專(zhuān)利名稱(chēng)：晶體生長(zhǎng)裝置及其晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置。本實(shí)用新型還涉及一種包括上述晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置的晶體生長(zhǎng)
裝置
背景技術(shù)：
晶體作為L(zhǎng)ED燈和太陽(yáng)能行業(yè)必不可少的材料，在晶體的生長(zhǎng)過(guò)程中，往往需要用籽晶來(lái)促進(jìn)晶體的生長(zhǎng)。晶體在長(zhǎng)晶過(guò)程中放置在坩堝底部，籽晶一部分融化來(lái)促進(jìn)長(zhǎng)晶。在長(zhǎng)晶的過(guò)程中，主要通過(guò)測(cè)量籽晶融化的長(zhǎng)度來(lái)判斷晶體的生長(zhǎng)狀態(tài)。經(jīng)過(guò)上述過(guò)程長(zhǎng)出的晶體才能夠有效地避免出現(xiàn)應(yīng)力過(guò)于集中或裂開(kāi)的現(xiàn)象，同時(shí)有效地避免了晶體在生長(zhǎng)過(guò)程中出現(xiàn)晶向紊亂而降低晶體在后續(xù)加工中的利用率的現(xiàn)象。由于晶體放置在坩堝底部，而整個(gè)坩堝則是放置在熱場(chǎng)中，整個(gè)熱場(chǎng)放置于一個(gè)有保護(hù)氣氛的爐腔中，爐腔又處于一個(gè)完全密封的低真空狀態(tài)，這時(shí)需要測(cè)量籽晶融化后的長(zhǎng)度較為困難。傳統(tǒng)的測(cè)量籽晶融化長(zhǎng)度的方法是鎢棒測(cè)量法，主要是將一根鎢棒從爐蓋頂部的中間位置直接插入爐腔內(nèi)，鎢棒的一端與籽晶的上端面接觸，在籽晶融化的過(guò)程中，鎢棒在自身重力的作用下向下運(yùn)動(dòng)，鎢棒下降的長(zhǎng)度就是籽晶融化的長(zhǎng)度。然而使用這種方法需要考慮到長(zhǎng)晶裝置整體環(huán)境的密封性，保護(hù)好原有的氣氛不被破壞，必須使用密封圈對(duì)鎢棒與爐蓋的頂部接觸的位置進(jìn)行密封，要獲得較好的密封性，密封件與鎢棒之間必須有一定的壓力，然而壓力越大則密封件與鎢棒之間的摩擦力也就越大，當(dāng)鎢棒自身的重力大于密封件與鎢棒之間的摩擦力時(shí)，鎢棒才可以自由測(cè)量籽晶融化的長(zhǎng)度，當(dāng)鎢棒自身的重力小于密封件與鎢棒之間的摩 擦力時(shí)，鎢棒可能停止在一個(gè)固定位置，而難以隨著籽晶的融化而產(chǎn)生相應(yīng)位移，難以達(dá)到測(cè)量籽晶融化長(zhǎng)度的目的，若為了保證鎢棒能夠順利地下降而減小密封件與鎢棒之間的壓力，削弱了鎢棒與密封件之間的密封效果，爐腔內(nèi)長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛有可能被打破，一旦長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛被打破則預(yù)示著長(zhǎng)晶完全失敗。因此，如何在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶融化的長(zhǎng)度，已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，能夠在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶融化的長(zhǎng)度。本實(shí)用新型的另一目的是提供一種包括上述晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置的晶體生長(zhǎng)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，包括固定件、安裝管、主動(dòng)塊、測(cè)量桿及套設(shè)在所述安裝管外側(cè)的從動(dòng)塊，所述固定件上開(kāi)設(shè)有測(cè)量桿口，所述安裝管的兩端分別為封閉端和開(kāi)口端且所述開(kāi)口端與所述固定件密封安裝，固定有所述測(cè)量桿的所述主動(dòng)塊放置在所述安裝管內(nèi)，所述主動(dòng)塊與所述從動(dòng)塊通過(guò)磁場(chǎng)相互作用以實(shí)現(xiàn)兩者聯(lián)動(dòng)。[0007]優(yōu)選地，還包括安裝在所述固定件上且罩設(shè)在所述從動(dòng)塊外側(cè)的防護(hù)罩。優(yōu)選地，還包括安裝在所述防護(hù)罩上的標(biāo)尺及安裝在所述從動(dòng)塊上且指向所述標(biāo)尺的指針，所述防護(hù)罩上開(kāi)設(shè)有供所述指針上下移動(dòng)的滑槽。