X射線成像探測器及其制造方法和制造感光元件的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種X射線成像探測器及其制造方法和制造感光元件的方法，涉及X射線工程、醫(yī)療診斷和無損測試方法領(lǐng)域，用于處理X射線可視化和圖像獲取，能夠用在X射線平板成像探測器。所述X射線成像探測器，包括：感光傳感器陣列，安裝在公用基底上，所述公用基底上的所述傳感器陣列的每個感光元件包括：感光板，基底，以及位于所述感光板和所述基底之間的、使用粘接劑固定的彈性變形中間層，所述中間層使所述感光元件具有給定厚度，并且形成具有給定平面度的感光表面，每個所述感光元件通過在所述公用基底上進(jìn)行固定，來以能夠進(jìn)行替換而不破壞所述感光表面的平面度的方式安裝到所述公用基底。
【專利說明】X射線成像探測器及其制造方法和制造感光元件的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及X射線工程、醫(yī)療診斷和無損測試方法領(lǐng)域，用于處理X射線可視化和圖像獲取，能夠用在X射線平板成像探測器。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)使用X射線檢查被檢體時，X射線穿過被檢體，然后被被檢體后面的平板探測器捕獲。X射線平板探測器是多層結(jié)構(gòu)，由作為主元件的、用于將入射輻射轉(zhuǎn)換成可見光的閃爍層，以及與閃爍層光耦合的感光陣列構(gòu)成。
[0003]感光陣列包括布置在公用基底上的感光傳感器，用來將可見光轉(zhuǎn)換成電信號。
[0004]這類復(fù)合型探測器的問題在于分辨率和靈敏度低，并且因?yàn)楦泄獗砻娴牟黄蕉霈F(xiàn)偽像(artifact)。出現(xiàn)不平可能是因?yàn)楦泄怅嚵械暮穸瘸霈F(xiàn)偏差。每個感光傳感器和探測器都是多層結(jié)構(gòu)，包括基底、感光板、以及夾在它們之間的粘接劑。感光傳感器厚度偏差的產(chǎn)生可能是因?yàn)?，例如，基底、感光板、粘接劑層的厚度出現(xiàn)偏差，以及基底與感光板的幾何形狀不一致，這種不一致導(dǎo)致起皺、凹凸不平等形狀缺陷。
[0005]已有一些技術(shù)方案致力于消除感光陣列表面的不平，例如W02010/058335 “ASSEMBLY METHOD FOR A TILED RADIATIONDETECTOR” 的技術(shù)方案。根據(jù)該技術(shù)方案，探測器包括布置在公用基底上的感光傳感器陣列。粘接劑層將傳感器陣列固定在基底上。為了消除傳感器陣列的厚度偏差，以及解決感光表面不平的困擾，該技術(shù)方案對傳感器的背面進(jìn)行拋光。該技術(shù)方案的發(fā)明人認(rèn)為，通過消除傳感器陣列厚度偏差，能夠使感光傳感器表面的平面度高。但是，根據(jù)該技術(shù)方案的制造方法，研磨不是理想方法，這是因?yàn)樵某叽缧。蚩赡軐?dǎo)致強(qiáng)度降低和元件損壞而難以進(jìn)行，另外，當(dāng)使用該技術(shù)方案的方法制造探測器時，在研磨之后需要一些附加工序來測試元件的可工作性。
[0006]又例如，根據(jù)美國專利6352875，已知一種X射線成像探測器及其制造方法。該X射線成像探測器包括感光傳感器陣列，每個傳感器由感光板和基底構(gòu)成。感光傳感器布置在公用基底上，中間夾著粘接劑，從而生成公用感光陣列表面。在探測器中，通過改變粘接劑層的厚度，使厚度不同的相鄰感光元件的基底平整，從而全部元件的感光表面位于相同的平面，生成實(shí) 用的、理想的陣列表面。
