一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及太陽能電池檢測(cè)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，公開了激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，該檢測(cè)系統(tǒng)包括：檢測(cè)裝置、控制裝置、報(bào)警裝置和設(shè)置于檢測(cè)臺(tái)上用于對(duì)樣品進(jìn)行定位的定位裝置；其中：定位裝置包括檢測(cè)樣品位置的光電傳感器，以及分別設(shè)置于樣品相對(duì)兩側(cè)中每一側(cè)外部的至少一個(gè)定位氣頭；檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度信息和/或連續(xù)性信息并輸出；控制裝置，與檢測(cè)裝置信號(hào)連接，用于當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度超出標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍時(shí)，和/或當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，輸出報(bào)警控制信號(hào)；報(bào)警裝置，與控制裝置信號(hào)連接，用于根據(jù)報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警。由于采用自動(dòng)檢測(cè)激光劃線樣品，耗時(shí)短，因此提高了樣品檢測(cè)效率。
【專利說明】一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池檢測(cè)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在研究薄膜太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率與面積之間的關(guān)系時(shí)，研究者發(fā)現(xiàn)太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率會(huì)隨著面積的增大而衰減。因此，在太陽能電池的制備過程中，多采用激光刻劃連續(xù)的薄膜層來制作集成型的太陽能電池組件。根據(jù)半導(dǎo)體材料的不同，薄膜太陽能電池主要分為硅基薄膜太陽能電池、銅銦鎵硒薄膜太陽能電池和碲化鎘薄膜太陽能電池。
[0003]在薄膜太陽能電池的制作過程中，需要進(jìn)行三步激光劃線，第一步是激光刻劃前電極透明導(dǎo)電膜形成激光劃線Pl (Patternl)，其目的是分割前電極透明導(dǎo)電膜；第二步是激光刻劃電池本征層形成激光劃線P2 (Pattern2)，其目的是將背電極和前電極相連通；第三步是激光刻劃背電極形成激光劃線P3(Pattern3)，其目的是分割背電極。激光劃線形貌的好壞直接決定太陽能電池的輸出功率和太陽能電池性能的優(yōu)劣，因此是檢測(cè)太陽能電池的合格與否的重要指標(biāo)。
[0004]目前，檢測(cè)激光劃線形貌的方式主要有兩種:一種是對(duì)生產(chǎn)線上的太陽能電池進(jìn)行抽樣檢測(cè)，首先對(duì)抽出的太陽能電池樣本進(jìn)行切割，然后用常規(guī)的光學(xué)顯微鏡進(jìn)行逐點(diǎn)觀測(cè)；另一種是停止激光劃線設(shè)備，在生產(chǎn)線傳送帶上，直接使用便攜顯微鏡對(duì)太陽能電池上的每個(gè)需要測(cè)試的點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)的缺陷在于，在檢測(cè)太陽能電池的激光劃線形貌時(shí)，采用人工手動(dòng)抽樣，工作量較大并且繁瑣，耗時(shí)較長，因此檢測(cè)效率較低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型提供了一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，用以提高樣品的檢測(cè)效率，進(jìn)而提聞廣品的生廣效率。
[0007]本實(shí)用新型激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，包括:
[0008]檢測(cè)裝置、控制裝置、報(bào)警裝置和設(shè)置于檢測(cè)臺(tái)上用于對(duì)樣品進(jìn)行定位的定位裝置；其中:
[0009]所述定位裝置包括檢測(cè)樣品位置的光電傳感器，以及分別設(shè)置于樣品相對(duì)兩側(cè)中每一側(cè)外部的至少一個(gè)定位氣頭；
[0010]所述檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度信息和/或激光劃線連續(xù)性信息并輸出；