優(yōu)選地，所述指針的針尖位于所述標(biāo)尺的背面和所述防護(hù)罩之間。優(yōu)選地，所述防護(hù)罩上設(shè)有用于掛接所述指針的卡勾。優(yōu)選地，所述主動(dòng)塊沿其運(yùn)動(dòng)方向在所述測(cè)量桿口所在面的投影面包括位于測(cè)量桿口輪廓內(nèi)的第一投影面和位于所述測(cè)量桿口輪廓外的第二投影面。優(yōu)選地，還包括設(shè)置在所述固定件上的冷卻結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述固定件與所述安裝管之間設(shè)有密封圈。一種晶體生長(zhǎng)裝置，包括爐腔蓋及固定在所述爐腔蓋上的晶體生長(zhǎng)初期籽晶融化長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置為上述任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置。在上述技術(shù)方案中，本實(shí)用新型提供的晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，包括固定件、安裝管、主動(dòng)塊、從動(dòng)塊和測(cè)量桿，其中安裝管的一端為封閉端，另一端為開(kāi)口端，同時(shí)開(kāi)口端密封安裝在固定件上，固定件上開(kāi)設(shè)有測(cè)量桿口，主動(dòng)塊放置在安裝管內(nèi)，從動(dòng)塊套設(shè)在安裝管外側(cè)，測(cè)量桿固定在主動(dòng)塊上，主動(dòng)塊與從動(dòng)塊通過(guò)磁場(chǎng)相互作用實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)。在使用該測(cè)量裝置時(shí)，測(cè)量桿的一端接觸籽晶，這時(shí)記錄從動(dòng)塊所在的位置，隨著籽晶的融化，測(cè)量桿向下移，由于測(cè)量桿固定在主動(dòng)塊上，所以測(cè)量桿下移的同時(shí)，主動(dòng)塊也等量下移，又由于從動(dòng)塊與主動(dòng)塊聯(lián)動(dòng)，所以從動(dòng)塊也等量下移，再次記錄從動(dòng)塊的位置，兩次從動(dòng)塊的位置之間的距離即為籽晶融化的長(zhǎng)度。通過(guò)上述描述可知，相對(duì)于上述背景技術(shù)，在本實(shí)用新型提供的測(cè)量裝置中，由于測(cè)量桿的開(kāi)口端與固定件密封安裝，整個(gè)安裝管內(nèi)部與外界隔離，從動(dòng)塊位于安裝管的外偵牝保證了長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛，測(cè)量桿下移最終帶動(dòng)從動(dòng)塊等量下移，直接測(cè)量從動(dòng)塊的下移量便可測(cè)出籽晶融化的長(zhǎng)度。因此，該測(cè)量裝置能夠在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶融化的長(zhǎng)度。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的測(cè)量裝置的剖視圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示測(cè)量裝置的俯視圖。其中圖1-3中:1-固定件、2_安裝管、3_主動(dòng)塊、4_測(cè)量桿、5_從動(dòng)塊、6_籽晶、7_防護(hù)罩、8_標(biāo)尺、9-指針、10-密封圈、11-安裝螺釘、12-冷卻液管、13-卡勾。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，能夠在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶融化的長(zhǎng)度。本實(shí)用新型的另一核心是提供一種包括上述晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置的晶體生長(zhǎng)裝置。為了使本 領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖1-3，在一種具體實(shí)施方式
