用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置制造方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種用于檢測(cè)流體控制設(shè)備泄漏的裝置。根據(jù)本公開內(nèi)容的教導(dǎo)的一種示例裝置包括多個(gè)端口。端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口。該裝置包括用于測(cè)量在清洗端口的值的傳感器和用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值進(jìn)行比較以確定該值是否在所述預(yù)定閾值以外的處理器。
【專利說明】用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本專利主要地涉及泄漏檢測(cè)，并且更具體地涉及用于檢測(cè)流體控制設(shè)備泄漏的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在危險(xiǎn)和/或致命應(yīng)用(例如氯和/或多晶硅生產(chǎn))中實(shí)施的流體控制設(shè)備可以包括用于防止過程流體經(jīng)過蓋向大氣泄漏的波紋管。然而，這些波紋管也可能隨著時(shí)間的推移而產(chǎn)生泄漏。在一些情況下，這些傳感器可以用來檢測(cè)流體控制設(shè)備中的波紋管泄漏。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]在危險(xiǎn)和/或致命應(yīng)用(例如氯和/或多晶硅生產(chǎn))中實(shí)施的流體控制設(shè)備可以包括用于防止過程流體經(jīng)過蓋向大氣泄漏的波紋管。然而這些波紋管可能隨著時(shí)間的推移而產(chǎn)生泄漏。在未安裝附加空氣監(jiān)控部件和/或未讓操作者暴露于危險(xiǎn)條件的情況下，可能難以檢測(cè)這樣的波紋管泄漏。
[0004]在一些示例中，可以使用空氣監(jiān)控設(shè)備、壓強(qiáng)計(jì)和/或發(fā)送器(例如空氣監(jiān)控部件)在閥或者閥周圍檢測(cè)波紋管泄漏?？諝獗O(jiān)控部件可以耦接到被監(jiān)控的閥蓋的清洗端口。在操作中，空氣質(zhì)量和/或壓強(qiáng)測(cè)量值被發(fā)送給用于分析所述測(cè)量值的控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)遠(yuǎn)離空氣監(jiān)控部件?；诜治?，控制系統(tǒng)可以向操作者警報(bào)潛在波紋管泄漏。盡管在監(jiān)控波紋管泄漏時(shí)有效，但是這樣的系統(tǒng)的邏輯遠(yuǎn)離所述空氣監(jiān)控部件。
[0005]這里公開的示例使用控制器、電-氣動(dòng)控制器和/或數(shù)字閥控制器(DVC)來監(jiān)控波紋管泄漏、自動(dòng)警報(bào)這樣的泄漏和/或提供及早檢測(cè)和/或遠(yuǎn)程通知這樣的泄漏。這樣的方式無須附加空氣監(jiān)控部件，又通過不讓操作者暴露于在被監(jiān)控的閥(例如閥地點(diǎn))周圍的環(huán)境來增強(qiáng)工廠安全。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，公開了一種裝置，包括多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口 ；傳感器，用于測(cè)量在所述清洗端口的值；以及處理器，用于比較所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值以確定所述值是否在預(yù)定閾值以外。
[0007]特別的，所述值在預(yù)定閾值以外與所述流體控制設(shè)備中的波紋管泄漏關(guān)聯(lián)。
[0008]特別的，所述處理器用于如果所述值在所述預(yù)定閾值以外則生成警報(bào)。
[0009]特別的，所述處理器用于基于所述處理器確定所述值在所述預(yù)定閾值以外來向遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)自動(dòng)傳達(dá)警報(bào)。
[0010]特別的，所述處理器用于如果所述值在所述預(yù)定閾值以外則生成報(bào)告。
[0011]特別的，所述報(bào)告包括時(shí)間戳。
[0012]特別的，所述的裝置還包括不固定地耦接于所述清洗端口與所述傳感器之間的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器。