[0011]所述控制裝置，與所述檢測(cè)裝置信號(hào)連接，用于當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度超出標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍時(shí)，和/或當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，輸出報(bào)警控制信號(hào)；
[0012]所述報(bào)警裝置，與所述控制裝置信號(hào)連接，用于根據(jù)所述報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警。
[0013]優(yōu)選的，所述檢測(cè)裝置包括殼體以及位于殼體內(nèi)部的自動(dòng)對(duì)焦裝置、顯微裝置和圖像采集裝置，其中:
[0014]所述自動(dòng)對(duì)焦裝置對(duì)定位后的樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦；
[0015]顯微裝置，與所述自動(dòng)對(duì)焦裝置信號(hào)連接，用于對(duì)對(duì)焦后樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行放大；
[0016]圖像采集裝置，與所述顯微裝置信號(hào)連接，用于對(duì)顯微裝置中呈現(xiàn)的圖像進(jìn)行攝影。
[0017]較佳的，所述檢測(cè)臺(tái)為傳送臺(tái)，所述激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)還包括橫跨傳送臺(tái)具有橫梁的龍門；
[0018]所述檢測(cè)裝置的殼體滑動(dòng)裝配于所述橫梁。
[0019]較佳的，所述橫梁沿長度方向設(shè)置有滑槽，所述殼體具有與所述滑槽滑動(dòng)配合的凸起。
[0020]優(yōu)選的，所述激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)還包括:
[0021]與圖像采集裝置信號(hào)連接，用于存儲(chǔ)所述圖像采集裝置所采集的圖像的存儲(chǔ)裝置；
[0022]與圖像采集裝置信號(hào)連接，用于打印所述圖像采集裝置所采集的圖像的打印裝置。
[0023]優(yōu)選的，所述顯微裝置為光學(xué)顯微鏡。
[0024]優(yōu)選的，所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，還包括用于傳輸樣品至檢測(cè)臺(tái)的傳送
>J-U ρ?α裝直。
[0025]較佳的，所述傳送裝置為傳送帶。
[0026]優(yōu)選的，所述檢測(cè)裝置還用于檢測(cè)樣品上的身份標(biāo)識(shí)信息，所述身份標(biāo)識(shí)信息包括激光劃線形成的二維碼、數(shù)字或字母。
[0027]對(duì)于上述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，所述樣品為具有激光劃線的太陽能電池。
[0028]在本實(shí)用新型技術(shù)方案中，由于自動(dòng)化檢測(cè)激光劃線樣品，不需要人工參與，耗時(shí)短，因此大大提聞了檢測(cè)效率，進(jìn)而提聞了廣品的生廣效率。另外，由于可以自動(dòng)實(shí)時(shí)監(jiān)控，避免了批量不合格品的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品良率，降低了生產(chǎn)成本。此外，該技術(shù)方案既可以用于在線連續(xù)生產(chǎn)時(shí)檢測(cè)樣品，又可以用于離線時(shí)檢測(cè)樣品，當(dāng)在線連續(xù)生產(chǎn)時(shí)，可以對(duì)每一個(gè)樣品進(jìn)行檢測(cè)，也可以采用定時(shí)檢測(cè)或定數(shù)量檢測(cè)的方式，當(dāng)離線生產(chǎn)時(shí)可以對(duì)需要檢測(cè)的每個(gè)樣品進(jìn)行逐點(diǎn)檢測(cè)，因此本實(shí)用新型技術(shù)方案的適用范圍廣，在線連續(xù)生產(chǎn)和尚線生廣時(shí)都可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的檢測(cè)，提聞了樣品檢測(cè)效率，進(jìn)而提聞了廣品的生廣效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)具體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)激光劃線樣品的流程示意圖；
[0032]圖4a為本實(shí)用新型激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)輸出的合格的激光劃線形貌圖像的示意圖；
[0033]圖4b為為本實(shí)用新型激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)輸出的不合格的激光劃線形貌圖像的不意圖。
