專利名稱：用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及功率器件模塊動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試領(lǐng)域，特別涉及用于IGBT兩單元功率器件模塊動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
功率半導(dǎo)體器件器件結(jié)電容參數(shù)一般包括輸入電容、輸出電容、反饋電容三項(xiàng)內(nèi)容，是反應(yīng)器件結(jié)構(gòu)特性、動(dòng)態(tài)時(shí)間參數(shù)的重要指標(biāo)。按照測(cè)試條件要求，測(cè)試時(shí)需要根據(jù)參數(shù)在器件中的結(jié)構(gòu)特性的不同，連接不同的測(cè)試線路，同時(shí)，外接旁路電容、旁路電阻等無(wú)源器件元件，對(duì)器件管腳施加直流電壓及高頻信號(hào)來(lái)測(cè)試相應(yīng)的電容參數(shù)?，F(xiàn)有技術(shù)中，測(cè)試功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容的方法一般為:用測(cè)試探頭或者鱷魚夾在被測(cè)器件和電感電容電阻(LCR)測(cè)試儀之間連接電路，采用該方法進(jìn)行測(cè)試時(shí)，針對(duì)不同的被測(cè)結(jié)電容參數(shù)，需要使用不同的測(cè)試電路，不僅測(cè)試工作繁瑣，而且測(cè)試效率低。另外，測(cè)試線路中的寄生電感或電容會(huì)耦合到測(cè)試結(jié)果中，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果的誤差。由于73_ IGBT模塊體積大，引腳間距大，測(cè)試時(shí)很容易因?yàn)闇y(cè)試導(dǎo)線過(guò)長(zhǎng)而被周邊雜散電磁波干擾，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確?，F(xiàn)有的測(cè)試方法是在功率器件模塊中間三個(gè)極處安裝相應(yīng)大小的螺絲，然后使用鱷魚夾夾住螺絲，用焊線或者繞線的方法向模塊不同極引線，然后與開關(guān)特性測(cè)量?jī)x連接?，F(xiàn)有的測(cè)試方法存在的缺點(diǎn):該方法測(cè)試器件開關(guān)特性時(shí)，每測(cè)一個(gè)模塊都需要換線，不僅操作麻煩，容易出錯(cuò)，測(cè)試速度慢、效率低，而且鱷魚夾在金屬接觸部分是外露的，外部信號(hào)容易對(duì)高頻測(cè)試信號(hào)產(chǎn)生干擾，特別是外接長(zhǎng)線測(cè)試會(huì)引入較多的寄生效應(yīng)，嚴(yán)重影響測(cè)試結(jié)果；同時(shí)操作者如不小心，容易引起短路、觸電等事故，導(dǎo)致設(shè)備、器件損壞，對(duì)人員的安全性也較差。此外，焊接的引腳一般與器件柵極相連，焊接時(shí)的高溫也容易對(duì)柵極造成損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，解決了現(xiàn)有的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置存在的操麻煩，容易出錯(cuò)，測(cè)試速度慢、效率低的問(wèn)題。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，包含測(cè)試電路，測(cè)試裝置還包含:底座，其由絕緣材料制成；在所述底座上設(shè)有三個(gè)底座引腳，即柵極底座引腳、漏極底座引腳以及源極底座引腳，在測(cè)試時(shí)，所述三個(gè)底座引腳分別與功率器件模塊上相應(yīng)的模塊引腳接觸，所述模塊引腳包含了柵極模塊引腳、漏極模塊引腳以及源極模塊引腳。進(jìn)一步地，本測(cè)試裝置還包含:金屬盒體，其內(nèi)放置有所述底座。[0012]進(jìn)一步地，在所述底座或金屬盒體上還設(shè)有電源連接端口和低電壓電流連接端口，所述電源連接端口與電源連接點(diǎn)連接，所述低電壓電流連接端口與低電壓電流連接點(diǎn)連接。進(jìn)一步地，所述底座中間設(shè)有用來(lái)放置所述功率器件模塊的凹槽，所述底座引腳設(shè)于所述凹槽中。進(jìn)一步地，所述底座弓丨腳是彈簧引腳。進(jìn)一步地，本測(cè)試裝置還包含:用來(lái)將功率器件模塊壓緊和固定在所述底座上的固定裝置，其一端包含卡子，以及設(shè)置在所述底座上的卡槽；所述固定裝置的另一端與所述底座活動(dòng)連接。