多量程的叉指電容加速度計的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種多量程的叉指電容加速度計，其特征是：包括六個量程不同的加速度計結(jié)構(gòu)，每個單元結(jié)構(gòu)包括基底及結(jié)構(gòu)層，結(jié)構(gòu)層包括上下錨點、左右彈性梁、質(zhì)量塊、左右錨點；所述上下錨點和質(zhì)量塊上分別設(shè)有極板組；每個傳感器單元的大小不同。工作時，不同量程的六個單元加速度計結(jié)構(gòu)進行分段加速度測量的方式，從而通過一個傳感器陣列來提高測量范圍，彌補了單個傳感器測量范圍的不足，傳感器可以在測量范圍和靈敏度之間選擇，實現(xiàn)了傳感器的智能化。提高了電容式壓力傳感器的靈敏度和測量范圍，并與CMOS工藝兼容。本發(fā)明所述電容加速度計的靈敏度高，提高了可制造性，制造成本低。
【專利說明】多量程的叉指電容加速度計
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多量程的叉指電容加速度計，尤其是一種基于CMOS DPTM(DoublePoly Triple Metal)混合信號工藝的多量程單彈性梁MEMS CMOS加速度計，屬于MEMS器件設(shè)計制造【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]慣性測量是MEMS技術(shù)的一個主要應用方面，集成慣性傳感器有著廣泛的應用領(lǐng)域，包括汽車工程，航空導航，消費電子和軍事運用等方面。如今主流的加速度檢測技術(shù)有:電容檢測技術(shù)、壓阻檢測技術(shù)以及隧道效應電流檢測技術(shù)。相比于其它技術(shù)，電容檢測在以下幾點有突出的優(yōu)勢:低的溫度系數(shù)、低功耗、良好的噪聲性能，低的制造成本以及可以和現(xiàn)有的VLSI技術(shù)兼容性。這一系列的優(yōu)勢使基于叉指電容加速度計有著巨大的市場潛力，也使這方面的研究成為熱點。傳統(tǒng)電容式加速度計傳感器芯片存在以下主要缺點:(1)無法使其與CMOS工藝兼容，傳感器芯片的CMOS工藝集成化是傳感器研究和發(fā)展的趨勢；
[2]單一的量程，只能針對某一特定的量程范圍進行測試，使其不能得到最大限度的使用，造成資源的浪費。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種多量程的叉指電容加速度計，靈敏度高，量程范圍大、可制造性高，制造成本低。
[0004]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述多量程的叉指電容加速度計，其特征是:包括連接在一起的第一傳感器單元、第二傳感器單元、第三傳感器單元、第四傳感器單元、第五傳感器單元和第六傳感器單元，第一傳感器單元、第二傳感器單元、第三傳感器單元、第四傳感器單元、第五傳感器單元和第六傳感器單元分別具有兩個輸出端，第一傳感器單元、第二傳感器單元、第三傳感器單元、第四傳感器單元、第五傳感器單元和第六傳感器單元的輸入端由金屬連線合并連接；所述第一傳感器單元、第二傳感器單元、第三傳感器單元、第四傳感器單元、第五傳感器單元和第六傳感器單元分別包括基底及基底上的結(jié)構(gòu)層，結(jié)構(gòu)層包括上錨點、下錨點、左彈性梁、右彈性梁、質(zhì)量塊、左錨點和右錨點，質(zhì)量塊的左端通過左彈性梁連接左錨點，質(zhì)量塊的右端通過右彈性梁連接右錨點，質(zhì)量塊分成若干部分，每部分之間均由連接梁連接；所述上錨點靠近質(zhì)量塊的側(cè)面、以及下錨點靠近質(zhì)量塊的側(cè)面上設(shè)有呈梳齒狀排列的極板組，每對極板組包括第一極板和第二極板，質(zhì)量塊的上、下側(cè)面分別設(shè)有呈梳齒狀排列與極板組交錯配置的第三極板，每對極板組位于兩個第三極板的空隙之間。
[0005]所述第一傳感器單元、第二傳感器單元、第三傳感器單元、第四傳感器單元、第五傳感器單元和第六傳感器單元的極板的大小不同。
[0006]所述第三極板、左彈性梁、右彈性梁、質(zhì)量塊和連接梁的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第
一介質(zhì)層、第一金屬層、第二介質(zhì)層、第二金屬層、第三介質(zhì)層、第三金屬層和鈍化層，第一金屬層和第二金屬層由設(shè)置在第二介質(zhì)層中的第一鎢塞連接，第二金屬層和第三金屬層由設(shè)置在第三介質(zhì)層中的第二鎢塞連接；在第三極板、左彈性梁、右彈性梁、質(zhì)量塊和連接梁的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底的側(cè)墻，側(cè)墻由鈍化層的上表面延伸至基底的上表面，在第三極板、左彈性梁、右彈性梁、質(zhì)量塊和連接梁結(jié)構(gòu)層下部的基底上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)。