[0007]上述發(fā)明的發(fā)明人認(rèn)為，其探測器設(shè)計不包括相鄰感光元件的平面差，能使整個感光表面的平面度高，因而能解決分辨率低和探測器靈敏度的問題。但是，在上述發(fā)明中，沒有考慮感光板或基底的厚度和形狀可能與基準(zhǔn)厚度和形狀不同這一事實(shí)，這導(dǎo)致無法生成具有相同平面的元件陣列。上述設(shè)計和方法使用至少兩種具有不同特性、組分和使用方式的粘接劑。這些在制造探測器時帶來了額外的困難。
[0008]上述各方法和裝置缺乏可制造性，由于探測器難以制造，難以保證平面差的消除和表面平面度要求的滿足。此外，在制造探測器時，因?yàn)槭褂酶采w整個基底表面的粘接劑層將全部元件連接在公用基底上，因此，對于其中個別的故障元件，無法進(jìn)行替換。這種連接方式不允許在滿足整個感光陣列表面平面度要求的同時，替換故障元件。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種X射線成像探測器、探測器感光元件的制造方法、以及探測器的制造方法，使得能夠獲取高質(zhì)量的圖像，并且實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果:
[0010]-提高探測器的可制造性；
[0011]-通過消除構(gòu)成感光陣列的元件之間的平面差，使得感光陣列表面的平面度高；
[0012]-減少粘接劑層中的空隙和氣泡；
[0013]-在不破壞感光表面平面度的同時，使元件具有互換性。
[0014]為了實(shí)現(xiàn)上述目的和技術(shù)效果，本發(fā)明提供一種X射線成像探測器，包括:感光傳感器陣列，安裝在公用基底上，所述公用基底上的所述傳感器陣列的每個感光元件包括:感光板，基底，以及位于所述感光板和所述基底之間的、使用粘接劑固定的彈性變形中間層，所述中間層使所述 感光元件具有給定厚度，并且形成具有給定平面度的感光表面。
[0015]每個所述感光元件通過在所述公用基底上進(jìn)行固定，來以能夠進(jìn)行替換而不破壞所述感光表面的平面度的方式安裝到所述公用基底。
[0016]彈性變形中間層使得感光元件具有給定厚度，這使得感光元件具有相同的高度，當(dāng)安裝在公用基底上時，形成感光表面的平面度高的傳感器陣列。此外，中間層使得制造感光元件和探測器的過程極大簡化。
[0017]通過將每個感光元件以能夠替換的方式固定在公用基底上，具有可替換性，從而延長了探測器的使用壽命。并且，這種替換不破壞感光表面的平面度。
[0018]可以對上述探測器進(jìn)行各種變形，包括:
[0019]-所述彈性變形中間層是微米級的線網(wǎng)，由黃銅(brass)、銅(copper)或鋼(steel)制成。優(yōu)選不銹鋼，這是因?yàn)榫€網(wǎng)可能因接觸粘接劑而氧化。所述線網(wǎng)的尺寸等于所述感光元件的尺寸。線網(wǎng)的核心特點(diǎn)在于，它能夠與施加在基底和板表面的粘接劑層相結(jié)合。我們知道，粘接劑層的均勻性不佳，并且含有空隙和氣泡等雜志，使得在圖像中產(chǎn)生偽像。施加在基底和板表面的粘接劑層由于基底和板表面的不平而可能無法接觸到基底和板表面，這導(dǎo)致在不使用線網(wǎng)的傳統(tǒng)粘接過程中，產(chǎn)生額外的空隙，多余的粘接劑硬化并被排出。具有微米級尺寸結(jié)構(gòu)的線網(wǎng)使得粘接劑層滲入其中而成為補(bǔ)強(qiáng)構(gòu)件，使得結(jié)合強(qiáng)度更高。線網(wǎng)結(jié)構(gòu)降低了空隙的數(shù)量，顯著提高了粘接劑的均勻性，使得感光元件的板與基底之間的粘接劑層粘合更強(qiáng)、分布更均勻。線網(wǎng)的使用提高了粘接劑層的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性，防止元件感光表面上的靜電荷。