進(jìn)一步地，本測(cè)試裝置還包含:用于選擇要進(jìn)行測(cè)試的模塊半橋的工位選擇開關(guān)，其設(shè)置在所述底座上或金屬盒體上。進(jìn)一步地，本測(cè)試裝置還包含:能夠在源極測(cè)試、漏極測(cè)試和柵極測(cè)試三種測(cè)試之間進(jìn)行切換的開關(guān)組件，其設(shè)置在所述底座上或金屬盒體上。本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，功率器件模塊依靠自身的重力、下面彈簧的彈力以及上面蓋板的壓力使模塊上的模塊引腳與底版上的引腳接觸良好，保證了連接的可靠性，較少使用引線連接，大幅度減小了寄生效應(yīng)。由于不需要在模塊柵極焊線，消除了因?yàn)楹附訒r(shí)產(chǎn)生高溫而破壞模塊柵極的風(fēng)險(xiǎn)。

圖1是本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置中測(cè)試電路的連接示意圖；圖2是本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置俯視圖；圖3是本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；附圖標(biāo)記:底座-18，蓋板-19，蓋板扣-20，蓋板槽_21，凹槽_22，鍍金彈簧引腳_23，轉(zhuǎn)換接口 -24，開關(guān)組件-25，工位選擇開關(guān)-26，合頁(yè)-27。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明實(shí)施例提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，包含的測(cè)試電路包含:如圖1所示,第二 II反饋電容14,兩個(gè)晶體管單元16具有源極測(cè)試點(diǎn)5、漏極測(cè)試點(diǎn)3和柵極測(cè)試點(diǎn)4。漏極測(cè)試點(diǎn)3連接于電源連接點(diǎn)1，柵極測(cè)試點(diǎn)4連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，源極測(cè)試點(diǎn)5連接于電阻6的一端，電阻6的另一端連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，第I輸入電容9通過(guò)短路電容8連接于電源連接點(diǎn)1，第I輸出電容10和第I反饋電容11懸空設(shè)置，第II輸入電容12通過(guò)電感15連接于地電壓連接點(diǎn)7，第II輸出電容13連接于低電壓電流連接點(diǎn)2，第II反饋電容14連接于地電壓連接點(diǎn)7。[0028]其中，源極測(cè)試點(diǎn)5可以由兩個(gè)晶體管單元各自的源極相連形成。其中，漏極測(cè)試點(diǎn)3可以由兩個(gè)晶體管單元各自的漏極相連形成。其中，柵極測(cè)試點(diǎn)4可以由兩個(gè)晶體管單元各自的柵極相連形成。本發(fā)明實(shí)施例提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，包含的金屬盒體內(nèi)，設(shè)有底座，如圖2和圖3示，功率器件放置于底座上；底座上設(shè)有電源連接端口、低電壓電流連接端口，電源連接點(diǎn)I連接于電源連接端口，低電壓電流連接點(diǎn)2連接于低電壓電流連接端口 ；底座上設(shè)有開關(guān)組件25，開關(guān)組件25包含有三個(gè)開關(guān)觸點(diǎn)，源極測(cè)試點(diǎn)5、漏極測(cè)試3點(diǎn)和柵極測(cè)試點(diǎn)4分別與一個(gè)開關(guān)觸點(diǎn)連接；底座上還設(shè)有L、L、H和H四個(gè)轉(zhuǎn)換接口 24，使用BNC同軸電纜連接金屬盒體上的轉(zhuǎn)換接口 24與測(cè)試儀器。其中，底座18由絕緣材料制成。在底座18上設(shè)有三個(gè)底座引腳，即柵極底座引腳、漏極底座引腳以及源極底座引腳，底座引腳可以是彈簧引腳，而且是鍍金彈簧引腳23。在測(cè)試時(shí)，三個(gè)底座引腳分別與功率器件模塊上相應(yīng)的模塊引腳接觸，模塊引腳包含了柵極模塊引腳、漏極模塊引腳以及源極模塊引腳，從而使模塊中的兩個(gè)晶體管單元的各引腳的固定更牢固。其中，所述底座18中間設(shè)有用來(lái)放置所述功率器件模塊的凹槽，三個(gè)底座引腳設(shè)于所述凹槽中。其中，本測(cè)試裝置還包含:用來(lái)將功率器件模塊壓緊和固定在所述底座上的固定裝置，其包含蓋板19和卡接裝置，該蓋板19的一端與底座18通過(guò)活頁(yè)27連接，另一端包含卡子，即蓋板扣20，底座18上對(duì)應(yīng)地設(shè)有蓋板槽21。