專利名稱：自動(dòng)取樣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)取樣裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)制造過程中，經(jīng)常需要使用液體和產(chǎn)品進(jìn)行反應(yīng)，如晶圓的濕法蝕刻工藝中，采用酸液和晶圓反應(yīng)，以去除晶圓上的特定薄膜?，F(xiàn)有的蝕刻機(jī)臺(tái)的背面設(shè)有液體存儲(chǔ)槽，例如酸槽，其內(nèi)裝有用于晶圓的濕法刻蝕的酸液。酸槽內(nèi)的酸液使用一段時(shí)間后，其內(nèi)的金屬離子雜質(zhì)會(huì)逐漸增加，如超過一定的量這些金屬離子雜質(zhì)會(huì)粘附于晶圓表面，以致?lián)p傷及侵蝕晶圓。因此，通常每隔一個(gè)月，就要對(duì)酸槽內(nèi)的酸液進(jìn)行取樣分析。需要取樣時(shí)，先打開機(jī)臺(tái)背面的機(jī)臺(tái)背部玻璃擋板，一個(gè)人手拿取樣瓶對(duì)著取樣管的下端即出口，另一個(gè)人操作安裝于取樣管上的控制閥，兩人一起協(xié)同操作完成取樣工作。由此，不但費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且液體取樣量因人工操作而誤差比較大。因此，如何提供一種可以自動(dòng)、精確取樣的自動(dòng)取樣裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)取樣裝置，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、精確的取樣，有效提高液體取樣效率和精度。為了達(dá) 到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:—種自動(dòng)取樣裝置，用于對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)的液體存儲(chǔ)槽中的液體進(jìn)行自動(dòng)取樣，包括取樣管、密閉容器、取樣瓶、控制閥、控制器以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶指定液位的液位感應(yīng)器，所述取樣管的上端與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，所述控制器分別與所述控制閥和所述液位感應(yīng)器連接，所述控制器設(shè)置于所述取樣管上，所述密閉容器的頂蓋開設(shè)供所述取樣管的下端伸入的通孔，所述密閉容器的頂蓋與所述取樣管密封固定連接，所述密閉容器上開設(shè)用于取放所述取樣瓶的門洞，并在所述密閉容器上設(shè)置用于打開或者關(guān)閉所述門洞的活動(dòng)門。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，還包括流量計(jì)，所述流量計(jì)與所述控制器連接，所述流量計(jì)安裝于所述取樣管上。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述活動(dòng)門和所述密閉容器轉(zhuǎn)動(dòng)連接。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述活動(dòng)門和所述密閉容器滑動(dòng)連接。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述液位感應(yīng)器設(shè)置于所述密閉容器內(nèi)，且所述液位感應(yīng)器的設(shè)置位置與位于所述密閉容器內(nèi)的所述取樣瓶的3/5-4/5高度范圍相對(duì)應(yīng)。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述控制閥安裝于所述取樣管和所述密閉容器的頂蓋的連接處。[0013]優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述密閉容器的頂蓋是透明板。優(yōu)選的，在上述的自動(dòng)取樣裝置中，所述密閉容器的側(cè)壁是透明板。本實(shí)用新型提供的自動(dòng)取樣裝置，安裝于取樣管的下方，所述取樣管的上端與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，包括密閉容器、取樣瓶、控制閥、控制器以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶指定液位的液位感應(yīng)器。需要取樣時(shí)，只要打開活動(dòng)門，將取樣瓶對(duì)準(zhǔn)取樣管的下端放入密閉容器內(nèi)，然后關(guān)上活動(dòng)門，打開控制器，控制器會(huì)打開控制閥，使得液體存儲(chǔ)槽內(nèi)的液體流入取樣瓶中，當(dāng)液位感應(yīng)器感應(yīng)到取樣瓶內(nèi)的液位到達(dá)指定位置時(shí)，通知控制閥關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、精確的取樣，有效提聞液體取樣效率和精度。此外，本實(shí)用新型通過在所述取樣管上增設(shè)流量計(jì)，所述流量計(jì)與所述控制器連接，通過流量計(jì)可以獲知取樣管內(nèi)液體的流量，當(dāng)取樣管內(nèi)液體的流量超過控制器內(nèi)的設(shè)定的上限值時(shí)，控制器會(huì)通知控制閥減少流量，從而可以防止流量過大以致液位感應(yīng)器來不及反應(yīng)，取樣瓶就已經(jīng)滿至溢出的問題，進(jìn)而避免液體外流引發(fā)的污染和清潔工作。

