具有高密度導(dǎo)電單元的測(cè)試插座以及用于制造該測(cè)試插座的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種具有高密度導(dǎo)電單元的測(cè)試插座并且涉及一種用于制造該測(cè)試插座的方法，并且更具體地涉及一種被插在一個(gè)待測(cè)試裝置與一個(gè)測(cè)試裝置之間以便將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上的測(cè)試插座。本發(fā)明的測(cè)試裝置包括：一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片，該彈性導(dǎo)電薄片被安排在對(duì)應(yīng)于該待測(cè)試裝置的該端子的一個(gè)位置處并且包括一個(gè)第一導(dǎo)電單元和一個(gè)絕緣支撐單元，在該第一導(dǎo)電單元中多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中，并且該絕緣支撐單元用于支撐該第一導(dǎo)電單元并且使該第一導(dǎo)電單元與一個(gè)相鄰的第一導(dǎo)電單元絕緣；一個(gè)支撐薄片，該支撐薄片被附接至該彈性導(dǎo)電薄片的上表面或下表面中的至少一者上并且具有在與該待測(cè)試裝置的端子相對(duì)應(yīng)的各個(gè)點(diǎn)中形成的多個(gè)通孔；以及一個(gè)第二導(dǎo)電單元，該第二導(dǎo)電單元被安排在該支撐薄片的這些通孔中并且在該第二導(dǎo)電單元中多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中。這些第二導(dǎo)電顆粒比這些第一導(dǎo)電顆粒更密集地安排在該彈性材料中。
【專利說(shuō)明】具有高密度導(dǎo)電單元的測(cè)試插座以及用于制造該測(cè)試插座的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有高密度導(dǎo)電單元的測(cè)試插座及其制造方法，并且更具體地涉及具有可以相對(duì)于待測(cè)試裝置的端子來(lái)增強(qiáng)關(guān)電接觸性能并且可以具有優(yōu)良耐久性的高密度單元的一種測(cè)試插座及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]總體上，為了測(cè)試待測(cè)試裝置的電性能，應(yīng)在該待測(cè)試裝置與一個(gè)測(cè)試裝置之間建立穩(wěn)定的電聯(lián)接。典型地，將一個(gè)測(cè)試插座用作該待測(cè)試裝置與該測(cè)試裝置之間的聯(lián)接單元。
[0003]此類測(cè)試插座將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上并且使得電信號(hào)能夠在兩個(gè)方向上流動(dòng)。為此，將一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片或彈簧銷用作一個(gè)在該測(cè)試插座中使用的接觸單元。此類彈性導(dǎo)電薄片將一個(gè)彈性導(dǎo)電單元連接至該待測(cè)試裝置的端子上并且由于彈簧銷中具有一個(gè)彈簧，它確保了待測(cè)試裝置與測(cè)試裝置之間的順暢聯(lián)接，它可以緩解在進(jìn)行聯(lián)接時(shí)可能出現(xiàn)的機(jī)械沖擊，并且因此它已被用于大多數(shù)測(cè)試插座。
[0004]作為該測(cè)試插座的一個(gè)實(shí)例，圖1中不出的測(cè)試插座20包括一個(gè)導(dǎo)電娃單兀8和一個(gè)介電硅單元6，該導(dǎo)電硅單元與一個(gè)球柵陣列(BGA)半導(dǎo)體裝置2的端子4相接觸并且該介電硅單元不與該半導(dǎo)體裝置2的端子4接觸以便能夠支撐該導(dǎo)電硅單元8并且起到一個(gè)介電層的作用。一個(gè)環(huán)型導(dǎo)電環(huán)7被布置在該導(dǎo)電硅單元8的上表面上，該環(huán)型導(dǎo)電環(huán)將一個(gè)插座板(該插座板在該半導(dǎo)體裝置2上進(jìn)行測(cè)試)的接觸墊片電聯(lián)接至該半導(dǎo)體裝置2的端子4上。
[0005]該測(cè)試插座在測(cè)試系統(tǒng)中是有效的，該測(cè)試系統(tǒng)按壓若干個(gè)半導(dǎo)體裝置以建立電連接，其中每個(gè)導(dǎo)電硅單元被獨(dú)立地按壓，它容易與一個(gè)外圍設(shè)備的平整度相匹配，并且因此有可能增強(qiáng)其電特性。另外，由于該測(cè)試插座防止金屬環(huán)的導(dǎo)電硅單元在被該半導(dǎo)體的導(dǎo)線端子按壓時(shí)變得鋪展開并且將位移最小化，所以它具有延長(zhǎng)接觸器的壽命的特征。
[0006]圖2披露的作為另一個(gè)典型實(shí)例的測(cè)試插座包括通過(guò)鍍敷、蝕刻或涂覆技術(shù)而位于該導(dǎo)電硅單元8的上表面和下表面上的一個(gè)導(dǎo)體22，該導(dǎo)體將對(duì)該半導(dǎo)體裝置2進(jìn)行測(cè)試的該插座板12的接觸墊片10電聯(lián)接至該半導(dǎo)體裝置2的端子4上。
