熱式空氣流量傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的熱式流量傳感器包括：流量檢測(cè)元件，其包括對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行加工而設(shè)置的隔膜、在所述隔膜上設(shè)置的發(fā)熱電阻體、在所述發(fā)熱電阻體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置的測(cè)溫電阻體；支承部件，其經(jīng)由粘接劑片接合保持所述流量檢測(cè)元件，所述支承部件具有一端在設(shè)置于所述隔膜的背面?zhèn)鹊目斩床块_(kāi)口的連通孔，所述粘接劑片在所述支承部件的連通孔的開(kāi)口區(qū)域形成有通氣孔。
【專(zhuān)利說(shuō)明】熱式空氣流量傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及熱式空氣流量傳感器，特別涉及適合設(shè)置在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的吸氣系統(tǒng)中的檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)的吸入空氣量的熱式空氣流量傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為在汽車(chē)等的內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣通路中設(shè)置的、測(cè)定吸入空氣量的空氣流量傳感器，熱式空氣流量傳感器因?yàn)槟軌蛑苯訖z測(cè)空氣量，所以正在成為主流。
[0003]最近，通過(guò)半導(dǎo)體微細(xì)加工在硅基板上堆疊電阻體和絕緣層膜后，用以1(0?等為代表的溶劑除去硅基板的一部分，形成薄膜部(隔膜)的空氣流量傳感器具有高速響應(yīng)性，并且能夠利用該高速響應(yīng)性進(jìn)行逆流檢測(cè)，因此受到關(guān)注。此外，近年來(lái)，出于減少基板部(印刷基板和陶瓷基板等)的部件的目的，關(guān)于在同一個(gè)引線(xiàn)框上安裝流量檢測(cè)元件和電路基板等，對(duì)其外周部通過(guò)注塑成形法用樹(shù)脂密封，從而制造使流量檢測(cè)元件等成為一體的樹(shù)脂封裝體的研究正在進(jìn)展。
[0004]另一方面，對(duì)[31或微控制器等半導(dǎo)體電路元件用樹(shù)脂密封的情況下，較多使用粘接劑片將電路元件與引線(xiàn)框接合。粘接劑片的一般的使用方法是在半導(dǎo)體電路晶片的狀態(tài)下在背面?zhèn)荣N合粘接劑片，在通過(guò)劃片工序單片化時(shí)片狀粘接層也同時(shí)切斷，從而成為在半導(dǎo)體電路芯片背面整面貼合了粘接劑片的狀態(tài)。由此，能夠?qū)纹蟮陌雽?dǎo)體電路元件直接安裝在引線(xiàn)框上，因此具有省去使用溶劑式的粘接材料時(shí)印刷溶劑的工序的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]關(guān)于電子元件與支承基板的接合，有專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的發(fā)明。在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了在用于使安裝基座與電子部件之間接合固定的電子部件用粘接片上，形成在平面視圖中各自具有規(guī)定面積的多個(gè)開(kāi)口部。根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)1，能夠防止使電子部件與粘接劑片貼合時(shí)混入空氣而形成凸部，因此能夠提高安裝基座與電子部件的密合性。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2003-234360公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]在支承基板上安裝在半導(dǎo)體元件上形成了薄膜部的流量檢測(cè)元件的情況下，薄膜部的背面?zhèn)鹊目斩床砍蔀槊芊鉅顟B(tài)時(shí)，存在伴隨溫度變化和壓強(qiáng)變化，背面?zhèn)鹊目斩床恐忻芊獾目諝獾捏w積發(fā)生變動(dòng)，薄膜部變形的情況。在這樣的情況下，因?yàn)閭鞲衅鞯奶匦园l(fā)生變化，所以可能在檢測(cè)空氣流量時(shí)產(chǎn)生誤差。因此，為了抑制流量檢測(cè)誤差，需要不對(duì)薄膜部的背面?zhèn)鹊目斩床窟M(jìn)行密封而將流量檢測(cè)元件安裝在支承基板上。