中，本實(shí)用新型提供的晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置包括固定件1、安裝管2、主動(dòng)塊3、從動(dòng)塊5和測(cè)量桿4，其中安裝管2的一端為封閉端，另一端為開(kāi)口端，同時(shí)開(kāi)口端密封安裝在固定件I上，安裝管2可以為石英、耐高溫玻纖等材質(zhì)的管，固定件I上開(kāi)設(shè)有測(cè)量桿口，主動(dòng)塊3放置在安裝管2內(nèi)，主動(dòng)塊3沿其運(yùn)動(dòng)方向在測(cè)量桿口所在面的投影面位于測(cè)量桿口輪廓內(nèi)。從動(dòng)塊5套設(shè)在安裝管2外側(cè)，測(cè)量桿4固定在主動(dòng)塊3上，測(cè)量桿4可以粘接在主動(dòng)塊3的底面上，當(dāng)然，主動(dòng)塊3上還可以開(kāi)設(shè)有供測(cè)量桿4穿過(guò)的安裝口，測(cè)量桿4伸入安裝口內(nèi)通過(guò)鎖緊螺釘與主動(dòng)塊3固定，當(dāng)然測(cè)量桿4還可以伸入安裝口內(nèi)與主動(dòng)塊3過(guò)盈配合以實(shí)現(xiàn)固定。主動(dòng)塊3與從動(dòng)塊5通過(guò)磁場(chǎng)相互作用以實(shí)現(xiàn)兩者聯(lián)動(dòng)，為了避免主動(dòng)塊3在安裝管2內(nèi)左右晃動(dòng)，主動(dòng)塊3的側(cè)面與安裝管2的內(nèi)表面貼合，當(dāng)主動(dòng)塊3的側(cè)面和安裝管2的內(nèi)表面為多邊形時(shí)，避免了主動(dòng)塊3在安裝管2內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)象。當(dāng)主動(dòng)塊3的形狀為圓柱形時(shí)，測(cè)量桿4固定在主動(dòng)塊3底面的圓心處，即使主動(dòng)塊3在安裝管2內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，測(cè)量桿4依然測(cè)量的是同一位置的籽晶6。作用在主動(dòng)塊3與從動(dòng)塊5之間的磁場(chǎng)可以由外界提供；當(dāng)然，主動(dòng)塊3或從動(dòng)塊5可以其中一個(gè)為磁鐵塊，另一個(gè)為鐵制塊，主動(dòng)塊3和從動(dòng)塊5還可以為兩個(gè)相互吸引的磁鐵塊。在安裝測(cè)量裝置之前，先將測(cè)量桿4的一端伸入至已經(jīng)放置籽晶6的爐腔內(nèi)，當(dāng)測(cè)量桿4的一端接觸到籽晶6的上端面時(shí)，記錄測(cè)量桿4露在爐蓋的中心法蘭外側(cè)的長(zhǎng)度，然后將測(cè)量桿4露在爐蓋的中心法蘭外側(cè)的長(zhǎng)度與安裝管2的長(zhǎng)度比較，如果測(cè)量桿4露在爐蓋的中心法蘭外側(cè)的長(zhǎng)度小于或等于安裝管2的長(zhǎng)度，直接將測(cè)量桿4固定在主動(dòng)塊3上，如果測(cè)量桿4露在爐蓋的中心法蘭外側(cè)的長(zhǎng)度大于安裝管2的長(zhǎng)度，則需要操作人員截取測(cè)量桿4長(zhǎng)度小于或等于安裝管2的長(zhǎng)度的一段，然后將測(cè)量桿4固定在主動(dòng)塊3上。在需要使用該測(cè)量裝置時(shí)，將固定件I固定在爐蓋的中心法蘭上，為了便于固定件I與爐蓋上的中心法蘭固定，固定件I可以為固定法蘭，中心法蘭與固定法蘭通過(guò)螺栓固定，測(cè)量桿4的一端接觸籽晶6的上端面，這時(shí)記錄從動(dòng)塊5所在的位置，隨著籽晶6的融化，測(cè)量桿4在重力的作用下開(kāi)始下移，由于測(cè)量桿4固定在主動(dòng)塊3上，所以測(cè)量桿4下移的同時(shí)，主動(dòng)塊3也等量下移，又由于從動(dòng)塊5與主動(dòng)塊3聯(lián)動(dòng)，所以從動(dòng)塊5也等量下移，再次記錄從動(dòng)塊5的位置，兩次從動(dòng)塊5的位置之間的距離即為籽晶6融化的長(zhǎng)度。通過(guò)上述描述可知，在本實(shí)用新型提供的測(cè)量裝置中，由于測(cè)量桿4的開(kāi)口端與固定件I密封安裝，整個(gè)安裝管2內(nèi)部與外界隔離，并且從動(dòng)塊5位于安裝管2的外側(cè)，保證了長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛；測(cè)量桿4下移最終帶動(dòng)從動(dòng)塊5等量下移，直接測(cè)量從動(dòng)塊5的下移量便可得出籽晶6融化的長(zhǎng)度。因此該裝置能夠在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶6融化的長(zhǎng)度。