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      一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置的制作方法

      文檔序號:6044845閱讀:337來源:國知局
      專利名稱:一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置。
      背景技術(shù)
      石英坩堝是太陽能硅電池行業(yè)用來進(jìn)行多晶硅鑄錠的專用工藝裝備,在石英坩堝的生產(chǎn)過程中,由于各種原因,在石英坩堝的成品中會存在有劃傷、雜質(zhì)點(diǎn)、氣泡、裂紋等缺陷;如果將有劃傷、雜質(zhì)點(diǎn)、氣泡、裂紋等缺陷的石英坩堝投入使用會對多晶硅鑄錠的安全生產(chǎn)和產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重的后果。
      發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置用于對多晶硅鑄錠石英坩堝進(jìn)行燈光檢測,檢查人員從坩堝的外面進(jìn)行觀察,通過從坩堝壁上透過來的檢測燈光就可判斷坩堝是否存在質(zhì)量問題。本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案:一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,它包括機(jī)架,在機(jī)架的上方設(shè)有回轉(zhuǎn)臺,兩者通過回轉(zhuǎn)支承活動連接;在機(jī)架內(nèi)設(shè)有升降氣缸和燈架,所述升降氣缸的底部固定在機(jī)架上,升降端與燈架相連接,所述燈架上設(shè)有檢測燈,在機(jī)架及回轉(zhuǎn)臺上設(shè)有與燈架大小相匹配的開口,燈架通過機(jī)架及回轉(zhuǎn)臺上的開口上下運(yùn)動。所述回轉(zhuǎn)支承由回轉(zhuǎn)支承外圈、回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈及回轉(zhuǎn)支承滾動體組成,所述回轉(zhuǎn)支承外圈與機(jī)架的上面板螺栓連接,回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈與回轉(zhuǎn)臺的下面板螺栓連接,在回轉(zhuǎn)支承外圈的內(nèi)側(cè)面及回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈的外側(cè)面上均設(shè)有滾到,回轉(zhuǎn)支承滾動體在滾到內(nèi)滾動;所述機(jī)架內(nèi)設(shè)有排熱風(fēng)扇,所述排熱風(fēng)扇位于機(jī)架的底部;所述機(jī)架上設(shè)有定位裝置將機(jī)架及回轉(zhuǎn)臺固定;所述回轉(zhuǎn)臺上設(shè)有輸送輥道;所述回轉(zhuǎn)臺上設(shè)有擋光板,所述擋光板位于回轉(zhuǎn)臺上的開口處。本實(shí)用新型具有以下有益效果:本實(shí)用新型用于對多晶硅鑄錠石英坩堝進(jìn)行燈光檢測,檢查人員從坩堝的外面進(jìn)行觀察,通過從坩堝壁上透過來的檢測燈光就可判斷坩堝是否存在質(zhì)量問題;本實(shí)用新型的回轉(zhuǎn)臺是用來檢測坩堝的主要工作部件,回轉(zhuǎn)臺通過回轉(zhuǎn)支承安裝于機(jī)架之上并使回轉(zhuǎn)臺可圍繞回轉(zhuǎn)臺與回轉(zhuǎn)支承的共有垂直軸線在人力推動下旋轉(zhuǎn)以便于對坩堝的四周進(jìn)行細(xì)致的觀察;在回轉(zhuǎn)臺上安裝有定位裝置,將定位裝置上的定位插銷插入機(jī)架的定位插銷孔內(nèi)就可保證在裝上和卸下坩堝以及對其進(jìn)行觀察檢查時(shí)回轉(zhuǎn)臺的穩(wěn)定,將定位裝置上的定位插銷從機(jī)架的定位插銷孔內(nèi)撥出就可以轉(zhuǎn)動回轉(zhuǎn)臺;輸送輥道是用來裝上和卸下坩堝時(shí)方便輸送坩堝到工作位置的省力裝置;安裝了檢測燈的燈架固定在升降氣缸的活塞桿上端,通過升降氣缸的上下運(yùn)動,保證了檢測燈能根據(jù)檢測的需要上升和下降;而安裝在回轉(zhuǎn)臺上的擋光板則用于擋住坩堝下方與回轉(zhuǎn)臺之間的縫隙,擋住從這些縫隙處泄漏的燈光并將其反射到坩堝內(nèi)部以保證檢測的效果;位于升降氣缸下方在機(jī)架上安裝有排熱風(fēng)扇用于將工作時(shí)檢測燈發(fā)出的熱時(shí)及時(shí)排出去。
      圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型回轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型回轉(zhuǎn)臺的俯視圖。具體實(shí)施方法如圖1、圖2及圖3所示,一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,它包括機(jī)架1,在機(jī)架I的上方設(shè)有回轉(zhuǎn)臺4,兩者通過回轉(zhuǎn)支承6活動連接;在機(jī)架I內(nèi)設(shè)有升降氣缸3和燈架7,所述升降氣缸3的底部固定在機(jī)架I上,升降端與燈架7相連接,所述燈架7上設(shè)有檢測燈8,在機(jī)架I及回轉(zhuǎn)臺4上設(shè)有與燈架7大小相匹配的開口,燈架7通過機(jī)架I及回轉(zhuǎn)臺4上的開口上下運(yùn)動。