[0007]所述第一極板的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層、第一金屬層、第二介質(zhì)層、第二金屬層、第三介質(zhì)層和鈍化層，第一金屬層和第二金屬層由設(shè)置在第二介質(zhì)層中的第一鎢塞連接；在第一極板的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底的側(cè)墻，側(cè)墻由鈍化層的上表面延伸至基底的上表面，在第一極板結(jié)構(gòu)層下部的基底上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)。
[0008]所述第二極板的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層、第二介質(zhì)層、第三介質(zhì)層、第三金屬層和鈍化層；在第二極板的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底的側(cè)墻，側(cè)墻由鈍化層的上表面延伸至基底的上表面，在第二極板結(jié)構(gòu)層下部的基底上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)。
[0009]所述上錨點和下錨點上包括第一凹陷部和第一凸出部；所述第一凸出部的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層、第二介質(zhì)層、第三介質(zhì)層、第三金屬層和鈍化層；所述第一凹陷部的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層、第一金屬層、第二介質(zhì)層、第二金屬層和第三介質(zhì)層，第一金屬層和第二金屬層由設(shè)置在第二介質(zhì)層中的第一鶴塞連接。
[0010]所述左錨點和右錨點上包括第二凹陷部和第二凸出部；所述第二凸出部的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層第一金屬層、第二介質(zhì)層、第二金屬層、第三介質(zhì)層、第三金屬層和鈍化層，第一金屬層和第二金屬層由設(shè)置在第二介質(zhì)層中的第一鶴塞連接，第二金屬層和第三金屬層由設(shè)置在第三介質(zhì)層中的第二鎢塞連接；所述第二凹陷部的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層、第一金屬層、第二介質(zhì)層、第二金屬層和第三介質(zhì)層，第一金屬層和第二金屬層由設(shè)置在第二介質(zhì)層中的第一鎢塞連接。
[0011 ] 所述基底為娃基底。
[0012]所述懸空結(jié)構(gòu)在寬度方向上由基底的一側(cè)向基底的另一側(cè)延伸，且懸空結(jié)構(gòu)的寬度小于基底的寬度；所述懸空結(jié)構(gòu)在高度方向上由基底的上表面向基底的下表面延伸，且懸空結(jié)構(gòu)的高度小于基底的高度。
[0013]本發(fā)明采用了不同量程的六個加速度計傳感器進行分段測量的方式，從而通過一個傳感器陣列來提高測量范圍，彌補了單個傳感器測量范圍的不足，傳感器工作時可以在測量范圍和靈敏度之間選擇，實現(xiàn)了傳感器的智能化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明所述加速度計的俯視圖。
[0015]圖2為本發(fā)明所述傳感器單元的俯視圖。
[0016]圖3為第三極板、左彈性梁、右彈性梁、質(zhì)量塊和連接梁的剖視圖。
[0017]圖4為第一極板的剖視圖。
[0018]圖5為第二極板的剖視圖。
[0019]圖6為上錨點和下錨點的剖視圖。
[0020]圖7為左錨點和右錨點的剖視圖。
[0021]圖中的序號為:圖中的序號為:上錨點1-1、下錨點1-2、第一極板2-1、第二極板2-2、第三極板2-3、左彈性梁3-1、右彈性梁3-2、質(zhì)量塊4、連接梁5、左錨點6_1、右錨點6-2、基底10、第一介質(zhì)層11、第一金屬層12、第二介質(zhì)層13、第一鶴塞14、第二金屬層15、第三介質(zhì)層16、第三金屬層17、鈍化層18、第二鎢塞19、側(cè)墻20、懸空結(jié)構(gòu)21、第一凹陷部22-1、第二凹陷部22-2、第一凸出部23-1、第二凸出部23-2、第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500、第六傳感器單元 600。