進(jìn)一步，該測(cè)量裝置還包括防護(hù)罩7，防護(hù)罩7罩設(shè)在從動(dòng)塊5的外側(cè)且固定在固定件I上，防護(hù)罩7可以粘接在固定件I上，當(dāng)然防護(hù)罩7還可以通過(guò)安裝螺釘11與固定件I固定，為了避免安裝螺釘11在安裝之后松動(dòng)，安裝螺釘11與防護(hù)罩7之間放置有彈簧墊圈和平墊圈。通過(guò)在從動(dòng)塊5的外側(cè)安裝防護(hù)罩7，有效地避免了外物碰觸從動(dòng)塊5，從而影響測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性的現(xiàn)象。更進(jìn)一步,該測(cè) 量裝置還包括標(biāo)尺8和指針9,標(biāo)尺8安裝在防護(hù)罩7上,其中標(biāo)尺8可以粘接或通過(guò)螺釘固定等方式固定在防護(hù)罩7上。指針9安裝在從動(dòng)塊5上，其中指針9的一端可以粘接或嵌入從動(dòng)塊5上，防護(hù)罩7上開(kāi)設(shè)有供指針9上下移動(dòng)的滑槽，其中指針9的標(biāo)示部位指向標(biāo)尺8的刻度,根據(jù)測(cè)量裝置實(shí)際安裝的需要,指針9的標(biāo)示部位與指向標(biāo)尺8的刻度平行或成一定的角度。在使用該測(cè)量裝置時(shí)，隨著從動(dòng)塊5的下移，指針9也相應(yīng)下移，下移量可以直接從標(biāo)尺8的刻度上讀出，操作簡(jiǎn)單，避免了需要操作人員親自測(cè)量從動(dòng)塊5下移量的現(xiàn)象，節(jié)省時(shí)間。為了避免指針9的針尖在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中碰觸外界物體而發(fā)生變形，從而影響測(cè)量精度的現(xiàn)象，指針9的針尖位于標(biāo)尺8的背面與防護(hù)罩7之間。為了在不使用測(cè)量裝置時(shí)，指針9能夠在初始位置固定，防護(hù)罩7上設(shè)有卡勾13。在不需要使用測(cè)量裝置時(shí)，將指針9掛接在卡勾13上。在需要使用該測(cè)量裝置時(shí)，直接將指針9從卡勾13上取下,指針9在從動(dòng)塊5的帶動(dòng)下向下移動(dòng)。由于指針9固定在從動(dòng)塊5上，當(dāng)指針9的位置固定時(shí)，也可有效地避免從動(dòng)塊5移動(dòng)。優(yōu)選地，該測(cè)量裝置還包括冷卻結(jié)構(gòu)，冷卻結(jié)構(gòu)設(shè)置在固定件I上，冷卻結(jié)構(gòu)可以為環(huán)繞在固定件I側(cè)面的冷卻管道，當(dāng)然還可以在固定件I中開(kāi)設(shè)冷卻液腔，冷卻液管12與冷卻液腔連通，其中冷卻液管12包括冷卻液進(jìn)液管和冷卻液出液管。在使用該測(cè)量裝置時(shí)，將測(cè)量桿4的端部放置在與坩堝隔離的籽晶6的上端面上，當(dāng)爐腔內(nèi)溫度升高時(shí)，籽晶6與坩堝接觸的一面在冷卻結(jié)構(gòu)的作用下，溫度相對(duì)較低，未達(dá)到籽晶6的熔點(diǎn)，而與坩堝隔離的一端的籽晶6由于沒(méi)有冷卻結(jié)構(gòu) 的保護(hù)，溫度高于籽晶6的熔點(diǎn)，籽晶6開(kāi)始融化，最終測(cè)得籽晶6融化的長(zhǎng)度。通過(guò)在測(cè)量裝置上安裝冷卻結(jié)構(gòu)，有效地避免了爐腔內(nèi)過(guò)高的溫度損害測(cè)量裝置的現(xiàn)象，有效地延長(zhǎng)了測(cè)量裝置的使用壽命。更為優(yōu)選地，主動(dòng)塊3沿其運(yùn)動(dòng)方向在測(cè)量桿口所在面的投影面包括位于測(cè)量桿口輪廓內(nèi)的第一投影面和位于測(cè)量桿口輪廓外的第二投影面。當(dāng)主動(dòng)塊3隨著測(cè)量桿4下移時(shí)，由于主動(dòng)塊3沿其運(yùn)動(dòng)方向在測(cè)量桿口所在面的第二投影面位于測(cè)量桿口輪廓外，有效地避免了主動(dòng)塊3隨著測(cè)量桿4 一同進(jìn)入坩堝內(nèi)的現(xiàn)象，避免坩堝內(nèi)的高溫環(huán)境損壞主動(dòng)塊3，有效地延長(zhǎng)了主動(dòng)塊3的使用壽命。在上述各方案的基礎(chǔ)上，固定件I與安裝管2之間設(shè)有一個(gè)密封圈10，加強(qiáng)了固定件I與安裝管2之間的密封效果。為了進(jìn)一步加強(qiáng)固定件I與安裝管2之間的密封效果，固定件I與安裝管2之間可以設(shè)有多個(gè)密封圈10，當(dāng)然，還可以將固定件I和安裝管2的兩個(gè)相接觸的側(cè)面設(shè)置成階梯形。