電路圖案檢查裝置制造方法
【專利摘要】電路圖案檢查裝置將多個單一畫面大小、或混雜多個畫面大小的電路板作為檢查對象，對于基板上的各畫面大小的圖案群的各導體圖案，通過交錯配置的檢查電極，根據(jù)導體圖案來選擇，通過電容耦合來施加及檢測由交流信號構(gòu)成的檢查信號，從而通過非接觸方式實施合格與否判定。
【專利說明】電路圖案檢查裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板上形成的導體圖案群的各導體圖案的缺陷以非接觸方式進行檢查的電路圖案檢查裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，顯示裝置中，在玻璃基板上使用了液晶的液晶顯示裝置，或利用了等離子體的等離子體顯示裝置成為主流。在這些顯示裝置的制造工藝之中，對于作為玻璃基板上形成的電路布線的導體圖案，進行有無斷線及短路的不合格檢查。
[0003]作為一般的導體圖案的檢查方法,例如,如特開昭62-269075號公報所記載的，已知使檢查探針的針尖接觸到導體圖案的兩端，從一個檢查探針(probe)施加直流檢查信號，并檢測從另一個檢查探針傳輸?shù)闹绷鳈z查信號，根據(jù)有無檢測信號來檢查有無斷線及短路的接觸式的檢查方法(pin-contact (針接觸方式))。
[0004]作為另一檢查方法，在特開2004-191381號公報中公開了使至少一對檢查探針靠近導體圖案，使檢查探針在與導體圖案非接觸且電容耦合的狀態(tài)下移動，并且從一個檢查探針施加交流檢查信號，由另一個檢查探針檢測在導體圖案中傳輸?shù)慕涣鳈z查信號。根據(jù)檢測信號的波形的變化，進行導體圖案中的有無斷線及短路的檢查。
[0005]在上述顯示裝置中，相對于電視機等所使用的大型的畫面大小的顯示裝置，小畫面大小的顯示裝置被裝載于攜帶式的小型電子設備。小畫面大小的顯示裝置，為了實現(xiàn)制造成本和生產(chǎn)率(每單位時間的制造片數(shù)等)的改善，使用大型(面積大的)基板，實施一次制造多個顯示裝置的制造工藝。
[0006]例如，在將大型基板上與被劃分為矩陣(matrix)配置的顯示裝置的畫面大小對應的多個塊(block)的圖案群作為檢查對象，用具備一對檢查探針(檢查電極)的以往型的電路圖案檢查裝置進行檢查的情況下，往返移動與該劃分的列數(shù)相同的次數(shù)，在圖案檢查上需要時間。
[0007]此外，即使是裝載多個檢查探針，檢查位置在檢查前可變更的結(jié)構(gòu)，在檢查前，也需要與檢查對象的圖案的劃分大小(長度)匹配，進行配置變更，在以多品種少數(shù)的小型顯示裝置作為檢查對象的情況下，每次都需要繁雜的變更作業(yè)。此外，在一個基板內(nèi)混雜了不同的畫面大小的顯示裝置的檢查基板中，不能應對。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供與由基板內(nèi)上形成的多個導體圖案群構(gòu)成的電路圖案的畫面大小無關(guān)，不必進行檢查前調(diào)整而應對各種畫面大小，以非接觸方式實施各導體圖案的合格與否判定的電路圖案檢查裝置。
[0009]依據(jù)本發(fā)明的實施方式的電路圖案檢查裝置，包括:運送機構(gòu)，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板；檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過；傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，對于所述導體圖案群內(nèi)排列的各導體圖案有間隙，由所述正交的方向上接近配置的一對供電電極和傳感器電極構(gòu)成的多個檢查電極，在與所述檢查臺對置的檢查基板的面上，在所述導體圖案的延伸方向上交替地配置；行傳感器(line sensor)，配置在所述傳感器單元的所述運送方向上游側(cè)，將有無形成在所述電路板上的所述導體圖案群與位置信息關(guān)聯(lián)檢測；選擇單元，基于來自所述行傳感器的所述位置信息，計算所述電路板上的所述導體圖案的兩端的位置，在所述導體圖案通過了所述檢查基板的下方時，至少選擇兩個與所述導體圖案對置的檢查電極；檢查信號供給單元，將所述選擇出的檢查電極中的至少一個電極作為供電電極，施加交流的檢查信號；檢測信號處理單元，由所述選擇出的檢查電極中的至少一個傳感器電極獲取在所述導體圖案中傳輸?shù)乃鰴z查信號作為檢測信號，并實施用于判定的規(guī)定的信號處理；以及缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。