[0011]但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1中提及的電子部件是沒(méi)有實(shí)施背面加工的塊狀電子部件。專(zhuān)利文獻(xiàn)1是用粘接劑片使塊狀的電子部件與安裝基座接合的發(fā)明，因此將實(shí)施了背面加工的流量檢測(cè)元件安裝在支承體時(shí)，關(guān)于不對(duì)較薄部的背面?zhèn)鹊目斩床窟M(jìn)行密封存在研究的余地。
[0012]本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。
[0013]用于解決課題的方案
[0014]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的熱式流量傳感器的特征在于，包括:流量檢測(cè)元件，其包括對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行加工而設(shè)置的隔膜、在所述隔膜上設(shè)置的發(fā)熱電阻體、在所述發(fā)熱電阻體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置的測(cè)溫電阻體；和支承部件，其經(jīng)由粘接劑片接合保持所述流量檢測(cè)元件，所述支承部件具有一端在設(shè)置于所述隔膜的背面?zhèn)鹊目斩床块_(kāi)口的連通孔，所述粘接劑片在所述支承部件的連通孔的開(kāi)口區(qū)域形成有通氣孔。
[0015]發(fā)明效果
[0016]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1 (幻是本發(fā)明的第一實(shí)施例的從橫向觀察的截面概要圖，(幻是從上方觀察的概要圖。
[0018]圖2(4是本發(fā)明的第一實(shí)施例的從橫向觀察的截面概要圖，㈦是從上方觀察的概要圖。
[0019]圖3是本發(fā)明的第一實(shí)施例的概要圖。
[0020]圖4(3)是本發(fā)明的第二實(shí)施例的從橫向觀察的截面概要圖，(^)是從上方觀察的概要圖。
[0021]圖5(幻是本發(fā)明的第二實(shí)施例的從橫向觀察的截面概要圖，(幻是從上方觀察的概要圖。
[0022]圖6是使用本發(fā)明的第二實(shí)施例的熱式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)圖。
[0023]圖7(4是本發(fā)明的第三實(shí)施例的流量檢測(cè)元件的背面?zhèn)雀乓獔D，㈦是粘接劑片的概要圖，化)是粘接劑片的通氣孔的尺寸概要圖。
[0024]圖8是本發(fā)明的熱式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)圖。

【具體實(shí)施方式】
[0025]用圖8說(shuō)明本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器。
[0026]本發(fā)明的熱式空氣流量傳感器在用于對(duì)汽車(chē)的內(nèi)燃機(jī)(未圖示)供給吸入空氣1的吸氣管路5內(nèi)，設(shè)置殼體3和半導(dǎo)體封裝體2。
[0027]殼體3具備用于與外部電連接的連接器部12、配設(shè)電路的電路室16、將殼體3固定在吸氣管路5中的凸緣部4和導(dǎo)入吸入空氣1的一部分的副通路6。
[0028]連接器部12具有連接器端子8。連接器端子8的一端向電路室16延伸并與半導(dǎo)體封裝體2在電路室16內(nèi)電連接，另一端向連接器部12的嵌合部延伸并與外部端子電連接。
[0029]殼體3中構(gòu)成了與電路室16和連接器部12的嵌合部連通的連通孔9。通過(guò)連通孔9使電路室16與吸氣管外部連通，防止電路室16被密閉。
[0030]半導(dǎo)體封裝體2用密封樹(shù)脂60使引線(xiàn)框10、半導(dǎo)體基板20、電路元件和溫度傳感器一體成形而制造。此外，半導(dǎo)體封裝體2為了使流量檢測(cè)部7暴露在吸入空氣中，具有未被樹(shù)脂60覆蓋而是部分露出的區(qū)域。流量檢測(cè)部7設(shè)置在副通路6內(nèi)，根據(jù)副通路6內(nèi)流過(guò)的流體的流量，計(jì)算吸入空氣1的流量。
[0031]用圖1至圖3說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例。
[0032]如圖1所示，流量檢測(cè)元件15在硅等半導(dǎo)體基板20上形成了絕緣膜層和電阻體層的疊層結(jié)構(gòu)膜26，通過(guò)用氫氧化鉀￠0?)等部分地除去半導(dǎo)體基板26的背面?zhèn)榷纬筛裟?5。在隔膜25上形成了發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23。此外，在半導(dǎo)體基板20的表面形成了電極焊盤(pán)40，通過(guò)金線(xiàn)等接合線(xiàn)50與半導(dǎo)體基板20的外部電連接。該流量檢測(cè)元件15在引線(xiàn)框10上通過(guò)粘接劑片30固定。
