磁場(chǎng)探頭的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供磁場(chǎng)探頭。磁場(chǎng)探頭(1)的檢測(cè)部(20)具備：第1布線圖案(31)，其形成于多層基板(10)的第1面(16)，并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭(1)的軸線(3)方向具有規(guī)定的斜率第2布線圖案(32)，其形成于第2面(17)，并相對(duì)于軸線(3)方向具有規(guī)定的斜率以及第1貫通通路孔(41)，其沿厚度方向貫通多層基板(10)，并將第1布線圖案(31)的前端部(31b)與第2布線圖案(32)的前端部(32b)連接。第1布線圖案(31)的后端部(31a)與構(gòu)成帶狀線路(80)的導(dǎo)體圖案(84)連接，第2布線圖案(32)的后端部(32b)與構(gòu)成帶狀線路(80)的接地圖案(82、83)連接。
【專利說(shuō)明】磁場(chǎng)探頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及磁場(chǎng)探頭，特別是涉及能夠測(cè)定三維磁場(chǎng)的磁場(chǎng)探頭。

【背景技術(shù)】
[0002]在安裝有電子部件的電路板等，要求減少?gòu)碾娐钒宓柔尫懦龅牟槐匾妮椛?噪聲)。作為對(duì)從電路板等釋放出的不必要的輻射(噪聲)進(jìn)行測(cè)定的裝置，在專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)有能夠?qū)y(cè)定點(diǎn)的三維方向的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)定的EMI測(cè)定裝置。在專利文獻(xiàn)I所記載的EMI測(cè)定裝置中，作為磁場(chǎng)探頭，使用前端的環(huán)形的環(huán)部相對(duì)于掃描方向具有規(guī)定的斜率(54.78° )的傾斜型環(huán)形天線。
[0003]根據(jù)該EMI測(cè)定裝置，由于使用具有規(guī)定的斜率的傾斜型環(huán)形天線，所以能夠?qū)ο嗷フ坏?軸(X軸、Y軸、Z軸)方向的磁場(chǎng)進(jìn)行測(cè)定。即，由于與傾斜型環(huán)形天線的環(huán)部交叉的磁場(chǎng)(磁通)，分別被均等地分配于X軸、Y軸、Z軸，所以能夠通過(guò)將角度每次旋轉(zhuǎn)120度進(jìn)行測(cè)定，并合成其結(jié)果，來(lái)取得三維磁場(chǎng)。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-346886號(hào)公報(bào)
[0005]如上所述，在專利文獻(xiàn)I所記載的EMI測(cè)定裝置中，作為磁場(chǎng)探頭，使用具有54.78。的斜率的傾斜型環(huán)形天線，從而能夠測(cè)定三維磁場(chǎng)強(qiáng)度。
[0006]然而，前端部形成為環(huán)形的傾斜型環(huán)形天線，通常使用半剛性電纜(semirigidcable)等來(lái)制作。然而，例如在利用半剛性電纜制作具有規(guī)定的斜率的環(huán)形的環(huán)部的情況下，首先，在制作時(shí)難以高精度地造出環(huán)部的角度。另外，在使用了半剛性電纜等的情況下，難以維持規(guī)定的斜率的同時(shí)增加環(huán)的圈數(shù)。即，難以通過(guò)增加環(huán)的圈數(shù)來(lái)提高磁場(chǎng)探頭的靈敏度。并且，利用半剛性電纜等制作的傾斜型環(huán)形天線，容易由于外力(例如與被測(cè)定物等的接觸)等因素而變形，因此難以長(zhǎng)時(shí)間維持環(huán)部的斜率的精度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是為了消除上述問(wèn)題點(diǎn)而產(chǎn)生的，其目的在于，提供能夠在制造時(shí)高精度地造出環(huán)部的斜率，并且能夠維持環(huán)部的斜率的精度的同時(shí)增加圈數(shù)，并且，能夠長(zhǎng)時(shí)間維持環(huán)部的斜率的精度的磁場(chǎng)探頭。