[0010]而且，另一實施方式的電路圖案檢查裝置包括:運送機構(gòu)，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板；檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過；傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，使用對于所述導體圖案群內(nèi)排列的各導體圖案有間隙的多個矩形的檢查電極，階梯狀地配置，以使所述檢查電極的長邊平行于所述正交的方向，并且在斜方向上成列，從而形成供電電極群和傳感器電極群，并交替地隔開間隔來配置所述供電電極群和所述傳感器電極群；檢查信號供給單元，對所述傳感器單元的所述檢查電極的全部供電電極群施加交流的檢查信號；檢測信號切換單元，將全部所述傳感器電極群檢測出的各個檢查信號，以基于所運送的所述電路板的運送速度的定時來切換，作為對每I個所述導體圖案關(guān)聯(lián)的部分的導體圖案的檢測信號來獲?。粰z測信號處理單元，對于所述檢測信號切換單元獲取的檢查信號，實施用于判定的規(guī)定的信號處理；以及缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式的電路圖案檢查裝置的外觀結(jié)構(gòu)的圖。
[0012]圖2是表示從上方觀察第I實施方式的電路圖案檢查裝置的外觀結(jié)構(gòu)的圖
[0013]圖3是表示第I實施方式的電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0014]圖4是用于說明電路圖案檢查裝置的檢查電極的排列例子和導體圖案之間的關(guān)系的圖。
[0015]圖5A是用于說明檢查臺中的檢查基板和檢查電極之間的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的圖。
[0016]圖5B是表示位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的噴出口的概念性結(jié)構(gòu)的圖。
[0017]圖5C是表示位置調(diào)節(jié)機構(gòu)的吸氣口的概念性結(jié)構(gòu)的圖。
[0018]圖6是表示從上方觀察作為第I實施方式的變形例的電路圖案檢查裝置的外觀結(jié)構(gòu)的圖。
[0019]圖7是表示第2實施方式的電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0020]圖8是表示第3實施方式的電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。

【具體實施方式】
[0021]以下，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的實施方式。
[0022]本發(fā)明的電路圖案檢查裝置，例如，將在玻璃制成的基板內(nèi)的、配置多個攜帶電子設備用的小型且單一畫面大小的導體圖案群的結(jié)構(gòu)的電路板以及小型且混雜多個畫面大小的電路板的各個電路板作為檢查對象。該電路圖案檢查裝置是對于電路板上的各畫面大小的圖案群的各導體圖案，通過電容耦合施加及檢測由交流信號構(gòu)成的檢查信號從而以非接觸方式實施最佳的合格與否判定的裝置。該電路圖案檢查裝置對于在固定的檢查電極和檢查臺之間調(diào)整高度而通過的電路板的各導體圖案進行非接觸的檢查，檢測各導體圖案的斷線或短路的不合格圖案。再有，在以下的說明中，相當于基板上形成的顯示裝置的畫面大小的多個導體圖案群的塊，將其大小稱為塊大小或劃分大小。
[0023]作為檢查對象的導體圖案，例如是液晶顯示裝置或觸摸面板等所使用的電路布線，通常是多列地平行排列的導體圖案，或是全部的導體圖案的一端側(cè)還由短路棒連接的梳齒狀的導體圖案。再有，對于相同的導體圖案，如果是供電電極和傳感器電極能夠同時地對置通過的圖案，則即使不是等間隔的配置，此外，即使在導體圖案的中途有彎曲或?qū)挾鹊淖兓部赏鹊貦z查。再有，在以下的說明中，為了便于理解，將以固定間隔且直線列狀地形成的導體圖案作為檢查對象來說明。
[0024][第I實施方式]