[0033]在引線(xiàn)框10上形成了以隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床康膿Q氣為目的的通氣孔11。進(jìn)而，在粘接劑片30上形成了通氣孔35。通過(guò)在粘接劑片30的隔膜開(kāi)口端部24與引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11相重合的區(qū)域內(nèi)形成通氣孔35，從而使隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床颗c引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11連通。
[0034]從而，在圖1所示的結(jié)構(gòu)體中，隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床磕軌蛲ㄟ^(guò)通氣孔11、35與外部空氣連通。
[0035]接著，用圖2表示使用圖1的結(jié)構(gòu)體，以使包括隔膜25的區(qū)域部分露出的方式進(jìn)行樹(shù)脂密封后的結(jié)構(gòu)。
[0036]圖1的結(jié)構(gòu)體的外周部被密封樹(shù)脂60密封，但是在密封樹(shù)脂60上形成了用于使流量檢測(cè)部即包括隔膜25的區(qū)域部分露出的開(kāi)口部61。此外，在密封樹(shù)脂60的形成開(kāi)口部61的相反側(cè)形成了用于使引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11與外部空氣連通的開(kāi)口部62。通過(guò)設(shè)置開(kāi)口部62，即使在用密封樹(shù)脂60將流量檢測(cè)元件15和引線(xiàn)框10密封的情況下，也能夠使隔膜背面與外部空氣連通，避免成為密封狀態(tài)。
[0037]用密封樹(shù)脂60將流量檢測(cè)元件15和引線(xiàn)框10密封時(shí)，在隔膜背面?zhèn)刃纬傻目斩床勘幻荛]。汽車(chē)的吸氣系統(tǒng)中配置的熱式空氣流量傳感器配置在發(fā)生-40?1301的溫度變化的環(huán)境下，因此空氣被密封在密閉空間中時(shí)，可能因在該溫度環(huán)境下密封的空氣熱膨脹而使隔膜25變形。隔膜25變形的情況下，隔膜25上形成的發(fā)熱電阻體21、上游側(cè)測(cè)溫電阻體22和下游側(cè)測(cè)溫電阻體23的電阻值發(fā)生變化，因此在流量檢測(cè)時(shí)產(chǎn)生誤差。根據(jù)本實(shí)施例，通過(guò)在引線(xiàn)框10、粘接劑片30和密封樹(shù)脂60上分別設(shè)置通氣孔11、35、62來(lái)使隔膜25的背面?zhèn)扰c大氣連通，因此即使熱式空氣流量傳感器暴露在高溫下也能夠抑制隔膜的變形。由此，根據(jù)本發(fā)明能夠抑制熱引起的檢測(cè)誤差，所以能夠提供檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。
[0038]接著，用圖3說(shuō)明進(jìn)行樹(shù)脂密封的方法。
[0039]將流量檢測(cè)元件15和引線(xiàn)框10用密封樹(shù)脂60 —體地密封制造的半導(dǎo)體封裝體2為了檢測(cè)空氣流量，需要使隔膜25直接暴露在測(cè)定介質(zhì)即吸入空氣中。必須使其從密封樹(shù)脂60部分露出，暴露在測(cè)定介質(zhì)中。實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)的方法是用下模具80和上模具81夾著安裝了流量檢測(cè)元件15的引線(xiàn)框10。此時(shí)，在下模具80或上模具81設(shè)置使密封樹(shù)脂流入的插入口 82。進(jìn)而，為了形成開(kāi)口部61，采用對(duì)上模具81插入與上模具81不同的模具即模具嵌塊83的結(jié)構(gòu)，對(duì)該模具嵌塊83從上部施加負(fù)重使其與流量檢測(cè)元件15的表面密口。
[0040]此外，在下模具上為了使密封樹(shù)脂不流入引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11而形成了突起部。通過(guò)使該突起部與引線(xiàn)框10在包括通氣孔11的區(qū)域密合而形成開(kāi)口部62。在該狀態(tài)下從插入口 82使密封樹(shù)脂60流入時(shí)，能夠制造圖2所示的半導(dǎo)體封裝體。
