環(huán)，分別鋪有各自所屬增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的發(fā)射極和接收極。所述發(fā)射極是定極板上環(huán)形均勻布置的柵狀電極，分成4組電氣連接且交替排列的激勵(lì)電極組，其中反射極一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N個(gè)電極，另一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N-1個(gè)電極，N為自然數(shù)；所述接收極是定極板上分別布置于發(fā)射極內(nèi)側(cè)和外側(cè)的兩個(gè)環(huán)形電極；所述反射極是動(dòng)極板上邊界為正弦形包絡(luò)且嵌合在一起的兩塊花瓣型電極，正弦形邊界的位置正對(duì)定極板的發(fā)射極，正弦形邊界的周期數(shù)與其所面對(duì)的發(fā)射極的激勵(lì)電極組中電極的個(gè)數(shù)相同。所述定極板的未印制發(fā)射極和接收極的一面設(shè)置有信號(hào)激勵(lì)和信號(hào)處理裝置，信號(hào)激勵(lì)裝置產(chǎn)生4組相位差為90°的正弦信號(hào)，通過(guò)電路板的過(guò)孔施加給發(fā)射極的4組激勵(lì)電極組，信號(hào)處理裝置對(duì)接收極的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)與處理，解算出動(dòng)極板的角位移。
[0015]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0016](I)、本發(fā)明是一種電容式旋轉(zhuǎn)編碼器，不僅分辨率高、精度高、可靠性高、可適應(yīng)惡劣環(huán)境，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、功耗低、易實(shí)現(xiàn)小型化；
[0017](2)、本發(fā)明將兩個(gè)增量周期不同的增量式旋轉(zhuǎn)編碼器結(jié)合為絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，對(duì)兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器解算結(jié)果做差，不僅能夠獲得絕對(duì)角位移，而且抑制了解算過(guò)程中的共模干擾，提高了解算精度，同時(shí)解算過(guò)程造成的相位延時(shí)也被抵消，提高了旋轉(zhuǎn)編碼器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)；
[0018](3)、本發(fā)明充分利用了動(dòng)極板的面積資源，在其正反面均布置電容極板，使動(dòng)極板與定極板的耦合面積最大化，提高了信號(hào)的信噪比，增強(qiáng)了旋轉(zhuǎn)編碼器的抗干擾能力。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)裝配及工作原理示意圖；
[0020]圖2為圖1中定極板I的極板形狀示意圖；
[0021]圖3為圖1中定極板2的極板形狀示意圖；
[0022]圖4為圖1中動(dòng)極板的極板形狀示意圖；
[0023]圖5提供了一種鑒相解調(diào)方式；
[0024]圖6為本發(fā)明輸出的增量角度和絕對(duì)角度；
[0025]圖7為本發(fā)明的另一種實(shí)施方案；
[0026]圖8提供了一種鑒幅解調(diào)方式；
[0027]圖9為本發(fā)明的另一種結(jié)構(gòu)的定極板；
[0028]圖10為本發(fā)明的另一種結(jié)構(gòu)的動(dòng)極板。
【具體實(shí)施方式】
[0029]如圖1所示，本發(fā)明的電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，由定極板102、定極板103、動(dòng)極板104、信號(hào)激勵(lì)模塊101、信號(hào)檢測(cè)模塊(105A與105B)和信號(hào)解調(diào)模塊(106A、106B與107)構(gòu)成。動(dòng)極板104與轉(zhuǎn)軸108固連，位于定極板102和103之間，其兩面均鋪有電容極板，分別與位于兩側(cè)的定極板102和103構(gòu)成兩個(gè)獨(dú)立的增量周期不同的增量式旋轉(zhuǎn)編碼器。信號(hào)激勵(lì)模塊101、信號(hào)檢測(cè)模塊(105八與105B)和信號(hào)解調(diào)模塊(106AU06B與107)則布置在定極板102或定極板103的背向動(dòng)極板104的一面，其中信號(hào)檢測(cè)模塊105A與105B、信號(hào)解調(diào)模塊106A與106B完全相同。
[0030]信號(hào)激勵(lì)模塊101產(chǎn)生4路相位差為90°的正弦激勵(lì)信號(hào)，分別施加在定極板102和103的4組激勵(lì)電極組，提供按正弦分布的電場(chǎng)，經(jīng)過(guò)動(dòng)極板104兩面反射極的電容調(diào)制，在定極板102和103的接收極分別產(chǎn)生相位與轉(zhuǎn)軸108旋轉(zhuǎn)角度P相關(guān)的正弦信號(hào)，利用電荷放大器105A和105B差動(dòng)檢測(cè)出該信號(hào)，再通過(guò)鑒相解調(diào)106A和106B的處理，分別獲得兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的增量角度，利用減法器107對(duì)兩個(gè)增量角度作差，即為轉(zhuǎn)軸108的絕對(duì)旋轉(zhuǎn)角度P。