所述回轉(zhuǎn)支承6由回轉(zhuǎn)支承外圈11、回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈12及回轉(zhuǎn)支承滾動體13組成,所述回轉(zhuǎn)支承外圈11與機(jī)架I的上面板螺栓連接,回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈12與回轉(zhuǎn)臺4的下面板螺栓連接,在回轉(zhuǎn)支承外圈11的內(nèi)側(cè)面及回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈12的外側(cè)面上均設(shè)有滾到,回轉(zhuǎn)支承滾動體13在滾到內(nèi)滾動;所述機(jī)架I內(nèi)設(shè)有排熱風(fēng)扇2,所述排熱風(fēng)扇2位于機(jī)架I的底部;所述機(jī)架I上設(shè)有定位裝置9將機(jī)架I及回轉(zhuǎn)臺4固定;所述回轉(zhuǎn)臺4上設(shè)有輸送輥道5 ;所述回轉(zhuǎn)臺4上設(shè)有擋光板10,所述擋光板10位于回轉(zhuǎn)臺4上的開口處。工作時(shí),將定位裝置上的定位插銷插入機(jī)架的定位插銷孔內(nèi)就使回轉(zhuǎn)臺的處于穩(wěn)定狀態(tài)。將石英坩堝從回轉(zhuǎn)臺的與輸送輥道垂直的一側(cè)倒扣著置于輸送輥道上面并將其推送到回轉(zhuǎn)臺的中央位置,將定位裝置上的定位插銷從機(jī)架的定位插銷孔內(nèi)撥出,啟動電源開關(guān),排熱風(fēng)扇開始運(yùn)轉(zhuǎn),檢測燈亮;升起升降氣缸,使燈架和檢測燈進(jìn)入到倒扣著的石英坩堝內(nèi)部,轉(zhuǎn)動回轉(zhuǎn)臺,檢查人員從坩堝的外面進(jìn)行觀察,通過從坩堝壁上透過來的檢測燈光就可判斷坩堝是否存在質(zhì)量問題;完成檢測后,降下升降氣缸,使燈架和檢測燈回到回轉(zhuǎn)臺下方,將定位裝置上的定位插銷插入機(jī)架的定位插銷孔內(nèi)就使回轉(zhuǎn)臺的處于穩(wěn)定狀態(tài),移開石英坩堝將其運(yùn)送離開回轉(zhuǎn)臺,完成一次檢測,安裝在回轉(zhuǎn)臺上的擋光板和用于支承輸送輥道輥?zhàn)觾?nèi)側(cè)的支承架板組成了四面全圍的擋光板,用于擋住坩堝下方與回轉(zhuǎn)臺之間的縫隙,擋住從這些縫隙處泄漏的燈光并將其反射到坩堝內(nèi)部以保證檢測的效果。
      權(quán)利要求1.一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是它包括機(jī)架(1),在機(jī)架(I)的上方設(shè)有回轉(zhuǎn)臺(4),兩者通過回轉(zhuǎn)支承(6)活動連接;在機(jī)架(I)內(nèi)設(shè)有升降氣缸(3)和燈架(7),所述升降氣缸(3)的底部固定在機(jī)架(I)上,升降端與燈架(7)相連接,所述燈架(7)上設(shè)有檢測燈(8),在機(jī)架(I)及回轉(zhuǎn)臺(4)上設(shè)有與燈架(7)大小相匹配的開口,燈架(7)通過機(jī)架(I)及回轉(zhuǎn)臺(4)上的開口上下運(yùn)動。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是所述回轉(zhuǎn)支承(6 )由回轉(zhuǎn)支承外圈(11 )、回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈(12 )及回轉(zhuǎn)支承滾動體(13 )組成,所述回轉(zhuǎn)支承外圈(11)與機(jī)架(I)的上面板螺栓連接,回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈(12)與回轉(zhuǎn)臺(4)的下面板螺栓連接,在回轉(zhuǎn)支承外圈(11)的內(nèi)側(cè)面及回轉(zhuǎn)支承內(nèi)圈(12)的外側(cè)面上均設(shè)有滾到,回轉(zhuǎn)支承滾動體(13 )在滾到內(nèi)滾動。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是所述機(jī)架(I)內(nèi)設(shè)有排熱風(fēng)扇(2 ),所述排熱風(fēng)扇(2 )位于機(jī)架(I)的底部。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是所述機(jī)架(I)上設(shè)有定位裝置(9 )將機(jī)架(I)及回轉(zhuǎn)臺(4 )固定。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是所述回轉(zhuǎn)臺(4)上設(shè)有輸送輥道(5)。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,其特征是所述回轉(zhuǎn)臺(4)上設(shè)有擋光板(10),所述擋光板(10)位于回轉(zhuǎn)臺(4)上的開口處。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置,它包括機(jī)架(1),在機(jī)架(1)的上方設(shè)有回轉(zhuǎn)臺(4),兩者通過回轉(zhuǎn)支承(6)活動連接;在機(jī)架(1)內(nèi)設(shè)有升降氣缸(3)和燈架(7),所述升降氣缸(3)的底部固定在機(jī)架(1)上,升降端與燈架(7)相連接,所述燈架(7)上設(shè)有檢測燈(8),在機(jī)架(1)及回轉(zhuǎn)臺(4)上設(shè)有與燈架(7)大小相匹配的開口,燈架(7)通過機(jī)架(1)及回轉(zhuǎn)臺(4)上的開口上下運(yùn)動。本實(shí)用新型提供的這種多晶硅鑄錠石英坩堝檢測裝置用于對多晶硅鑄錠石英坩堝進(jìn)行燈光檢測,檢查人員從坩堝的外面進(jìn)行觀察,通過從坩堝壁上透過來的檢測燈光就可判斷坩堝是否存在質(zhì)量問題。
      文檔編號G01N21/88GK203069522SQ201320028099
      公開日2013年7月17日 申請日期2013年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月21日
      發(fā)明者王后忠, 丁馨明, 李留文, 孫正榮, 周忠偉 申請人:王后忠
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