[0034]附圖標(biāo)記:
[0035]1-傳送裝置2-定位裝置3-檢測(cè)裝置4-控制裝置 5-報(bào)警裝置
[0036]6-存儲(chǔ)裝置7-打印裝置11-傳送臺(tái) 12-橫梁 14-滑槽
[0037]21-光電傳感器22-定位氣頭31-自動(dòng)對(duì)焦裝置32-顯微裝置
[0038]33-圖像采集裝置
【具體實(shí)施方式】
[0039]為了提高樣品的激光劃線形貌的檢測(cè)效率，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)。該技術(shù)方案中，定位裝置、檢測(cè)裝置、控制裝置和報(bào)警裝置共同作用，所述控制裝置，與所述檢測(cè)裝置和所述報(bào)警裝置信號(hào)連接，用于當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度在標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍外時(shí)，和/或當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，輸出報(bào)警控制信號(hào)給報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置根據(jù)所述報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的激光劃線形貌的自動(dòng)檢測(cè)，提聞了檢測(cè)效率，進(jìn)而提聞了廣品的生廣效率。為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，以下舉具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0040]如圖1所示，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)立體結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)用新型實(shí)施例的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，包括:
[0041]檢測(cè)裝置3、控制裝置4、報(bào)警裝置5和設(shè)置于檢測(cè)臺(tái)上用于對(duì)樣品進(jìn)行定位的定位裝置；其中:
[0042]定位裝置包括檢測(cè)樣品位置的光電傳感器21，以及分別設(shè)置于樣品相對(duì)兩側(cè)中每一側(cè)外部的至少一個(gè)定位氣頭22 ；
[0043]檢測(cè)裝置3，用于檢測(cè)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度信息和/或激光劃線連續(xù)性信息并輸出；
[0044]控制裝置4，與檢測(cè)裝置3信號(hào)連接，用于當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度在標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍外時(shí)，和/或當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，輸出報(bào)警控制信號(hào)；
[0045]報(bào)警裝置5，與控制裝置4信號(hào)連接，根據(jù)所述報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警。
[0046]在本實(shí)用新型技術(shù)方案中，由于檢測(cè)裝置3檢測(cè)到的激光劃線形貌的信息輸出到控制裝置4，控制裝置4根據(jù)激光劃線形貌的信息作出判斷，該技術(shù)方案主要針對(duì)激光劃線寬度和/或激光劃線的連續(xù)性進(jìn)行判斷，若判斷激光劃線形貌不合格，即當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度在標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍外時(shí)，和/或當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，則控制裝置4輸出報(bào)警控制信號(hào)，報(bào)警裝置5根據(jù)這一報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警，采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，取代人工手動(dòng)檢測(cè)，檢測(cè)的便利性得到大大提升，檢測(cè)效率也大大提高。此夕卜，采用控制裝置對(duì)樣品的激光劃線形貌與標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判斷，避免了人工判斷的主觀性，使檢測(cè)結(jié)果更精確。