[0025]圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式的電路圖案檢查裝置的外觀結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示從上方觀察電路圖案檢查裝置的外觀結(jié)構(gòu)的圖。在以下的說明中，將與導體圖案的延伸方向交叉的方向，在本實施方式中，正交的方向(圖3的箭頭方向)設為基板運送方向或運送方向。
[0026]本實施方式的電路圖案檢查裝置I包括:裝置機架(frame) 2 ;檢查臺14 ;運送機構(gòu)3 ;傳感器單元12 ;控制單元31 ;以及檢測信號處理單元32。
[0027]電路圖案檢查裝置I用運送機構(gòu)3運送作為檢查對象的電路板21，使其通過檢查臺14。通過檢查臺14的電路板通過僅在檢查臺上噴吹氣體造成的浮起進行位置(高度)調(diào)整。與檢查臺14對置的傳感器單元12對靠近通過的電路板21的導體圖案(群)使檢查電極13進行電容耦合，施加(供電)由交流信號構(gòu)成的檢查信號，將流過了同一導體圖案的檢查信號作為檢測信號來獲取。獲取的檢測信號由檢測信號處理單元32進行放大或濾波處理，取出在缺陷判定上需要的頻帶的信號，在控制單元31中進行缺陷判定。該判定結(jié)果被顯示在顯示單元48上。
[0028]裝置機架2被安裝為，在可設置的底架(base frame) 2a上垂直地豎立至少2個支承機架2b，分別在支承機架2b的頂部搭設架設機架2c。底架2a和安裝機架2c平行地構(gòu)成。
[0029]本實施方式的運送機構(gòu)3包括:以相對底架2a和安裝機架2c形成的面正交通過的方式設置的、直線狀地延伸的2臺底座3a、3b ;可高度調(diào)整地支承底座3a、3b的固定腿4a,4b ;底座3a、3b上重疊設置的運送臺架3c、3e ;運送臺架3c、3e上配置的移動臺6 ;作為使移動臺6移動的驅(qū)動源的電機5 ；以及豎立在移動臺6上，保持檢查對象的電路基板21的基板保持臂單元7。
[0030]在基板保持臂單元7的頂部，形成切口部，電路板21的前后兩端被嵌入而保持基板。通過在檢查臺14中的運送方向的上游側(cè)和下游側(cè)配置的多個運送用滾輪8構(gòu)成的滾輪運送機構(gòu)，電路板21從背面?zhèn)瓤梢苿拥乇恢С小?br> [0031]運送臺架3c、3e在內(nèi)部延伸方向配置未圖示的絲杠軸(螺釘螺紋)，由電機5旋轉(zhuǎn)。移動臺6具備螺入絲杠軸的螺母部。絲杠軸通過電機5而旋轉(zhuǎn)，通過螺母部移動，移動臺6移動。也可以采用在絲杠軸和螺母部之間插入滾珠的所謂的滾珠絲杠。此外，在本實施方式中，通過絲杠軸和螺母部的組合構(gòu)成了移動機構(gòu)，但可以適用其他各種公知的機構(gòu)，例如，有帶式運送機構(gòu)、配置了多個滾輪的滾輪運送機構(gòu)、利用了線性電機的電機滑動運送機構(gòu)等，也可以是組合了它們的結(jié)構(gòu)。
[0032]在使移動臺6移動的情況下，電路板21在多個運送用滾輪8上被支承的狀態(tài)下通過檢查臺14。在本實施方式中，同時通過運送臺架3c、3e和多個運送用滾輪8，均勻地支承所運送的電路板21，特別地，以在檢查臺14上不產(chǎn)生局部性的彎曲等來支承。
[0033]本實施方式的檢查臺14，以在裝置機架2內(nèi)搭設在支承機架2b間來配置。檢查臺14為了確保兩組的基板保持臂單元7交叉穿過檢查臺14的通路而被4分割構(gòu)成。該分割起因于基板保持臂單元7，在使用了不同的運送機構(gòu)(例如，帶式運送機構(gòu)等)的情況下，不一定需要分割。
[0034]如圖5A所示，以與后述的傳感器單元12的檢查電極13平行地隔開間隔hi對置來制作檢查臺14。在檢查臺14中，設有使電路板21浮起進行高度調(diào)整，原則上使其以非接觸方式通過的高度調(diào)節(jié)機構(gòu)15。在本實施方式中，在基板運送上，是臂和滾輪的組合的運送機構(gòu)，高度調(diào)節(jié)機構(gòu)15僅作為檢查上需要的檢查臺的設置，不采用使用氣體將整個基板上推運送的浮起運送。
[0035]高度調(diào)節(jié)機構(gòu)15在檢查臺14中形成具有氣體的噴出單元19及吸氣口 16的多個槽18，連接到包含未圖示的泵的送氣單元。此外，在檢查臺14或傳感器單元12的附近，設有測定要通過的電路板21和傳感器單元12間的距離，并用于進行反饋控制的距離測定傳感器。距離測定傳感器，例如使用激光，照射電路板21，從該微小的反射光檢測電路板21和傳感器單元12間的距離。