[0007]根據(jù)上述典型的測(cè)試插座，由于該剛性導(dǎo)體22是通過(guò)鍍敷、蝕刻或涂覆技術(shù)被布置在該完整的導(dǎo)電硅單元的上表面和下表面上，所以與沒(méi)有該導(dǎo)體的硅單元相比降低了接觸單元的彈性。因此，一個(gè)旨在與該半導(dǎo)體裝置的端子和測(cè)試板的墊片進(jìn)行彈性接觸的整合的硅接觸器的優(yōu)點(diǎn)減少了，并且由于頻繁的接觸，它具有以下限制，即，一個(gè)鍍敷的、蝕刻的或涂覆的表面以及配對(duì)的半導(dǎo)體裝置的端子或該測(cè)試板的墊片被損壞并且外來(lái)的材料可以進(jìn)入。
[0008]為了解決這些限制，披露了如圖3所示的測(cè)試插座。此類測(cè)試插座包括一個(gè)導(dǎo)電硅單元8和一個(gè)介電硅單元6，該導(dǎo)電硅單元與BGA半導(dǎo)體裝置2的端子4相接觸并且是通過(guò)將硅與導(dǎo)電金屬粉末混合而形成的，并且該介電硅單元不與該半導(dǎo)體裝置2的端子4相接觸以便能夠支撐該導(dǎo)電硅單元8并且起到一個(gè)介電層的作用。在這種情況下，該導(dǎo)電硅單元8的上部分或下部分中的一者或兩者具有多個(gè)導(dǎo)電增強(qiáng)層30、30’，這些層具有比該導(dǎo)電硅單元8的導(dǎo)電粉末更高的密度。如圖3所示的此類測(cè)試插座具有增強(qiáng)導(dǎo)電性的功能。
[0009]然而，此類典型技術(shù)具有以下限制。
[0010]雖然導(dǎo)電性通過(guò)該導(dǎo)電增強(qiáng)層而增強(qiáng)，但是該導(dǎo)電增強(qiáng)層在與該半導(dǎo)體裝置2的端子的頻繁接觸過(guò)程中可能容易變形或損壞，因?yàn)樗鼜脑搶?dǎo)電硅單元的上部分上突出。具體而言，由于與該端子的頻繁接觸，該突出的導(dǎo)電增強(qiáng)層可能被損壞并且可能不維持其適當(dāng)形狀。
[0011]本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明
[0012]技術(shù)問(wèn)題
[0013]本發(fā)明提供了一種具有高密度導(dǎo)電單元的測(cè)試插座以及制造該測(cè)試插座的方法，該測(cè)試插座改善了電接觸并且增強(qiáng)了耐久性。
[0014]技術(shù)方案
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種測(cè)試插座，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該測(cè)試插座包括:一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片，該彈性導(dǎo)電薄片包括一個(gè)被安排成面向該待測(cè)試裝置的該端子的第一導(dǎo)電單元以及一個(gè)介電支撐單元，在該第一導(dǎo)電單元中多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中，并且該介電支撐單元支撐該第一導(dǎo)電單元并且使該第一導(dǎo)電單元與一個(gè)相鄰的第一導(dǎo)電單元絕緣；附接至該彈性導(dǎo)電薄片的頂部和底部中的至少一者上的一個(gè)支撐薄片，其中該支撐薄片具有面向該待測(cè)試裝置的該端子的一個(gè)通孔；以及被安排在該支撐薄片的該通孔中的一個(gè)第二導(dǎo)電單元，在該第二導(dǎo)電單元中多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中，并且其中該第二導(dǎo)電顆粒是以比該第一導(dǎo)電顆粒更高的密度安排在該彈性材料中的。
[0016]該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑可以小于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
[0017]該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑可以比該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑小兩倍至10倍。
[0018]該第二導(dǎo)電顆?？梢砸惑w地附接至該通孔中。
[0019]該第二導(dǎo)電單元可以一體地附接至該第一導(dǎo)電單元中。
[0020]該支撐薄片可以具有比該介電支撐單元更高的強(qiáng)度。
[0021]在該支撐薄片中形成了一個(gè)分隔區(qū)段以便允許多個(gè)相鄰的第二導(dǎo)電單元獨(dú)立地運(yùn)作。