本實(shí)用新型的自動(dòng)取樣裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的自動(dòng)取樣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的自動(dòng)取樣裝置的控制原理圖。圖中，1-取樣管、2-密閉容器、21-門洞、22-活動(dòng)門、3-取樣瓶、4-控制閥、5-控制器、6-液位感應(yīng)器、7-流量計(jì)、8-接口部件、9-機(jī)臺(tái)背部玻璃擋板。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的自動(dòng)取樣裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有益效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1和圖2，其中，圖1所示是本實(shí)用新型一實(shí)施例的自動(dòng)取樣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2所示是本實(shí)用新型一實(shí)施例的自動(dòng)取樣裝置的控制原理圖。本實(shí)施例提供了自動(dòng)取樣裝置，用于對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)的液體存儲(chǔ)槽中的液體(例如濕法蝕刻機(jī)臺(tái)中的酸槽中的酸液)進(jìn)行自動(dòng)取樣，所述自動(dòng)取樣裝置包括取樣管1、密閉容器2、取樣瓶3、控制閥4、控制器5 以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶3指定液位的液位感應(yīng)器6，所述取樣管I的上端通過接口部件8與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，所述控制器5分別與所述控制閥4和所述液位感應(yīng)器6連接，所述控制器5設(shè)置于所述取樣管I上，所述密閉容器2的頂蓋開設(shè)供所述取樣管I的下端伸入的通孔，所述密閉容器2的頂蓋與所述取樣管I密封固定連接，所述密閉容器2上開設(shè)有用于取放所述取樣瓶3的門洞21，并在所述密閉容器2上設(shè)置用于打開或者關(guān)閉所述門洞21的活動(dòng)門22。需要取樣時(shí)，先打開機(jī)臺(tái)背部玻璃擋板9，再打開活動(dòng)門22，將取樣瓶3對(duì)準(zhǔn)取樣管I的下端放入密閉容器2內(nèi)，然后關(guān)上活動(dòng)門22，打開控制器5，控制器5會(huì)打開控制閥4，使得液體存儲(chǔ)槽內(nèi)的液體流入取樣瓶3中，當(dāng)液位感應(yīng)器6感應(yīng)到取樣瓶3內(nèi)的液位到達(dá)指定位置時(shí)，通知控制閥4關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、精確的取樣，有效提聞液體取樣效率和精度。較佳的，在本實(shí)施例中，所述密閉容器2的頂蓋是透明板，由于密封容器2的頂蓋是透明材質(zhì)的，因此，密封容器2的內(nèi)部部件和結(jié)構(gòu)可見。通過采用透明板制成的頂蓋和側(cè)壁，操作人員可以觀察密閉容器2內(nèi)的運(yùn)行情況，以便操作人員及時(shí)掌握該自動(dòng)取樣裝置的情況。同樣，所述密閉容器2的側(cè)壁優(yōu)選是透明板，以便操作人員及時(shí)掌握該自動(dòng)取樣裝置的情況。較佳的，在本實(shí)施例中，還包括流量計(jì)7，所述流量計(jì)7與所述控制器5連接，所述流量計(jì)7安裝于所述取樣管I上。通過在所述取樣管I上增設(shè)流量計(jì)7，所述流量計(jì)7與所述控制器5連接，通過流量計(jì)7可以獲知取樣管I內(nèi)液體的流量，當(dāng)流量超過控制器5內(nèi)的設(shè)定的上限值時(shí)，控制器5會(huì)通知控制閥4減少流量，從而可以防止流量過大以致液位感應(yīng)器6來不及反應(yīng)，取樣瓶3就已經(jīng)滿至溢出的問題，從而避免液體外流引發(fā)的污染和清潔工作。較佳的，在本實(shí)施例中，所述活動(dòng)門22和所述密閉容器2轉(zhuǎn)動(dòng)連接。當(dāng)然，所述活動(dòng)門22也可以和所述密閉容器2滑動(dòng)連接。兩種結(jié)構(gòu)均比較簡單，使用也比較方便。較佳的，在本實(shí)施例中，所述液位感應(yīng)器6設(shè)置于所述密閉容器2內(nèi)，且所述液位感應(yīng)器6的設(shè)置位置與位于所述密閉容器2內(nèi)的所述取樣瓶3的3/5-4/5高度范圍相對(duì)應(yīng)。也就是說所述液位感應(yīng)器6的水平位置處于位于所述密閉容器2內(nèi)的所述取樣瓶3的3/5-4/5高度范圍內(nèi)。