閃爍器面板以及放射線檢測(cè)器的制造方法
【專利摘要】在本發(fā)明所涉及的閃爍器面板(2A)中，通過厚度為150μm以下的玻璃基板(11)成為支撐體從而就能夠獲得優(yōu)異的放射線透過性以及可撓性題。另外，在該閃爍器面板(2A)中以覆蓋玻璃基板(11)的表面整體的形式形成有機(jī)樹脂層(12)。由此，玻璃基板被補(bǔ)強(qiáng)并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板(11)的側(cè)面(11c)的雜散光之外，還變得能夠通過將有機(jī)樹脂層(12)形成于表面整體從而抑制由于形成了閃爍器層(13)之后的內(nèi)部應(yīng)力引起的玻璃基板(11)的翹曲。
【專利說明】閃爍器面板以及放射線檢測(cè)器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及閃爍器面板以及放射線檢測(cè)器。

【背景技術(shù)】
[0002]作為現(xiàn)有的閃爍器面板有例如專利文獻(xiàn)I所記載的閃爍器面板。在現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，作為閃爍器層的支撐體是使用0.05_的玻璃基板。另外，緩和來自框體外部的力的緩沖材料和剛性比閃爍器層更高的高剛性構(gòu)件被配置于框體與閃爍器層之間。
[0003]另外，在專利文獻(xiàn)2所記載的閃爍器面板中，以聚酰亞胺類樹脂膜或者聚對(duì)二甲苯膜覆蓋的石墨基板被作為支撐體來進(jìn)行使用。再有，在專利文獻(xiàn)3所記載的閃爍器面板中，由無定形碳構(gòu)成的基板的整個(gè)面被聚對(duì)二甲苯膜等中間膜覆蓋。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-58124號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:國(guó)際公開W02009/028275號(hào)冊(cè)子
[0008]專利文獻(xiàn)3:日本特開2007-279051號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0010]例如關(guān)于適用于被稱作為薄膜晶體管(TFT)面板的固體檢測(cè)器的閃爍器面板，要求能夠滿足相對(duì)于固體檢測(cè)器的形狀追隨性的可撓性。另外，如果在TFT面板的熱膨脹系數(shù)與閃爍器面板的基板的熱膨脹系數(shù)之間存在著差異的話，則閃爍器面板的基板上的細(xì)微傷痕、或由在通過蒸鍍來形成閃爍器層13的情況下產(chǎn)生的異常生長(zhǎng)部分而在與TFT面板之間產(chǎn)生的傷痕會(huì)由于工作時(shí)的熱而相對(duì)于受光面發(fā)生移動(dòng)，并且可能會(huì)產(chǎn)生所謂校正的工夫變得繁雜的問題。
[0011]為了解決像這樣的可撓性的問題或熱膨脹系數(shù)的問題，例如可以考慮將厚度為150 μ m以下的極薄玻璃作為閃爍器面板的基板來使用。然而，在使用極薄玻璃的情況下，玻璃的端部(邊緣部分)相對(duì)于沖擊而會(huì)有發(fā)生發(fā)脆、缺損或龜裂的問題。
[0012]本發(fā)明為了解決上述技術(shù)問題而完成，其目的在于提供一種既能夠防止玻璃基板發(fā)生缺損或龜裂又能夠確?？蓳闲缘拈W爍器面板以及使用了該閃爍器面板的放射線檢測(cè)器。
[0013]解決技術(shù)問題的手段
[0014]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所涉及的閃爍器面板的特征在于，具備:具有放射線透過性的厚度為150 μm以下的玻璃基板、以覆蓋玻璃基板的表面整體的形式形成的第I有機(jī)樹脂層、在形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層、以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板和閃爍器層的整體的形式形成的耐濕性的保護(hù)層。
[0015]在該閃爍器面板中，通過厚度為150 μπι以下的玻璃基板成為支撐體從而就能夠獲得優(yōu)異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數(shù)的問題。另外，在該閃爍器面板中以覆蓋玻璃基板的表面整體的形式形成第I有機(jī)樹脂層。由此，玻璃基板被補(bǔ)強(qiáng)并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板的側(cè)面的雜散光之外，還變得能夠通過將第I有機(jī)樹脂層形成于表面整體從而抑制玻璃基板的翹曲。