[0041]用圖4至圖6說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施例。其中，對(duì)于與第一實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)省略說(shuō)明。
[0042]如圖4所示，本發(fā)明的第二實(shí)施例在半導(dǎo)體基板20與引線(xiàn)框10之間設(shè)置有基板支承部件70。用粘接劑片30使半導(dǎo)體基板20與基板支承部件70接合。基板支承部件70在隔膜25的背面?zhèn)刃纬傻目斩磪^(qū)域形成了通氣孔71，在與設(shè)置通氣孔71的面的同一面上的未設(shè)置半導(dǎo)體基板20的區(qū)域形成了通氣孔72。粘接劑片30為了使隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床颗c基板支承體上設(shè)置的通氣孔71連通而形成了通氣孔35。進(jìn)而，由基板支承部件70上設(shè)置的槽73和引線(xiàn)框10形成連通通路，通過(guò)該連通通路使通氣孔71與通氣孔72連通。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，防止隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床勘幻芊狻?br> [0043]這樣的結(jié)構(gòu)體的優(yōu)點(diǎn)在于，在半導(dǎo)體封裝體2的背面?zhèn)扰c其他支承部件整面接合這樣的、圖2所示的開(kāi)口部62被與半導(dǎo)體封裝接合的支承部件密封的情況下對(duì)于防止隔膜背面?zhèn)鹊目斩床康拿芊馐怯行У摹?br> [0044]其中，在使用圖4的說(shuō)明中，是在基板支承部件70形成了槽73的結(jié)構(gòu)，而在引線(xiàn)框10形成槽73、由基板支承部件70與引線(xiàn)框10構(gòu)成連通通路的情況下也可以得到同樣的效果。
[0045]接著，用圖5表示使用圖4的結(jié)構(gòu)體，以使包括隔膜25的區(qū)域部分露出的方式進(jìn)行樹(shù)脂密封后的結(jié)構(gòu)。
[0046]如圖5所示，在密封樹(shù)脂60上設(shè)置有使基板支承部件70上形成的通氣孔72與外部空氣連通的開(kāi)口部63。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即使在用密封樹(shù)脂60將流量檢測(cè)元件15、引線(xiàn)框10和基板支承部件70—體地密封的情況下，也防止了隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床勘幻芊?，因此能夠抑制流量檢測(cè)誤差。由此，本發(fā)明的第二實(shí)施例能夠提供檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。
[0047]用圖6說(shuō)明使用第二實(shí)施例的熱式流量計(jì)。
[0048]流量檢測(cè)部7配置在副通路6內(nèi)，通氣孔72和開(kāi)口部63配置在電路室16內(nèi)。隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床客ㄟ^(guò)粘接劑片30上設(shè)置的通氣孔35、基板支承部件70上設(shè)置的通氣孔71、由基板支承部件70和引線(xiàn)框10形成的連通通路、基板支承部件70上設(shè)置的通氣孔72、和密封樹(shù)脂60上設(shè)置的開(kāi)口部63與電路室16內(nèi)連通。此外，電路室16通過(guò)殼體3上設(shè)置的通氣孔9與吸氣管外部連通。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，防止了隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床勘幻芊狻?br> [0049]第二實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)在于，使隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床坎慌c灰塵等污染物流過(guò)的副通路連通，而是通過(guò)電路室16與吸氣管外的外部空氣連通，因此能夠抑制灰塵等污染物進(jìn)入隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床?，能夠提高耐污染性。此外，開(kāi)口部63或通氣孔72不會(huì)被副通路6中流過(guò)的灰塵和油等堵塞，因此可罪性提聞。
[0050]用圖7說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施例。