[0022]該分隔區(qū)段可以是通過(guò)切削該支撐薄片而形成的一個(gè)切削槽或切削孔。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種用于制造測(cè)試插座的方法，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該方法包括:在一個(gè)薄片型支撐薄片上形成有待面向該待測(cè)試裝置的多個(gè)端子的多個(gè)通孔；提供具有一個(gè)空腔的一個(gè)模具并且將該薄片型支撐薄片安排在該空腔中；在該通孔中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料；在該空腔中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料；并且通過(guò)施加一個(gè)磁場(chǎng)使這些第一導(dǎo)電顆粒排列成排而向該待測(cè)試裝置的這些端子，并且其中確定被分布在該液體彈性材料中的這些第二導(dǎo)電顆粒的數(shù)目以便允許這些第二導(dǎo)電顆粒是以比這些排列成排的第一導(dǎo)電顆粒更高的密度安排的。
[0024]該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑可以小于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
[0025]該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑可以等于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種用于制造測(cè)試插座的方法，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與一個(gè)測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該方法包括:在一個(gè)薄片型支撐薄片上形成面向該待測(cè)試裝置的多個(gè)端子的多個(gè)通孔；在該通孔中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料并且固化該液體彈性材料；在一個(gè)模具中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料、通過(guò)將一個(gè)磁場(chǎng)施加至與該待測(cè)試裝置的這些端子相對(duì)應(yīng)的多個(gè)部分上來(lái)使這些第一導(dǎo)電顆粒排列成排、并且固化該液體彈性材料從而制造一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片；并且將該支撐薄片附接至該彈性導(dǎo)電薄片的頂部和底部中的至少一者上。
[0027]該彈性導(dǎo)電薄片和該支撐薄片可以通過(guò)一種粘性材料彼此粘連。
[0028]有利作用
[0029]根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座包括被安排支撐薄片中的一個(gè)第二導(dǎo)電單元，在該第二導(dǎo)電單元中以高密度整合了多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒。因此，可以增強(qiáng)導(dǎo)電性和耐久性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]通過(guò)參照附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的多個(gè)示例性實(shí)施例，本發(fā)明的上述和其他特征及優(yōu)點(diǎn)將變得清楚，附圖中:
[0031]圖1至圖3是多種典型的測(cè)試插座的視圖；
[0032]圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座的視圖；
[0033]圖5是圖4的運(yùn)作視圖；
[0034]圖6至圖8是制造圖4的測(cè)試插座的多個(gè)實(shí)施例的視圖；
[0035]圖9至圖10是制造圖4的測(cè)試插座的多個(gè)其他實(shí)施例的視圖；
[0036]圖11是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座的視圖；并且
[0037]圖12是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座的視圖。
[0038]最佳方式
[0039]在下文中將參照附圖更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方案的測(cè)試插座。
[0040]圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座100的視圖，并且圖5是圖4的一個(gè)操作視圖。根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試插座100被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置900與一個(gè)測(cè)試裝置800之間并且將該待測(cè)試裝置900的多個(gè)端子910電聯(lián)接至該測(cè)試裝置800的多個(gè)墊片810。