[0016]另外，在上述閃爍器面板中，第I有機(jī)樹脂層可以選自聚對(duì)二甲苯以及聚脲。
[0017]另外，樹脂薄膜層優(yōu)選被貼附于形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的另一面?zhèn)扰c保護(hù)層之間。在此情況下，能夠由樹脂薄膜層來進(jìn)一步補(bǔ)強(qiáng)玻璃基板。另外，通過樹脂薄膜層處于玻璃基板的另一面?zhèn)龋瑥亩湍軌蛳W爍器層的內(nèi)部應(yīng)力，并且能夠更加有效地抑制玻璃基板的翹曲。
[0018]另外，樹脂薄膜層優(yōu)選被貼附于形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的一面?zhèn)扰c閃爍器層之間。在此情況下，能夠由樹脂薄膜層來進(jìn)一步補(bǔ)強(qiáng)玻璃基板。另外，到達(dá)玻璃基板的另一面?zhèn)鹊墓獾耐高^性被保持，并且能夠維持分辨率。
[0019]另外，在上述閃爍器面板中，樹脂薄膜層可以選自PET、PEN、COP以及PI。
[0020]另外，優(yōu)選以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊男问叫纬傻?有機(jī)樹脂層。由此，就能夠進(jìn)一步補(bǔ)強(qiáng)玻璃基板，并且能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。再有，通過第2有機(jī)樹脂層被形成于玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)龋瑥亩湍軌蜻M(jìn)一步提高雜散光的防止效果以及玻璃基板翹曲的抑制效果。
[0021]另外，優(yōu)選以覆蓋形成有第I有機(jī)樹脂層的玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊男问叫纬傻?有機(jī)樹脂層。由此，玻璃基板被補(bǔ)強(qiáng)，并且能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。另外，通過第2有機(jī)樹脂層被形成于玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)?，從而既能夠提高雜散光的防止效果又能夠保持光到達(dá)玻璃基板的另一面?zhèn)鹊耐高^性，并且能夠維持分辨率。
[0022]另外，在上述閃爍器面板中，第2有機(jī)樹脂層可以選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環(huán)氧樹脂以及氟樹脂。
[0023]另外，本發(fā)明所涉及的放射線檢測(cè)器的特征在于，具備:以上所述的閃爍器面板、與形成有保護(hù)層的閃爍器層相對(duì)配置的受光元件。
[0024]在該放射線檢測(cè)器中，通過厚度為150μπι以下的玻璃基板成為閃爍器面板的支撐體從而就能夠獲得優(yōu)異的放射線透過性以及可撓性，并且還能夠緩和熱膨脹系數(shù)的問題。另外，在該放射線檢測(cè)器中，以覆蓋玻璃基板的表面整體的形式形成第I有機(jī)樹脂層。由此，玻璃基板被補(bǔ)強(qiáng)并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。再有，除了能夠防止來自玻璃基板的側(cè)面地雜散光之外，通過將第I有機(jī)樹脂層形成于表面整體從而變得能夠抑制玻璃基板發(fā)生翹曲。
[0025]發(fā)明效果
[0026]根據(jù)本發(fā)明則既能夠防止玻璃基板發(fā)生缺損或龜裂又能夠確?？蓳闲?。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0028]圖2是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0029]圖3是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030]以下是參照附圖并就本發(fā)明所涉及的閃爍器面板以及放射線檢測(cè)器的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0031][第I實(shí)施方式]
[0032]圖1是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。如該圖所示，放射線檢測(cè)器IA通過將受光元件3固定于閃爍面板2A來構(gòu)成。受光元件3例如是將光電二極管(PD)和薄膜晶體管(TFT)排列于玻璃基板上而構(gòu)成的TFT面板。
