一種電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法，包括：移載梭車的進料承置部位于進料區(qū)，而裝填部分待測電子元件，且出料承置部位于測試區(qū)，而測完電子元件被搬至出料承置部上；出料承置部移入出料區(qū)而部分測完電子元件被搬至出料承載盤；進料承置部移入進料區(qū)而填滿進料承置部；出料承置部移入出料區(qū)內(nèi)而清空出料承置部，此時進料承置部上全部的待測電子元件搬運至檢測裝置進行測試。本發(fā)明充分利用檢測時間、以及搬運過程的空檔，而多批次的裝填及清空電子元件，以減少各裝置的閑置時間，進而大幅提高檢測效率。
【專利說明】一種電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法，尤指一種適用于測試積體電路良麻的檢測設(shè)備與檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的需求，除了追求制造設(shè)備的產(chǎn)能效率外，半導(dǎo)體測試設(shè)備廠商也極力地朝向提升測試效率的趨勢發(fā)展。然而，半導(dǎo)體測試設(shè)備制造商于提升測試效率的目標(biāo)下，不外乎通過包括縮短測試時間、減少閑置時間、以及減少晶片的移載次數(shù)或移載時間等手段來進行調(diào)整。
[0003]再者，上述眾多因素中唯一最難以調(diào)控的大概就是測試時間的長短，因為測試時間關(guān)乎于測試的項目以及測試的流程。然而，一旦測試的項目、以及測試的流程經(jīng)確定后，測試時間幾乎也無可調(diào)整了。因此，半導(dǎo)體測試設(shè)備廠商大多朝向減少測試裝置的閑置時間、以及減少晶片的移載次數(shù)或移載時間等方向著手改良。
[0004]舉例而言，例如中華民國公告第1372135號「電子元件測試分類機的測試裝置」一案所載，其主要目的也是為了縮短測試裝置閑置的等待時間。其中，該發(fā)明專利主要是因針對測試時間較短的電子元件，其通過增加每次移載的數(shù)量，來減少測試站待機時間，進而增加機器產(chǎn)能利用率。
[0005]然而，當(dāng)針對測試時間較長的測試方式時，如系統(tǒng)級測試(SYSTEM LEVEL TEST),而上述發(fā)明專利所載的技術(shù)手段則無法適用，一旦采用上述技術(shù)則反而會造成晶片取放裝置、以及移載裝置閑置的等待時間過長，嚴重影響產(chǎn)能利用率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的主要目的是提供一種電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法，其適用于測試時間較長的電子元件，能顯著減少包括測試裝置、取放裝置、以及移載梭車的閑置等待時間，進而有效提升廣能效率。
[0007]為達成上述目的，本發(fā)明一種電子元件檢測方法，包括以下步驟:首先，一移載梭車移動使一移載梭車的一進料承置部位于一進料區(qū)內(nèi)，一進料取放裝置自一進料承載盤搬運至少一待測電子元件至一移載梭車的一進料承置部，且移載梭車的出料承置部位于一測試區(qū)內(nèi)，至少一取放臂將一檢測裝置上的至少一測完電子元件搬至出料承置部上；接著，移載梭車移動，使移載梭車的出料承置部移入一出料區(qū)內(nèi)，一出料取放裝置自出料承置部搬出至少一測完電子元件至一出料承載盤；再者，移載梭車移動使進料承置部移入進料區(qū)內(nèi)，進料取放裝置自進料承載盤搬運至少一待測電子元件而填滿進料承置部；接著，移載梭車移動使出料承置部移入出料區(qū)內(nèi)，出料取放裝置搬出至少一測完電子元件而清空出料承置部；以及，進料承置部位于測試區(qū)內(nèi)，至少一取放臂將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至檢測裝置進行測試。
[0008]據(jù)此，本發(fā)明的移載梭車利用進料、出料取放裝置于每次搬運過程的時間空檔、以及檢測裝置上進行檢測的時間空檔，往返于進料區(qū)、測試區(qū)、及出料區(qū)間，進行多批次裝填或清空電子元件，可充分利用并大幅降低進料、出料取放裝置、以及取放臂的閑置等待時間，進而顯著提升產(chǎn)能之測試效率。此外，本發(fā)明一種電子元件檢測方法可通過多批次的搬運待測、或測完電子元件，以因應(yīng)需較長測試時間的檢測態(tài)樣，進而減少設(shè)備需求，降低設(shè)備成本。
