接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法，其中，所述接口轉(zhuǎn)換檢測裝置包括：接口轉(zhuǎn)換器，所述接口轉(zhuǎn)換器與接口連接，用以保護(hù)所述接口；檢測器，所述檢測器與接口轉(zhuǎn)換器連接，用以通過所述接口轉(zhuǎn)換器檢測所述接口。所述接口檢測方法包括：檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口；接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器；檢測器根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)，并輸出接口狀態(tài)。在此，通過接口轉(zhuǎn)換器保護(hù)接口并且還通過檢測器接口，由此既能夠?qū)崿F(xiàn)對接口的保護(hù)以防止/減少接口發(fā)生損壞；又能夠在接口發(fā)生損壞的情況下，及時、方便的得出其損壞原因/狀態(tài)。
【專利說明】接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于日益復(fù)雜的集成電路、材料和工藝的迅速引入，在今天的硅片制造中幾乎不可能每個芯片都符合規(guī)格要求。為糾正制作過程中的問題，并確保有缺陷的芯片不會被送到客戶手里，在集成電路制造過程中引入了芯片測試(CP，Circuit Probing)。芯片測試是為了檢驗規(guī)格的一致性而在硅片級集成電路上進(jìn)行的電學(xué)參數(shù)測量和功能測試。測試可以檢驗出各芯片是否具有可接受的電學(xué)性能和完整的功能，其測試過程中使用的電學(xué)規(guī)格隨測試目的的不同而有所不同。如果芯片測試不完善，就可能造成更多的產(chǎn)品在客戶使用過程中失效，最終給芯片制造者帶來嚴(yán)重的后果。為此在集成電路的制造過程中引入能夠及早發(fā)現(xiàn)工藝問題和將不良的芯片挑選出來的芯片測試是必不可少的。
[0003]芯片測試系統(tǒng)通常包括:測試機(jī)(Automatic Test Equipment, ATE),測試機(jī)是能夠在測試結(jié)構(gòu)上快速、準(zhǔn)確、重復(fù)地測量亞微安級電流和毫伏級電壓的自動裝置。通常的，測試機(jī)上設(shè)置有插座，通過一帶有插針的數(shù)據(jù)線，所述測試機(jī)便能夠?qū)y試信號發(fā)送給外部設(shè)備，或者從外部設(shè)備上接收反饋信號。其中，插座和插針通常統(tǒng)稱為接口，其是實現(xiàn)測試機(jī)測試信號輸出以及反饋信號接收的重要部件。在測試機(jī)的使用過程中，插座和插針會被反復(fù)插拔，對于很多測試機(jī)，例如V50測試機(jī)，如此的反復(fù)插拔往往會造成插座和插針的損壞，從而不利用測試機(jī)臺的使用。此外，在插座和插針發(fā)生損壞后，特別是插針，其更容易發(fā)生針頭短路等損壞，也很難檢測出是什么損壞，例如是哪幾根針頭發(fā)生短路等。
[0004]綜上，如何保護(hù)接口(插座和插針)，以及在接口發(fā)生損壞后，如何得到其損壞原因/狀態(tài)，成了本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中接口容易發(fā)生損壞以及損壞后不易得出其損壞原因/狀態(tài)的問題。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，所述接口轉(zhuǎn)換檢測裝置包括:
[0007]接口轉(zhuǎn)換器，所述接口轉(zhuǎn)換器與接口連接，用以保護(hù)所述接口 ；
[0008]檢測器，所述檢測器與接口轉(zhuǎn)換器連接，用以通過所述接口轉(zhuǎn)換器檢測所述接口。
[0009]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，所述接口轉(zhuǎn)換器包括插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器，所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器匹配；其中，所述插座轉(zhuǎn)換器與所述接口的插座連接，用以保護(hù)所述插座；所述插針轉(zhuǎn)換器與所述接口的插針連接，用以保護(hù)所述插針。
[0010]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，
[0011]當(dāng)所述插座和插針需要連接時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器連接而實現(xiàn)所述插座和插針連接；
[0012]當(dāng)所述插座和插針需要分開時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器分開而實現(xiàn)所述插座和插針分開，此時，所述插座轉(zhuǎn)換器與插座仍舊連接，所述插針轉(zhuǎn)換器與插針仍舊連接。
[0013]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，所述檢測器包括:信號發(fā)生器、信號接收器、信號分析器及輸出器；其中，
[0014]所述信號發(fā)生器用以輸出檢測接口的檢測信號；
[0015]所述信號接收器用以接收接口對于檢測信號的反饋信號；
[0016]所述信號分析器用以根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)；
[0017]所述輸出器用以輸出接口狀態(tài)。
[0018]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，所述檢測信號包括高電平信號及高阻信號。
[0019]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，所述反饋信號包括高電平信號及低電平信號。
[0020]可選的，在所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置中，所述接口狀態(tài)包括短路及正常。
[0021]本發(fā)明還提供一種接口檢測方法，所述接口檢測方法使用上述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，所述接口檢測方法包括:
[0022]檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口 ；
[0023]接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器；
[0024]檢測器根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)，并輸出接口狀態(tài)。
[0025]可選的，在所述的接口檢測方法中，檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口包括:
[0026]信號發(fā)生器向一根被測針頭輸出高電平信號，向其余被測針頭輸出高阻信號。
[0027]可選的，在所述的接口檢測方法中，接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器包括:
[0028]被測針頭輸出高電平信號或者低電平信號。
[0029]可選的，在所述的接口檢測方法中，檢測器得到的接口狀態(tài)包括短路及正常。
[0030]在本發(fā)明提供的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法中，通過接口轉(zhuǎn)換器保護(hù)接口并且還通過檢測器接口，由此既能夠?qū)崿F(xiàn)對接口的保護(hù)以防止/減少接口發(fā)生損壞；又能夠在接口發(fā)生損壞的情況下，及時、方便的得出其損壞原因/狀態(tài)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1是本發(fā)明實施例的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置的框結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖2是本發(fā)明實施例的接口與接口轉(zhuǎn)換器的連接示意圖；
[0033]圖3是本發(fā)明實施例的接口檢測方法的流程示意圖。
【具體實施方式】
[0034]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0035]請參考圖1，其為本發(fā)明實施例的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置的框結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述接口轉(zhuǎn)換檢測裝置包括:
[0036]接口轉(zhuǎn)換器2，所述接口轉(zhuǎn)換器2與接口 I連接，用以保護(hù)所述接口 I ;
[0037]檢測器3，所述檢測器3與接口轉(zhuǎn)換器2連接，用以通過所述接口轉(zhuǎn)換器2檢測所述接口 I。
[0038]具體的，請參考圖2，其為本發(fā)明實施例的接口與接口轉(zhuǎn)換器的連接示意圖。如圖2所示，所述接口轉(zhuǎn)換器2包括插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21，所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21匹配；其中，所述插座轉(zhuǎn)換器20與所述接口 I的插座10連接，用以保護(hù)所述插座10 ;所述插針轉(zhuǎn)換器21與所述接口 I的插針11連接，用以保護(hù)所述插針11。
[0039]在本實施例中，所述插座轉(zhuǎn)換器20與插座10主要通過插合在一起予以連接，所述插針轉(zhuǎn)換器21與插針11也主要通過插合在一起予以連接，所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21的匹配為所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21能夠插合在一起。也就是說，在本實施例中，所述插座10與插針11之間的插合通過所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21之間的插合予以代替/實現(xiàn)。
[0040]進(jìn)一步的，當(dāng)所述插座10和插針11需要連接時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21連接而實現(xiàn)所述插座10和插針11連接；當(dāng)所述插座10和插針11需要分開時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器20和插針轉(zhuǎn)換器21分開而實現(xiàn)所述插座10和插針11分開，此時，所述插座轉(zhuǎn)換器20與插座10仍舊連接，所述插針轉(zhuǎn)換器21與插針11仍舊連接。也就是說，所述插座轉(zhuǎn)換器20與插座10連接后基本不再分開，所述插針轉(zhuǎn)換器21與插針11連接后也基本不再分開。從而避免了所述插座10和插針11被反復(fù)插拔所導(dǎo)致的損壞，進(jìn)而保護(hù)了所述插座10和插針11。
[0041]在本實施例中，所述檢測器3包括:信號發(fā)生器30、信號接收器32、信號分析器31及輸出器33 ;其中，
[0042]所述信號發(fā)生器30用以輸出檢測接口 I的檢測信號；
[0043]所述信號接收器32用以接收接口 I對于檢測信號的反饋信號；
[0044]所述信號分析器31用以根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)；
[0045]所述輸出器33用以輸出接口狀態(tài)。
[0046]在本實施例中，所述輸出器33為一顯示器。具體的，所述檢測信號包括高電平信號及高阻信號；所述反饋信號包括高電平信號及低電平信號；所述接口狀態(tài)包括短路及正
堂
巾o
[0047]相應(yīng)的，本實施例還提供了一種使用上述接口轉(zhuǎn)換檢測裝置進(jìn)行接口檢測的方法，所述接口檢測方法包括:
[0048]步驟S40:檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口 ；
[0049]步驟S41:接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器；