[0033]受光元件3以受光面3a相對(duì)于閃爍器面板2A中的后述的閃爍器層13進(jìn)行相對(duì)的形式被貼附于閃爍面板2A的一面?zhèn)?。還有，作為受光元件3除了 TFT面板之外還可以使用通過光學(xué)纖維面板(Fiber optic plate) (FOP:將數(shù)微米的光纖做成束的光學(xué)裝置，例如可以列舉浜松光子學(xué)株式會(huì)社制的J5734)來連接CCD等圖像傳感器的光學(xué)器件。
[0034]閃爍器面板2A是由以下所述構(gòu)件來構(gòu)成的:成為支撐體的玻璃基板11、保護(hù)玻璃基板11的有機(jī)樹脂層(第I有機(jī)樹脂層)12、將入射的放射線轉(zhuǎn)換成可見光的閃爍器層13、保護(hù)閃爍器層13受濕氣侵襲的耐濕性的保護(hù)層14。
[0035]玻璃基板11是一種例如厚度為150 μ m以下優(yōu)選為100 μ m以下的極薄的基板。通過玻璃基板11的厚度變得極薄從就能夠獲得充分的放射線透過性以及可撓性，并且能夠確保在對(duì)受光元件3的受光面3a實(shí)行貼附的時(shí)候的對(duì)閃爍器面板2A的追隨性。
[0036]有機(jī)樹脂層12例如以通過對(duì)聚對(duì)二甲苯和聚脲等實(shí)施氣相沉積(例如蒸鍍)從而覆蓋玻璃基板11的整個(gè)面的形式形成。有機(jī)樹脂層12的厚度例如成為十?數(shù)十ym的程度。
[0037]閃爍器層13例如通過由蒸鍍法來使摻雜了 Tl的CsI柱狀結(jié)晶生長(zhǎng)并沉積從而被形成于形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的一面Ila側(cè)。閃爍器層13的厚度例如成為250 μ mo閃爍器層13吸濕性強(qiáng)，如果就這樣露出的話則恐怕會(huì)由于空氣中的濕氣而發(fā)生潮解。為此，對(duì)閃爍器層13來說耐濕性的保護(hù)層14就成為了必要。
[0038]保護(hù)層14例如通過使用CVD法等氣相沉積法來使聚對(duì)二甲苯等生長(zhǎng)，從而以覆蓋形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11和閃爍器層13的形式形成。保護(hù)層14的厚度例如成為ΙΟμ--左右。
[0039]在具有以上所述那樣的結(jié)構(gòu)的放射線檢測(cè)器IA中，從玻璃基板11側(cè)入射的放射線在閃爍器層13被轉(zhuǎn)換成光并被受光元件3檢測(cè)出。在閃爍器面板2Α上，通過厚度為150 μm以下的玻璃基板11成為支撐體從而就能夠獲得優(yōu)異的放射線透過性以及可撓性。
[0040]通過玻璃基板11具有充分的可撓性，從而就能夠滿足在將閃爍器面板2A貼附于受光元件3的受光面3a的時(shí)候的對(duì)形狀的追隨性。另外，在作為受光元件3而使用TFT面板并且受光面3a為玻璃制的面板的情況下，能夠使受光面3a的熱膨脹系數(shù)與閃爍器面板2A的玻璃基板11的熱膨脹系數(shù)相一致。為此，就能夠防止玻璃基板11上的細(xì)微傷痕、或由在通過蒸鍍來形成閃爍器層13的情況下產(chǎn)生的異常生長(zhǎng)部分而在與TFT面板之間產(chǎn)生的傷痕由于工作時(shí)的熱而相對(duì)于受光面3a發(fā)生移動(dòng)，并且還能夠避免校正的工夫變得繁雜。
[0041]另外，在該閃爍器面板2A中，有機(jī)樹脂層12是以覆蓋玻璃基板11的表面整體的形式被形成的。由此，玻璃基板11被補(bǔ)強(qiáng)并且能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。這還有助于提高制造時(shí)或使用時(shí)的操作性。再有，除了能夠防止來自玻璃基板11的側(cè)面Ilc的雜散光之外，還能夠通過將有機(jī)樹脂層12形成于表面整體，從而能夠抑制由于形成了閃爍器層13之后的內(nèi)部應(yīng)力而引起的玻璃基板11的翹曲。玻璃基板11的翹曲的抑制效果在玻璃基板11為1cmX 1cm左右的小型基板的情況下變得特別顯著。
[0042]另外，通過以覆蓋玻璃基板11的表面整體的形式形成有機(jī)樹脂層12，從而還變得能夠以在形成閃爍器層13的時(shí)候成為適宜的表面能量以及表面粗糙度的形式調(diào)整玻璃基板11的表面狀態(tài)。
[0043][第2實(shí)施方式]