本實(shí)用新型所提供的晶體生長(zhǎng)裝置至少包括上述一種測(cè)量裝置，其它部分的結(jié)構(gòu)可以參照現(xiàn)有技術(shù)，本文不再贅述。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的晶體生長(zhǎng)裝置及其晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，其特征在于，包括固定件(1)、安裝管(2)、主動(dòng)塊(3)、測(cè)量桿(4)及套設(shè)在所述安裝管(2)外側(cè)的從動(dòng)塊(5)，所述固定件(1)上開(kāi)設(shè)有測(cè)量桿口，所述安裝管(2)的兩端分別為封閉端和開(kāi)口端且所述開(kāi)口端與所述固定件(I)密封安裝，固定有所述測(cè)量桿(4)的所述主動(dòng)塊(3)放置在所述安裝管(2)內(nèi)，所述主動(dòng)塊(3 )與所述從動(dòng)塊(5 )通過(guò)磁場(chǎng)相互作用以實(shí)現(xiàn)兩者聯(lián)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述測(cè)量裝置，其特征在于，還包括安裝在所述固定件(1)上且罩設(shè)在所述從動(dòng)塊(5)外側(cè)的防護(hù)罩(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，還包括安裝在所述防護(hù)罩(7)上的標(biāo)尺(8)及安裝在所述從動(dòng)塊(5)上且指向所述標(biāo)尺(8)的指針(9)，所述防護(hù)罩(7)上開(kāi)設(shè)有供所述指針(9)上下移動(dòng)的滑槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述指針(9)的針尖位于所述標(biāo)尺(8)的背面和所述防護(hù)罩(7)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述防護(hù)罩(7)上設(shè)有用于掛接所述指針(9)的卡勾。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述主動(dòng)塊(3)沿其運(yùn)動(dòng)方向在所述測(cè)量桿口所在面的投影面包括位于測(cè)量桿口輪廓內(nèi)的第一投影面和位于所述測(cè)量桿口輪廓外的第二投影面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在所述固定件(1)上的冷卻結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述固定件(1)與所述安裝管(2)之間設(shè)有密封圈(10)。
9.一種晶體生長(zhǎng)裝置，包括爐腔蓋及固定在所述爐腔蓋上的晶體生長(zhǎng)初期籽晶融化長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量裝置為權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的測(cè)量裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶體生長(zhǎng)初期籽晶長(zhǎng)度的測(cè)量裝置，包括固定件、安裝管、主動(dòng)塊、測(cè)量桿及套設(shè)在安裝管外側(cè)的從動(dòng)塊，固定件上開(kāi)設(shè)有測(cè)量桿口，安裝管的兩端分別為封閉端和開(kāi)口端且開(kāi)口端與固定件密封安裝，固定有測(cè)量桿的主動(dòng)塊放置在安裝管內(nèi)，主動(dòng)塊與從動(dòng)塊通過(guò)磁場(chǎng)相互作用以實(shí)現(xiàn)兩者聯(lián)動(dòng)。由于測(cè)量桿的開(kāi)口端與固定件密封安裝，整個(gè)安裝管內(nèi)部與外界隔離，從動(dòng)塊位于安裝管的外側(cè)，測(cè)量桿下移最終帶動(dòng)從動(dòng)塊等量下移，直接測(cè)量從動(dòng)塊的下移量便可測(cè)出籽晶融化的長(zhǎng)度。因此，該測(cè)量裝置能夠在保證長(zhǎng)晶的保護(hù)氣氛的同時(shí)，有效地測(cè)量出籽晶融化的長(zhǎng)度。
文檔編號(hào)G01B5/02GK203080114SQ20132006071
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月30日
發(fā)明者徐永亮, 姜樹(shù)炎 申請(qǐng)人:浙江昀豐新能源科技有限公司