[0031]圖2描繪了圖1中定極板102的極板形狀，共包括7塊電極區(qū)域:201和206是接地的屏蔽電極，分別屏蔽來(lái)自轉(zhuǎn)軸108和外界的電磁干擾，減小電容的邊緣效應(yīng)及寄生電容對(duì)接收極202和205的影響；接收極202和205是簡(jiǎn)單的環(huán)狀電極，利用電荷放大器105A對(duì)其電荷進(jìn)行差動(dòng)放大檢測(cè)；發(fā)射極207是被接收極202和205包圍的環(huán)形均勻布置的柵狀電極，分成4組交替排列的激勵(lì)電極組207A、207B、207C和207D，每組激勵(lì)電極組包括2N個(gè)電極(此實(shí)施方案為16個(gè))，各組激勵(lì)電極組的電極利用過(guò)孔208A、208B、208C和208D保持電氣連接，并分別由信號(hào)激勵(lì)模塊101施加相位為差90°的激勵(lì)信號(hào)，產(chǎn)生一圈強(qiáng)度按正弦分布的電場(chǎng)，正弦分布的周期為即發(fā)射極的各組激勵(lì)電極組交替排列的周期；在
發(fā)射極207與接收極202和205之間還分別有接地的保護(hù)極203和204，用來(lái)減小發(fā)射極與接收極之間電容串?dāng)_及邊緣效應(yīng)。在定極板102的周邊，均勻設(shè)置了 4個(gè)定位安裝孔209A、209B、209C、209D，用螺釘將定極板固定在編碼器的機(jī)殼上，4個(gè)安裝孔的圓心與定極板102的圓心的連線(xiàn)均為激勵(lì)電極207A和207D的分界線(xiàn)，這4個(gè)安裝孔的圓心均可作為編碼器的零點(diǎn)，具體視定極板103中參考零點(diǎn)的位置而定。
[0032]圖3描繪了圖1中定極板103的極板形狀，其結(jié)構(gòu)與定極板102的結(jié)構(gòu)相似，僅各激勵(lì)電極組301A、301B、301C、301D中電極的個(gè)數(shù)不同，為2n-1個(gè)(此實(shí)施方案為15個(gè))，各個(gè)電極的排列位置也作相應(yīng)地調(diào)整，以保持均勻排列，各激勵(lì)電極組交替排列的周期為
。裝配編碼器時(shí)，應(yīng)保證定極板103的4個(gè)安裝孔302A、302B、302C、302D分別與定極
1-1
板102的4個(gè)安裝孔209A、209B、209C、209D同軸。其中只有安裝孔302B的圓心303與定極板103圓心的連線(xiàn)為激勵(lì)電極301A和301D的分界線(xiàn)，該圓心303決定了編碼器定極板
的參考零點(diǎn)。
[0033]圖4描繪了圖1中動(dòng)極板104的極板形狀，包括正反兩面，其中正面包括4塊電極區(qū)域:401和404是屏蔽電極，通過(guò)滑環(huán)或轉(zhuǎn)軸108接地，屏蔽外界的電磁干擾，減小電容的邊緣效應(yīng)及寄生電容對(duì)反射極402和403的影響；反射極402和403嵌合成一塊大的環(huán)形電極，中間被一圈正弦形(極坐標(biāo)系下)間隙405分隔開(kāi)；正弦形間隙405的周期數(shù)為2n，與定極板102中各激勵(lì)電極組的電極個(gè)數(shù)相同。動(dòng)極板104的反面與正面形狀相似，其正弦形間隙406的周期數(shù)為2N-1，與定極板103中各激勵(lì)電極組的電極個(gè)數(shù)相同。動(dòng)極板104正面的間隙405與反面的間隙406在二維平面的重合點(diǎn)407為動(dòng)極板的參考零點(diǎn)，該絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器所檢測(cè)的絕對(duì)角度即為動(dòng)極板的參考零點(diǎn)407與定極板的參考零點(diǎn)303之間的角度。反射極402和403相互嵌合的部分正對(duì)定極板102的發(fā)射極207，對(duì)發(fā)射極207產(chǎn)生的周期分布的電場(chǎng)進(jìn)行調(diào)制，調(diào)制信號(hào)為與激勵(lì)信號(hào)同頻的正弦信號(hào)，相位為此刻定極板的參考零點(diǎn)303所指示的間隙405的正弦波形的相位，而未嵌合部分正對(duì)定極板102的接收極202和205，將調(diào)制信號(hào)又耦合給定極板102的接收極202和205。此外，動(dòng)極板104的內(nèi)部還印制有一層保護(hù)電極，防止正反面的電極之間相互干擾。