[0036]作為具體例子，如圖5C所示，高度調(diào)節(jié)機構(gòu)15在檢查臺14的上面形成具有從X字形的凹型的中心區(qū)域向周邊擴展的多個槽18。如圖5B所示，在交叉的中央?yún)^(qū)域設置噴出氣體(空氣、氮氣等)的噴出單元19，在從中央部分延伸的槽18的各自的前端部分，設置吸氣口 16。噴出單元19將氣體從未圖示的氣源(高壓容器或如果是空氣則為壓縮機等)穿過檢查臺內(nèi)的氣體通路17，從噴出口 19a在槽18的延伸方向或沿槽18內(nèi)向斜上方、例如45度左右傾斜噴出。
[0037]而且，噴出的氣體撞到要通過的電路板21的背面，僅在檢查臺14上方使電路板21部分地浮起。基于通過距離測定傳感器測量出的距離，噴出的氣體的壓力及流量被調(diào)整，以使浮起的高度在預先確定的距離范圍內(nèi)。該距離范圍設為以檢查電極獲得最佳的檢測值的范圍。例如，在將制造的裝置中的檢查臺14和檢查電極13之間設為間隔hl，將合適的檢查電極13和導體圖案之間設為間隔h2的情況下，浮起從間隔hi減去基板及導體圖案的厚度t所得的間隔h3。根據(jù)距離測定傳感器的測定結(jié)果，調(diào)整氣體的壓力及流量，使間隔h3變化。
[0038]此外，在基板背面反彈的氣體被吸氣口 16吸引。在本實施方式中，將氣體相對于基板背面從斜下方噴吹，將氣體撞壓到基板背面的寬面積上向上推。由此，將氣體大角度撞到基板背面上，所以能夠減少噴吹壓力造成的電路板21的局部的傾斜。這在以往的以使氣體垂直地撞到基板背面上而開口的噴出口、以及在該噴出口周圍配置環(huán)狀的吸氣口的結(jié)構(gòu)中，氣體垂直地強烈地撞到與噴出口對置的基板的局部部分，將基板上推，而且，在其周邊吸引，所以在大型基板中，在浮起時因自重而產(chǎn)生局部的傾斜的可能性高。
[0039]本實施方式的電路圖案檢查裝置通過后述的電容耦合來供電檢查信號，由于通過電容耦合來檢測，所以檢測出的信號是微小的電流值，基板的傾斜造成的導體圖案和檢查電極之間的距離的變化對檢測結(jié)果產(chǎn)生極大影響。具體地說，在使用了電容耦合的檢查中，因基板的局部傾斜，僅在該部分，檢查電極和導電圖案之間的距離縮短，獲得的檢測信號的信號值變大，也可導致誤判定。作為其解決方案，在本實施方式中，使氣體相對于基板背面從斜下方噴出，將噴吹的面積增大而將基板浮起，減小傾斜。
[0040]接著，說明傳感器單元12。
[0041]傳感器單元12對于通過檢查臺14的電路板21的導體圖案(群)，通過從上方靠近并進行電容耦合的檢查電極13，施加(供電)由交流信號構(gòu)成的檢查信號，將流過了同一導體圖案的檢查信號作為檢測信號來獲取。
[0042]如圖1所示，傳感器單元12需要比電路板21的寬度(檢查寬度)長的檢測范圍。該傳感器單元12由長方形的基板(稱為檢查基板)構(gòu)成，如圖1所示、通過至少兩個傳感器支承構(gòu)件11，懸掛固定在安裝機架2c上，以使其與檢查臺14平行。
[0043]此外，在傳感器單元12的前方側(cè)(與所運送的基板對置的面?zhèn)?，配置行傳感器
20。該行傳感器20在進行檢查時，光學地檢測有無形成在電路板21上的導體圖案。S卩，在所運送的電路板21到達傳感器單元12前，掌握基板上被塊劃分的導體圖案的位置，并對后述的控制單元31輸出測定結(jié)果?；谠摐y定結(jié)果，選擇在傳感器單元12中的檢查上使用的檢查電極。
[0044]圖4表示從電路板21的對置面?zhèn)扔^察到的傳感器單元12中的檢查電極13的配置例子。這里，將運送方向的上游側(cè)設為第I列(A2B2...),將接續(xù)列設為第2列(A1B1...)。
[0045]檢查電極13由一對供電電極Al-An和傳感器電極Bl-Bn構(gòu)成，在都與相同的導體圖案對置的位置靠近而形成對。這些檢查電極13，從與延伸方向正交的基板運送方向(圖4的箭頭方向)觀察，至少2列交替配置，成為所謂的交錯配置，以使其平行且彼此在兩端部分具有重疊部分a，第I列和第2列的檢查電極13交替。如圖5A所示，從運送方向觀察該配置時，檢查電極13能夠看成無縫隙連接的一個檢查電極。實質(zhì)上，供電電極A和傳感器電極B在與導體圖案相同的方向上交替地直線配置。