[0044]圖2是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。如該圖所示，第2實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器1B，IC在以下所述方面與第I實(shí)施方式有所不同，即，在閃爍器面板2B，2C上樹脂薄膜層16被進(jìn)一步配置于形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的外側(cè)。
[0045]更加具體地來說在圖2(a)所表示的例子中，樹脂薄膜層16在形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11上是通過使用層壓機(jī)等從而被貼附于形成有閃爍器層13的面的反面(另一面Ilb)側(cè)。另外，在圖2(b)所表示的例子中，樹脂薄膜層16在形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11上是通過使用層壓機(jī)等從而被貼附于形成有閃爍器層13的面(一面Ila)偵U。
[0046]樹脂薄膜層16例如可以選自PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、⑶P (環(huán)烯烴聚合物)、PI (聚酰亞胺)。樹脂薄膜層16的厚度例如與有機(jī)樹脂層12相同地成為100 μπι的程度。另外，優(yōu)選為樹脂薄膜層16的邊緣部與玻璃基板11的邊緣部相一致，或者成為突出一點(diǎn)的程度。
[0047]即使是在像這樣的結(jié)構(gòu)中也因?yàn)榕c以上所述實(shí)施方式相同地玻璃基板11被有機(jī)樹脂層12補(bǔ)強(qiáng)，所以能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。另外，除了能夠防止來自玻璃基板11的側(cè)面Ilc的雜散光之外，還變得能夠通過將有機(jī)樹脂層12形成于表面整體從而抑制玻璃基板11的翹曲。
[0048]再有，根據(jù)這些放射線檢測(cè)器1Β，1C，玻璃基板11進(jìn)一步由樹脂薄膜層16的補(bǔ)強(qiáng)而被增強(qiáng)，并且能夠更加有效地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。如圖2(a)所示，在將樹脂薄膜層16配置于玻璃基板11的另一面Ilb側(cè)的情況下能夠消除閃爍器層13的內(nèi)部應(yīng)力，并且能夠更加有效地抑制玻璃基板11的翹曲。另外，如圖2(b)所示，在將樹脂薄膜層16配置于玻璃基板11的一面I Ia側(cè)的情況下光到達(dá)玻璃基板11的另一面I Ib側(cè)的透過性被確保，到達(dá)受光元件3側(cè)的光的反射發(fā)生衰減，其結(jié)果能夠維持分辨率。
[0049][第3實(shí)施方式]
[0050]圖3是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器結(jié)構(gòu)的截面圖。如該圖所示，第3實(shí)施方式所涉及的放射線檢測(cè)器1D，IE在以下所述方面與第I實(shí)施方式有所不同，即，在閃爍器面板2D，2Ε上進(jìn)一步將有機(jī)樹脂層(第2有機(jī)樹脂層)17配置于形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11的外側(cè)。
[0051]更加具體地來說在圖3(a)所表示的例子中，有機(jī)樹脂層17在形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11上是以覆蓋形成有閃爍器層13的面的反面(另一面Ilb)和側(cè)面Ilc的形式被形成的。另外，在圖3(b)所表示的例子中，有機(jī)樹脂層17在形成有有機(jī)樹脂層12的玻璃基板11上是以覆蓋形成有閃爍器層13的面(一面Ila)和側(cè)面Ilc的形式被形成的。
[0052]作為有機(jī)樹脂層17能夠使用例如硅類樹脂、聚氨酯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、氟類樹脂等。另外，作為有機(jī)樹脂層17的形成方法例如可以列舉由旋轉(zhuǎn)涂布法等來完成的涂布。有機(jī)樹脂層17的厚度例如與有機(jī)樹脂層12相同地成為100 μm的程度。
[0053]在像這樣的結(jié)構(gòu)中，與以上所述實(shí)施方式相同地，玻璃基板11被有機(jī)樹脂層12補(bǔ)強(qiáng)，所以能夠抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。另外，除了能夠防止來自玻璃基板11的側(cè)面Ilc的雜散光之外，還變得能夠通過將有機(jī)樹脂層12形成于表面整體，從而抑制玻璃基板11的翹曲。