[0009]較佳的是，本發(fā)明一種電子元件檢測方法的進料承置部所承載的待測電子元件數(shù)量、及出料承置部所承載的測完電子元件數(shù)量可分別為進料取放裝置、及出料取放裝置所搬運的電子元件數(shù)量的倍數(shù)。換言之，進料取放裝置可分批次搬運填滿進料承置部，且出料取放裝置可分批次搬運清空出料承置部中的電子元件，進而減少設(shè)備需求，降低設(shè)備成本。
[0010]另外，本發(fā)明一種電子元件檢測方法可使用二取放臂，其可包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，第一取放臂、及第二取放臂交替執(zhí)行將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至一檢測裝置進行測試、以及將檢測裝置上的至少一測完電子元件搬至出料承置部上。此外，在本發(fā)明所提供的電子元件檢測方法中，當(dāng)?shù)谝蝗》疟蹐?zhí)行將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至一檢測裝置進行測試時，該第二取放臂則執(zhí)行將檢測裝置上的至少一測完電子元件搬至出料承置部上。據(jù)此，本發(fā)明可設(shè)置多個取放臂，以提高測試效率，減少等待移載電子元件的閑置時間。
[0011]本發(fā)明一種電子元件檢測設(shè)備，主要包括一進料區(qū)、一出料區(qū)、一測試區(qū)、以及一移載梭車。其中，進料區(qū)內(nèi)設(shè)置有一進料承載盤、及一進料取放裝置；出料區(qū)內(nèi)設(shè)置有一出料承載盤、及一出料取放裝置；測試區(qū)內(nèi)設(shè)置有一檢測裝置、及至少一取放臂；移載梭車移動于進料區(qū)、出料區(qū)、以及測試區(qū)之間。其中，測試區(qū)位于進料區(qū)與出料區(qū)之間；而進料取放裝置于進料區(qū)內(nèi)，并用以搬運至少一待測電子元件于進料承載盤與移載梭車之間；出料取放裝置于出料區(qū)內(nèi)，并用于搬運至少一測完電子元件于出料承載盤與移載梭車之間。另夕卜，至少一取放臂于測試區(qū)內(nèi)，并用于搬運至少一待測電子元件、及至少一測完電子元件于檢測裝置與移載梭車之間。
[0012]本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備的移載梭車可包括一進料承置部、及一出料承置部，而進料承置部移動于進料區(qū)與測試區(qū)之間，出料承置部移動于出料區(qū)與測試區(qū)之間。換言之，本發(fā)明可采用單一移載梭車往返于進料區(qū)、出料區(qū)、及測試區(qū)之間，據(jù)此可更提高移載效率、以及降低設(shè)備成本。此外，進料承置部、及出料承置部所分別承載的待測電子元件、及測完電子元件的數(shù)量分別為進料取放裝置、及出料取放裝置所能搬運數(shù)量的倍數(shù)。
[0013]再且，本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備中，進料取放裝置可于搬運至少一待測電子元件至進料承置部，且至少一取放臂將檢測裝置上全部的測完電子元件移載至移載梭車的出料承置部后；移載梭車移動而出料承置部移入出料區(qū)內(nèi)，且出料取放裝置搬出至少一測完電子元件至出料承載盤。接著，移載梭車移動而進料承置部可移入進料區(qū)內(nèi)，而進料取放裝置搬運至少一待測電子元件而填滿進料承置部。再者，移載梭車移動而出料承置部移入出料區(qū)內(nèi)，而出料取放裝置搬出至少一測完電子元件而清空出料承置部，且至少一取放臂將進料承置部上全部的待測電子元件移載至檢測裝置進行測試。
[0014]簡單的說，本發(fā)明的電子元件檢測設(shè)備為配合較久的電子元件檢測時間，可利用每一批電子元件的檢測時間的空檔、以及進出料取放裝置于每次搬運過程的空檔，采用多批次的裝填進料承置部、以及多批次的清空出料承置部，以減少各裝置間的閑置等待時間，大幅提聞檢測效率。
