一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟一：自動派工系統(tǒng)進(jìn)行WAT測試的派工時通過Recipe查詢本次測試所需的探針卡類型；步驟二：自動派工系統(tǒng)查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；步驟三：機臺自動更換系統(tǒng)將機臺內(nèi)的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺；步驟四：所需類型的探針卡換入后Lot測試開始。使用本發(fā)明通過探針卡Stoker、探針卡搬運系統(tǒng)和自動更換系統(tǒng)來實現(xiàn)探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現(xiàn)放錯卡的問題。
【專利說明】—種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的晶圓可接受性測試(Wafer Acceptance Test，簡稱:WAT)探針卡都是由操作人員根據(jù)制程方法(Recipe)需要的探針卡類型進(jìn)行手動更換，這種更換方式效率低下，而且容易出現(xiàn)放錯探針卡的情況。同時，人工更換探針卡不能保證相同類型的探針卡的使用率保持一致，容易出現(xiàn)某幾張?zhí)结樋ㄟ^度使用，而其它探針卡閑置不用的狀況。而且探針卡的人工更換成為了 WAT機臺實現(xiàn)全自動化測試的障礙。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法。
[0004]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:
[0005]一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟一:自動派工系統(tǒng)進(jìn)行晶圓可接受性測試的派工時通過制程方法查詢本次測試所需的探針卡類型；步驟二:自動派工系統(tǒng)查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；步驟三:機臺自動更換系統(tǒng)將機臺內(nèi)的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺；步驟四:所需類型的探針卡換入后晶圓批次測試開始。
[0006]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，包括探針卡搬運系統(tǒng)，步驟三中，探針卡搬運系統(tǒng)將機臺內(nèi)換出的探針卡搬運到探針卡排。
[0007]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，探針卡搬運系統(tǒng)將所需類型的探針卡搬運到機臺。
[0008]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟三中，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡中累計測試次數(shù)最少的一張?zhí)结樋ā?br> [0009]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，步驟四中，測試時機臺將所需類型的探針卡的累計扎針次數(shù)計入系統(tǒng)。
[0010]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，所有探針卡存放在探針卡排中。
[0011]上述的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其中，機臺上有探針卡信
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[0012]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果:
[0013]通過探針卡排、探針卡搬運系統(tǒng)和自動更換系統(tǒng)來實現(xiàn)探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現(xiàn)放錯卡的問題?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0014]參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限制。
[0015]圖1為本發(fā)明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。
[0017]圖1為本發(fā)明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法的流程圖，請參見圖1所示。
[0018]本發(fā)明的一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，包括以下步驟:
[0019]步驟一:自動派工系統(tǒng)I進(jìn)行WAT測試的派工時通過Recipe查詢本次測試所需的探針卡類型；
[0020]步驟二:自動派工系統(tǒng)I查詢讀取需要派工的機臺3上的現(xiàn)有探針卡類型信息；如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡；
[0021]步驟三:機臺自動更換系統(tǒng)將機臺3內(nèi)的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺3 ；
[0022]步驟四:所需類型的探針卡換入后，晶圓批次(Lot)測試開始。
[0023]本發(fā)明在上述基礎(chǔ)上還具有如下實施方式:
[0024]本發(fā)明的進(jìn)一步實施例中,請繼續(xù)參見圖1所示。還包括有探針卡搬運系統(tǒng)。如果機臺3上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡，步驟三中，探針卡搬運系統(tǒng)將機臺3內(nèi)換出的探針卡搬運到探針卡排(Stoker) 2，并且探針卡搬運系統(tǒng)將所需類型的探針卡搬運到機臺3。
[0025]本發(fā)明的進(jìn)一步實施例中，步驟三中，在所需類型的探針卡有多張卡可以選擇時，機臺自動更換系統(tǒng)優(yōu)先選擇所需類型的探針卡中累計測試次數(shù)最少的一張?zhí)结樋?，并將所需類型的探針卡搬運到機臺3。
[0026]本發(fā)明的進(jìn)一步實施例中，步驟四中，所需探針卡換入機臺3后測試開始，測試時機臺3將所需類型的探針卡的累計扎針次數(shù)計入系統(tǒng)。
[0027]本發(fā)明的進(jìn)一步實施例中,所有探針卡存放在探針卡Stoker2中。
[0028]本發(fā)明的進(jìn)一步實施例中，機臺上已有探針卡信息。
[0029]綜上所述,使用本發(fā)明的一種WAT探針卡自動更換方法,通過探針卡Stoker、探針卡搬運系統(tǒng)和自動更換系統(tǒng)來實現(xiàn)探針卡的自動更換，平衡探針卡的使用頻率，有效地避免手動換卡時出現(xiàn)放錯卡的問題。
[0030]以上所述僅為本發(fā)明較佳的實施例，并非因此限制本發(fā)明的實施方式及保護(hù)范圍，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識到凡運用本發(fā)明說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于， 步驟一:自動派工系統(tǒng)進(jìn)行晶圓可接受性測試的派工時通過制程方法查詢本次測試所需的探針卡類型； 步驟二:自動派工系統(tǒng)查詢需要派工的機臺上的探針卡類型；如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型一致則不用換卡，如果機臺上的探針卡類型與所需探針卡類型不一致則需要換卡； 步驟三:機臺自動更換系統(tǒng)將機臺內(nèi)的探針卡換出，同時，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡并將此探針卡換入機臺； 步驟四:所需類型的探針卡換入后晶圓批次測試開始。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，包括探針卡搬運系統(tǒng)，步驟三中，探針卡搬運系統(tǒng)將機臺內(nèi)換出的探針卡搬運到探針卡排。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，探針卡搬運系統(tǒng)將所需類型的探針卡搬運到機臺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，步驟三中，機臺自動更換系統(tǒng)選擇所需類型的探針卡中累計測試次數(shù)最少的一張?zhí)结樋ā?br> 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，步驟四中，測試時機臺將所需類型的探針卡的累計扎針次數(shù)計入系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，所有探針卡存放在探針卡排中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓可接受性測試的探針卡自動更換方法，其特征在于，機臺上有探針卡信息。
【文檔編號】G01R31/26GK103869231SQ201410059971
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月21日
【發(fā)明者】周波, 莫保章 申請人:上海華力微電子有限公司