[0054]再有，根據(jù)這些放射線檢測(cè)器1D，1E，玻璃基板11進(jìn)一步由有機(jī)樹脂層17的追加而被補(bǔ)強(qiáng)，并且能夠更加切實(shí)地抑制邊緣部分缺損或龜裂的發(fā)生。如圖3(a)所示，在以覆蓋玻璃基板11的另一面Ilb和側(cè)面Ilc的形式形成有機(jī)樹脂層17的情況下，能夠進(jìn)一步提高防止來自側(cè)面Ilc的雜散光的效果以及抑制玻璃基板11的翹曲的效果。另外，如圖3(b)所示，在以覆蓋玻璃基板11的一面Ila和側(cè)面Ilc的形式形成有機(jī)樹脂層17的情況下，既能夠提高防止來自側(cè)面Ilc的雜散光的效果又能夠確保光到達(dá)玻璃基板11的另一面Ilb側(cè)的透過性，并且到達(dá)受光元件3側(cè)的光的反射發(fā)生衰減，其結(jié)果能夠維持分辨率。
[0055]符號(hào)說明
[0056]IA?1E.放射線檢測(cè)器
[0057]2A?2E.閃爍器面板
[0058]3.受光元件
[0059]11.玻璃基板
[0060]Ila.一面
[0061]Ilb.另一面
[0062]He.側(cè)面
[0063]12.有機(jī)樹脂層(第I有機(jī)樹脂層)
[0064]13.閃爍器層
[0065]14.保護(hù)層
[0066]16.樹脂薄膜層
[0067]17.有機(jī)樹脂層(第2有機(jī)樹脂層)
【權(quán)利要求】
1.一種閃爍器面板，其特征在于: 具備: 具有放射線透過性的厚度為150 μ m以下的玻璃基板； 以覆蓋所述玻璃基板的表面整體的形式形成的第I有機(jī)樹脂層； 在形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的一面?zhèn)刃纬傻拈W爍器層；以及以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板并且覆蓋所述閃爍器層的形式形成的耐濕性的保護(hù)層。
2.如權(quán)利要求1所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述第I有機(jī)樹脂層選自聚對(duì)二甲苯以及聚脲。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的閃爍器面板，其特征在于: 樹脂薄膜層被貼附于形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的另一面?zhèn)扰c所述保護(hù)層之間。
4.如權(quán)利要求1或者2所述的閃爍器面板，其特征在于: 樹脂薄膜層被貼附于形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的一面?zhèn)扰c所述閃爍器層之間。
5.如權(quán)利要求3或者4所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述樹脂薄膜層選自PET、PEN、COP以及PI。
6.如權(quán)利要求1或者2所述的閃爍器面板，其特征在于: 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的另一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊男问叫纬傻?有機(jī)樹脂層。
7.如權(quán)利要求1或者2所述的閃爍器面板，其特征在于: 以覆蓋形成有所述第I有機(jī)樹脂層的所述玻璃基板的一面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)鹊男问叫纬傻?有機(jī)樹脂層。
8.如權(quán)利要求6或者7所述的閃爍器面板，其特征在于: 所述第2有機(jī)樹脂層選自硅樹脂、聚氨酯樹脂、環(huán)氧樹脂以及氟樹脂。
9.一種放射線檢測(cè)器，其特征在于: 具備: 權(quán)利要求1?8中任意一項(xiàng)所述的閃爍器面板；以及 與形成有所述保護(hù)層的所述閃爍器層相對(duì)配置的受光元件。
【文檔編號(hào)】G01T1/20GK104488039SQ201380038628
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2013年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月20日
【發(fā)明者】上西秀典, 式田宗功, 楠山泰 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社