[0015]較佳的是，本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備的至少一取放臂可包括一第一取放臂、及一第二取放臂，而第一取放臂、及第二取放臂可交替地運行將進料承置部上全部的待測電子元件移載至檢測裝置進行測試、以及將檢測裝置上全部的測完電子元件移載至移載梭車的出料承置部。據(jù)此，本發(fā)明可采用二取放臂交替地移載電子元件進行測試，同樣可顯著減少檢測裝置的閑置時間，提高測試效率。此外，本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備的進料區(qū)、測試區(qū)、以及出料區(qū)大致呈一直線配置，藉此可縮短并簡單化移載梭車的移動路徑，以提高檢測效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明一較佳實施例的設(shè)備俯視示意圖。
[0017]圖2為本發(fā)明一較佳實施例的設(shè)備前視示意圖。
[0018]圖3為本發(fā)明一較佳實施例的測試流程圖。
[0019]其中:
[0020]2 移載梭車
[0021]21進料承置部
[0022]22出料承置部
[0023]3 進料承載盤
[0024]4 進料取放裝置
[0025]5 出料承載盤
[0026]6 出料取放裝置
[0027]7 取放臂
[0028]71第一取放臂
[0029]72第二取放臂
[0030]8 檢測裝置
[0031]Cl待測電子元件
[0032]C2測完電子元件
[0033]Ia進料區(qū)
[0034]Oa 出料區(qū)
[0035]Ta測試區(qū)
【具體實施方式】
[0036]本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備及其檢測方法在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的元件將以相同的元件符號來表示。
[0037]請同時參閱圖1、及圖2，圖1為本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備一較佳實施例的設(shè)備俯視示意圖，圖2為本發(fā)明電子元件檢測設(shè)備一較佳實施例的設(shè)備前視示意圖。如圖中所示，本實施例的電子元件檢測設(shè)備主要包括三個區(qū)域，一進料區(qū)la、一出料區(qū)0a、以及一測試區(qū)Ta，本實施例的此三個區(qū)域為虛擬劃設(shè)的區(qū)域，未有實體上的間隔。不過，于本發(fā)明其他實施例中可為有實際區(qū)隔的區(qū)域，例如欲進行高低溫測試時，此三個區(qū)域可為具備溫度調(diào)控功能的腔室。[0038]再如圖所示，進料區(qū)la、測試區(qū)Ta、以及出料區(qū)Oa于機臺上大致呈一直線配置，且測試區(qū)Ta位于進料區(qū)Ia與出料區(qū)Oa之間，藉此可縮短及簡化移載路徑，以提高檢測效率。再者，進料區(qū)Ia內(nèi)設(shè)置有一進料承載盤3、及一進料取放裝置4，而出料區(qū)Oa內(nèi)設(shè)置有一出料承載盤5、及一出料取放裝置6，且測試區(qū)Ta內(nèi)設(shè)置有一檢測裝置8、及二取放臂7。
[0039]另外，一移載梭車2移動于進料區(qū)la、出料區(qū)0a、以及測試區(qū)Ta之間，且移載梭車2包括一進料承置部21、及一出料承置部22。詳言之，移載梭車2的進料承置部21可移動于進料區(qū)Ia與測試區(qū)Ta之間，而出料承置部22可移動于出料區(qū)Oa與測試區(qū)Ta之間。亦即，當(dāng)進料承置部21位于進料區(qū)Ia時，出料承置部22則位于測試區(qū)Ta內(nèi)；另一方面，當(dāng)進料承置部21位于測試區(qū)Ta時，出料承置部22則位于出料區(qū)Oa內(nèi)。據(jù)此，本實施例采用單一移載梭車2往返于進料區(qū)la、出料區(qū)0a、及測試區(qū)Ta之間，且每一承置部也僅?？科瘘c及終點二端點，故可簡化移載手段，以更提高移載效率，并節(jié)省硬體設(shè)備上的設(shè)置及維護成本。
[0040]再者，又如圖1、及圖2所示，進料取放裝置4于進料區(qū)Ia內(nèi)搬運待測電子元件Cl于進料承載盤3與移載梭車2之間，而出料取放裝置6于出料區(qū)Oa內(nèi)搬運測完電子元件C2于出料承載盤5與移載梭車2之間。而且，二取放臂7包括一第一取放臂71、及一第二取放臂72，分別于測試區(qū)Ta內(nèi)搬運待測電子元件Cl、及測完電子元件C2于檢測裝置8與移載梭車2之間。
