可切換式探針卡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種可切換式探針卡，包括：包括多根探針；其中每根探針都用于連接測試機臺和被測試結構；其中在每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線上都布置有支路選擇裝置，用于將每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線在配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路之間進行切換。本發(fā)明有利地提供了一種能夠在一種探針卡中實現未配置電阻以及配置電阻這樣兩種探針卡結構的可切換式探針卡。
【專利說明】可切換式探針卡
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體測試領域，具體涉及晶圓級別測試，更具體地說本發(fā)明涉及一種可切換式探針卡。
【背景技術】
[0002]在全自動測試系統(tǒng)上進行晶圓級別的可靠性測試時，就會用到探針卡，探針卡的作用就是通過扎針焊墊使得測試機臺和被測試結構連通。
[0003]例如，對于某些測試應用或者對于某些公司，可靠性測試目前一般都是以特定數量的探針(例如，12根探針)的探針卡為主打。
[0004]此外，現有的探針卡會按照有無連接電阻的需求分成兩類。如圖1和圖2所示，圖1是不帶電阻的探針卡的常規(guī)探針卡走線示意圖，圖2是每根針串接電阻的探針卡的常規(guī)探針卡走線示意圖。
[0005]由此，目前需要購買以上這兩種探針卡來滿足不同測試的需求，因為有些測試是不能用加電阻的探針卡進行測試，因為會有分壓的情況發(fā)生；而有些測試一定需要用加電阻的探針卡，來防止測試過程中產生的瞬間大電流燒壞結構，然后每根針上都需串接一個1000歐姆的電阻。
[0006]由于每次在測試之前需要購買未配置電阻以及配置電阻這樣兩種探針卡，同時在測試時需要從這樣兩種探針卡中進行選擇，從而給測試帶來了不便。

【發(fā)明內容】

[0007]本發(fā)明所要解決的技術問題是針對現有技術中存在上述缺陷，提供一種能夠在一種探針卡中實現未配置電阻以及配置電阻這樣兩種探針卡結構的可切換式探針卡。
[0008]為了實現上述技術目的，根據本發(fā)明，提供了一種可切換式探針卡，其包括多根探針；其中每根探針都用于連接測試機臺和被測試結構；其中在每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線上都布置有支路選擇裝置，用于將每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線在配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路之間進行切換。
[0009]優(yōu)選地，所述支路選擇裝置包括:連接至測試機臺和被測試結構中的一個的選擇單元以及連接至測試機臺和被測試結構中的另一個的支路單元；其中，支路單元包括未連接探針電阻的第一分支和連接探針電阻的第二分支，第一分支的第一端和第二分支的第一端均連接至測試機臺和被測試結構中的所述另一個；而且其中，選擇單元可以選擇性地連接至第一分支的第二端或第二分支的第二端，從而在從測試機臺到被測試結構的走線中分別形成配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路。
[0010]優(yōu)選地，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置被聯動控制。
[0011]優(yōu)選地，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置可單獨控制。
[0012]優(yōu)選地，選擇單元為電阻切換開關。
[0013]優(yōu)選地，選擇單元為單刀雙擲開關。[0014]由此，本發(fā)明有利地提供了一種能夠在一種探針卡中實現未配置電阻以及配置電阻這樣兩種探針卡結構的可切換式探針卡。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]結合附圖，并通過參考下面的詳細描述，將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點和特征，其中:
[0016]圖1是不帶電阻的探針卡的常規(guī)探針卡走線示意圖。
[0017]圖2是每根針串接電阻的探針卡的常規(guī)探針卡走線示意圖。
[0018]圖3示意性地示出了根據本發(fā)明實施例的可切換式探針卡的示意圖。
[0019]圖4示意性地示出了根據本發(fā)明實施例的可切換式探針卡的具體結構的一個示例的示意圖。
[0020]需要說明的是，附圖用于說明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結構的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類似的元件標有相同或者類似的標號。
【具體實施方式】
[0021]為了使本發(fā)明的內容更加清楚和易懂，下面結合具體實施例和附圖對本發(fā)明的內容進行詳細描述。
[0022]圖3示意性地示出了根據本發(fā)明實施例的可切換式探針卡的示意圖。
[0023]具體地說，如圖3所示，根據本發(fā)明實施例的可切換式探針卡，包括多根探針。
[0024]例如，在圖1所示的情況下為12根探針:第一探針Al、第二探針A2、第三探針A3、第四探針A4、第五探針A5、第六探針A6、第七探針A7、第八探針AS、第九探針A9、第十探針A10、第十一探針All和第十二探針A12。但是，實際上探針的數量并不限于12根。
[0025]每根探針都用于連接測試機臺和被測試結構，其中在每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線上都布置有支路選擇裝置，用于將每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線在配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路之間進行切換。