功率器件放置于蓋板19和蓋板扣20之間，從而使功率器件與底座之間的接觸更牢固。其中，本測(cè)試裝置還包含:用于選擇要進(jìn)行測(cè)試的模塊半橋的工位選擇開關(guān)26，其設(shè)置在所述底座18上。其中，開關(guān)組件25可以為切換開關(guān)，切換開關(guān)能夠在源極測(cè)試點(diǎn)5、漏極測(cè)試點(diǎn)3和柵極測(cè)試點(diǎn)4的開關(guān)觸點(diǎn)之間切換，從而，使測(cè)試點(diǎn)的切換能夠通過(guò)開關(guān)組件實(shí)現(xiàn)，這就節(jié)省了更換時(shí)間，能夠提高測(cè)試效率。本實(shí)用新型提供的功率半導(dǎo)體器件結(jié)電容測(cè)試電路及裝置能夠適用于包括兩個(gè)晶體管單元的62mm功率器件。最后所應(yīng)說(shuō)明的是，以上具體實(shí)施方式
僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1.用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，包含測(cè)試電路，其特征在于，所述測(cè)試裝置還包含: 底座，其由絕緣材料制成； 在所述底座上設(shè)有三個(gè)底座引腳，即柵極底座引腳、漏極底座引腳以及源極底座引腳，在測(cè)試時(shí)，所述三個(gè)底座引腳分別與功率器件模塊上相應(yīng)的模塊引腳接觸，所述模塊引腳包含了柵極模塊引腳、漏極模塊引腳以及源極模塊引腳。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，本測(cè)試裝置還包含: 金屬盒體，其內(nèi)放置有所述底座。
3.如權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于，在所述底座或金屬盒體上還設(shè)有電源連接端口和低電壓電流連接端口，所述電源連接端口與電源連接點(diǎn)連接，所述低電壓電流連接端口與低電壓電流連接點(diǎn)連接。
4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述底座中間設(shè)有用來(lái)放置所述功率器件模塊的凹槽，所述底座引腳設(shè)于所述凹槽中。
5.如權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述底座引腳是彈簧引腳。
6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，本測(cè)試裝置還包含: 用來(lái)將功率器件模塊壓緊和固定在所述底座上的固定裝置，其一端包含卡子，以及設(shè)置在所述底座上的卡槽； 所述固定裝置的另一端與所述底座活動(dòng)連接。
7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)試裝置，其特征在于，本測(cè)試裝置還包含:用于選擇要進(jìn)行測(cè)試的模塊半橋的工位選擇開關(guān)，其設(shè)置在所述底座上或金屬盒體上。
8.如權(quán)利要求7所述的測(cè)試裝置，其特征在于，本測(cè)試裝置還包含:能夠在源極測(cè)試、漏極測(cè)試和柵極測(cè)試三種測(cè)試之間進(jìn)行切換的開關(guān)組件，其設(shè)置在所述底座上或金屬盒體上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，包含測(cè)試電路，所述測(cè)試裝置還包含底座，其由絕緣材料制成；在所述底座上設(shè)有三個(gè)底座引腳，即柵極底座引腳、漏極底座引腳以及源極底座引腳，在測(cè)試時(shí)，所述三個(gè)底座引腳分別與功率器件模塊上相應(yīng)的模塊引腳接觸，所述模塊引腳包含了柵極模塊引腳、漏極模塊引腳以及源極模塊引腳。本實(shí)用新型提供的用于兩單元73毫米功率器件模塊電容的測(cè)試裝置，功率器件模塊依靠自身的重力、下面彈簧的彈力以及上面蓋板的壓力使模塊上的模塊引腳與底版上的引腳接觸良好，保證了連接的可靠性，較少使用引線連接，大幅度減小了寄生效應(yīng)。
文檔編號(hào)G01R27/26GK203037746SQ20132002432
公開日2013年7月3日 申請(qǐng)日期2013年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月17日
發(fā)明者成星, 朱陽(yáng)軍, 陸江, 佘超群, 高振鵬 申請(qǐng)人:江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心, 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所, 江蘇中科君芯科技有限公司