【具體實施方式】
[0022]下面結(jié)合具體附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0023]如圖1所示:所述多量程的叉指電容加速度計包括連接在一起的第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500和第六傳感器單元600，第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500和第六傳感器單元600分別具有兩個輸出端(如圖1所示，第一傳感器單元100的輸入端為110、120，第二傳感器單元200的輸入端為210、220，第三傳感器單元300的輸入端為310、320，第四傳感器單元400的輸入端為410、420，第五傳感器單兀500的輸入端為510、520，第六傳感器單兀600的輸入端為610、620),第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500和第六傳感器單元600的輸入端由金屬連線合并連接后匯入總的輸出端01、02 ；
如圖2所示，所述第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500和第六傳感器單元600分別包括基底10及基底10上的結(jié)構(gòu)層，結(jié)構(gòu)層包括上錨點1-1、下錨點1-2、左彈性梁3-1、右彈性梁3-2、質(zhì)量塊4、左錨點6-1和右錨點6-2，質(zhì)量塊4的左端通過左彈性梁3-1連接左錨點6-1，質(zhì)量塊4的右端通過右彈性梁3-2連接右錨點6-2，質(zhì)量塊4可分成若干部分，每部分之間均由連接梁5連接，這種結(jié)構(gòu)可以一定程度上避免釋放時多層結(jié)構(gòu)中殘留的應力在質(zhì)量塊伸展方向上存在變化梯度引起的彎曲，影響叉指電容結(jié)構(gòu)總電容量下降的問題；所述上錨點1-1靠近質(zhì)量塊4的側(cè)面、以及下錨點1-2靠近質(zhì)量塊4的側(cè)面上設(shè)有呈梳齒狀排列的極板組，每對極板組包括第一極板2-1和第二極板2-2，質(zhì)量塊4的上、下側(cè)面分別設(shè)有呈梳齒狀排列與極板組交錯配置的第三極板2-3，每對極板組位于兩個第三極板2-3的空隙之間；工作的時候質(zhì)量塊4連接的第三極板2-3與上錨點1-1和下錨點1-2連接的第一極板2-1和第二極板2-2在彈性梁的作用下相互作用，改變總電容量；
所述第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單元500和第六傳感器單元600的極板的大小不同；
其中，如圖3所示，所述第三極板2-3、左彈性梁3-1、右彈性梁3-2、質(zhì)量塊4和連接梁5的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第一金屬層12、第二介質(zhì)層13、第二金屬層15、第三介質(zhì)層16、第三金屬層17和鈍化層18,第一金屬層12和第二金屬層15由設(shè)置在第二介質(zhì)層13中的第一鶴塞14連接，第二金屬層15和第三金屬層17由設(shè)置在第三介質(zhì)層16中的第二鎢塞19連接；在第三極板2-3、左彈性梁3-1、右彈性梁3-2、質(zhì)量塊4和連接梁5的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底10的側(cè)墻20，側(cè)墻20由鈍化層18的上表面延伸至基底10的上表面，在第三極板2-3、左彈性梁3-1、右彈性梁3-2、質(zhì)量塊4和連接梁5結(jié)構(gòu)層下部的基底10上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)21 ;所述懸空結(jié)構(gòu)21在寬度方向上由基底10的一側(cè)向基底10的另一側(cè)延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的寬度小于基底10的寬度；所述懸空結(jié)構(gòu)21在高度方向上由基底10的上表面向基底10的下表面延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的高度小于基底10的高度；
如圖4所示，所述第一極板2-1的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第一金屬層