[0013]特別的，所述傳感器包括壓強(qiáng)感測(cè)膜組件。[0014]特別的，所述值包括壓強(qiáng)值。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例，公開了一種裝置，包括:多個(gè)端口，所述端口中的第一端口用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的第二端口不固定地耦接到流體控制設(shè)備的蓋端口 ；波紋管，位于所述流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與所述蓋端口之間以基本上防止過程流體流向所述蓋端口 ；傳感器，用于測(cè)量在所述蓋端口的壓強(qiáng)值；以及處理器，用于將所述壓強(qiáng)值與預(yù)定壓強(qiáng)值或者先前測(cè)量的壓強(qiáng)值進(jìn)行比較，以確定所述波紋管中是否有泄漏。
[0016]特別的，所述處理器用于如果所述處理器確定所述波紋管中有泄漏則生成警報(bào)。
[0017]特別的，所述處理器用于基于所述處理器確定所述波紋管中有泄漏來向遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)自動(dòng)傳達(dá)警報(bào)。
[0018]特別的，所述處理器用于基于所述處理器確定所述波紋管中有泄漏而生成報(bào)告。
[0019]根據(jù)本實(shí)用新型的又一實(shí)施例，公開了一種裝置，包括:多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口，波紋管位于所述流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與所述清洗端口之間以基本上防止過程流體流向所述清洗端口；以及用于檢測(cè)所述流體控制設(shè)備中的波紋管泄漏的裝置。
[0020]特別的，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于測(cè)量在所述清洗端口的值的傳感器。
[0021]特別的，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值進(jìn)行比較以確定是否有泄漏的處理器。
[0022]根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例，公開了一種裝置，包括:多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口 ；傳感器，用于測(cè)量在所述清洗端口的值；以及處理器，用于基于所述測(cè)量的值確定所述流體控制設(shè)備中是否有泄漏。
[0023]特別的，所述流體控制設(shè)備中的所述泄漏與所述測(cè)量的值在預(yù)定閾值以外相關(guān)。
[0024]特別的，所述處理器用于比較所述測(cè)量的壓強(qiáng)值與所述預(yù)定閾值。
[0025]特別的，所述測(cè)量的值包括壓強(qiáng)值。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1所示為已知的流體控制設(shè)備。
[0027]圖2所示為根據(jù)申請(qǐng)所教導(dǎo)的流體控制設(shè)備和示例控制器。
[0028]圖3所示為可以用于和/或被編程為實(shí)施本中請(qǐng)所公開的所有示例方法和裝置的示例處理器的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]在上述圖中示出并且以下具體描述某些示例。在描述這些示例時(shí)，相似或者相同標(biāo)號(hào)用來標(biāo)識(shí)相同或者相似單元。圖未必按比例，并且為了清楚和/或簡(jiǎn)潔而可以在比例上夸大或者示意地示出圖的某些特征和某些視圖。此外，已經(jīng)貫穿本說明書描述若干示例。來自任何示例的任何特征可以與來自其它示例的其它特征包含在一起、替換這些其它特征或者另外與這些其它特征組合。[0030]在危險(xiǎn)和/或致命應(yīng)用(例如氯和/或多晶硅生產(chǎn))中實(shí)施的流體控制設(shè)備可以包括用于防止過程流體經(jīng)過蓋向大氣泄漏的波紋管。然而這些波紋管可能隨著時(shí)間的推移而產(chǎn)生泄漏。在未安裝附加空氣監(jiān)控部件和/或未讓操作者暴露于危險(xiǎn)條件的情況下，可能難以檢測(cè)這樣的波紋管泄漏。