[0008]本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭具備:布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將檢測(cè)部與布線基板的基端部連接，其特征在于，檢測(cè)部具備:線形的第I布線圖案，其形成于布線基板的第I面，并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率；線形的第2布線圖案，其形成于布線基板的與第I面對(duì)置的第2面，并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有上述規(guī)定的斜率；以及第I通路孔，其沿厚度方向貫通布線基板，并將第I布線圖案的前端部與第2布線圖案的前端部連接，第I布線圖案的后端部與構(gòu)成傳輸線路的上述導(dǎo)體圖案連接，第2布線圖案的后端部與構(gòu)成傳輸線路的上述接地圖案連接。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭，由于通過(guò)形成于布線基板的第I布線圖案、第2布線圖案、以及將該第I布線圖案的前端與第2布線圖案的前端連接的第I通路孔形成環(huán)，所以能夠在制造時(shí)高精度地造出環(huán)部的斜率。另外，由于該環(huán)部形成于布線基板，所以難以變形，從而能夠長(zhǎng)時(shí)間維持環(huán)部的斜率的精度。并且，通過(guò)增加所形成的布線圖案與通路孔等的個(gè)數(shù)，還能夠維持環(huán)部的斜率的精度的同時(shí)增加環(huán)的圈數(shù)。
[0010]在本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭中，優(yōu)選布線基板為具有多個(gè)絕緣體層的多層基板，接地圖案成對(duì)地形成于第I面以及第2面，導(dǎo)體圖案形成于第I面與第2面之間的、由多個(gè)絕緣體層劃分出的第3面，利用沿多層基板的厚度方向延伸的通路孔，將第I布線圖案的后端部與導(dǎo)體圖案連接。
[0011]在該情況下，磁場(chǎng)探頭的環(huán)部的開(kāi)口部集中，并且例如利用調(diào)整了特性阻抗的傳輸線路將檢測(cè)部(環(huán)部)與多層基板的基端部連接。因此能夠?qū)z測(cè)部、傳輸線路、以及基端部的阻抗行進(jìn)整合，從而能夠抑制在檢測(cè)部、基端部產(chǎn)生反射波的情況。
[0012]本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭具備布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將檢測(cè)部與布線基板的基端部連接，其特征在于，檢測(cè)部具備:線形的第I布線圖案以及第3布線圖案，它們形成于布線基板的第I面，并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率；線形的第2布線圖案以及第4布線圖案，它們形成于布線基板的與第I面對(duì)置的第2面，并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有上述規(guī)定的斜率；第I通路孔，其沿厚度方向貫通布線基板，并將第I布線圖案的前端部與第2布線圖案的前端部連接；第2通路孔，其沿厚度方向貫通布線基板，并將第2布線圖案的后端部與第3布線圖案的后端部連接；以及第3通路孔，其沿厚度方向貫通布線基板，并將第3布線圖案的前端部與第4布線圖案的前端部連接，第I布線圖案的后端部與構(gòu)成傳輸線路的導(dǎo)體圖案連接，第4布線圖案的后端部與構(gòu)成傳輸線路的接地圖案連接。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭，由于通過(guò)第I布線圖案、第I通路孔、第2布線圖案、第2通路孔、以及第3布線圖案、第3通路孔、第4布線圖案，來(lái)形成將環(huán)繞成兩圈的檢測(cè)部(環(huán)部)，所以除上述的效果之外，還能夠進(jìn)一步提高磁場(chǎng)探頭的測(cè)定靈敏度。
[0014]在本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭中，優(yōu)選布線基板為具有多個(gè)絕緣體層的多層基板，接地圖案成對(duì)地形成于第I面以及第2面，導(dǎo)體圖案形成于第I面與第2面之間的、由多個(gè)絕緣體層劃分出的第3面，利用沿多層基板的厚度方向延伸的通路孔，將第I布線圖案的后端部與上述導(dǎo)體圖案連接。
[0015]在該情況下，例如利用調(diào)整了特性阻抗的傳輸線路將檢測(cè)部(環(huán)部)與多層基板的基端部連接。因此，能夠?qū)z測(cè)部、傳輸線路、以及基端部的阻抗進(jìn)行整合，從而能夠抑制在檢測(cè)部、基端部產(chǎn)生反射波。