[0041]此類測(cè)試插座100包括一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片110、一個(gè)支撐薄片120以及一個(gè)第二導(dǎo)電單元130。
[0042]該彈性導(dǎo)電薄片110使得電流能夠在厚度方向上流動(dòng)并且使得電流不能在垂直于該厚度方向的表面方向上流動(dòng)。該彈性導(dǎo)電薄片110被設(shè)計(jì)成能夠吸收從該待測(cè)試裝置900的端子910施加的沖擊而同時(shí)被彈性地壓縮。此類彈性導(dǎo)電薄片110包括多個(gè)第一導(dǎo)電單元111和一個(gè)介電支撐單元112。[0043]這些第一導(dǎo)電單元111被安排成面向該待測(cè)試裝置900的端子910并且多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒Illa在厚度方向上在一種彈性材料中排列成排。
[0044]可以將一種具有橋結(jié)構(gòu)的耐熱聚合物材料用作形成這些第一導(dǎo)電單元111的彈性材料。可以將多種多樣的材料用作一種可以用來(lái)獲得此類橋結(jié)構(gòu)聚合物材料的熱固性聚合物材料形成要素，并且在本實(shí)施例中選擇的是液體硅橡膠。該液體硅橡膠可以是加成型或縮合型，并且在本實(shí)施例中選擇的是加成型液體硅橡膠。在這些第一導(dǎo)電單元111是由液體硅橡膠的硫化材料(在下文中稱為“硅橡膠硫化材料”)形成的情況下，該硅硫化材料在150°C下的壓縮變形率可以小于或等于10%、8%或6%。如果該壓縮變形率超過(guò)10%，則當(dāng)所得的各向異性導(dǎo)電連接器被反復(fù)使用多次或在高溫環(huán)境下反復(fù)使用時(shí)，該導(dǎo)電單元111處的一連串導(dǎo)電顆粒將變得失序。因此，難以維持所希望的導(dǎo)電性?？梢詫⒃趦?nèi)芯顆粒的表面上用高導(dǎo)電性金屬涂覆的、展現(xiàn)出磁性的一種材料用作這些第一導(dǎo)電顆粒111a。在這種情況下，該高導(dǎo)電性金屬是指在0°C下具有高于5Χ106Ω/πι的電導(dǎo)率的金屬。用于獲得導(dǎo)電性顆粒P的磁性內(nèi)芯顆?？梢跃哂? μ m至40 μ m的數(shù)均粒徑。在這種情況下，該磁性內(nèi)芯顆粒的數(shù)均粒徑是指通過(guò)激光衍射技術(shù)所測(cè)量的值。雖然可以將鋼、鎳、鈷或通過(guò)用銅或樹脂涂覆而獲得的材料用作該磁性內(nèi)芯顆粒，但是可以選擇具有等于或大約0.1ffb/m2、0.3Wb/m2、或0.5ffb/m2的飽和磁化強(qiáng)度的材料，并且尤其可以選擇鋼、鎳、鈷或其合金。
[0045]可以將金、銀、銠、鉬、鉻等用作涂覆在該磁性內(nèi)芯顆粒的表面上的高導(dǎo)電性金屬，并且在這些之中可以選擇金，因?yàn)樗腔瘜W(xué)穩(wěn)定的并且具有高電導(dǎo)率。
[0046]這些介電支撐單元112起到了維持這些導(dǎo)電單元之間的介電特性同時(shí)支撐這些導(dǎo)電單元的作用。此類介電支撐單元112可以使用與這些第一導(dǎo)電單元111相同的彈性材料，但是本發(fā)明不局限于此，并且可以使用具有良好彈性和優(yōu)良介電特性的任何材料。
[0047]該支撐薄片120可以附接至該彈性導(dǎo)電薄片110的頂部上。在該支撐薄片120中可以形成有待面向該待測(cè)試裝置900的這些端子910的多個(gè)通孔121。該支撐薄片120起到支撐多個(gè)第二導(dǎo)電單元130(以下將描述)的作用，并且對(duì)于該支撐薄片120可以使用具有比該第二導(dǎo)電單元130的彈性材料更高強(qiáng)度的一種材料。例如，可以使用合成樹脂材料，例如聚酰亞胺。然而，本發(fā)明不局限于這種材料并且可以使用硅、氨基甲酸酯、或彈性材料。
[0048]該支撐薄片120的這些通孔121可以通過(guò)使用激光來(lái)形成或者可以通過(guò)另一種形式的機(jī)械加工來(lái)形成。
[0049]該第二導(dǎo)電單元130被安排在該支撐薄片120的這些通孔121中，并且多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒131在厚度方向上被安排在一種彈性材料中。形成此第二導(dǎo)電單元130的彈性材料可以是與該第一導(dǎo)電單元111的彈性材料相同或相似的。另外，可以根據(jù)需要來(lái)使用具有比該第一導(dǎo)電單元111的材料更高強(qiáng)度的材料。被安排在單位面積的第二導(dǎo)電單元130中的彈性材料量可以小于被安排在第一導(dǎo)電單元111中的彈性材料量。
[0050]該第二導(dǎo)電顆粒131的材料可以是與該第一導(dǎo)電顆粒Illa的材料相同或相似的。然而，該第二導(dǎo)電顆粒131可以按比該第一導(dǎo)電顆粒Illa更高的密度安排在該彈性材料中。例如，單位面積上第二導(dǎo)電顆粒131所占的份額可以大于該第一導(dǎo)電顆粒Illa所占的份額。因此，這些第二導(dǎo)電顆粒131可以是密集地安排的。