[0046]嘗試比較本實施方式的檢查電極13的供電電極Al和傳感器電極BI時，供電電極Al以比傳感器電極BI窄的寬度形成。這是因為供電電極Al僅對作為檢查對象的I個導體圖案供電檢查信號，原則上形成為導體圖案的寬度以下，使得不對相鄰的檢查對象外的導體圖案供電。與此相對，只要傳感器電極BI不加在鄰接的導體圖案上，則也可以在圖案間的部分露出，若單純地考慮，傳感器電極BI也可以是供電電極Al的寬度的成倍的寬度。特別地，在導體圖案上，供給交流的檢查信號，所以在使用電容耦合來檢測的情況下，對置的電極的面積大，能夠較大地獲取檢測信號的信號值。
[0047]在本實施方式中對供電電極A施加的檢查信號，使用由任意頻率的正弦波構(gòu)成的交流信號，或矩形波(脈沖)信號，通過電容耦合施加在供電電極A上，在電容耦合下傳感器電極B作為檢測信號來檢測流過了導體圖案的檢查信號。頻率優(yōu)選商用頻率等處理容易的頻率，而且，如果有適用該頻率的低成本的部件則更好。
[0048]圖3是表示本實施方式的電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0049]電路圖案檢查裝置I，作為裝置本體，包括上述的裝置機架2、檢查臺14、運送機構(gòu)
3、以及傳感器單元12。而且，包括對得到的檢測信號進行預先確定的處理的檢測信號處理單元32、驅(qū)動控制裝置整體并進行缺陷判定的控制單元31、以及顯示輸入指示或判定結(jié)果等的顯示單元48。
[0050]檢測信號處理單元32包括AD變換單元41和信號處理單元42。AD變換單元41對于從后述的選擇出的檢查電極13的傳感器電極B得到的檢測信號(電流信號)，進行A/D變換，將其變換為電壓信號。信號處理單元42對于變換為電壓信號后的檢測信號，實施規(guī)定的信號處理。作為該信號處理，通過放大電路，將通過傳感器電極B檢測出的微小的模擬檢測信號放大至規(guī)定的電壓電平(可判斷合格與否的電平)，并使其通過帶通濾波器而從檢測信號中除去噪聲分量，以取出在缺陷判定需要的頻帶的信號而被濾波處理。
[0051 ] 濾波處理后的檢測信號被輸出到控制單元31。此外，不是必需，但也可以通過整流電路將檢測信號進行全波整流，通過平滑電路，將全波整流后的檢測信號進行平滑處理。
[0052]其次，控制單元31包括:缺陷判定單元43、存儲器44、中央處理單元(CPU) 45、傳感器選擇單元46、以及檢查信號供給單元47。
[0053]缺陷判定單元43基于由信號處理單元42進行了信號處理后的檢測信號中包含的特征信號(峰值的變化)，判定導體圖案是否有缺陷。作為該判定，至少有兩種2判定方法。
[0054]作為第I判定方法，預先將具有合格品的特征的信號作為閾值來設定信號值的上下限的判定范圍。接著，將得到的檢測信號與判定范圍進行比較，如果在判定范圍內(nèi)，則作為合格品判定，如果在判定寬度外，則作為不合格品判定。
[0055]此外，在檢測信號取平均值的情況下，有時在信號值中重疊噪聲、或從周圍設備外來的信號造成的充電(charge up)等而上下地變動,使得平均值自身波動。在這樣的情況下，在第I判定方法中，判定范圍被固定，所以在檢測信號中，即使短時間內(nèi)的信號值的變動少的情況，因信號自身的起伏變動，也在判定范圍外，有時為不合格判定。
[0056]作為防止該判定錯誤的第2判定方法，首先，將緊靠之前的信號值(合格判定后的信號值)作為基準信號，設定上限和下限的判定范圍。該判定范圍被預先確定。在緊跟該設定得到的檢測信號的信號值和緊靠之前的信號值之間的移位量(電壓差)超過了判定范圍的情況下，作為不合格判定，如果在該判定范圍內(nèi)，則作為合格判定。在為合格判定的情況下，將該判定中使用的信號值作為用于下次判定的新的基準信號來更新。通過將該基準信號總是更新為最新的合格判定后的檢測信號的信號值，即使在檢測信號(平均值)中產(chǎn)生大的起伏，也能夠總是進行正確的判定。
[0057]由該缺陷判定單元43判定出的判定結(jié)果被輸出到CPU45。CPU45根據(jù)程序或設定的運算條件進行運算處理。CPU45將由缺陷判定單元43判定出的判定結(jié)果顯示在顯示單元48上。存儲器44將基于用戶的設定條件或檢查用程序等可重寫地存儲，根據(jù)CPU45的指示適當讀出，或?qū)懭胄碌臄?shù)據(jù)等。
[0058]此外，在圖4所示的多個檢查電極13中，傳感器選擇單元46根據(jù)檢查對象的導體圖案，選擇在檢查中要使用的檢查電極。檢查信號供給單元47對選擇出的供電電極供給檢查信號。
[0059]本實施方式的CPU45進行以下的對檢查電極13的處理。