[0041 ] 在本實施例中，進料取放裝置4每次可取放四個待測電子元件Cl，而出料取放裝置6每次也可取放四個測完電子元件C2。至于，移載梭車2的進料承置部21、及出料承置部22則可分別容納八個待測電子元件Cl、及測完電子元件C2，第一取放臂71與第二取放臂72每次也可移載八個電子元件，而檢測裝置8上每批次可檢測的電子元件的數(shù)量亦為八個。
[0042]換言之，本實施例的檢測裝置8上每批次可檢測的電子元件的數(shù)量、以及進料承置部21與出料承置部22所分別承載的電子元件的數(shù)量為進料取放裝置4、及出料取放裝置6所能搬運數(shù)量的二倍。不過，本發(fā)明并不以二倍為限，可視實際情況調(diào)整增減其倍數(shù)。然而，此一設(shè)計的意義在于，采分批次裝填或清空，可有效利用閑置的等待時間，并可減少硬體設(shè)備設(shè)置的需求，例如可減少進料取放裝置4和出料取放裝置6上吸取頭的設(shè)置數(shù)量。
[0043]請一并參閱圖3，圖3為本發(fā)明一較佳實施例的測試流程圖。以下詳述整個檢測流程，于此特別說明的是，本實施例以連續(xù)測試中某一循環(huán)來進行說明，亦即其中有一批次的電子元件已測完作為啟始狀態(tài)進行說明。
[0044]首先，移載梭車2移動使進料承置部21位于進料區(qū)Ia內(nèi)，而進料取放裝置4自一進料承載盤3搬運四個待測電子元件Cl至移載梭車2的進料承置部21 ;同時第二取放臂72將檢測裝置8上的八個測完電子元件C2搬至出料承置部22上，亦即圖3的步驟S100。其中，此時第一取放臂71搬運前一批次的待測電子元件Cl至檢測裝置8上正進行測試中。
[0045]接著，移載梭車2移動，使移載梭車2的出料承置部22移入出料區(qū)Oa內(nèi)，而出料取放裝置6自出料承置部22先搬出四個測完電子元件C2至出料承載盤5，亦即圖3的步驟S105。然而，此時第二取放臂72停留在原處等待下一批次的待測電子元件Cl到來，而第一取放臂71上所吸取的待測電子元件Cl仍在檢測裝置8上進行測試。
[0046]再者，移載梭車2移動使進料承置部21再次移入進料區(qū)Ia內(nèi)，而進料取放裝置4自進料承載盤3又搬運四個待測電子元件Cl而填滿進料承置部21，亦即圖3的步驟S110。同樣地，此時第二取放臂72仍停留在原處等待下一批次的待測電子元件Cl到來，而第一取放臂71上所吸取的待測電子元件Cl仍在檢測裝置8上進行測試。
[0047]下一步，移載梭車2移動使出料承置部22移入出料區(qū)Oa內(nèi)，而出料取放裝置6搬出另外剩余的四個測完電子元件C2而清空出料承置部22。另一方面，進料承置部21位于一測試區(qū)Ta內(nèi)，而第二取放臂72將進料承置部21上全部的待測電子元件Cl搬運至檢測裝置8進行測試，亦即圖3的步驟S115。此時，第一取放臂71將測完電子元件C2搬運至移載梭車2上方，等待進行下一步驟。
[0048]承上所述，本發(fā)明為配合較久的電子元件檢測時間，可利用每一批電子元件的檢測時間的空檔、以及進出料取放裝置4、6于每次搬運過程的空檔，進行多批次的裝填進料承置部21、以及多批次的清空出料承置部22，以減少各裝置間閑置的等待時間，大幅提高檢測效率。此外，也因為本發(fā)明采分批次裝填或清空，可減少硬體設(shè)備設(shè)置的需求，例如可減少進料取放裝置4和出料取放裝置6上吸取頭的設(shè)置數(shù)量，故可有效降低設(shè)備成本。
[0049]上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實施例。
【權(quán)利要求】
1.一種電子元件檢測方法，其特征在于，包括以下步驟: (A)一移載梭車的一進料承置部位于一進料區(qū)內(nèi)，一進料取放裝置自一進料承載盤搬運至少一待測電子元件至該移載梭車的該進料承置部；該移載梭車的一出料承置部位于一測試區(qū)內(nèi)，至少一取放臂將該測試區(qū)內(nèi)的一檢測裝置上的至少一測完電子元件搬至該出料承置部上； (B)該移載梭車移動，使該出料承置部移入一出料區(qū)內(nèi)，一出料取放裝置自該出料承置部搬出該至少一測完電子元件至一出料承載盤； (C)該移載梭車移動使該進料承置部移入該進料區(qū)內(nèi)，該進料取放裝置自該進料承載盤搬運該至少一待測電子元件而填滿該進料承置部；以及 (D)該移載梭車移動使該出料承置部移入該出料區(qū)內(nèi)，該出料取放裝置搬出該至少一測完電子元件而清空該出料承置部；該進料承置部位于該測試區(qū)內(nèi)，該至少一取放臂將該進料承置部上全部的該待測電子元件搬運至該檢測裝置進行測試。