[0051]此類第二導(dǎo)電顆粒131的中值滴徑可以小于該第一導(dǎo)電顆粒Illa的中值滴徑。例如，具有比該一導(dǎo)電顆粒Illa更小粒徑的第二導(dǎo)電顆粒131可以密集地安排在該彈性材料中。在這種情況下，第二導(dǎo)電顆粒131的中值滴徑可以比第一導(dǎo)電顆粒Illa的中值滴徑小兩倍至十倍。
[0052]該第二導(dǎo)電單元130可以一體地附接至該支撐薄片120的第一通孔121上并且附接至該第一導(dǎo)電單元111上。由于該第二導(dǎo)電單元130是一體地附接至該支撐薄片120上和該第一導(dǎo)電單元111上，所以即使與該待測(cè)試裝置900的端子910頻繁接觸，仍不容易分離或損壞。
[0053]參考數(shù)字140和320分別指代一個(gè)金屬框架和一個(gè)弓I導(dǎo)銷。該金屬框架140形成了該彈性橡膠薄片110的外周并且該引導(dǎo)銷320從該待測(cè)試裝置800向上突出以便將一個(gè)測(cè)試插座與測(cè)試裝置對(duì)齊。
[0054]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座100可以如下進(jìn)行制造。
[0055]首先，圖6至8中示出了制造該測(cè)試插座100的方法的一個(gè)實(shí)例。為了制造該測(cè)試插座100，在該薄片型支撐薄片120上形成有待面向該待測(cè)試裝置900的這些端子910的多個(gè)通孔121。此類通孔121可以通過(guò)使用激光或通過(guò)機(jī)械加工來(lái)形成。
[0056]隨后，將該薄片型支撐薄片120插入一個(gè)模具400中，如圖6所示。在這種情況下，該模具400包括成對(duì)的并且面向彼此的上模具和下模具，并且在該上模具與下模具之間的內(nèi)部空間中形成了一個(gè)空腔C。
[0057]對(duì)該上模具而言，在一個(gè)基底410的底部上形成了有待面向該待測(cè)試裝置900的這些端子910的多個(gè)鐵磁層411并且在除這些鐵磁層411之外的部分上形成了多個(gè)非鐵磁層412。另外，對(duì)該下模具而言，在一個(gè)基底417的頂部上形成了有待面向該待測(cè)試裝置900的這些端子910的多個(gè)鐵磁層416并且在除這些鐵磁層416之外的部分上形成了多個(gè)非鐵磁層415。在這些非鐵磁層的邊緣處安排了一對(duì)間隔件413和414并且在這些間隔件413與414之間安排該金屬框架140。
[0058]該支撐薄片被安排在此類模具400中。具體而言，該支撐薄片120被安裝在該模具400的空腔C中，使得該支撐薄片120的這些通孔121可以面向這些鐵磁層416。
[0059]隨后，在這些通孔121中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒131的液體彈性材料130’(參見圖6)。
[0060]隨后，在該空腔中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒Illa的液體彈性材料111’(參見圖7)。
[0061]隨后，通過(guò)一個(gè)電磁塊(未示出)施加磁場(chǎng)，并且因此當(dāng)該磁場(chǎng)穿過(guò)相向的鐵磁層411與416之間時(shí)，這些第一導(dǎo)電顆粒Illa可以排列成排(參見圖8)。
[0062]隨后，該第一液體彈性材料130’和該第二液體彈性材料111’被加熱并且被固化，并且因此完成了制造。
[0063]在這種情況下，可以將這些第二導(dǎo)電顆粒131安排成使得它們可以按比這些排列成排的第一導(dǎo)電顆粒Illa更高的密度被安排在該彈性材料中。即，希望的是預(yù)先計(jì)算出單位面積上要分布的導(dǎo)電顆粒的數(shù)目并且確定第一導(dǎo)電顆粒Illa和第二導(dǎo)電顆粒131的數(shù)目，以使得第二導(dǎo)電顆粒131可以比第一導(dǎo)電顆粒Illa更密集地安排。
[0064]在這種情況下，這些第二導(dǎo)電顆粒131的中值滴徑可以小于第一導(dǎo)電顆粒Illa的中間液體直徑但是本發(fā)明不局限于此，并且該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑可以等于該第一導(dǎo)電顆粒的中間液體直徑。[0065]圖9和10中示出了制造本發(fā)明的測(cè)試插座100的方法的另一個(gè)實(shí)例。首先，如圖9所示，在該薄片型支撐薄片120中形成有待面向該待測(cè)試裝置900的這些端子910的多個(gè)通孔121，并且隨后在這些通孔121中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒131的一種液體彈性材料并且該液體彈性材料被固化。
[0066]另外，在一個(gè)模具中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒Illa的一種液體彈性材料，并且接著通過(guò)將一個(gè)磁場(chǎng)施加至與該待測(cè)試裝置900的這些端子910相對(duì)應(yīng)的部分上來(lái)使這些第一導(dǎo)電顆粒Illa排列成排。接著，固化該液體彈性材料從而制成該彈性導(dǎo)電薄片110。制造彈性導(dǎo)電薄片110的方法類似于圖6至8的方法并且因此其詳細(xì)說(shuō)明將不在此重復(fù)。所制造的支撐薄片120是靠近該彈性導(dǎo)電薄片110而布置的(參見圖9)。