12、第二介質(zhì)層13、第二金屬層15、第三介質(zhì)層16和鈍化層18,第一金屬層12和第二金屬層15由設(shè)置在第二介質(zhì)層13中的第一鎢塞14連接；在第一極板2-1的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底10的側(cè)墻20，側(cè)墻20由鈍化層18的上表面延伸至基底10的上表面，在第一極板2-1結(jié)構(gòu)層下部的基底10上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)21 ;所述懸空結(jié)構(gòu)21在寬度方向上由基底10的一側(cè)向基底10的另一側(cè)延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的寬度小于基底10的寬度；所述懸空結(jié)構(gòu)21在高度方向上由基底10的上表面向基底10的下表面延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的高度小于基底10的高度；
如圖5所示，所述第二極板2-2的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第二介質(zhì)層
13、第三介質(zhì)層16、第三金屬層17和鈍化層18;在第二極板2-2的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底10的側(cè)墻20，側(cè)墻20由鈍化層18的上表面延伸至基底10的上表面，在第二極板2-2結(jié)構(gòu)層下部的基底10上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)21 ;所述懸空結(jié)構(gòu)21在寬度方向上由基底10的一側(cè)向基底10的另一側(cè)延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的寬度小于基底10的寬度；所述懸空結(jié)構(gòu)21在高度方向上由基底10的上表面向基底10的下表面延伸，且懸空結(jié)構(gòu)21的高度小于基底10的高度；
如圖6所示，所述上錨點1-1和下錨點1-2上包括第一凹陷部22-1和第一凸出部23-1 ；所述第一凸出部23-1的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第二介質(zhì)層13、第三介質(zhì)層
16、第三金屬層17和鈍化層18 ;所述第一凹陷部22-1的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第一金屬層12、第二介質(zhì)層13、第二金屬層15和第三介質(zhì)層16,第一金屬層12和第二金屬層15由設(shè)置在第二介質(zhì)層13中的第一鶴塞14連接；
如圖7所示，所述左錨點6-1和右錨點6-2上包括第二凹陷部22-2和第二凸出部23-2 ；所述第二凸出部23-2的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第一金屬層12、第二介質(zhì)層13、第二金屬層15、第三介質(zhì)層16、第三金屬層17和鈍化層18,第一金屬層12和第二金屬層15由設(shè)置在第二介質(zhì)層13中的第一鶴塞14連接，第二金屬層15和第三金屬層15由設(shè)置在第三介質(zhì)層16中的第二鎢塞19連接；所述第二凹陷部22-2的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層11、第一金屬層12、第二介質(zhì)層13、第二金屬層15和第三介質(zhì)層16,第一金屬層12和第二金屬層15由設(shè)置在第二介質(zhì)層13中的第一鶴塞14連接；
其中，所述的基底7為硅基底；
所述第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單兀500和第六傳感器單兀600的輸出端由第三金屬層17引出，第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第四傳感器單元400、第五傳感器單兀500和第六傳感器單兀600的輸入端由第二金屬層15引入。