[0016]本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭具備:布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將檢測(cè)部與布線基板的基端部連接，其特征在于，檢測(cè)部具備:形成于布線基板的第I面、并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率的多個(gè)線形的布線圖案；形成于布線基板的與第I面對(duì)置的第2面、并相對(duì)于磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有上述規(guī)定的斜率的多個(gè)線形的布線圖案；以及多個(gè)通路孔，它們沿厚度方向貫通布線基板，并將形成于第I面的多個(gè)布線圖案、與形成于第2面的多個(gè)布線圖案以連結(jié)成螺旋形的方式連接，連接成螺旋形的多個(gè)布線圖案的始端部，與構(gòu)成傳輸線路的上述導(dǎo)體圖案連接，連接成螺旋形的多個(gè)布線圖案的終端部，與構(gòu)成傳輸線路的上述接地圖案連接。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的磁場(chǎng)探頭，由于能夠?qū)z測(cè)部(環(huán)部)的環(huán)的圈數(shù)形成為多圈(例如3圈以上)，所以除上述的效果之外，還能夠進(jìn)一步提高磁場(chǎng)探頭的測(cè)定靈敏度。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠在制造時(shí)高精度地造出環(huán)部的斜率，并且能夠維持環(huán)部的斜率的精度的同時(shí)增加圈數(shù)，并且能夠長(zhǎng)時(shí)間維持環(huán)部的斜率的精度。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是表示第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0020]圖2是表示第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0021]圖3是表示構(gòu)成第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第I電極層的布線圖案的圖。
[0022]圖4是表示構(gòu)成第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第2電極層的布線圖案的圖。
[0023]圖5是表示構(gòu)成第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第3電極層的布線圖案的圖。
[0024]圖6是沿圖2的V1- VI線剖開(kāi)的剖視圖。
[0025]圖7是表示基于第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的磁場(chǎng)的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)例子的圖。
[0026]圖8是表示第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0027]圖9是表示構(gòu)成第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第I電極層的布線圖案的圖。
[0028]圖10是表示構(gòu)成第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第2電極層的布線圖案的圖。
[0029]圖11是表示構(gòu)成第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的檢測(cè)部的第3電極層的布線圖案的圖。
[0030]圖12是表示沿圖8的ΧΠ - ΧΠ線剖開(kāi)的剖視圖。
[0031]圖13是表示基于第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭的磁場(chǎng)的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)例子的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0032]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。其中，在各圖中，對(duì)于相同要素標(biāo)注相同附圖標(biāo)記并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0033](第I實(shí)施方式)