[0031]在一些示例中，可以使用空氣監(jiān)控設(shè)備、壓強(qiáng)計(jì)和/或發(fā)送器(例如空氣監(jiān)控部件)在閥或者閥周圍檢測(cè)波紋管泄漏?？諝獗O(jiān)控部件可以耦接到被監(jiān)控的閥蓋的清洗端口。在操作中，空氣質(zhì)量和/或壓強(qiáng)測(cè)量值被發(fā)送給用于分析所述測(cè)量值的控制系統(tǒng)。該控制系統(tǒng)遠(yuǎn)離空氣監(jiān)控部件?；诜治觯刂葡到y(tǒng)可以向操作者警報(bào)潛在波紋管泄漏。盡管在監(jiān)控波紋管泄漏時(shí)有效，但是這樣的系統(tǒng)的邏輯遠(yuǎn)離所述空氣監(jiān)控部件。
[0032]這里公開的示例使用控制器、電-氣動(dòng)控制器和/或數(shù)字閥控制器(DVC)來監(jiān)控波紋管泄漏、自動(dòng)警報(bào)這樣的泄漏和/或提供及早的檢測(cè)和/或遠(yuǎn)程通知這樣的泄漏。這樣的方式無須附加空氣監(jiān)控部件，又通過不讓操作者暴露于在被監(jiān)控的閥(例如閥地點(diǎn))周圍的環(huán)境中來增強(qiáng)工廠安全。
[0033]在一些示例中，為了針對(duì)波紋管泄漏監(jiān)控閥，蓋的清洗端口耦接到具有集成壓強(qiáng)感測(cè)能力的DVC的壓強(qiáng)感測(cè)端口。在閥是單作用閥的示例中，壓強(qiáng)感測(cè)端口可以是配置為測(cè)量清洗端口壓強(qiáng)的DVC的未用端口。在閥是雙作用閥的示例中，所述壓強(qiáng)感測(cè)端口可以是DVC的專用于測(cè)量清洗端口壓強(qiáng)并且因此用于檢測(cè)波紋管泄漏的端口。無論被監(jiān)控的閥類型如何，所公開的示例通過確定在清洗端口的壓強(qiáng)的改變來監(jiān)控波紋管的泄漏。如果DVC確定壓強(qiáng)改變了特定數(shù)量，則DVC通過向控制系統(tǒng)和/或監(jiān)控軟件傳送警報(bào)來通知操作者。此外，DVC可以產(chǎn)生或提供數(shù)據(jù)用于生成包括波紋管泄漏的日期、時(shí)間等的報(bào)告。
[0034]在一些示例中，為了使DVC能夠檢測(cè)壓強(qiáng)改變，使用DVC的診斷能力來創(chuàng)建配置文件，該配置文件能夠?qū)VC的性能診斷用于對(duì)所述閥進(jìn)行監(jiān)控(例如監(jiān)控閥的健康)。在一些示例中，使用監(jiān)控軟件來配置和/或建立該配置文件。所述配置文件可以指定在發(fā)送警報(bào)之前的最小波紋管壓強(qiáng)改變。然而在其它示例中，用來實(shí)施公開的示例的固件可以包括波紋管泄漏警報(bào)。在一些這樣的示例中，未創(chuàng)建(例如操作者未建立)用于壓強(qiáng)改變的配置文件。在所公開的任何示例中，所述監(jiān)控軟件可以是Emerson Process Management的AMS軟件和/或ValveLink Solo軟件。盡管上述示例描述使用壓強(qiáng)以確定波紋管泄漏，附加地或者備選地可以測(cè)量和使用其它參數(shù)比如空氣質(zhì)量以確定泄漏。
[0035]在過程壓強(qiáng)在超過大概150磅每平方英寸(psi)的應(yīng)用中，壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器可以安裝于所述清洗端口與所述DVC之間以基本上防止所述過程壓強(qiáng)損壞所述DVC。在一些示例中，為了保護(hù)所述DVC免于受到過程流體的影響，壓強(qiáng)感測(cè)膜使所述過程流體與所述DVC分離。所述壓強(qiáng)感測(cè)膜可以與DVC集成和/或在DVC外部。
[0036]圖1所示為包括波紋管104以基本上防止過程流體流向大氣的已知流體控制設(shè)備和/或閥102。波紋管104位于流動(dòng)路徑106與流體控制設(shè)備102的清洗端口 108之間。然而波紋管104可能隨時(shí)間泄漏。
[0037]在操作中，為了監(jiān)控波紋管泄漏，傳感器110測(cè)量在清洗端口 108的值。該值由遠(yuǎn)離傳感器Iio的控制系統(tǒng)112用來確定波紋管104是否在泄漏。在所述測(cè)量的值是空氣質(zhì)量值的示例中，如果測(cè)量的空氣質(zhì)量值已經(jīng)改變和/或在可接受和/或預(yù)定空氣質(zhì)量值以夕卜，則控制系統(tǒng)112可以確定波紋管104在泄漏。在測(cè)量的值是壓強(qiáng)值的示例中，如果測(cè)量的壓強(qiáng)值高于預(yù)定壓強(qiáng)和/或如果所述壓強(qiáng)已經(jīng)升高了特定數(shù)量，則控制系統(tǒng)112可以確定波紋管104在泄漏。在傳感器110未耦接到控制系統(tǒng)112的示例中，前往閥地點(diǎn)并且觀察傳感器110的操作者可以監(jiān)控流體控制設(shè)備102的波紋管泄漏。