[0051]圖7(4表示從背面觀察半導(dǎo)體基板20的情況下的外觀。是表示本實(shí)施例中，相對(duì)于隔膜25的背面?zhèn)鹊拈_(kāi)口形狀，引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11更小的情況的圖。該情況下，為了使隔膜25的背面?zhèn)刃纬傻目斩床颗c通氣孔11連通而相重合的區(qū)域是引線(xiàn)框10上設(shè)置的通氣孔11的區(qū)域。即，無(wú)論通氣孔11的區(qū)域在隔膜背面開(kāi)口端部?jī)?nèi)24的哪個(gè)場(chǎng)所形成的情況下，為了使隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床坎幻芊猓夹枰谕饪?1的區(qū)域在粘接劑片30上設(shè)置至少一個(gè)以上的通氣孔。
[0052]如圖7(6)和圖7(0所示，在本發(fā)明的第三實(shí)施例的粘接劑片30上形成了多個(gè)通氣孔35。設(shè)置了多個(gè)的通氣孔35按規(guī)定的間隔36、37設(shè)置。此處，規(guī)定的間隔表示相鄰的連通孔的中心間的距離。如上所述，通氣孔35需要以使隔膜的背面?zhèn)鹊目斩床颗c引線(xiàn)框10上設(shè)置的通氣孔11連通的方式設(shè)置。于是，使規(guī)定的間隔36、37內(nèi)最大的間隔小于隔膜背面開(kāi)口端部24的區(qū)域與引線(xiàn)框10上形成的通氣孔11的區(qū)域相重合的區(qū)域的最小尺寸。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，粘接劑片30上設(shè)置的多個(gè)通氣孔35中至少一個(gè)一定位于隔膜背面開(kāi)口端部24的區(qū)域，因此能夠避免隔膜25背面?zhèn)鹊目斩床康拿芊狻?br> [0053]根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例，不需要使粘接劑片30貼合在流量檢測(cè)元件時(shí)的對(duì)準(zhǔn)，能夠簡(jiǎn)化制造工序，因此能夠更低成本地防止隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床康拿芊?。由此，根?jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例能夠抑制流量檢測(cè)誤差，因此能夠提供檢測(cè)精度高的熱式流量傳感器。
[0054]此外，通氣孔35的尺寸構(gòu)成為小于半導(dǎo)體基板的外周部27與隔膜背面開(kāi)口端部24的間隔的最小尺寸28。用密封樹(shù)脂60對(duì)流量檢測(cè)元件15等進(jìn)行樹(shù)脂密封的情況下，通氣孔的尺寸過(guò)大時(shí)，在流量檢測(cè)元件15的接合面與引線(xiàn)框10之間產(chǎn)生使隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床颗c檢測(cè)元件15外部連通的間隙。密封樹(shù)脂60可能從該間隙向隔膜25的背面?zhèn)刃孤?，而根?jù)上述結(jié)構(gòu)不會(huì)形成該連通的間隙，因此能夠防止密封樹(shù)脂60向隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床啃孤?。由此，?shù)脂成形時(shí)的可靠性提高。
[0055]將本發(fā)明的第三實(shí)施例的粘接劑片30應(yīng)用于本發(fā)明的第一實(shí)施例和本發(fā)明的第二實(shí)施例時(shí)，能夠低成本地實(shí)現(xiàn)隔膜25的背面?zhèn)鹊目斩床康拿芊狻?br> [0056]其中，本發(fā)明的第一實(shí)施例至第二實(shí)施例中的通氣孔35在說(shuō)明中是圓形，但其形狀是正方形或長(zhǎng)方形、或橢圓等其他形狀也可以得到同樣的效果。
[0057]符號(hào)說(shuō)明
[0058]1......吸入空氣
[0059]2......半導(dǎo)體封裝體
[0060]3......殼體
[0061]4……凸緣部
[0062]5……吸氣管路
[0063]6......副通路
[0064]7......流量檢測(cè)部
[0065]8……連接器端子
[0066]9......通氣孔
[0067]10......引線(xiàn)框
[0068]11......通氣孔
[0069]12……連接器部
[0070]15......流量檢測(cè)元件
[0071]16......電路室
[0072]20……半導(dǎo)體基板
[0073]21......發(fā)熱電阻體
[0074]22……上游側(cè)測(cè)溫電阻體
[0075]23……下游側(cè)測(cè)溫電阻體
[0076]24……隔膜背面開(kāi)口端部