[0034]首先，結(jié)合使用圖1?圖6對(duì)第I實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示磁場(chǎng)探頭I的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示磁場(chǎng)探頭I的檢測(cè)部20的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，圖3?圖5是表不構(gòu)成磁場(chǎng)探頭I的檢測(cè)部20的第I電極層13?第3電極層15各自的布線圖案的圖。并且，圖6是沿圖2的V1- VI線剖開(kāi)的剖視圖。
[0035]磁場(chǎng)探頭I具備:多層基板10 ;檢測(cè)部20，其形成于該多層基板10的前端部1a ；以及帶狀線路(傳輸線路)80，其具有導(dǎo)體圖案84以及一對(duì)接地圖案82、83，并將檢測(cè)部20與多層基板10的基端部1b連接。
[0036]多層基板10在主視的情況下(從圖1所示的X軸方向觀察的情況下)形成為大致T字形，并且，在側(cè)視的情況下(從圖1的Y軸方向觀察的情況下)形成為平板狀。對(duì)于多層基板10，例如適合使用在重疊玻璃纖維制的織物(cloth)而成的部件中浸入環(huán)氧樹(shù)脂而成的玻璃環(huán)氧基板等。
[0037]多層基板10通過(guò)沿厚度方向(圖1的X軸方向)層疊雙層的絕緣體層(電介質(zhì)層)、即第I絕緣體層11以及第2絕緣體層12而構(gòu)成。在多層基板10的前端部1a形成有檢測(cè)部20 (后述詳細(xì)情況)。另一方面，多層基板10的基端部1b形成為寬度尺寸比前端部1a大，在該基端部1b例如安裝有SMA連接器19。此外，磁場(chǎng)探頭I經(jīng)由與SM連接器19連接的同軸電纜而與頻譜分析儀等測(cè)量器連接。而且，根據(jù)磁場(chǎng)探頭I的檢測(cè)部20所產(chǎn)生的檢測(cè)信號(hào)(電動(dòng)勢(shì))，來(lái)測(cè)定檢測(cè)部20附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
[0038]對(duì)于多層基板10而言,相對(duì)于寬度方向(圖1的Y軸方向)，在前端部1a例如具有數(shù)mm左右的尺寸，在基端部1b例如具有數(shù)十mm左右的尺寸。另外，多層基板10沿長(zhǎng)度方向(圖1的Z軸方向)延伸，其長(zhǎng)度例如形成為數(shù)十mm左右。將該長(zhǎng)度方向的中心線定義為軸線3。軸線3相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的掃描方向(X、Y平面)垂直地接觸。
[0039]在多層基板10的第I面(以下還稱為“表面”)16形成有第I電極層13。第I電極層13具有:形成于多層基板10 (第I面16)的前端部1a的第I布線圖案31 (后述詳細(xì)情況)、以及以覆蓋多層基板10 (第I面16)的除前端部1a以外的區(qū)域的方式形成的接地圖案82。另一方面，在多層基板10的第2面(以下還稱為“背面”)17形成有第2電極層14。第2電極層14具有:形成于多層基板10 (第2面17)的前端部1a的第2布線圖案32 (后述詳細(xì)情況)、以及以覆蓋多層基板10 (第2面17)的除前端部1a以外的區(qū)域的方式形成的接地圖案84。
[0040]另外，在構(gòu)成多層基板10的第I絕緣體層11與第2絕緣體層12之間被劃分的第3面18，形成有第3電極層15。該第3電極層15在第3面18的大致中央具有沿磁場(chǎng)探頭I的軸線3的方向細(xì)長(zhǎng)地延伸的導(dǎo)體圖案84。此外，接地圖案82、83、導(dǎo)體圖案84、第I布線圖案31、以及第2布線圖案32分別例如由導(dǎo)電性的金屬皮膜形成。
[0041]上述的形成于多層基板10的兩面的一對(duì)接地圖案82、83、導(dǎo)體圖案(帶狀導(dǎo)體)84構(gòu)成帶狀線路(傳輸線路)80。帶狀線路80將檢測(cè)部20與SMA連接器19連接。此夕卜，帶狀線路80的特性阻抗例如被調(diào)節(jié)為50 Ω。
[0042]檢測(cè)部20配置于多層基板10的前端部10a，并具有第O通路孔40、第I布線圖案31、第I貫通通路孔41、第2布線圖案32、以及第5貫通通路孔45。
[0043]第I布線圖案31為線形的布線圖案，如上所述形成于多層基板10的第I面16。另外，第I布線圖案31以相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的軸線3方向具有規(guī)定的斜率的方式形成。在此，若將第I布線圖案31相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的軸線3方向的傾斜角設(shè)為φ，則傾斜角φ由下式⑴求出。