[0060]這里，如圖2所示，檢查對象的電路板21設為被劃分為塊的多個導體圖案群矩陣狀地形成。首先，所運送的電路板21在通過行傳感器20下面時，光學地檢測有無在電路板21上形成的導體圖案。該測定結(jié)果被輸出到控制單元31 (即，CPU45)。
[0061]CPU45從該測定結(jié)果，計算導體圖案的兩端的位置，將預先相關(guān)聯(lián)的行傳感器20的讀取位置(光學傳感器元件的位置)、以及基于各檢查電極13的位置的位置信息輸出到傳感器選擇單元46。傳感器選擇單元46基于輸入的位置信息，至少選擇兩個有與檢查對象的導體圖案對置的機會的檢查電極13。在該選擇中，優(yōu)選位于最靠近導體圖案的兩端、全電極面對置的檢查電極13。以圖4作為例子時，檢查電極A2B2和檢查電極A8B8合適，被選擇。
[0062]接著，供電電極A和傳感器電極B成對用于檢查，所以在這些檢查電極中，例如，在選擇供電電極A2的情況下，傳感器電極B8被選擇。此外，與此相反，在選擇傳感器電極B2的情況下，選擇供電電極AS。
[0063]傳感器選擇單元46將選擇出的供電電極的指定信息輸出到檢查信號供給單元47。檢查信號供給單元47基于指定信息，對指定的供電電極施加檢查信號。此外，由指定的傳感器電極檢測出的檢查信號被輸出到AD變換單元41。再有，這里，說明了利用作為檢查對象的一個傳感器電極的檢測信號，但除此以外，在施加檢查信號時，在同一導體圖案上有對置的傳感器電極(但是，除去成對的傳感器電極)的情況下，也可以合計由這些電極檢測出的檢測信號，輸出到AD變換單元41。由AD變換單元41變換后的檢測信號，如上述那樣在信號處理單元42中被放大及濾波處理后，通過控制單元31進行缺陷判定，其結(jié)果顯示在顯示單元48上。
[0064]如以上說明的，根據(jù)本實施方式，即使在檢查對象的電路板21上以什么樣的劃分大小形成了導體圖案群，也能夠從緊接前面讀取出的導體圖案的兩端位置選擇最佳的檢測電極，并在最佳的狀態(tài)下實施檢查信號的施加和檢測。特別地，即使在基板上混雜大小不同的劃分大小的塊(導體圖案群)，也不需要任何調(diào)整或切換操作，而能夠容易并且正確地實施檢查，并實施合適的合格與否判定。特別地，即使連續(xù)運送每個基板上形成了劃分大小不同的導電圖案的多品種的電路板，也不需要任何調(diào)整和切換操作。從以上的實施，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，能夠提供對于在基板上單一畫面大小、或混雜多個畫面大小，被劃分為多個塊的圖案群的各導體圖案，以非接觸方式實施合適的合格與否判定的電路圖案檢查裝置。
[0065]再有，在本實施方式中，說明了將供電電極A和傳感器電極B之對的檢查電極13以2列交替配置的例子，但不限定于2列，如圖6所示，也可以是3列以上的配置。在該配置例子中，從運送方向觀察，例如，在第I列的檢查電極50a和50b之間，配置第2列的檢查電極50c,以使其重疊在檢查電極50a的一方上。而且,從運送方向觀察,配置第3列的檢查電極50d，以使其加在檢查電極50c和檢查電極50b兩者上。為了具有這樣的重疊，也可以將檢查電極50配置4列以上。
[0066][第2實施方式]
[0067]接著，說明第2實施方式的電路圖案檢查裝置。
[0068]圖7是表示電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。再有，在本實施方式的組成部分中與上述第I實施方式同等的組成部分上，附加相同的參考標號而省略其說明。
[0069]在上述第I實施方式中，預先確認基板上的導體圖案的存在位置，選擇要使用的檢查電極，僅對那些要使用的檢查電極施加檢查信號，并獲取檢測信號，所以檢測信號處理單元32和控制單元31上可在比較小的負荷下進行處理。但是，電視機等的大型顯示裝置所使用的基板上形成的導體圖案為Im以上，在利用上述第I實施方式的2列的交替配置的檢查電極的情況下，對于第I列或第2列的多個檢查電極同時地讀取、進行信號處理，所以在檢測信號處理單元32和控制單元31上加上巨大的負荷。
[0070]第2實施方式的傳感器單元51可用于基于小型畫面大小的導體圖案群和大型畫面大小的導體圖案群雙方。在本實施方式中，如圖7所示，傳感器單元51中，從電路板21的運送方向觀察檢查電極52，為在各自的端部具有重疊、并且將在斜方向上階梯狀排列的檢查電極52的斜向排列反復3階梯(或3列)以上的配置。