[0020]-通過將所述感光元件放置在校準(zhǔn)裝置中，來確定所述感光元件的厚度，所述校準(zhǔn)裝置例如是中空的圓筒，具有限定所述感光元件的厚度的參考高度。
[0021]-進(jìn)行固定的方式是在開口中至少部分地填充粘接劑。這種固定方式能夠解決兩個相互關(guān)聯(lián)的問題:第一，能夠單獨(dú)替換故障元件，而不破壞傳感器陣列；第二，不破壞傳感器陣列表面的平面度。為了使傳感器陣列具有高平面度，重要的是，不僅使感光元件具有相同的高度，還需要是這些感光元件所固定到的公用基底具有平的表面。因?yàn)楣没椎谋砻婵赡懿黄剑瑢?dǎo)致即使感光元件的厚度相同，固定到公用基底上的感光元件也不能得到平面度高的傳感器陣列。通過使用公用基底上的通孔并在其中填入粘接劑，公用基底表面的不平可以通過粘接劑的量來補(bǔ)償，從而保持傳感器陣列表面的平面度。[0022]為了實(shí)現(xiàn)上述目的和技術(shù)效果，本發(fā)明還提供一種探測器的感光元件制造方法，包括:制備所述感光元件，所述感光元件包括感光板和基底，在所述感光板和所述基底之間布置并使用粘接劑固定彈性變形中間層；生成所述感光元件的工件，將所述工件放入校準(zhǔn)裝置中，所述校準(zhǔn)裝置包括用于使所述感光元件具有給定厚度的易拆卸裝置，使用所述校準(zhǔn)裝置使所述感光板相對于所述基底對齊，在壓力的作用下使所述工件保持在所述校準(zhǔn)裝置中，直到所述粘接劑將所述工件固定為止。
[0023]為了實(shí)現(xiàn)上述目的和技術(shù)效果，本發(fā)明還提供一種X射線成像探測器制造方法，包括:制備感光傳感器陣列，所述傳感器陣列具有感光元件，所述感光元件包括感光板和基底，所述傳感器陣列安裝在公用基底上，在生成所述傳感器陣列之前，在所述感光板和所述基底之間布置并使用粘接劑固定彈性變形中間層；生成所述感光元件的工件，將所述工件放入校準(zhǔn)裝置中，所述校準(zhǔn)裝置包括用于使所述感光元件具有給定厚度、并且使所述感光板和所述基底對齊并具有平面度的易拆卸裝置；通過將校準(zhǔn)后的所述感光元件放入傳感器陣列校準(zhǔn)裝置，然后施加壓力以使所述感光傳感器陣列的表面具有平面度，來從校準(zhǔn)后的所述感光元件生成傳感器陣列，通過固定在所述公用基底上來將所述感光元件安裝到所述公用基底上。
[0024]在上述探測器的感光元件制造方法和X射線成像探測器制造方法中:
[0025]-所述中間層是微米級的線網(wǎng)，由黃銅、銅、鋼或不銹鋼制成，所述線網(wǎng)的尺寸等于所述感光元件的尺寸。
[0026]-所述校準(zhǔn)裝置至少包括兩個真空板，所述真空板連接到所述感光板和所述基底，用于提供豎直方向上的運(yùn)動，并且使得所述感光板和所述基底相互之間在豎直方向上和水平方向上對齊，用于使所述感光元件具有所述給定厚度的所述易拆卸裝置位于所述真空板之間。
[0027]-所述易拆卸裝置是中空的圓筒，具有與所述給定厚度相同的參考高度，在所述易拆卸裝置的內(nèi)表面具有對齊支撐部，所述支撐部位于所述易拆卸裝置的適當(dāng)高度處，所述高度由所述感光板和所述基底的幾何形狀以及所述易拆卸裝置來決定。
[0028]在上述X射線成像探測器制造方法中:
[0029]-所述傳感器陣列校準(zhǔn)裝置是真空板。
[0030]-進(jìn)行固定的方式是在開口中至少部分地填充粘接劑。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]通過參考附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明，來說明本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)，其中:
[0032]圖1示出X射線成像探測器的整體示意圖(簡化)；
[0033]圖2示出根據(jù)技術(shù)方案5的方法制造的傳感器陣列的感光元件；
[0034]圖3~5使用在進(jìn)行X射線成像探測器的感光元件的制造方法過程中的感光元件的圖來對該方法進(jìn)行說明，其中，圖3示出在放入校準(zhǔn)裝置之前，基底、感光板和彈性變形中間層的初始位置，圖4示出在校準(zhǔn)裝置中感光元件的形成過程，圖5示出放入校準(zhǔn)裝置中的感光元件；
[0035]圖6~7示出根據(jù)技術(shù)方案9的方法制造的探測器(簡化)。
[0036]附圖標(biāo)記說明[0037]I:X射線成像探測器
[0038]2:感光元件
[0039]3:用基底
[0040]4:元件2的感光板
[0041]4a:感光板4的工作(active)側(cè)
[0042]4b:感光板4的背面?zhèn)?br> [0043]5:感光元件2的半導(dǎo)體基底 [0044]6:粘接劑
[0045]7:彈性變形中間層
[0046]8:校準(zhǔn)裝置
[0047]9:第一真空板
[0048]10:第二真空板
[0049]11:用于設(shè)置感光元件4的厚度的易拆卸裝置
[0050]12:真空開口
[0051]13:真空板
[0052]14:針對固定元件2的開口
[0053]15:針對固定元件2的粘接劑
【具體實(shí)施方式】
[0054]X射線成像探測器1(圖1)是多層結(jié)構(gòu)，包括由布置在公用基底3上的感光元件2構(gòu)成的傳感器陣列，公用基底3可以是鋁硅合金(CE7)。相互相接的感光元件2對齊在一個平面上，從而形成感光表面。圖1示出形成傳感器陣列的一個可能的例子，其具有2X2感光元件布置?？梢孕纬蒑XN傳感器陣列，其中，M、N≥I。
[0055]根據(jù)本發(fā)明，圖2示意性示出感光元件2，其與探測器類似具有組裝在一起的多層結(jié)構(gòu)，包括由例如鋁硅合金(CE7)形成的基底5，以及由硅(Si)形成的感光板4。在感光板4與相應(yīng)基底5之間，使用粘接劑6固定有彈性變形中間層7，該彈性變形中間層7可以由微米級的線網(wǎng)(wire mesh)(不銹鋼)形成，其中線的直徑為40微米(μ m)。
[0056]作為粘接劑6，可以使用例如Thermopox85CT。感光元件2的平行度的偏差容差值至少為3 μ m。
[0057]圖3~5示意性示出在制造感光元件2的過程中的感光元件2。
[0058]圖3示出感光元件2的感光板4和基底5的制備過程，其中，基底5的內(nèi)表面和感光板4的背面?zhèn)?b被作為粘接劑6的Therm0p0X85CT所覆蓋，粘接劑6具有高導(dǎo)熱性，并能防止靜電荷。粘接劑6使用已知的方法(例如，絲網(wǎng)印刷)涂布在基底5的內(nèi)表面和感光板4的背面?zhèn)?b。
[0059]圖4示出感光元件2的工件在校準(zhǔn)裝置8中的形成過程。校準(zhǔn)裝置8包括第一真空板9和第二真空板10，使得感光板4和基底5在豎直方向上運(yùn)動，并且在豎直方向和水平方向上相互對齊。
[0060]用于設(shè)置感光元件2的厚度的易拆卸裝置11放置在兩個真空板之間。易拆卸裝置11呈空心的圓筒狀，具有參考高度B。作為參考值的高度B等于包括厚度偏差容差值在內(nèi)的實(shí)際感光元件的標(biāo)稱厚度，標(biāo)注在給定元件的規(guī)格中。對于這種類型的感光元件來說，該值為 5±0.003 μ m。