[0050]步驟S42:檢測器根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)，并輸出接口狀態(tài)。[0051]具體的，檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口包括:信號發(fā)生器向一根被測針頭輸出高電平信號，向其余被測針頭輸出高阻信號。通常的，插針更容易發(fā)生針頭短路等損壞，因此本實施例主要對針頭進(jìn)行檢測。以V50接口為例，其中，V50接口的插針具有兩種結(jié)構(gòu)，一種結(jié)構(gòu)具有68個針頭，另一種結(jié)構(gòu)具有50個針頭。在68個針頭的結(jié)構(gòu)中，第35?68個針頭為接地針頭，因此關(guān)鍵是要檢測第I?34個針頭的狀態(tài)，主要是檢測第I?34個針頭之間是否發(fā)生短路；在50個針頭的結(jié)構(gòu)中，第26?50個針頭為接地針頭，因此關(guān)鍵是要檢測第I?25個針頭的狀態(tài)，主要是檢測第I?25個針頭之間是否發(fā)生短路。
[0052]在此，以檢測68個針頭的結(jié)構(gòu)中，第I個針頭與其余33個針頭之間是否發(fā)生短路為例，則向第I個針頭輸出高電平信號，向其余33個針頭輸出高阻信號。接著，獲取其余33個針頭的反饋信號，若第25個針頭的反饋信號為高電平信號，則說明第I個針頭與第25個針頭之間短路；若其余32個針頭的反饋信號均為低電平信號，則說明第I個針頭與其余32個針頭之間正常。由此，便能夠很清晰、方便地得到針頭損壞的原因/狀態(tài)。
[0053]綜上所述，在本發(fā)明實施例提供的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置及接口檢測方法中，通過接口轉(zhuǎn)換器保護(hù)接口并且還通過檢測器接口，由此既能夠?qū)崿F(xiàn)對接口的保護(hù)以防止/減少接口發(fā)生損壞；又能夠在接口發(fā)生損壞的情況下，及時、方便的得出其損壞原因/狀態(tài)。
[0054]上述描述僅是對本發(fā)明較佳實施例的描述，并非對本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，包括: 接口轉(zhuǎn)換器，所述接口轉(zhuǎn)換器與接口連接，用以保護(hù)所述接口 ； 檢測器，所述檢測器與接口轉(zhuǎn)換器連接，用以通過所述接口轉(zhuǎn)換器檢測所述接口。
2.如權(quán)利要求1所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，所述接口轉(zhuǎn)換器包括插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器，所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器匹配；其中，所述插座轉(zhuǎn)換器與所述接口的插座連接，用以保護(hù)所述插座；所述插針轉(zhuǎn)換器與所述接口的插針連接，用以保護(hù)所述插針。
3.如權(quán)利要求2所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于， 當(dāng)所述插座和插針需要連接時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器連接而實現(xiàn)所述插座和插針連接； 當(dāng)所述插座和插針需要分開時，通過所述插座轉(zhuǎn)換器和插針轉(zhuǎn)換器分開而實現(xiàn)所述插座和插針分開，此時，所述插座轉(zhuǎn)換器與插座仍舊連接，所述插針轉(zhuǎn)換器與插針仍舊連接。
4.如權(quán)利要求1~3中任一項所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，所述檢測器包括:信號發(fā)生器、信號接收器、信號分析器及輸出器；其中， 所述信號發(fā)生器用以輸出檢測接口的檢測信號； 所述信號接收器用以接收接口對于檢測信號的反饋信號； 所述信號分析器用以根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)； 所述輸出器用以輸出接口狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求4所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，所述檢測信號包括高電平信號及高阻信號。
6.如權(quán)利要求5所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，所述反饋信號包括高電平信號及低電平信號。
7.如權(quán)利要求4所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，其特征在于，所述接口狀態(tài)包括短路及正常。
8.一種接口檢測方法，使用如權(quán)利要求1~7中任一項所述的接口轉(zhuǎn)換檢測裝置，包括: 檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口 ； 接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器； 檢測器根據(jù)反饋信號得到接口狀態(tài)，并輸出接口狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求8所述的接口檢測方法，其特征在于，檢測器發(fā)出檢測信號，所述檢測信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至接口包括: 信號發(fā)生器向一根被測針頭輸出高電平信號，向其余被測針頭輸出高阻信號。
10.如權(quán)利要求9所述的接口檢測方法，其特征在于，接口在所述檢測信號的作用下，輸出反饋信號，所述反饋信號通過接口轉(zhuǎn)換器傳輸至檢測器包括: 被測針頭輸出高電平信號或者低電平信號。
11.如權(quán)利要求10所述的接口檢測方法，其特征在于，檢測器得到的接口狀態(tài)包括短路及正常。
【文檔編號】G01R31/02GK103605099SQ201310597669
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月22日
【發(fā)明者】王玉龍, 徐惠, 牛勇, 凌儉波, 吳勇佳 申請人:上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司