[0067]隨后，將該支撐薄片120附接至該彈性導(dǎo)電薄片110的頂部和底部中的任一者上。在這種情況下，該支撐薄片120是通過(guò)一種接觸材料而附接至該彈性導(dǎo)電薄片110上的(參見圖10)。
[0068]根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例的此類測(cè)試插座具有以下優(yōu)點(diǎn)。
[0069]首先，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試插座具有的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，電連接是優(yōu)良的，因?yàn)樵谂c待測(cè)試裝置接觸的第二導(dǎo)電單元中以高密度裝入了多個(gè)導(dǎo)電顆粒。具體而言，它具有的優(yōu)點(diǎn)在于，盡管頻繁地接觸該待測(cè)試裝置，仍容易維持該第二導(dǎo)電單元的原始外觀，因?yàn)樵搶?dǎo)電薄片的外周是由該支撐薄片支撐的。
[0070]具體而言，該第二導(dǎo)電顆粒的尺寸可以小于該第一導(dǎo)電顆粒的尺寸，這樣使得這些第二導(dǎo)電顆?？梢允且愿呙芏劝才诺摹Ａ硗?，如果該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑小，則與待測(cè)試裝置的端子形成點(diǎn)接觸的部位可以增多。例如，如果該第二導(dǎo)電顆粒的尺寸小并且這些第二導(dǎo)電顆粒是密集安排的，則與待測(cè)試裝置的端子相接觸的這些第二導(dǎo)電顆粒的數(shù)量增加并且因此與該待測(cè)試裝置的端子相接觸的部位增多。因此，本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)在于，可以增強(qiáng)電連接。
[0071 ] 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的此類測(cè)試插座可以如下發(fā)生改變。
[0072]首先，如圖11所示，可以在該支撐薄片220中形成一個(gè)分隔區(qū)段222，而使得多個(gè)相鄰的第二導(dǎo)電單元230可以獨(dú)立地運(yùn)作。此類分隔區(qū)段222可以是通過(guò)切削該支撐薄片220的一部分而形成的一個(gè)切削槽或切削孔。如果該支撐薄片220被該分隔區(qū)段222所分隔，則多個(gè)相鄰的第二導(dǎo)電單元230可以獨(dú)立地上下移動(dòng)。即，這些第二導(dǎo)電單元230中的任一個(gè)并不下降至與另一個(gè)第二導(dǎo)電單元230相同或相等高度、而是可以獨(dú)立地移動(dòng)。
[0073]另外，如圖12所示，可以將支撐薄片320和340分別安排在一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片310的頂部和底部上。同樣，可以將第二導(dǎo)電單元330和350分別施加在該彈性導(dǎo)電薄片310的第一導(dǎo)電單元311的頂部和底部上。另外，本發(fā)明不限于此并且可以僅在該彈性導(dǎo)電薄片的底部上安排該支撐薄片。
[0074]雖然通過(guò)參考本發(fā)明的示例性實(shí)施例具體地展示和說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試插座，但本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會(huì)理解，在不脫離由以下權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在形式和細(xì)節(jié)上做出不同的改變。
【權(quán)利要求】
1.一種測(cè)試插座，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該測(cè)試插座包括: 一個(gè)彈性導(dǎo)電薄片，該彈性導(dǎo)電薄片包括一個(gè)被安排成面向該待測(cè)試裝置的端子的第一導(dǎo)電單元以及一個(gè)介電支撐單元，在該第一導(dǎo)電單元中多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中，并且該介電支撐單元支撐該第一導(dǎo)電單元并且使該第一導(dǎo)電單元與一個(gè)相鄰的第一導(dǎo)電單元絕緣； 附接至該彈性導(dǎo)電薄片的頂部和底部中的至少一者上的一個(gè)支撐薄片，其中該支撐薄片具有面向該待測(cè)試裝置的端子的一個(gè)通孔；以及 被安排在該支撐薄片的通孔中的一個(gè)第二導(dǎo)電單元，其中多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒在厚度方向上被安排在一種彈性材料中；并且 其中該第二導(dǎo)電顆粒是以比該第一導(dǎo)電顆粒更高的密度安排在該彈性材料中的。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試插座，其中該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑小于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