[0061]圖5示出根據(jù)本發(fā)明的、使用校準(zhǔn)裝置8組裝的感光元件2。圖4~5示出的校準(zhǔn)裝置8包括第一真空板9和第二真空板10，該第一真空板9和第二真空板10具有真空開口 12，用于分別固定感光板4和基底5。真空板9、10的表面與易拆卸裝置11的相鄰基面具有幾乎相同的平面度偏差容差值I μ m。
[0062]圖6~7示意性示出X射線成像探測器的制造過程。每個感光元件2放置成其工作側(cè)4a位于傳感器陣列校準(zhǔn)裝置上，具體來說，放置在具有用于固定傳感器陣列元件的開口 12的真空板13上。在所生成的傳感器陣列上，放置基底3，基底3具有用于使用粘接劑15固定元件2的開口 14。
[0063]X射線成像探測器如下制造。
[0064]圖3示出感光元件2的工件的生成。背面?zhèn)?b具有粘接劑6的感光板4以其工作側(cè)4a位于第一真空板9上的方式放置。真空板9使用真空開口 12固定感光板4。由微米級的線網(wǎng)形成的彈性變形中間層7放置在粘接劑6上。真空板10使用真空開口 12固定基底5，基底5的內(nèi)側(cè)覆蓋有粘接劑6。涂布在基底和板表面的粘接劑的厚度不超過50 μ m。因?yàn)閴毫Σ?，硅?和鋁硅合金基底5被迅速、牢固、安全地固定在真空板上。真空板的使用能夠避免因接觸硅板4和鋁硅合金基底5而導(dǎo)致的表面彎曲和其它變形。 [0065]然后，將呈空心的圓筒狀的易拆卸裝置11 (圖4)放置在真空板9上，其中，板4位于易拆卸裝置11的空腔中。
[0066]易拆卸裝置11的參考高度B等于實(shí)際感光元件的標(biāo)稱厚度，這有兩個作用:(I)使板和基底相互對齊和固定，從而能將板和基底固定在給定的位置，并且使它們相互間隔給定的距離。這可以通過例如對齊支撐部(centering support)(未圖示)來實(shí)現(xiàn)，這些支撐部位于易拆卸裝置的適當(dāng)高度處，由感光板和基底的幾何形狀來決定。(2)具有參考高度B的易拆卸裝置11對于每個感光元件工件來說都規(guī)定了相同的厚度，因此，能夠生成具有相同高度(相同厚度)的感光元件。
[0067]此外，固定有基底5的第二真空板10豎直向下運(yùn)動，直到真空板10的表面與圓筒11的另一基部相接觸。真空板9~10與圓筒11基部的相鄰表面之間的平面度容差為I μ m0
[0068]在被放置并被固定的感光元件工件中(圖5)，當(dāng)形成它們時，感光板4與基底5之間的距離保持恒定，它們之間的線網(wǎng)7變形，從而提供額外的基底對板的彈性斥力。薄的容易變形的線網(wǎng)將硅板與基底表面緊密結(jié)合，從而補(bǔ)償相鄰表面之間可能存在的不貼合。線網(wǎng)的變形伴隨著粘接劑6在板與基底表面之間的空間中在長、寬方向上重新分布。線網(wǎng)使得各工件相互之間更牢固的固定，并且減少氣泡數(shù)量和尺寸，從而提高粘接劑層在感光板和基底之間的均勻性。
[0069]在生成了工件并將其置于校準(zhǔn)裝置8內(nèi)之后，硅板和鋁硅合金基底牢固地相互固定，因此，由板4、基底5、微米級的線網(wǎng)7以及它們之間的粘接劑6構(gòu)成組裝單元。感光元件具有與中空的圓筒的參考高度相同的高度B (5±0.003 μ m)。
[0070]然后，生成探測器傳感器陣列(圖6~7)。為此，在真空板13上，相互獨(dú)立地制造的、厚度相同的感光元件2以其工作側(cè)4a面對透明表面的方式來布置。使用顯微鏡(未圖示)逐個像素地進(jìn)行元件的平滑，然后通過開口 12排氣，從而將元件壓到真空板13上。然后，放置具有開口 14的公用基底3，從而形成傳感器陣列。其中，每個感光元件的開口的數(shù)量應(yīng)該等于至少兩個。在這些開口中部分或全部填充粘接劑15 (例如，MIL-A48611 (MU) “MILBOND”)。根據(jù)本發(fā)明，每個元件2獨(dú)立地固定到基底，而非全部元件粘接到公用的粘接劑層。因此，本發(fā)明的將元件2固定到基底3的方法能夠替換故障元件，而無需破壞傳感器陣列的完整性和感光表面的平面度。為了進(jìn)行替換，需要將粘接劑15從開口 14中鉆出。