[0044]
9=tan 1 ( 1/V~2 ) =35.30■ ■.(1)
[0045]因此，若將相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的掃描方向(X、Y平面)的角度設(shè)為Θ，則角度Θ由下式⑵求出。
[0046]Θ = 90-35.3 = 54.7°...(2)
[0047]第2布線圖案32也為線形的布線圖案，如上所述形成于多層基板10的與第I面16平行的第2面17。另外，第2布線圖案32與第I布線圖案31同樣地，以相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的軸線3方向具有規(guī)定的斜率φ的方式形成。另外，從與多層基板10的第2面17垂直的方向(圖1的X軸方向)觀察時(shí)，第2布線圖案32配設(shè)于與第I布線圖案16大致重疊的位置。此外，為了避免后述的第5貫通通路孔45與導(dǎo)體圖案84干涉，而使第2布線圖案32的后端部分形成為大致彎曲為直角的形狀。
[0048]利用沿多層基板10的厚度方向延伸的第O通路孔40，將第I布線圖案31的后端部31a與構(gòu)成帶狀線路80的導(dǎo)體圖案84的前端部84a連接。另外，利用沿厚度方向貫通多層基板10的第I貫通通路孔41，將第I布線圖案31的前端部31b與第2布線圖案32的前端部32b連接。此外，對(duì)于第O通路孔40、第I貫通通路孔41等通路孔而言，例如通過(guò)鍍敷處理等而在其內(nèi)壁面形成有導(dǎo)電性的金屬膜。
[0049]第2布線圖案32的后端部32a與構(gòu)成帶狀線路80的接地圖案83連接。另外，利用沿厚度方向貫通多層基板10的第5貫通通路孔45，將第2布線圖案32的后端部32a(即接地圖案83)與對(duì)置的接地圖案82連接。
[0050]如以上那樣，通過(guò)形成于多層基板10的第O通路孔40、第I布線圖案31、第I貫通通路孔41、以及第2布線圖案32，來(lái)形成相對(duì)于磁場(chǎng)探頭I的軸線3方向具有規(guī)定的斜率φ? (在本實(shí)施方式中斜率Φ=35.3° )的環(huán)部21。
[0051]接下來(lái)，對(duì)具有如上所述的結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)探頭I的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。例如在測(cè)定電路板等的磁場(chǎng)強(qiáng)度時(shí)，首先，將磁場(chǎng)探頭I的前端部10a(檢測(cè)部20)以接近電路板等測(cè)定對(duì)象的表面的狀態(tài)配置。即，將具有規(guī)定的斜率φ (在本實(shí)施方式中φ=35.3° )的環(huán)部21接近測(cè)定對(duì)象的表面進(jìn)行配置。這樣一來(lái)，在檢測(cè)部20，基于通過(guò)環(huán)部21的內(nèi)側(cè)的磁場(chǎng)(磁通變化)，而在該環(huán)部21產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。因此，利用與SMA連接器19連接的頻譜分析儀等測(cè)量器測(cè)量該電動(dòng)勢(shì)，由此能夠?qū)y(cè)定對(duì)象的表面所產(chǎn)生的磁場(chǎng)進(jìn)行測(cè)定。
[0052]接著，以磁場(chǎng)探頭I的軸線3(垂直方向)為旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)120°以及240°并同樣地測(cè)定磁場(chǎng)。然后，從軸線3方向(垂直方向)觀察，對(duì)0°、120°、240°的磁場(chǎng)強(qiáng)度的平方和的平方根進(jìn)行計(jì)算，由此能夠得到相互正交的3軸(X軸、Y軸、Z軸)方向的合成的磁場(chǎng)強(qiáng)度的絕對(duì)值。在此，在圖7中示出了使用磁場(chǎng)探頭1，將每隔120°測(cè)定的磁場(chǎng)進(jìn)行合成而得到的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)例子。其中，圖7的右上方所示的數(shù)值為中心部的磁場(chǎng)強(qiáng)度(此時(shí)為 47.5dB)。