[0038]為了控制流體控制設(shè)備102的位置，電-氣動(dòng)控制器114經(jīng)由第一端口 116耦接到致動(dòng)器115并且經(jīng)由第二端口 120耦接到空氣供應(yīng)118。在致動(dòng)器115是雙作用致動(dòng)器的示例中，控制器114還經(jīng)由第三端口 122耦接到致動(dòng)器115。然而在致動(dòng)器115是單作用致動(dòng)器的示例中，如圖1中所示，所述第三端口 122未被使用。在操作中，控制器114測(cè)量致動(dòng)器115的位置并且基于從遙控系統(tǒng)112接收的命令使致動(dòng)器115移向特定位置。
[0039]圖2描繪根據(jù)本公開內(nèi)容的教導(dǎo)的具有集成波紋管泄漏檢測(cè)能力的示例控制器200。在操作中，為了監(jiān)控波紋管泄漏，控制器200的第一和/或空氣監(jiān)控端口 202耦接到清洗端口 108以使控制器200的傳感器204能夠測(cè)量在清洗端口 108的值。所述測(cè)量的值由控制器200的處理器206用來確定波紋管104是否在泄漏。因此，與使用控制系統(tǒng)112 (圖1)的遠(yuǎn)程處理能力以及需要附加外部監(jiān)控設(shè)備的已知示例不同，控制器200在閥地點(diǎn)確定(即本地確定)波紋管104是否在泄漏。
[0040]傳感器204可以是壓強(qiáng)傳感器、空氣質(zhì)量傳感器等。在傳感器204是空氣質(zhì)量傳感器的示例中，如果測(cè)量的空氣質(zhì)量值已經(jīng)改變和/或在可接受和/或預(yù)定空氣質(zhì)量值以夕卜，則傳感器206可以確定波紋管104在泄漏。在傳感器204是壓強(qiáng)傳感器的情況下，例如如果測(cè)量的壓強(qiáng)值高于預(yù)定閾值和/或固定壓強(qiáng)和/或如果壓強(qiáng)在特定時(shí)間內(nèi)已經(jīng)上升了特定數(shù)量，則控制系統(tǒng)112可以確定波紋管104在泄漏。
[0041 ] 如果處理器206確定波紋管104在泄漏，則處理器206可以自動(dòng)報(bào)警和/或通知控制系統(tǒng)和/或監(jiān)控系統(tǒng)208和/或與之關(guān)聯(lián)的操作者。這樣及早的通知波紋管泄漏增強(qiáng)了操作者安全，因?yàn)榱黧w控制設(shè)備102可以用來控制危險(xiǎn)流體和/或材料的流動(dòng)。附加地或者備選地，處理器206可以生成或提供數(shù)據(jù)以產(chǎn)生與檢測(cè)到的波紋管泄漏關(guān)聯(lián)的報(bào)告。在一些這樣的示例中，所述報(bào)告可以包括時(shí)間戳(例如日期、時(shí)間等)。
[0042]為了基本上防止過量過程壓強(qiáng)和/或過程流體損壞傳感器204和/或控制器200，壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器210和/或壓強(qiáng)感測(cè)膜可以不固定地耦接于清洗端口 108與傳感器204之間。
[0043]為了控制流體控制設(shè)備102的位置，控制器200經(jīng)由第二端口 212耦接到致動(dòng)器115并且經(jīng)由第三端口 214耦接到空氣供應(yīng)118。在致動(dòng)器115是雙作用致動(dòng)器的示例中，控制器200也經(jīng)由第四端口 216耦接到致動(dòng)器115。盡管控制器200包括第四端口 216，但是在其它示例中，控制器200可以不包括第四端口 216。在操作中，控制器200測(cè)量致動(dòng)器115的位置并且基于從控制系統(tǒng)208接收的命令使致動(dòng)器115移向特定位置。
[0044]圖3是可以用于和/或被編程以實(shí)施控制器200和/或本申請(qǐng)所公開的任何其它示例的示例處理器平臺(tái)PlOO的示意圖。例如處理器平臺(tái)PlOO可以由一個(gè)或者多個(gè)通用處理器、處理器芯、微控制器等實(shí)施。
[0045]圖3的示例的處理器平臺(tái)PlOO包括至少一個(gè)通用可編程處理器P105。處理器P105執(zhí)行處理器P105的主存儲(chǔ)器中(例如RAMPl 15和/或ROM P120內(nèi))存在的編碼指令PllO和/或P112。處理器P105可以是任何類型的處理單元，比如處理器內(nèi)核、處理器和/或微控制器。除了其他方面以外，處理器P105可以執(zhí)行本申請(qǐng)所描述的示例方法和裝置。