[0071]根據(jù)本發(fā)明的方法，制造了 3X2陣列的X射線成像探測器的產(chǎn)品原型。每個感光元件是根據(jù)相同的方法制造的。決定感光元件的尺寸的硅板尺寸為8英寸。每個感光元件的厚度為5_，其中，板的工作側(cè)的最大平面度偏差容差為0.0025_。在感光元件中，硅板與基底之間的平行度偏差為0.003mm,由這樣的感光元件形成的傳感器陣列的整個表面的平面度的偏差為0.005mm。
[0072]因此，本發(fā)明的解決方案因?yàn)橐韵嗤暮穸刃纬筛泄庠?，因而能夠使感光傳感器陣列的表面具有高的平面度。每個感光元件的幾何形狀統(tǒng)一，連續(xù)放置在公用基底上，固定在其上，從而形成表面平面度高的傳感器陣列。本發(fā)明的有益效果在于，能夠替換感光元件而不破壞傳感器陣列的完整性和感光表面的平面度，這是因?yàn)?，為了替換故障元件，可以將新的、具有相同幾何形狀參數(shù)的元件放置在上面。
[0073]本申請的獨(dú)立權(quán)利要求所涉及的內(nèi)容可以通過本申請記載的方式和/或已知的工具、方法來實(shí)施。因此，本發(fā)明的產(chǎn)品和方法滿足產(chǎn)業(yè)利用性。
[0074]本申請的說明書中對本發(fā)明的描述僅是示例性的，本發(fā)明不限于此。本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在權(quán)利要求書的范圍內(nèi)對本發(fā)明進(jìn)行各種變形。
【權(quán)利要求】
1.一種X射線成像探測器，其特征在于，包括: 感光傳感器陣列，安裝在公用基底上，所述公用基底上的所述傳感器陣列的每個感光元件包括:感光板，基底，以及位于所述感光板和所述基底之間的、使用粘接劑固定的彈性變形中間層， 所述中間層使所述感光元件具有給定厚度，并且形成具有給定平面度的感光表面， 每個所述感光元件通過在所述公用基底上進(jìn)行固定，來以能夠進(jìn)行替換而不破壞所述感光表面的平面度的方式安裝到所述公用基底。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線成像探測器，其特征在于，所述彈性變形中間層是微米級的線網(wǎng)，由黃銅、銅、鋼或不銹鋼制成，所述線網(wǎng)的尺寸等于所述感光元件的尺寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線成像探測器，其特征在于，通過將所述感光元件放置在校準(zhǔn)裝置中，來初步確定所述感光元件的厚度，所述校準(zhǔn)裝置包括用于設(shè)置所述給定厚度的易拆卸裝置，所述易拆卸裝置是中空的圓筒，具有限定所述給定厚度的參考高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線成像探測器，其特征在于，進(jìn)行固定的方式是在開口中至少部分地填充粘接劑。
5.一種探測器的感光元件制造方法，其特征在于，包括: 制備所述感光元件，所述感光元件包括感光板和基底，在所述感光板和所述基底之間布置并使用粘接劑固定彈性變形中間層； 生成所述感光元件的工件，將所述工件放入校準(zhǔn)裝置中，所述校準(zhǔn)裝置包括用于使所述感光元件具有給定厚度的易拆卸裝置，使用所述校準(zhǔn)裝置使所述感光板相對于所述基底對齊，在壓力的作用下使所述工件保持在所述校準(zhǔn)裝置中，直到所述粘接劑將所述工件固定為止。