[0026]具體地說，如圖1所示，所述支路選擇裝置包括:連接至測試機臺和被測試結構中的一個的選擇單元以及連接至測試機臺和被測試結構中的另一個的支路單元。其中，支路單元包括未連接探針電阻的第一分支和連接探針電阻的第二分支。第一分支的第一端和第二分支的第一端均連接至測試機臺和被測試結構中的所述另一個。
[0027]而且其中，選擇單元可以選擇性地連接至第一分支的第二端或第二分支的第二端，從而在從測試機臺到被測試結構的走線中分別形成配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路。
[0028]優(yōu)選地，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置被聯動控制，即所有多根探針的支路選擇裝置統(tǒng)一地連接至配置有探針電阻的支路，或者統(tǒng)一地連接至未配置有探針電阻的支路。這樣，在測試時可很方便地統(tǒng)一配置電阻或統(tǒng)一不配置電阻。
[0029]或者可選地，優(yōu)選地，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置可單獨控制，即，可以使得一部分探針的支路選擇裝置連接至配置有探針電阻的支路，同時一部分探針的支路選擇裝置連接至未配置有探針電阻的支路。這樣，在測試時可根據具體情況進行選擇。[0030]例如，在圖3所示的情況下為:第一選擇單元B1、第二選擇單元B2、第三選擇單元B3、第四選擇單元B4、第五選擇單元B5、第六選擇單元B6、第七選擇單元B7、第八選擇單元B8、第九選擇單元B9、第十選擇單元B10、第十一選擇單元Bll和第十二選擇單元B12。
[0031]例如，在圖3所示的情況下，上述十二個選擇單元相應地對應于:第一支路單元(其第二分支配有第一探針電阻R1)、第二選擇單元(其第二分支配有第二探針電阻R2)、第三選擇單元(其第二分支配有第三探針電阻R3)、第四選擇單元(其第二分支配有第四探針電阻R4)、第五選擇單元(其第二分支配有第五探針電阻R5)、第六選擇單元(其第二分支配有第六探針電阻R6)、第七選擇單元(其第二分支配有第七探針電阻R7)、第八選擇單元(其第二分支配有第八探針電阻R8)、第九選擇單元(其第二分支配有第九探針電阻R9)、第十選擇單元(其第二分支配有第十探針電阻R10)、第十一選擇單元(其第二分支配有第十一探針電阻Rll)和第十二選擇單元(其第二分支配有第十二探針電阻R12)。
[0032]在一塊探針卡的每根針上實現可以隨意切換是否串接電阻，本發(fā)明的探針卡就可以滿足目前兩種探針卡的測試需求，每根針可以隨時切換串或不串接電阻，既方便又節(jié)約成本。
[0033]更具體地，圖4示出了本發(fā)明實現的一種具體方法，其中將選擇單元實現為一個電阻切換開關，例如單刀雙擲開關。
[0034]具體地，圖4示意性地示出了根據本發(fā)明實施例的可切換式探針卡的具體結構的一個示例的示意圖。其中。在每根針的連接線路上裝上一個電阻切換開關，來選擇有無電阻的不同線路，從而實現隨意切換串與不串接電阻。探針卡加裝電阻切換開關后的示意圖。
[0035]本示例在探針卡正面加了電阻切換開關，來實現通過開關的左右切換來選擇不同的電路走線，從而達到每 根針串或不串接電阻的目的，拿一根探針的內部的電路走線舉例，通過電阻切換開關來選擇串電阻和不串接電阻的不同線路。
[0036]此外，需要說明的是，除非特別說明或者指出，否則說明書中的術語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個組件、元素、步驟之間的邏輯關系或者順序關系等。
[0037]可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然而上述實施例并非用以限定本發(fā)明。對于任何熟悉本領域的技術人員而言，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本發(fā)明技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內容，依據本發(fā)明的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案保護的范圍內。
【權利要求】
1.一種可切換式探針卡，其特征在于包括多根探針；其中每根探針都用于連接測試機臺和被測試結構；其中在每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線上都布置有支路選擇裝置，用于將每根探針的從測試機臺到被測試結構的走線在配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路之間進行切換。
2.根據權利要求1所述的可切換式探針卡，其特征在于，所述支路選擇裝置包括:連接至測試機臺和被測試結構中的一個的選擇單元以及連接至測試機臺和被測試結構中的另一個的支路單元；其中，支路單元包括未連接探針電阻的第一分支和連接探針電阻的第二分支，第一分支的第一端和第二分支的第一端均連接至測試機臺和被測試結構中的所述另一個；而且其中，選擇單元可以選擇性地連接至第一分支的第二端或第二分支的第二端，從而在從測試機臺到被測試結構的走線中分別形成配置有探針電阻的支路和未配置有探針電阻的支路。
3.根據權利要求1或2所述的可切換式探針卡，其特征在于，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置被聯動控制。
4.根據權利要求1或2所述的可切換式探針卡，其特征在于，所述可切換式探針卡的所述多根探針的所述支路選擇裝置可單獨控制。
5.根據權利要求1或2所述的可切換式探針卡，其特征在于，選擇單元為電阻切換開關。
6.根據權利要求1或2所述的可切換式探針卡，其特征在于，選擇單元為單刀雙擲開關。
【文檔編號】G01R1/073GK103592474SQ201310565680
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權日:2013年11月13日
【發(fā)明者】王炯, 周柯, 吳奇?zhèn)? 申請人:上海華力微電子有限公司