3.如權(quán)利要求2所述的測(cè)試插座，其中該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑比該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑小兩倍至10倍。
4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試插座，其中該第二導(dǎo)電單元是一體地附接至該通孔中的。
5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試插座，其中該第二導(dǎo)電單元是一體地附接至該第一導(dǎo)電單元中的。
6.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試插座，其中該支撐薄片具有比該介電支撐單元更高的強(qiáng)度。
7.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試插座，其中在該支撐薄片中形成了一個(gè)分隔區(qū)段以便允許多個(gè)相鄰的第二導(dǎo)電單元獨(dú)立地運(yùn)作。
8.如權(quán)利要求7所述的測(cè)試插座，其中該分隔區(qū)段是通過(guò)切削該支撐薄片而形成的一個(gè)切削槽或一個(gè)切削孔。
9.一種用于制造測(cè)試插座的方法，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與一個(gè)測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該方法包括: 在一個(gè)薄片型支撐薄片上形成有待面向該待測(cè)試裝置的多個(gè)端子的多個(gè)通孔； 提供具有一個(gè)空腔的一個(gè)模具并且將該薄片型支撐薄片安排在該空腔中； 在該通孔中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料； 在該空腔中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料；并且 通過(guò)施加一個(gè)磁場(chǎng)使這些第一導(dǎo)電顆粒排列成排而面向該待測(cè)試裝置的這些端子；并且 其中確定被分布在該液體彈性材料中的這些第二導(dǎo)電顆粒的數(shù)目以便允許這些第二導(dǎo)電顆粒是以比這些排列成排的第一導(dǎo)電顆粒更高的密度安排的。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑小于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
11.如權(quán)利要求9所述的方法，其中該第二導(dǎo)電顆粒的中值滴徑等于該第一導(dǎo)電顆粒的中值滴徑。
12.一種用于制造測(cè)試插座的方法，該測(cè)試插座被安排在一個(gè)待測(cè)試裝置與一個(gè)測(cè)試裝置之間并且將該待測(cè)試裝置的一個(gè)端子電聯(lián)接至該測(cè)試裝置的一個(gè)墊片上，該方法包括: 在一個(gè)薄片型支撐薄片上形成有待面向該待測(cè)試裝置的多個(gè)端子的多個(gè)通孔； 在該通孔中裝入在其中分布有多個(gè)第二導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料、并且固化該液體彈性材料； 在 一個(gè)模具中裝入在其中分布有多個(gè)第一導(dǎo)電顆粒的一種液體彈性材料、通過(guò)將一個(gè)磁場(chǎng)施加至與該待測(cè)試裝置的這些端子相對(duì)應(yīng)的部分上而使這些第一導(dǎo)電顆粒排列成排、并且固化該液體彈性材料從而制造一種彈性導(dǎo)電薄片；并且 將該支撐薄片附接至該彈性導(dǎo)電薄片的頂部和底部中的至少一者上。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中該彈性導(dǎo)電薄片和該支撐薄片是通過(guò)一種粘性材料彼此粘連的。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK103959577SQ201380003857
【公開日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月3日
【發(fā)明者】李載學(xué) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Isc