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件檢測方法，其特征在于:其中，該進料承置部所承載的該待測電子元件數(shù)量、及該出料承置部所承載的該測完電子元件數(shù)量分別為該進料取放裝置、及該出料取放裝置所搬運的電子元件數(shù)量的倍數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件檢測方法，其特征在于:所述電子元件檢測方法包括二取放臂，其包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，該第一取放臂、及該第二取放臂交替執(zhí)行該步驟(A)和該步驟(D)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子元件檢測方法，其中，當(dāng)該第一取放臂執(zhí)行步驟(A)時，該第二取放臂執(zhí)行步驟(D)。
5.一種電子元件檢測設(shè)備，其特征在于，包括: 一進料區(qū)，其內(nèi)設(shè)置有一進料承載盤、及一進料取放裝置； 一出料區(qū)，其內(nèi)設(shè)置有一出料承載盤、及一出料取放裝置； 一測試區(qū)，其內(nèi)設(shè)置有一檢測裝置、及至少一取放臂，該測試區(qū)位于該進料區(qū)與該出料區(qū)之間；以及 一移載梭車，其包括一進料承置部、及一出料承置部，該進料承置部移動于該進料區(qū)與該測試區(qū)之間，該出料承置部移動于該出料區(qū)與該測試區(qū)之間； 其中，該進料取放裝置于該進料區(qū)內(nèi)搬運至少一待測電子元件于該進料承載盤與該移載梭車之間，該出料取放裝置于該出料區(qū)內(nèi)搬運至少一測完電子元件于該出料承載盤與該移載梭車之間，該至少一取放臂于該測試區(qū)內(nèi)搬運該至少一待測電子元件、及該至少一測完電子元件于該檢測裝置與該移載梭車之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子元件檢測設(shè)備，其特征在于:其中，該進料承置部、及該出料承置部所分別承載的該待測電子元件、及該測完電子元件的數(shù)量分別為該進料取放裝置、及該出料取放裝置所搬運數(shù)量的倍數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子元件檢測設(shè)備，其特征在于:其中，該進料取放裝置搬運該至少一待測電子元件至該進料承置部，且該至少一取放臂將該檢測裝置上全部的測完電子元件移載至該移載梭車的該出料承置部后；該移載梭車移動而該出料承置部移入該出料區(qū)內(nèi)，該出料取放裝置搬出該至少一測完電子元件至該出料承載盤；該移載梭車移動而該進料承置部移入該進料區(qū)內(nèi)，該進料取放裝置搬運該至少一待測電子元件而填滿該進料承置部；該移載梭車移動而該出料承置部移入該出料區(qū)內(nèi)，該出料取放裝置搬出該至少一測完電子元件而清空該出料承置部，且該至少一取放臂將該進料承置部上全部的該待測電子元件移載至該檢測裝置進行測試。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子元件檢測設(shè)備，其特征在于:其中，該至少一取放臂包括一第一取放臂、及一第二取放臂，該第一取放臂、及該第二取放臂交替地運行將該進料承置部上全部的該待測電子元件移載至該檢測裝置進行測試、以及將該檢測裝置上全部的該測完電子元件移載至該移載梭車的該出料承置部。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子元件檢測設(shè)備，其特征在于:其中，該進料區(qū)、該測試區(qū)、以及該出料區(qū)呈一直線配置?！?br> 【文檔編號】G01R31/00GK103713219SQ201310743038
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】林漢勳, 蔡譯慶 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司