[0046]處理器P105經(jīng)由總線P125與主存儲(chǔ)器(包括ROM P120和/或RAM P115)通信。RAM Pl 15可以由動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)、同步動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(SDRAM)和/或任何其它類型的RAM設(shè)備實(shí)施，并且ROM可以由閃存和/或任何其它所需類型的存儲(chǔ)器設(shè)備實(shí)施。對(duì)存儲(chǔ)器P115和存儲(chǔ)器P120的訪問可以由存儲(chǔ)器控制器(未示出)控制。
[0047]處理器平臺(tái)PlOO也包括接口電路P130。接口電路P130可以由任何類型的接口標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施，比如外部存儲(chǔ)器接口、串行端口、通用輸入/輸出等。一個(gè)或者多個(gè)輸入設(shè)備P135和一個(gè)或者多個(gè)輸出設(shè)備P140連接到接口電路P130。
[0048]如這里闡述的那樣，一種裝置包括多個(gè)端口。端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口。該裝置包括用于測(cè)量在清洗端口的值的傳感器和用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值進(jìn)行比較以確定所述值是否在預(yù)定閾值以外。
[0049]在一些示例中，所述值在所述預(yù)定閾值以外與所述流體控制設(shè)備中的波紋管泄漏相關(guān)。在一些示例中，所述處理器用于如果所述值在預(yù)定閾值以外則生成警報(bào)。在一些示例中，所述處理器用于基于所述處理器確定所述值在預(yù)定閾值以外來向遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)自動(dòng)發(fā)送警報(bào)。在一些示例中，所述處理器用于如果所述值在所述預(yù)定閾值以外則生成報(bào)告。在一些示例中，所述報(bào)告包括時(shí)間戳。
[0050]在一些示例中，該裝置也包括不固定地耦接于所述清洗端口與所述傳感器之間的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器。在一些示例中，所述傳感器包括壓強(qiáng)感測(cè)膜組件。在一些示例中，所述值包括壓強(qiáng)值。
[0051]另一裝置包括多個(gè)端口。所述端口中的第一端口用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的第二端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的蓋端口。波紋管位于流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與所述蓋端口之間，所述蓋端口用于基本上防止過程流體流向所述蓋端口。該裝置還包括用于測(cè)量在所述蓋端口的壓強(qiáng)值的傳感器，和用于將所述壓強(qiáng)值與預(yù)定壓強(qiáng)值或者先前測(cè)量的壓強(qiáng)值進(jìn)行比較以確定所述波紋管中是否有泄漏的處理器。
[0052]在一些示例中，所述處理器用于如果所述處理器確定所述波紋管中有泄漏則生成警報(bào)。在一些示例中，所述處理器用于基于所述處理器確定所述波紋管中有泄漏則向遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)送警報(bào)。在一些示例中，所述處理器用于基于所述處理器確定所述波紋管中有泄漏從而生成報(bào)告。
[0053]另一示例裝置包括多個(gè)端口。端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口。波紋管位于所述流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與清洗端口之間以基本上防止過程流體流向所述清洗端口。該裝置還包括用于檢測(cè)所述流體控制設(shè)備中的所述波紋管泄漏的裝置。
[0054]在一些示例中，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于測(cè)量在所述清洗端口的值的傳感器。在一些示例中，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值進(jìn)行比較以確定是否有泄漏的處理器。
[0055]另一示例裝置包括多個(gè)端口。端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口。該裝置包括用于測(cè)量在所述清洗端口的值的傳感器，和用于基于該測(cè)量值確定所述流體控制設(shè)備中是否有泄漏的處理器。