[0024]本發(fā)明所述多量程的叉指電容加速度計包含五個不同量程大小的加速度計傳感器單元(第一傳感器單元100、第二傳感器單元200、第三傳感器單元300、第五傳感器單元500、第六傳感器單元600)和一個不隨加速度變化的參考電容單元(第四傳感器單元400)，每個單元依據(jù)的極板大小不同，分別用于不同范圍的加速度計測量，每個單元加速度計的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，本發(fā)明所述多量程叉指電容加速度計的六個傳感器單元采用同一輸入端(01、02)，分別采用不同的輸出端(第一傳感器單元100的輸入端為110、120，第二傳感器單元200的輸入端為210、220，第三傳感器單元300的輸入端為310、320，第四傳感器單元400的輸入端為410、420，第五傳感器單兀500的輸入端為510、520，第六傳感器單兀600的輸入端為610、620)。在工作時，在某一加速度計情況下，第一傳感器單兀100和第二傳感器單元200已經(jīng)飽和，而第五傳感器單元500和第六傳感器單元600在此加速度計情況下變形很小，這時就可以選擇第三傳感器單元300作為測量單元，其中第四傳感器單元400作為參考單元。采用這種方法設(shè)計的傳感器可以在測量范圍和靈敏度之間選擇，實現(xiàn)了傳感器的智能化，提高了電容式加速度計傳感器的靈敏度和測量范圍，采用了不同量程的六個加速度計傳感器進行分段加速度計測量的方式，從而通過一個傳感器陣列來提高測量范圍，彌補了單個傳感器測量范圍的不足。
【權(quán)利要求】
1.一種多量程的叉指電容加速度計，其特征是:包括連接在一起的第一傳感器單元(100)、第二傳感器單元(200)、第三傳感器單元(300)、第四傳感器單元(400)、第五傳感器單元(500)和第六傳感器單元(600)，第一傳感器單元(100)、第二傳感器單元(200)、第三傳感器單元(300)、第四傳感器單元(400)、第五傳感器單元(500)和第六傳感器單元(600)分別具有兩個輸出端，第一傳感器單元(100)、第二傳感器單元(200)、第三傳感器單元(300)、第四傳感器單元(400)、第五傳感器單元(500)和第六傳感器單元(600)的輸入端由金屬連線合并連接；所述第一傳感器單元(100)、第二傳感器單元(200)、第三傳感器單元(300)、第四傳感器單元(400)、第五傳感器單元(500)和第六傳感器單元(600)分別包括基底(10)及基底(10)上的結(jié)構(gòu)層，結(jié)構(gòu)層包括上錨點(1-1)、下錨點(1-2)、左彈性梁(3-1)、右彈性梁(3-2)、質(zhì)量塊(4)、左錨點(6-1)和右錨點(6-2)，質(zhì)量塊(4)的左端通過左彈性梁(3-1)連接左錨點(6-1)，質(zhì)量塊(4)的右端通過右彈性梁(3-2)連接右錨點(6-2)，質(zhì)量塊(4)分成若干部分，每部分之間均由連接梁(5)連接；所述上錨點(1-1)靠近質(zhì)量塊(4)的側(cè)面、以及下錨點(1-2)靠近質(zhì)量塊(4)的側(cè)面上設(shè)有呈梳齒狀排列的極板組，每對極板組包括第一極板(2-1)和第二極板(2-2)，質(zhì)量塊(4)的上、下側(cè)面分別設(shè)有呈梳齒狀排列與極板組交錯配置的第三極板(2-3)，每對極板組位于兩個第三極板(2-3)的空隙之間。
2.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述第一傳感器單元(100)、第二傳感器單元(200)、第三傳感器單元(300)、第四傳感器單元(400)、第五傳感器單元(500)和第六傳感器單元(600)的極板的大小不同。
3.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述第三極板(2-3)、左彈性梁(3-1)、右彈性梁(3-2)、質(zhì)量塊(4)和連接梁(5)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第一金屬層(12)、第二介質(zhì)層(13)、第二金屬層(15)、第三介質(zhì)層(16)、第三金屬層(17)和鈍化層(18)，第一金屬層(12)和第二金屬層(15)由設(shè)置在第二介質(zhì)層(13)中的第一鶴塞(14)連接，第二`金屬層(15)和第三金屬層(17)由設(shè)置在第三介質(zhì)層(16)中的第二鎢塞(19)連接；在第三極板(2-3)、左彈性梁(3-1)、右彈性梁(3-2)、質(zhì)量塊(4)和連接梁(5)的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底(10)的側(cè)墻(20)，側(cè)墻(20)由鈍化層(18)的上表面延伸至基底(10)的上表面，在第三極板(2-3)、左彈性梁(3-1)、右彈性梁(3-2)、質(zhì)量塊(4)和連接梁(5)結(jié)構(gòu)層下部的基底(10)上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)(21 )。