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光元件制造方法，其特征在于，所述中間層是微米級的線網(wǎng)，由黃銅、銅、鋼或不銹鋼制成，所述線網(wǎng)的尺寸等于所述感光元件的尺寸。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光元件制造方法，其特征在于，所述校準(zhǔn)裝置至少包括兩個真空板，所述真空板連接到所述感光板和所述基底，用于提供豎直方向上的運(yùn)動，并且使得所述感光板和所述基底相互之間在豎直方向上和水平方向上對齊，用于使所述感光元件具有所述給定厚度的所述易拆卸裝置位于所述真空板之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或7所述的感光元件制造方法，其特征在于，所述易拆卸裝置是中空的圓筒，具有與所述給定厚度相同的參考高度，在所述易拆卸裝置的內(nèi)表面具有對齊支撐部，所述支撐部位于所述易拆卸裝置的適當(dāng)高度處，所述高度由所述感光板和所述基底的幾何形狀以及所述易拆卸裝置來決定。
9.一種X射線成像探測器制造方法，其特征在于，包括: 制備感光傳感器陣列，所述傳感器陣列具有感光元件，所述感光元件包括感光板和基底，所述傳感器陣列安裝在公用基底上，在生成所述傳感器陣列之前，在所述感光板和所述基底之間布置并使用粘接劑固定彈性變形中間層； 生成所述感光元件的工件，將所述工件放入校準(zhǔn)裝置中，所述校準(zhǔn)裝置包括用于使所述感光元件具有給定厚度、并且使所述感光板和所述基底對齊并具有平面度的易拆卸裝置； 通過將校準(zhǔn)后的所述感光元件放入傳感器陣列校準(zhǔn)裝置，然后施加壓力以使所述感光傳感器陣列的表面具有平面度，來從校準(zhǔn)后的所述感光元件生成傳感器陣列，通過固定在所述公用基底上來將所述感光元件安裝到所述公用基底上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線成像探測器制造方法，其特征在于，所述中間層是微米級的線網(wǎng)，由黃銅、銅、鋼或不銹鋼制成，所述線網(wǎng)的尺寸等于所述感光元件的尺寸。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線成像探測器制造方法，其特征在于，所述校準(zhǔn)裝置至少包括兩個真空板，所述真空板連接到所述感光板和所述基底，用于提供豎直方向上的運(yùn)動，并且使得所述感光板和所述基底相互之間在豎直方向上和水平方向上對齊，用于使所述感光元件具有所述給定厚度的所述易拆卸裝置位于所述真空板之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求9或11所述的X射線成像探測器制造方法，其特征在于，所述易拆卸裝置是中空的圓筒，具有與所述給定厚度相同的參考高度，在所述易拆卸裝置的內(nèi)表面具有對齊支撐部，所述支撐部位于所述易拆卸裝置的適當(dāng)高度處，所述高度由所述感光板和所述基底的幾何形狀以及所述易拆卸裝置來決定。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線成像探測器制造方法，其特征在于，所述傳感器陣列校準(zhǔn)裝置是真空板。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線成像探測器制造方法，其特征在于，進(jìn)行固定的方式是在開口中至少部分地填充粘接劑。
【文檔編號】G01N23/04GK103839954SQ201310593723
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月21日
【發(fā)明者】V.O.萊勃尼, V.B.克勞澤 申請人:伊姆普斯封閉式股份有限公司