一旦液位感應(yīng)器6感應(yīng)到液體，就會(huì)向控制器5發(fā)送取樣結(jié)束的信號(hào)，從而完成自動(dòng)取樣。較佳的，在本實(shí)施例中，所述控制閥4安裝于所述取樣管I和所述密閉容器2的頂蓋的連接處，從而使得結(jié)構(gòu)更加緊湊。綜上所述，本實(shí)用新型提供的自動(dòng)取樣裝置，安裝于取樣管的下方，所述取樣管的上端與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，包括密閉容器、取樣瓶、控制閥、控制器以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶指定液位的液位感應(yīng)器，需要取樣，只要打開活動(dòng)門，將取樣瓶對(duì)準(zhǔn)取樣管的下端放入密閉容器內(nèi)，然后關(guān)上活動(dòng)門，打開控制器，控制器會(huì)打開控制閥，使得液體存儲(chǔ)槽內(nèi)的液體流入取樣瓶中，當(dāng)液位感應(yīng)器感應(yīng)到取樣瓶內(nèi)的液位到達(dá)指定位置時(shí)，通知控制閥關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、精確的取樣，有效提聞液體取樣效率和精度。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以 對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種自動(dòng)取樣裝置，用于對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)的液體存儲(chǔ)槽中的液體進(jìn)行自動(dòng)取樣，其特征在于:包括取樣管、密閉容器、取樣瓶、控制閥、控制器以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶指定液位的液位感應(yīng)器，所述取樣管的上端與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，所述控制器分別與所述控制閥和所述液位感應(yīng)器連接，所述控制器設(shè)置于所述取樣管上，所述密閉容器的頂蓋開設(shè)供所述取樣管的下端伸入的通孔，所述密閉容器的頂蓋與所述取樣管密封固定連接，所述密閉容器上開設(shè)用于取放所述取樣瓶的門洞，并在所述密閉容器上設(shè)置用于打開或者關(guān)閉所述門洞的活動(dòng)門。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，還包括流量計(jì)，所述流量計(jì)與所述控制器連接，所述流量計(jì)安裝于所述取樣管上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述活動(dòng)門和所述密閉容器轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述活動(dòng)門和所述密閉容器滑動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述液位感應(yīng)器設(shè)置于所述密閉容器內(nèi)，且所述液位感應(yīng)器的設(shè)置位置與位于所述密閉容器內(nèi)的所述取樣瓶的3/5-4/5高度范圍相對(duì)應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述控制閥安裝于所述取樣管和所述密閉容器的頂蓋的連接處。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述密閉容器的頂蓋是透明板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)取樣裝置，其特征在于，所述密閉容器的側(cè)壁是透明板。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)取樣裝置，用于對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)的液體存儲(chǔ)槽中的液體進(jìn)行自動(dòng)取樣，包括取樣管、密閉容器、取樣瓶、控制閥、控制器以及用于檢測液位是否到達(dá)取樣瓶指定液位的液位感應(yīng)器，所述取樣管的上端與液體存儲(chǔ)槽的取樣口密閉連接，所述控制器分別與所述控制閥和所述液位感應(yīng)器連接，所述控制器設(shè)置于所述取樣管上，所述密閉容器的頂蓋開設(shè)供所述取樣管的下端伸入的通孔，所述密閉容器的頂蓋與所述取樣管密封固定連接，所述密閉容器上開設(shè)用于取放所述取樣瓶的門洞，并在密閉容器上設(shè)置活動(dòng)門。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、精確的取樣，有效提高液體取樣效率和精度。
文檔編號(hào)G01N1/10GK203101108SQ201320062120
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月1日
發(fā)明者李廣寧, 施燕莉 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司