4.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述第一極板(2-1)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第一金屬層(12)、第二介質(zhì)層(13)、第二金屬層(15)、第三介質(zhì)層(16)和鈍化層(18),第一金屬層(12)和第二金屬層(15)由設(shè)置在第二介質(zhì)層(13)中的第一鎢塞(14)連接；在第一極板(2-1)的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底(10)的側(cè)墻(20)，側(cè)墻(20)由鈍化層(18)的上表面延伸至基底(10)的上表面，在第一極板(2-1)結(jié)構(gòu)層下部的基底(10)上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)(21)。
5.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述第二極板(2-2)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第二介質(zhì)層(13)、第三介質(zhì)層(16)、第三金屬層(17)和鈍化層(18);在第二極板(2-2)的結(jié)構(gòu)層上刻蝕形成多個垂直于基底(10)的側(cè)墻(20)，側(cè)墻(20)由鈍化層(18)的上表面延伸至基底(10)的上表面，在第二極板(2-2)結(jié)構(gòu)層下部的基底(10)上設(shè)置懸空結(jié)構(gòu)(21 )。
6.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述上錨點(1-1)和下錨點(1-2)上包括第一凹陷部(22-1)和第一凸出部(23-1);所述第一凸出部(23-1)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第二介質(zhì)層(13)、第三介質(zhì)層(16)、第三金屬層(17)和鈍化層(18);所述第一凹陷部(22-1)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第一金屬層(12)、第二介質(zhì)層(13)、第二金屬層(15)和第三介質(zhì)層(16),第一金屬層(12)和第二金屬層(15)由設(shè)置在第二介質(zhì)層(13)中的第一鎢塞(14)連接。
7.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述左錨點(6-1)和右錨點(6-2)上包括第二凹陷部(22-2)和第二凸出部(23-2);所述第二凸出部(23-2)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第一金屬層(12)、第二介質(zhì)層(13)、第二金屬層(15)、第三介質(zhì)層(16)、第三金屬層(17)和鈍化層(18),第一金屬層(12)和第二金屬層(15)由設(shè)置在第二介質(zhì)層(13)中的第一鶴塞(14)連接，第二金屬層(15)和第三金屬層(15)由設(shè)置在第三介質(zhì)層(16)中的第二鎢塞(19)連接；所述第二凹陷部(22-2)的結(jié)構(gòu)自底層向上依次為第一介質(zhì)層(11)、第一金屬層(12)、第二介質(zhì)層(13)、第二金屬層(15)和第三介質(zhì)層(16),第一金屬層(12)和第二金屬層(15)由設(shè)置在第二介質(zhì)層(13)中的第一鶴塞(14)連接。
8.如權(quán)利要求1所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述基底(7)為硅基。
9.如權(quán)利要求3、4或5所述的多量程的叉指電容加速度計，其特征是:所述懸空結(jié)構(gòu)(21)在寬度方向上由基底(10)的一側(cè)向基底(10)的另一側(cè)延伸，且懸空結(jié)構(gòu)(21)的寬度小于基底(10)的寬度；所述懸空結(jié)構(gòu)(21)在高度方向上由基底(10)的上表面向基底(10)的下表面延伸，且懸空結(jié)構(gòu)(21)的高度小于基底(10)的高度。
【文檔編號】G01P15/125GK103675349SQ201310674272
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】薛惠瓊, 王瑋冰, 田龍坤 申請人:江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心