[0053]如以上那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，通過(guò)形成于多層基板10的第O通路孔40、第I布線圖案31、第2布線圖案32、以及將該第I布線圖案31的前端31b與第2布線圖案32的前端32b連接的第I貫通通路孔41，來(lái)形成環(huán)部21。因此，能夠在制造時(shí)高精度地造出環(huán)部21的斜率。另外，難以變形，從而能夠長(zhǎng)時(shí)間維持環(huán)部21的斜率的精度。此外，通過(guò)進(jìn)一步增加所形成的布線圖案與通路孔等的個(gè)數(shù)，還能夠維持環(huán)部21的斜率的精度的同時(shí)增加環(huán)的圈數(shù)。
[0054]另外，根據(jù)本實(shí)施方式，利用將特性阻抗例如調(diào)整為50 Ω的帶狀線路80，將環(huán)部21 (檢測(cè)部20)與安裝于多層基板10的基端部1a的SMA連接器19連接。因此，能夠?qū)z測(cè)部20、帶狀線路80以及SMA連接器19的阻抗進(jìn)行整合，從而能夠抑制在SMA連接器19、檢測(cè)部20反射的反射波的產(chǎn)生。
[0055](第2實(shí)施方式)
[0056]然而，為了提高磁場(chǎng)探頭的靈敏度，有效的是增加環(huán)的圈數(shù)。因此，接下來(lái)，結(jié)合使用圖8?圖12對(duì)將環(huán)卷繞成兩圈的第2實(shí)施方式的電場(chǎng)探頭2的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示磁場(chǎng)探頭2的檢測(cè)部50的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，圖9?圖11是表示構(gòu)成磁場(chǎng)探頭2的檢測(cè)部50的第I電極層53?第3電極層55各自的布線圖案的圖。并且，圖12是沿圖8的ΧΠ-ΧΠ線剖開(kāi)的剖視圖。其中，在圖8?圖12中，對(duì)于與第I實(shí)施方式相同或者同等的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
[0057]磁場(chǎng)探頭2與上述的磁場(chǎng)探頭I的不同點(diǎn)在于，代替具有一圈的環(huán)的檢測(cè)部20而具備具有兩圈的環(huán)的檢測(cè)部50。其他的結(jié)構(gòu)與上述的磁場(chǎng)探頭I相同或者同樣，因此在此省略圖示以及詳細(xì)的說(shuō)明。
[0058]檢測(cè)部50配置于多層基板10的前端部10a，并具有第O通路孔40、第I布線圖案
31、第I貫通通路孔41、第2布線圖案62、第2貫通通路孔72、第3布線圖案63、第3貫通通路孔73、第4布線圖案64、第4通路孔74、第5布線圖案65、以及第6貫通通路孔76。
[0059]第I布線圖案31以及第3布線圖案63為相互平行的線形的布線圖案，并形成于多層基板10的第I面16。另外，第I布線圖案31以及第3布線圖案63以相對(duì)于磁場(chǎng)探頭2的軸線3方向具有規(guī)定的斜率φ (在本實(shí)施方式中35.3° )的方式形成。
[0060]另一方面，第2布線圖案62以及第4布線圖案64也為相互平行的線形的布線圖案，并形成于多層基板10的第2面17。另外，與第I布線圖案31以及第3布線圖案63同樣地，第2布線圖案62以及第4布線圖案64也以相對(duì)于磁場(chǎng)探頭2的軸線3方向具有規(guī)定的斜率φ的方式形成。另外，從與多層基板10的第2面17垂直的方向(圖8的X軸方向)觀察時(shí)，第2布線圖案62以及第4布線圖案64配設(shè)于與第I布線圖案31以及第3布線圖案63大致重疊的位置。
[0061]此外，對(duì)于第2布線圖案62以及第4布線圖案64而言，為了一邊避免干涉一邊將多個(gè)布線圖案連接為螺旋形，而使后端部分形成為彎曲的形狀。
[0062]利用沿多層基板10(第I絕緣體層11)的厚度方向延伸的第O通路孔40，將第I布線圖案31的后端部31a與構(gòu)成帶狀線路81的導(dǎo)體圖案85的前端部85a連接。另外，利用沿厚度方向貫通多層基板10的第I貫通通路孔41，將第I布線圖案31的前端部31b與第2布線圖案62的前端部62b連接。
[0063]另一方面，利用沿厚度方向貫通多層基板10的第2貫通通路孔72，將第2布線圖案62的后端部62a與第3布線圖案63的后端部63a連接。另外，利用沿厚度方向貫通多層基板10的第3貫通通路孔73，將第3布線圖案63的前端部63b與第4布線圖案64的前端部64b連接。
[0064]并且，第4布線圖案64的后端部64a經(jīng)由沿多層基板10 (第2絕緣體層12)的厚度方向延伸的第4通路孔74、形成于第3面18 (第3電極層55)的第5布線圖案65、以及沿厚度方向貫通多層基板10的第6貫通通路孔76，而與構(gòu)成帶狀線路81的接地圖案83以及接地圖案82連接。