本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置3用于檢測(cè)樣品的激光劃線形貌，檢測(cè)裝置可以采用光學(xué)顯微鏡，當(dāng)然掃描電子顯微鏡也可，掃描電子顯微鏡的分辨率更高，在對(duì)激光劃線形貌的檢測(cè)中采用光學(xué)顯微鏡足以。所述定位裝置的光電傳感器21，用于檢測(cè)樣品的位置，將位置信息輸出給控制裝置4，當(dāng)樣品的位置不合適時(shí)，控制裝置4控制定位氣頭22吹氣對(duì)樣品位置進(jìn)行調(diào)整，當(dāng)樣品位置合適時(shí)，控制裝置4控制定位氣頭22吸氣，對(duì)樣品進(jìn)行定位，方便檢測(cè)裝置檢測(cè)；所述控制裝置4，可以采用計(jì)算機(jī)以及PLC觸控面板，編輯定義的檢測(cè)坐標(biāo)、用于區(qū)分檢測(cè)區(qū)域，并可以根據(jù)不同的檢測(cè)需求，定義不同的檢測(cè)工藝條件及參數(shù)，實(shí)現(xiàn)按需檢測(cè)。本實(shí)用新型的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)可應(yīng)用于各種具有激光劃線的產(chǎn)品中,例如太陽能電池的激光劃線Pl、激光劃線P2、激光劃線P3以及電池識(shí)別標(biāo)識(shí)中，也可以用于檢測(cè)其他產(chǎn)品的激光劃線形貌，當(dāng)然，可以根據(jù)產(chǎn)品對(duì)激光劃線形貌的要求來判斷產(chǎn)品是否合格。
[0047]如圖2所示，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)具體結(jié)構(gòu)示意圖，檢測(cè)裝置3包括殼體以及位于殼體內(nèi)部的自動(dòng)對(duì)焦裝置31、顯微裝置32和圖像采集裝置33，其中:
[0048]自動(dòng)對(duì)焦裝置31對(duì)定位后的樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦；
[0049]顯微裝置32，與自動(dòng)對(duì)焦裝置31信號(hào)連接，用于對(duì)對(duì)焦后樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行放大；
[0050]圖像采集裝置33，與顯微裝置32信號(hào)連接，用于對(duì)顯微裝置32中呈現(xiàn)的圖像進(jìn)行攝影。
[0051]在現(xiàn)有技術(shù)中，多采用固定式的光學(xué)顯微鏡對(duì)激光劃線形貌的檢測(cè)，光學(xué)顯微鏡的載物臺(tái)的尺寸有限，對(duì)于面積稍大的激光劃線樣品，就需要對(duì)其進(jìn)行切割后檢測(cè)，切割就造成檢測(cè)的樣品直接報(bào)廢；若是采用便攜式顯微鏡對(duì)生產(chǎn)線上產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)，則容易造成產(chǎn)品的膜層劃傷，也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。
[0052]而在該實(shí)施例中，檢測(cè)裝置3為全自動(dòng)裝置，可以對(duì)測(cè)試路徑進(jìn)行編輯，例如可以定義坐標(biāo)來實(shí)現(xiàn)編輯測(cè)試路徑，再通過檢測(cè)裝置檢測(cè)整條激光劃線或不同位置的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線，具體為自動(dòng)對(duì)焦裝置31對(duì)樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦，然后顯微裝置32對(duì)檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行顯微成像，顯微裝置32可以選用光學(xué)顯微鏡，最后通過圖像采集裝置33將顯微裝置的視野成像進(jìn)行拍攝，形成圖像。該檢測(cè)裝置3不需要對(duì)樣品進(jìn)行切割，直接通過將顯微裝置32移動(dòng)至需要檢測(cè)點(diǎn)的位置進(jìn)行成像，因此，可以用于大面積的樣品檢測(cè)，特別是面積大于一平方米的樣品，并且該技術(shù)方案可以采用較遠(yuǎn)距離成像，在線測(cè)試時(shí)不會(huì)造成膜層的劃傷；該技術(shù)方案采用自動(dòng)化的裝置，提高了檢測(cè)的效率，并且，也不需要人工參與，降低了人工成本。
[0053]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D1所示，優(yōu)選的，所述檢測(cè)臺(tái)為傳送臺(tái)11，所述激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)還包括橫跨傳送臺(tái)11具有橫梁12的龍門；