[0034]在圖1所不的實(shí)施方案中，電荷放大器105A和105B檢測(cè)的信號(hào)為與激勵(lì)信號(hào)同頻的正弦信號(hào)，105A檢測(cè)的正弦信號(hào)相位為此刻定極板的參考零點(diǎn)303所指示的間隙405的正弦波形的相位，105B檢測(cè)的正弦信號(hào)相位為此刻定極板的參考零點(diǎn)303所指示的間隙406的正弦波形的相位，即正弦形間隙405和406分別反映了各自所屬增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的增量角度，動(dòng)極板104旋轉(zhuǎn)一圈，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的增量角周期數(shù)相差1，增量角度相差360°。對(duì)電荷放大器105A和105B的輸出信號(hào)進(jìn)行鑒相解調(diào)，獲得調(diào)制信號(hào)的相位，即為兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的增量角度。鑒相解調(diào)模塊106的解調(diào)精度將直接影響編碼器的檢測(cè)精度，圖5提供了一種高精度的鑒相解調(diào)方法，該方法采用正交矢量型鎖定放大技術(shù)，將調(diào)制信號(hào)Ksin(ω?- Θ )·分別和與之同頻的激勵(lì)信號(hào)sinω?和coscot相乘,對(duì)調(diào)制信號(hào)進(jìn)行頻譜遷移，使調(diào)制信號(hào)的相角Θ信息遷移至低頻區(qū)，頻率ω信息遷移至高頻區(qū)，然后使用低通濾波器502A和502B濾掉高頻分量，得到低頻的相角信息
【權(quán)利要求】
1.一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于:由兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器每圈分別輸出2N和2n-1個(gè)正弦周期信號(hào)，N為自然數(shù)，該兩個(gè)正弦周期信號(hào)之差即為該旋轉(zhuǎn)編碼器的絕對(duì)角度；包括一個(gè)動(dòng)極板和至少一個(gè)定極板，動(dòng)極板至少一面鋪有反射極，定極板在朝向動(dòng)極板的一面鋪有發(fā)射極和接收極；每個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器由反射極、發(fā)射極和接收極組成，兩個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極共享一塊動(dòng)極板； 所述發(fā)射極是定極板上環(huán)形均勻布置的柵狀電極，分成4組電氣連接且交替排列的激勵(lì)電極組，其中一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N個(gè)電極，另一個(gè)增量式旋轉(zhuǎn)編碼器的反射極的每組激勵(lì)電極組包括2N-1個(gè)電極，N為自然數(shù)； 所述接收極是定極板上分別布置于發(fā)射極內(nèi)側(cè)和外側(cè)的兩個(gè)環(huán)形電極； 所述反射極是動(dòng)極板上邊界為正弦形包絡(luò)且嵌合在一起的兩塊花瓣型電極，正弦形邊界的位置正對(duì)定極板的發(fā)射極，正弦形邊界的周期數(shù)與其所面對(duì)的發(fā)射極的激勵(lì)電極組中電極的個(gè)數(shù)相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于:所述發(fā)射極、接收極和反射極都是由電路板印制而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于:所述定極板的不同的電極區(qū)域之間、定極板和動(dòng)極板的邊緣都有保護(hù)電極，以屏蔽外界的電磁干擾，減小電容的邊緣效應(yīng)和寄生電容的影響。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于:所述定極板的未印制發(fā)射極和接收極的一面設(shè)置有信號(hào)激勵(lì)和信號(hào)處理裝置，信號(hào)激勵(lì)裝置產(chǎn)生4組相位差為90°的正弦信號(hào)，通過(guò)電路板的過(guò)孔施加給發(fā)射極的4組激勵(lì)電極組，信號(hào)處理裝置對(duì)接收極的信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)與處理，解算出動(dòng)極板的角位移。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電容型絕對(duì)式旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于:所述增量式旋轉(zhuǎn)編碼器包括兩種工作方式，一種是相位的調(diào)制與解調(diào)，將動(dòng)極板的角位移調(diào)制為信號(hào)的相位，利用鑒相解調(diào)獲得動(dòng)極板的角位移，另一種是幅值的調(diào)制與解調(diào)，將動(dòng)極板的角位移調(diào)制為信號(hào)的幅值，利用鑒幅解調(diào)獲得動(dòng)極板的角位移。
【文檔編號(hào)】G01D5/241GK103528605SQ201310482492
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年10月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月15日
【發(fā)明者】鄭德智, 張少博 申請(qǐng)人:北京航空航天大學(xué)