[0065]如以上那樣，通過(guò)形成于多層基板10的第O通路孔40、第I布線圖案31、第I貫通通路孔41、第2布線圖案62、第2貫通通路孔72、第3布線圖案63、第3貫通通路孔73、第4布線圖案64、第4通路孔74、以及第5布線圖案65，來(lái)形成相對(duì)于磁場(chǎng)探頭2的軸線3方向具有規(guī)定的斜率φ (在本實(shí)施方式中為斜率φ=35.3° )的將環(huán)卷繞成兩圈的環(huán)部51。
[0066]接下來(lái)，對(duì)具有如上所述的結(jié)構(gòu)的磁場(chǎng)探頭2的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭2中，也與上述的磁場(chǎng)探頭I的情況同樣，以磁場(chǎng)探頭2的軸線3 (垂直方向)為旋轉(zhuǎn)軸每次旋轉(zhuǎn)120°測(cè)定磁場(chǎng)，從軸線3方向(垂直方向)觀察，運(yùn)算0°、120°、240°的磁場(chǎng)強(qiáng)度的平方和的平方根，由此能夠得到相互正交的3軸(X軸、Y軸、Z軸)方向的合成后的磁場(chǎng)強(qiáng)度的絕對(duì)值。
[0067]在圖13中示出了使用與上述的第I實(shí)施方式的情況相同的測(cè)定對(duì)象，每次旋轉(zhuǎn)120°測(cè)定相互正交的3軸方向的磁場(chǎng)，并將其合成而得到的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)例子。在此，圖13的右上方所示的數(shù)值為中心部的磁場(chǎng)強(qiáng)度(此時(shí)為54.7dB)。與第I實(shí)施方式的情況相比，中心部的磁場(chǎng)強(qiáng)度增高，因此根據(jù)本實(shí)施方式，確認(rèn)到能夠通過(guò)增加環(huán)的圈數(shù)來(lái)提高測(cè)定靈敏度。
[0068]如以上那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于將檢測(cè)部50的環(huán)卷繞成兩圈，所以除上述的第I實(shí)施方式的效果之外，還能夠進(jìn)一步提高磁場(chǎng)探頭2的測(cè)定靈敏度。
[0069]以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式而能夠進(jìn)行各種變形。例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)檢測(cè)部20(50)的環(huán)的圈數(shù)為一圈的情況(第I實(shí)施方式)、和為兩圈的情況(第2實(shí)施方式)進(jìn)行了說(shuō)明，但環(huán)的圈數(shù)也可以為三圈以上。
[0070]S卩，也可以代替相對(duì)于上述的第2實(shí)施方式的磁場(chǎng)探頭2的第4布線圖案64的后端部64a連接接地圖案82、83的情況，將貫通通路孔以及多個(gè)布線圖案進(jìn)一步連接為螺旋形，并且將被連接為該螺旋形的多個(gè)布線圖案的終端部與構(gòu)成帶狀線路81的接地圖案82、83連接來(lái)構(gòu)成。這樣一來(lái)，由于環(huán)的圈數(shù)可以為三圈以上，所以能夠進(jìn)一步提高磁場(chǎng)探頭的測(cè)定靈敏度。
[0071]另外，在上述實(shí)施方式中，絕緣體層使用了雙層的多層基板，但絕緣體層的層數(shù)不限定于雙層，也可以為3層以上。
[0072]在上述實(shí)施方式中，作為傳輸線路，使用了帶狀線路，但也可以使用微帶狀線路。此時(shí)，代替多層基板，還能夠使用單層的雙面基板(布線基板)。
[0073]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0074]1、2…磁場(chǎng)探頭；3…軸線；10…多層基板(布線基板)；1(V..前端部；10b…基端部;11…第I絕緣體層;12…第2絕緣體層；13、53…第I電極層；14、54…第2電極層；15、55…第3電極層;16…第I面;17…第2面;18…第3面；19…SMA連接器；20、50…檢測(cè)部；
21、51…環(huán)部;31…第I布線圖案；32、62…第2布線圖案;63…第3布線圖案;64…第4布線圖案;65…第5布線圖案;40…第O通路孔;41…第I貫通通路孔；72…第2貫通通路孔；73…第3貫通通路孔;74…第4通路孔;45…第5貫通通路孔;76…第6貫通通路孔；80、81…帶狀線路(傳輸線路);82、83…接地圖案；84、85…導(dǎo)體圖案。
【權(quán)利要求】
