一種差分電容式微加速度計的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種差分電容式微加速度計，它包括上移動板、下移動板和固定在上移動板和下移動板上的彈性梁，所述的上移動板和下移動板的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板和下移動板之間還設(shè)置有固定極板，所述的固定極板為菱形。其優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)簡單，制作工序簡單，且電容差值變化沿一定的規(guī)律變化，可簡化后續(xù)的信號處理電路。
【專利說明】一種差分電容式微加速度計
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微電子領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種差分電容式微加速度計。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度計是測量載體慣性加速度的儀器，其運用在很多方面。譬如航天航空領(lǐng)域。慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)都是以加速度計敏感測量載體運動加速度為基礎(chǔ)，因此加速度計的性能直接影響到整個系統(tǒng)的測量精度穩(wěn)定性以及最終的導(dǎo)航精度?，F(xiàn)有的加速度計其包括支撐體、上極板、下極板、導(dǎo)向槽、附加質(zhì)量塊、基座等，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使得加速度計在加工生產(chǎn)時其工序繁瑣，使得加工成本和生產(chǎn)成本較高。采用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)方式，使得在對電容差值變化的電路檢測中，信號處理電路的結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種差分電容式微加速度計，其結(jié)構(gòu)簡單，制作工序簡單，且電容差值變化沿一定的規(guī)律變化，可簡化后續(xù)的信號處理電路。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種差分電容式微加速度計，它包括上移動板、下移動板和固定在上移動板和下移動板上的彈性梁，所述的上移動板和下移動板的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板和下移動板之間還設(shè)置有固定極板，所述的固定極板為菱形。
[0005]更進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
所述的上活動極板包括左上活動極板和右上活動極板，所述的下活動極板包括左下活動極板和右下活動極板。
[0006]所述的左上活動極板和左下活動極板位于同一垂直面上，所述的右上活動極板和右下活動極板位于同一垂直面上。
[0007]所述的固定極板位于左上活動極板和右上活動極板的中間。
[0008]所述的固定極板的一條對稱軸位于左上活動極板和左下活動極板的中線上。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
1、本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單，簡化了制作工序，降低了成產(chǎn)成本。
[0010]2、本發(fā)明在對電容的差值變化進(jìn)行檢測時，其電容的變化按一定的斜率變化，使得后續(xù)的信號處理電路更簡單。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0012]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中的標(biāo)號為:11、下移動板；12、上移動板；21、右下活動極板；22、左下活動極板；31、右上活動極板；32、左上活動極板；4、固定極板；5、彈性梁?！揪唧w實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。本發(fā)明的實施方式包括但不限于下列實施例。
[0015][實施例]
如圖1所示的一種差分電容式微加速度計，它包括上移動板12、下移動板11和固定在上移動板12和下移動板11上的彈性梁5，所述的上移動板12和下移動板11的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板12和下移動板11之間還設(shè)置有固定極板4,所述的固定極板4為菱形。
[0016]所述的上活動極板包括左上活動極板32和右上活動極板31,所述的下活動極板包括左下活動極板22和右下活動極板21。
[0017]所述的左上活動極板32和左下活動極板22位于同一垂直面上，所述的右上活動極板31和右下活動極板21位于同一垂直面上。
[0018]所述的固定極板4位于左上活動極板32和右上活動極板31的中間。
[0019]所述的固定極板4的一條對稱軸位于左上活動極板32和左下活動極板22的中線上。
[0020]為了提高測量的精度，在固定極板4的兩側(cè)均設(shè)置有活動極板。將固定極板4設(shè)置在上活動極板和下活動極板的中間，便于對電容變化的差值進(jìn)行測量，簡化后續(xù)的信號處理電路。
[0021]本實施例的工作過程如下:
當(dāng)豎直方向的加速度作用于彈性梁5時，通過上移動板12/下移動板11可帶動上活動極板/下活動極板向下/上移動，由于固定極板4的位置不會發(fā)生變化，則固定極板4會與上活動極板和下活動極板產(chǎn)生一個差動變化的電容值，上活動極板上的電容值增大/減小，下活動極板上的電容值減小/增大，通過對差動變化的電容值的檢測即可測得加速度。
[0022]由于固定極板為菱形，上移動板12/下移動板11在移動的過程中，其變化是按一定的斜率變化的，呈現(xiàn)一定的規(guī)律，使得后續(xù)的信號處理電路的結(jié)構(gòu)變得簡單。
[0023]如上所述即為本發(fā)明的實施例。本發(fā)明不局限于上述實施方式，任何人應(yīng)該得知在本發(fā)明的啟示下做出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本發(fā)明具有相同或相近的技術(shù)方案，均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種差分電容式微加速度計，其特征在于:它包括上移動板(12)、下移動板(11)和固定在上移動板(12)和下移動板(11)上的彈性梁(5)，所述的上移動板(12)和下移動板(11)的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板(12)和下移動板(11)之間還設(shè)置有固定極板(4)，所述的固定極板(4)為菱形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種差分電容式微加速度計，其特征在于:所述的上活動極板包括左上活動極板(32)和右上活動極板(31),所述的下活動極板包括左下活動極板(22)和右下活動極板(21)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種差分電容式微加速度計，其特征在于:所述的左上活動極板(32)和左下活動極板(22)位于同一垂直面上，所述的右上活動極板(31)和右下活動極板(21)位于同一垂直面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種差分電容式微加速度計，其特征在于:所述的固定極板(4)位于左上活動極板(32)和右上活動極板(31)的中間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種差分電容式微加速度計，其特征在于:所述的固定極板(4)的一條對稱軸位于左上活動極板(32)和左下活動極板(22)的中線上。
【文檔編號】G01P15/125GK103513056SQ201310501679
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】黃友華 申請人:成都市宏山科技有限公司