[0054]所述檢測(cè)裝置3的殼體滑動(dòng)裝配于所述橫梁12。
[0055]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，將檢測(cè)臺(tái)設(shè)置為傳送臺(tái)11，可以傳送樣品，應(yīng)用于連續(xù)生產(chǎn)系統(tǒng)中，并且傳送臺(tái)11上方具有橫梁12，檢測(cè)裝置3的殼體滑動(dòng)裝配于橫梁12上，就可實(shí)現(xiàn)檢測(cè)裝置3沿橫梁12長度方向和傳送臺(tái)11的傳送方向移動(dòng)，則檢測(cè)裝置3檢測(cè)樣品的整個(gè)表面。
[0056]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D1所示，優(yōu)選的，所述橫梁12沿長度方向設(shè)置有滑槽14，所述殼體具有與所述滑槽14滑動(dòng)配合的凸起。
[0057]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，橫梁12與檢測(cè)裝置3的殼體滑動(dòng)配合的方式有多種，優(yōu)選采用橫梁12上設(shè)置有滑槽14，殼體上具有與滑槽14滑動(dòng)配合的凸起。
[0058]優(yōu)選的，顯微裝置32可以選用光學(xué)顯微鏡。
[0059]顯微裝置可以選用多種，如光學(xué)顯微鏡或掃描電子顯微鏡，光學(xué)顯微鏡成本低，分辨率達(dá)到激光劃線形貌的識(shí)別要求，因此，優(yōu)先選用光學(xué)顯微鏡，光學(xué)顯微鏡的的背光源選用普通光源即可，如白熾燈。
[0060]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，還包括:
[0061]與圖像采集裝置33信號(hào)連接，用于存儲(chǔ)圖像采集裝置33所采集的圖像的存儲(chǔ)裝置6 ;
[0062]與圖像采集裝置33信號(hào)連接，用于打印圖像采集裝置33所采集的圖像的打印裝置7。
[0063]作為優(yōu)選方案，對(duì)樣品的激光劃線形貌進(jìn)行檢測(cè)后，圖像采集裝置采集到的圖像可以采用存儲(chǔ)裝置進(jìn)行存儲(chǔ)，也可以采用打印裝置將該圖像打印出來，以文本的方式保留，或者既儲(chǔ)存圖像，又打印圖像，利于查證溯源。
[0064]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，還包括用于傳輸樣品至檢測(cè)臺(tái)的傳送裝置I。優(yōu)選的，傳送裝置I為傳送帶。
[0065]傳送裝置可以采用傳送帶或傳送輥道，采用傳送裝置可以將樣品傳送至測(cè)試臺(tái)上，方便檢測(cè)裝置檢測(cè)，當(dāng)檢測(cè)完成后，傳送裝置可以將樣品傳送至下一道工序。采用傳送裝置避免了人工搬運(yùn)樣品，節(jié)約了人工成本，并且也節(jié)約了時(shí)間，提高了檢測(cè)效率。
[0066]優(yōu)選的，檢測(cè)裝置3還用于檢測(cè)樣品上的身份標(biāo)識(shí)信息，所述身份標(biāo)識(shí)信息包括激光劃線形成的二維碼、數(shù)字或字母。
[0067]對(duì)于上述激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)的樣品為具有激光劃線的太陽能電池。
[0068]具體的，上述激光劃線形貌檢測(cè)系統(tǒng)主要用于檢測(cè)太陽能電池的激光劃線P1、激光劃線P2、激光劃線P3，除了檢測(cè)激光劃線寬度信息和連續(xù)性信息外，檢測(cè)裝置還可以對(duì)激光劃線的光斑重疊度信息進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)光斑重疊度小于設(shè)定數(shù)值時(shí)，比如該設(shè)定數(shù)值為30%,控制裝置判斷該激光劃線不合格；檢測(cè)裝置也可以對(duì)具有激光劃線P1、激光劃線P2和激光劃線P3的太陽能電池的各條激光劃線的線間距進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)線間距超出設(shè)定取值范圍時(shí)，控制裝置判斷該激光劃線不合格；檢測(cè)裝置也可以用于檢測(cè)身份標(biāo)識(shí)信息，該身份標(biāo)識(shí)信息，包括二維碼、條形碼、數(shù)字、字母等，該身份標(biāo)識(shí)信息采用激光劃刻形成，通過對(duì)身份標(biāo)識(shí)信息的識(shí)別，實(shí)現(xiàn)對(duì)太陽能電池的識(shí)別，通過控制裝置對(duì)身份標(biāo)識(shí)信息的激光劃線寬度信息、連續(xù)性信息以及光斑重疊度信息作出判斷，判斷身份標(biāo)識(shí)信息是否清晰。
[0069]如圖3所示，以下通過一個(gè)具體的實(shí)施例詳細(xì)解釋本實(shí)用新型的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)在生產(chǎn)線檢測(cè)激光劃線形貌，包括以下步驟:
[0070]步驟101、傳送裝置傳送樣品至檢測(cè)臺(tái)；
[0071]步驟102、檢測(cè)裝置檢測(cè)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線形貌；
[0072]步驟103、判斷樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度是否在標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍內(nèi)；如果是，則執(zhí)行步驟104，如果否，則執(zhí)行步驟105 ；
[0073]步驟104、判斷樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線是否連續(xù)；如果是，則執(zhí)行步驟106，如果否，則執(zhí)行步驟105;
[0074]步驟105、輸出報(bào)警控制信號(hào)至報(bào)警裝置；
[0075]步驟106、傳送樣品至下一道工序。
[0076]在本實(shí)用新型技術(shù)方案中，判斷樣品是否合格，可以對(duì)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度和連續(xù)性進(jìn)行判斷，對(duì)于步驟103和步驟104的兩個(gè)判斷步驟可以同時(shí)進(jìn)行；也可以先進(jìn)行步驟103，再進(jìn)行步驟104 ;也可以先進(jìn)行步驟104，再進(jìn)行步驟103。對(duì)于在線生產(chǎn)時(shí)，當(dāng)控制裝置判斷激光劃線樣品不合格時(shí)，控制裝置輸出報(bào)警控制信號(hào)至報(bào)警裝置，報(bào)警裝置根據(jù)所述的報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)警，技術(shù)人員接到報(bào)警后將停止生產(chǎn)線上的激光劃線，避免大批量激光劃線不良的產(chǎn)品進(jìn)入下一道工序；當(dāng)控制裝置判斷激光劃線樣品合格，則傳送裝置直接傳送該樣品進(jìn)入下一道工序。對(duì)于離線生產(chǎn)，也可以設(shè)置這樣的步驟，當(dāng)有不合格樣品時(shí)發(fā)出警報(bào)，將不合格樣品分揀出來。
[0077]圖4a和圖4b為采用上述激光劃線檢測(cè)系統(tǒng)輸出的激光劃線形貌圖像的示意圖，圖4a中從左到右的三條激光劃線分別為激光劃線P1、激光劃線P2和激光劃線P3，經(jīng)過檢測(cè)這三條激光劃線的連續(xù)性并分別與標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍比較，可以發(fā)現(xiàn)圖4a中的激光劃線P1、激光劃線P2和激光劃線P3都合格；圖4b中從左到右的三條激光劃線分別為激光劃線P1、激光劃線P2和激光劃線P3，經(jīng)過檢測(cè)這三條激光劃線的連續(xù)性并分別與標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍比較，可以發(fā)現(xiàn)圖4b中激光劃線Pl和激光劃線P2合格，而激光劃線P3不連續(xù)，斷點(diǎn)較多，判斷該檢測(cè)點(diǎn)不合格。
[0078]本實(shí)用新型提供了一種檢測(cè)薄膜太陽能電池中激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)樣品的自動(dòng)傳送、定位、對(duì)焦、顯微，以及圖像采集、圖像存儲(chǔ)和圖像打印。該實(shí)用新型的激光劃線形貌檢測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)生產(chǎn)線上的產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)試，并判斷其合格與否，提高了過程監(jiān)控能力，也可以對(duì)離線樣品進(jìn)行測(cè)試。本實(shí)用新型的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì):可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化或半自動(dòng)在線監(jiān)控、無損測(cè)試，運(yùn)行方便，耗時(shí)少；變事后控制為事中控制，避免批量產(chǎn)品不良，提高產(chǎn)線監(jiān)控能力，提高薄膜太陽能電池的良率；檢測(cè)出產(chǎn)品是否合格，可以隨時(shí)對(duì)激光劃線設(shè)備進(jìn)行調(diào)整，這樣能提升良率，降低薄膜太陽能電池的生產(chǎn)制造成本；能夠方便地對(duì)整塊薄膜太陽能電池的激光劃線形貌進(jìn)行離線測(cè)試；測(cè)試界面友好，可按坐標(biāo)對(duì)測(cè)試路徑進(jìn)行編輯；可以對(duì)激光劃線形貌的檢測(cè)結(jié)果以圖片的形式進(jìn)行存儲(chǔ)與分析，利于查證追溯；也減少了操作人員，節(jié)約了人工成本。