1.一種磁場(chǎng)探頭，其具備:布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將所述檢測(cè)部與所述布線基板的基端部連接， 其特征在于， 所述檢測(cè)部具備: 線形的第I布線圖案，其形成于所述布線基板的第I面，并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率； 線形的第2布線圖案，其形成于所述布線基板的與第I面對(duì)置的第2面，并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有所述規(guī)定的斜率；以及 第I通路孔，其沿厚度方向貫通所述布線基板，并將所述第I布線圖案的前端部與所述第2布線圖案的前端部連接， 所述第I布線圖案的后端部與構(gòu)成所述傳輸線路的所述導(dǎo)體圖案連接， 所述第2布線圖案的后端部與構(gòu)成所述傳輸線路的所述接地圖案連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場(chǎng)探頭，其特征在于， 所述布線基板為具有多個(gè)絕緣體層的多層基板， 所述接地圖案成對(duì)地形成于所述第I面以及所述第2面， 所述導(dǎo)體圖案形成于所述第I面與所述第2面之間的、由所述多個(gè)絕緣體層劃分出的第3面， 利用沿所述多層基板的厚度方向延伸的通路孔，將所述第I布線圖案的后端部與所述導(dǎo)體圖案連接。
3.—種磁場(chǎng)探頭，具備:布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將所述檢測(cè)部與所述布線基板的基端部連接， 其特征在于， 所述檢測(cè)部具備: 線形的第I布線圖案以及第3布線圖案，它們形成于所述布線基板的第I面，并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率； 線形的第2布線圖案以及第4布線圖案，它們形成于所述布線基板的與第I面對(duì)置的第2面，并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有所述規(guī)定的斜率； 第I通路孔，其沿厚度方向貫通所述布線基板，并將所述第I布線圖案的前端部與所述第2布線圖案的前端部連接； 第2通路孔，其沿厚度方向貫通所述布線基板，并將所述第2布線圖案的后端部與所述第3布線圖案的后端部連接；以及 第3通路孔，其沿厚度方向貫通所述布線基板，并將所述第3布線圖案的前端部與所述第4布線圖案的前端部連接， 所述第I布線圖案的后端部與構(gòu)成所述傳輸線路的所述導(dǎo)體圖案連接， 所述第4布線圖案的后端部與構(gòu)成所述傳輸線路的所述接地圖案連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁場(chǎng)探頭，其特征在于， 所述布線基板為具有多個(gè)絕緣體層的多層基板， 所述接地圖案成對(duì)地形成于所述第I面以及所述第2面， 所述導(dǎo)體圖案形成于所述第I面與所述第2面之間的、由所述多個(gè)絕緣體層劃分出的第3面， 利用沿所述多層基板的厚度方向延伸的通路孔，將所述第I布線圖案的后端部與所述導(dǎo)體圖案連接。
5.一種磁場(chǎng)探頭，具備:布線基板；檢測(cè)部，其形成于該布線基板的前端部；以及傳輸線路，其具有導(dǎo)體圖案以及接地圖案，將所述檢測(cè)部與所述布線基板的基端部連接， 其特征在于， 所述檢測(cè)部具備: 形成于所述布線基板的第I面、并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有規(guī)定的斜率的多個(gè)線形的布線圖案； 形成于所述布線基板的與第I面對(duì)置的第2面、并相對(duì)于所述磁場(chǎng)探頭的軸線方向具有所述規(guī)定的斜率的多個(gè)線形的布線圖案；以及 多個(gè)通路孔，它們沿厚度方向貫通所述布線基板，并將形成于所述第I面的所述多個(gè)布線圖案、與形成于所述第2面的所述多個(gè)布線圖案以連結(jié)成螺旋形的方式連接， 連接成螺旋形的所述多個(gè)布線圖案的始端部，與構(gòu)成所述傳輸線路的所述導(dǎo)體圖案連接， 連接成螺旋形的所述多個(gè)布線圖案的終端部，與構(gòu)成所述傳輸線路的所述接地圖案連接。
【文檔編號(hào)】G01R29/08GK104204834SQ201380016580
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2013年2月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月29日
【發(fā)明者】清水典子, 市村崇, 東貴博 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所