[0077]25……隔膜
[0078]26……絕緣膜層和電阻體層的疊層結(jié)構(gòu)膜
[0079]27......半導(dǎo)體元件背面外周部
[0080]28……從隔膜背面開(kāi)口端至半導(dǎo)體元件背面外周部的最小尺寸
[0081]30……粘接劑片
[0082]35......通氣孔
[0083]36……規(guī)定的間隔
[0084]37……規(guī)定的間隔
[0085]40......電極焊盤(pán)
[0086]50......接合線(xiàn)
[0087]60......密封樹(shù)脂
[0088]61......開(kāi)口部
[0089]62......開(kāi)口部
[0090]63......開(kāi)口部
[0091]70……基板支承部件
[0092]71......通氣孔
[0093]72......通氣孔
[0094]73......槽
[0095]80……模塑下模具
[0096]81......模塑上模具
[0097]82……樹(shù)脂流入口
[0098]83......模具嵌塊。
【權(quán)利要求】
1.一種熱式流量傳感器，其特征在于，包括: 流量檢測(cè)元件，其包括對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行加工而設(shè)置的隔膜、在所述隔膜上設(shè)置的發(fā)熱電阻體、在所述發(fā)熱電阻體的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置的測(cè)溫電阻體；和支承部件，其經(jīng)由粘接劑片接合保持所述流量檢測(cè)元件， 所述支承部件具有一端在設(shè)置于所述隔膜的背面?zhèn)鹊目斩床块_(kāi)口的連通孔， 所述粘接劑片具有通氣孔， 所述通氣孔設(shè)置在與所述支承部件的連通孔的開(kāi)口區(qū)域?qū)?yīng)的粘接劑片的區(qū)域，使得所述空洞部與所述連通孔的一側(cè)的開(kāi)口連通。
2.如權(quán)利要求1所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 在所述粘接劑片上，按規(guī)定的間隔在所述粘接劑片的整個(gè)面形成有多個(gè)通氣孔。
3.如權(quán)利要求2所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 形成于所述粘接劑片的通氣孔的最大尺寸，小于半導(dǎo)體元件的背面的隔膜背面開(kāi)口端與半導(dǎo)體元件背面外周部之間的最小尺寸。
4.如權(quán)利要求3所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 具有將所述支承部件和所述流量檢測(cè)元件一體地密封的樹(shù)脂， 所述樹(shù)脂具有用于使所述隔膜露出的第一開(kāi)口部和用于使設(shè)置于所述支承部件的連通孔露出的第二開(kāi)口部。
5.如權(quán)利要求2所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 所述規(guī)定的間隔小于所述隔膜的背面開(kāi)口區(qū)域與形成于所述支承基板的通氣孔區(qū)域相重合的區(qū)域的最小尺寸。
6.如權(quán)利要求1所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 所述支承部件是引線(xiàn)框。
7.如權(quán)利要求1所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 所述支承部件被接合保持在引線(xiàn)框上， 設(shè)置于所述支承部件的連通孔的另一側(cè)的開(kāi)口部，在與所述一側(cè)的開(kāi)口部開(kāi)口的面相同的面上的未被所述流量檢測(cè)元件覆蓋的區(qū)域開(kāi)口。
8.如權(quán)利要求7所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于: 具有將所述引線(xiàn)框、所述支承部件和所述流量檢測(cè)元件一體地密封的樹(shù)脂， 所述樹(shù)脂具有用于使所述隔膜露出的第一開(kāi)口部和用于使設(shè)置于所述支承部件的連通孔的另一側(cè)的開(kāi)口部露出的第二開(kāi)口部。
【文檔編號(hào)】G01F1/684GK104395708SQ201380034261
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2013年6月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月29日
【發(fā)明者】土井良介, 半澤惠二, 德安升 申請(qǐng)人:日立汽車(chē)系統(tǒng)株式會(huì)社