[0079]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 檢測(cè)裝置(3)、控制裝置(4)、報(bào)警裝置(5)和設(shè)置于檢測(cè)臺(tái)上用于對(duì)樣品進(jìn)行定位的定位裝置；其中: 所述定位裝置包括檢測(cè)樣品位置的光電傳感器(21)，以及分別設(shè)置于樣品相對(duì)兩側(cè)中每一側(cè)外部的至少一個(gè)定位氣頭(22)； 所述檢測(cè)裝置(3)，用于檢測(cè)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度信息和/或激光劃線連續(xù)性信息并輸出； 所述控制裝置(4)，與所述檢測(cè)裝置(3)信號(hào)連接，用于當(dāng)樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線寬度超出標(biāo)準(zhǔn)寬度范圍時(shí)，和/或樣品的檢測(cè)點(diǎn)的激光劃線不連續(xù)時(shí)，輸出報(bào)警控制信號(hào)；所述報(bào)警裝置(5)，與所述控制裝置(4)信號(hào)連接，用于根據(jù)所述報(bào)警控制信號(hào)進(jìn)行報(bào)目O
2.如權(quán)利要求1所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)裝置(3)包括殼體以及位于殼體內(nèi)部的自動(dòng)對(duì)焦裝置(31)、顯微裝置(32)和圖像采集裝置(33)，其中: 所述自動(dòng)對(duì)焦裝置(31)對(duì)定位后的樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦； 顯微裝置(32)，與所述自動(dòng)對(duì)焦裝置(31)信號(hào)連接，用于對(duì)對(duì)焦后樣品的檢測(cè)點(diǎn)進(jìn)行放大； 圖像采集裝置(33 )，與所述顯微裝置(32 )信號(hào)連接，用于對(duì)顯微裝置(32 )中呈現(xiàn)的圖像進(jìn)行攝影。
3.如權(quán)利要求2所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)臺(tái)為傳送臺(tái)(11)，所述激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)還包括橫跨傳送臺(tái)(11)具有橫梁(12)的龍門； 所述檢測(cè)裝置(3)的殼體滑動(dòng)裝配于所述橫梁(12)。
4.如權(quán)利要求3所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述橫梁(12)沿長度方向設(shè)置有滑槽(14)，所述殼體具有與所述滑槽(14)滑動(dòng)配合的凸起。
5.如權(quán)利要求2所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光劃線形貌檢測(cè)系統(tǒng)還包括: 與圖像采集裝置(33)信號(hào)連接，用于存儲(chǔ)所述圖像采集裝置(33)所采集的圖像的存儲(chǔ)裝置(6)； 與圖像采集裝置(33)信號(hào)連接，用于打印所述圖像采集裝置(33)所采集的圖像的打印裝置(7)。
6.如權(quán)利要求2所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述顯微裝置(32)為光學(xué)顯微鏡。
7.如權(quán)利要求1所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于傳輸樣品至檢測(cè)臺(tái)的傳送裝置(I)。
8.如權(quán)利要求7所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述傳送裝置(I)為傳送帶。
9.如權(quán)利要求1所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)裝置(3)還用于檢測(cè)樣品上的身份標(biāo)識(shí)信息，所述身份標(biāo)識(shí)信息包括激光劃線形成的二維碼、數(shù)字或字母。
10.如權(quán)利要求1~9任一項(xiàng)所述的激光劃線形貌的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品為具有激光劃線的太陽能電池。`
【文檔編號(hào)】G01B11/24GK203518957SQ201320535369
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】鄭向陽, 徐湛, 張發(fā)榮, 楊榮, 孟原, 李立偉, 郭鐵 申請(qǐng)人:新奧光伏能源有限公司