[0056]在一些示例中，所述流體控制設(shè)備中的泄漏與所述測(cè)量值在預(yù)定閾值以外的情況相關(guān)。在一些示例中，所述處理器用于將所述測(cè)量的壓強(qiáng)值與所述預(yù)定閾值進(jìn)行比較。在一些示例中，所述測(cè)量值包括壓強(qiáng)值。
[0057]雖然這里已經(jīng)公開某些示例方法、裝置和制造品，但是本專利的覆蓋范圍不限于此。恰好相反，本專利覆蓋在字面上或者在等效原則之下合理落入所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有方法、裝置和制造品。
【權(quán)利要求】
1.一種用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置，其特征在于，包括: 多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口； 傳感器，用于測(cè)量在所述清洗端口的值；以及 處理器，用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值比較，以確定所述值是否在預(yù)定閾值以外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述值在預(yù)定閾值以外的情況被確定為所述流體控制設(shè)備中的波紋管發(fā)生泄漏。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括不固定地耦接于所述清洗端口與所述傳感器之間的壓強(qiáng)調(diào)節(jié)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述傳感器包括壓強(qiáng)感測(cè)膜組件。
5.一種用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置，其特征在于，包括: 多個(gè)端口，所述端口中的第一端口用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的第二端口不固定地耦接到流體控制設(shè)備的蓋端口； 波紋管，位于所述流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與所述蓋端口之間，以基本上防止過程流體流向所述蓋端口； 傳感器，用于測(cè)量在所述蓋端口的壓強(qiáng)值；以及 處理器，用于將所述壓強(qiáng)值與預(yù)定壓強(qiáng)值或者先前測(cè)量的壓強(qiáng)值進(jìn)行比較，以確定所述波紋管中是否有泄漏。
6.一種用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置，其特征在于，包括: 多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口，波紋管位于所述流體控制設(shè)備的流動(dòng)孔與所述清洗端口之間，以基本上防止過程流體流向所述清洗端口 ；以及 用于檢測(cè)所述流體控制設(shè)備中的波紋管泄漏的裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于測(cè)量在所述清洗端口的值的傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述用于檢測(cè)泄漏的裝置包括用于將所述值與預(yù)定值或者先前測(cè)量的值進(jìn)行比較以確定是否有泄漏的處理器。
9.一種用于流體控制設(shè)備泄漏檢測(cè)的裝置，其特征在于，包括: 多個(gè)端口，所述端口之一用于接收供應(yīng)壓強(qiáng)以驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器，并且所述端口中的另一端口用于不固定地耦接到流體控制設(shè)備的清洗端口； 傳感器，用于測(cè)量在所述清洗端口的值；以及 處理器，用于基于所測(cè)量的值確定所述流體控制設(shè)備中是否有泄漏。
【文檔編號(hào)】G01M3/26GK203811334SQ201320467633
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2013年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月7日
【發(fā)明者】A·R·科爾曼, B·W·科爾曼, S·W·哈根 申請(qǐng)人:費(fèi)希爾控制國(guó)際公司