[0071]在本例子中，矩形的檢查電極52中，供電電極群A(A1_1?Al_6、..., An-1?An-6)及傳感器電極群?Bl_6、...、Bn-1?Bn_6)斜方向地交替地配置。具體地說，檢查電極52中，長邊側(cè)平行于與運送方向正交的方向，在各個斜方向上成列，供電電極群A和傳感器電極群B交替地隔開間隔而配置。在本例子中，由與導體圖案平行的供電電極Al-1和傳感器電極Bl-1的對構(gòu)成一個檢查電極52。以后，將供電電極A1-2、...和傳感器電極B1-2、...分別各一個作為一對而構(gòu)成檢查電極。同樣地，在導體圖案的延伸方向，反復配置供電電極A2-1和傳感器電極B2-1。根據(jù)該供電電極A和傳感器電極B之間的距離，確定可測定的畫面大小。
[0072]再有，如果是這樣的電極配置，則各列平行、作為檢查電極的對，不限定于一定是間隔最窄的供電電極Al-1和傳感器電極Bl-1的組合，也可以是跳過了中間電極的供電電極Al-1和傳感器電極B2-1的組合。
[0073]接著，說明對于獲取的檢測信號進行信號處理的檢測信號處理單元53和進行缺陷判定的控制單元31。
[0074]檢測信號處理單元53包括檢測信號切換單元54、AD變換單元41、以及信號處理單元42。檢測信號切換單元54同時切換取出從與I個相同的導體圖案LI對置的多個檢查電極52檢測的檢測信號，并輸出到AD變換單元41。優(yōu)選通過檢測信號切換單元54配置在傳感器單元51的附近，防止對于微小值的檢測信號從外部重疊噪聲等。此外，控制單元31包括與上述同等的缺陷判定單元43、存儲器44、中央處理單元(CPU)45、傳感器選擇單元46、以及檢查信號供給單元47。
[0075]例如，以圖7為例，在同時地通過相同的導體圖案LI的第一段中排列的檢查電極52為電極41-1、81-2、電極八2-1、82-1、...、電極An-1、Bn-1。在該情況下，維持從全部的供電電極A1-1，A2-1，...,An-1取出檢查信號的狀態(tài)，傳感器電極B1_1、B2_1.....Bn-1在移動的(基板21的)導體圖案LI通過時瞬時地切換，順序獲取檢測信號。該切換的定時根據(jù)電路板21的運送速度而適當設定。
[0076]然后，電路板21通過運送而移動，對于通過下一個第2段的檢查電極52 (傳感器電極Bl-2、B2-2.....Bn-2)下方的上述導體圖案LI，進行檢查信號的供電和檢測信號的檢測。以后，在本實施方式中，對于I個導體圖案，直至第6段為止的檢查電極52,—直獲取檢測信號。
[0077]由檢測信號切換單元54切換輸出的部分檢測信號被AD變換單元41實施處理，在信號處理單元42中，在放大了部分導體圖案的檢測信號后，被集合，合成I個的導體圖案的檢測信號。然后，在為了得到在上述信號處理單元42中判定上必要的信號而放大及濾波后，通過控制單元31，進行缺陷判定，其結(jié)果顯示在顯示單元48上。
[0078]這樣，通過進行檢查，對于I個導體圖案，從由全部檢查電極52劃分的部分導體圖案獲取檢測信號，所以在導體圖案上產(chǎn)生了缺陷的情況下，能夠基于檢測出該缺陷的檢查電極52，確定導電圖案上的缺陷的位置。
[0079][第3實施方式]
[0080]接著，說明第3實施方式的電路圖案檢查裝置。
[0081]圖8是表示電路圖案檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)的方框圖。再有，在本實施方式的組成部分中與上述第1、第2實施方式相同的組成部分上，附加相同的參考標號而省略其說明。
[0082]本實施方式是，裝載了上述第I實施方式的2列的交替配置的傳感器單元12、以及第2實施方式的斜方向上階梯狀配置的傳感器單元51的裝置。因此，在控制單元31中，具有:為了對傳感器單元51供電檢查信號，用于選擇檢查電極的傳感器選擇單元46 ;對選擇出的檢查電極供電檢查信號的第I檢查信號供給單元(檢查信號供給單元)47 ;以及對傳感器單元51的全部檢查電極供電檢查信號的第2檢查信號供給單元55。檢測信號處理單元32包括對于由傳感器單元51檢測出的檢測信號進行切換輸入的檢測信號切換單元54、將檢測信號切換單元54輸出的檢測信號或由傳感器單元51檢測出的檢測信號進行AD變換的AD變換單元41、以及通過上述放大及濾波處理實施缺陷判定上必要的處理的信號處理單元42。
[0083]根據(jù)本實施方式，通過按照作為檢查對象的電路板上形成的導體圖案的類別而適當設定，只要是通過運送機構(gòu)可運送的電路板，就能夠容易地應對多品種的畫面大小，從大型電視機的畫面大小的顯示裝置基板到移動電話和小型電子相機的顯示裝置基板，能夠多品種地進行基板上形成的導體圖案的缺陷檢查。
【權(quán)利要求】
1.一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括: 運送機構(gòu)，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板； 檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過； 傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，對于所述導體圖案群內(nèi)排列的各導體圖案有間隙，由所述正交的方向上接近配置的一對供電電極和傳感器電極構(gòu)成的多個檢查電極，被配置為在與所述檢查臺對置的檢查基板的面上，在所述導體圖案的延伸方向上交替，并且從所述運送方向觀察，所述傳感器電極在彼此的端部具有重疊； 行傳感器，配置在所述傳感器單元的所述運送方向上游側(cè)，將有無形成在所述電路板上的所述導體圖案群與位置信息關(guān)聯(lián)檢測； 選擇單元，基于來自所述行傳感器的所述位置信息，計算所述電路板上的所述導體圖案的兩端的位置，在所述導體圖案通過了所述檢查基板的下方時，至少選擇兩個與所述導體圖案對置的檢查電極； 檢查信號供給單 元，將所述選擇出的檢查電極中的至少一個電極作為供電電極，施加交流的檢查信號； 檢測信號處理單元，由所述選擇出的檢查電極中的至少一個傳感器電極獲取在所述導體圖案中傳輸?shù)乃鰴z查信號作為檢測信號，并實施用于判定的規(guī)定的信號處理；以及 缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。
2.一種電路圖案檢查裝置，其特征在于，包括: 運送機構(gòu)，運送被劃分為任意的大小的、形成了排列的多個導體圖案群的作為檢查對象的電路板； 檢查臺，在與所述電路板的運送方向正交的方向，具有所述電路板以上的寬度，在上方通過； 傳感器單元，與所述檢查臺對置，具有超過所述電路板的寬度的檢查范圍，使用對于所述導體圖案群內(nèi)排列的各導體圖案有間隙的多個矩形的檢查電極，階梯狀地配置，以使所述檢查電極的長邊平行于所述正交的方向，并且在斜方向上成列，從而形成供電電極群和傳感器電極群，并交替地隔開間隔來配置所述供電電極群和所述傳感器電極群； 檢查信號供給單元，對所述傳感器單元的所述檢查電極的全部供電電極群施加交流的檢查信號； 檢測信號切換單元，將全部所述傳感器電極群檢測出的各個檢查信號，以基于所運送的所述電路板的運送速度的定時來切換，作為對每I個所述導體圖案關(guān)聯(lián)的部分的導體圖案的檢測信號來獲取； 檢測信號處理單元，對于所述檢測信號切換單元獲取的檢查信號，實施用于判定的規(guī)定的信號處理；以及 缺陷判定單元，基于從所述檢測信號處理單元輸出的檢測信號，判定所述導體圖案的合格與否。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于， 所述缺陷判定單元預先將判定作為合格品的導體圖案的基準信號作為閾值，設定該閾值的上下限的判定范圍并存儲，并將從檢查對象的導體圖案檢測出的檢測信號與所述判定范圍進行比較，若在該判定范圍內(nèi)，則判定合格，若在判定范圍外，則判定不合格。
4.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于， 所述缺陷判定單元將緊接之前判定合格的信號值作為基準信號，在上下設定判定范圍并存儲，將從檢查對象的導體圖案檢測出的檢測信號與所述判定范圍進行比較，如果在該判定范圍內(nèi)，則判定合格，如果在判定范圍外，則判定不合格，進而將所述判定合格的檢測信號的信號值作為新的基準信號進行更新。
5.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于， 所述檢查臺具有: 多個槽，在臺面中，從中心區(qū)域向周邊擴展而形成； 噴出單元，配置在所述中心區(qū)域，將氣體向斜上方向噴出；以及 吸氣口，在所述槽的各自的前端部分開口，吸引所述氣體， 使通過所述檢查臺上方的所述電路板的部分，通過從基板背面?zhèn)妊厮霾蹆?nèi)部向斜上方向噴出的所述氣體而浮起，從而將所述導體圖案和所述檢查電極之間的距離設定在預先確定的范圍內(nèi)。
【文檔編號】G01R31/02GK104076236SQ201410030517
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月26日
【發(fā)明者】羽森寬 申請人:Oht株式會社