一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，包括質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體，還包括：采樣單元，所述采樣單元包括采樣腔、加熱模塊和壓力測量模塊；所述采樣腔通過切換單元分別與泵、所述質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體相連；所述加熱模塊設(shè)置在所述采樣腔外部；所述壓力測量模塊設(shè)置在所述采樣腔上實時監(jiān)測所述采樣腔的壓力；切換單元，所述切換單元實現(xiàn)采樣腔與泵、質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體之間的通斷；控制人員單元，所述控制人員單元控制加熱單元和切換單元進(jìn)行各流路的切換；泵，所述泵在控制人員單元的控制下對所述采樣腔內(nèi)的氣體進(jìn)行抽取。本發(fā)明還提供了一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法。本發(fā)明具有重復(fù)性好、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。
【專利說明】一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種標(biāo)定裝置及方法，尤其是一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]質(zhì)譜檢測器具有將待檢測目標(biāo)物離子化并檢測離子信號強(qiáng)度的功能，測得的離子質(zhì)量譜圖信號包含目標(biāo)化合物的豐富的定性信息，同時離子強(qiáng)度大小能反映目標(biāo)化合物的含量大小。其作為一種重要的檢測手段，正廣泛應(yīng)用于各個檢測應(yīng)用領(lǐng)域。
[0003]其中，具有電子電離源的質(zhì)譜能夠與氣相色譜進(jìn)行聯(lián)合使用，檢測范圍覆蓋低分子量的揮發(fā)性有機(jī)物到中等分子量的半揮發(fā)性有機(jī)物，目前，氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀器已從實驗室日常檢測設(shè)備發(fā)展為環(huán)境在線監(jiān)測、現(xiàn)場便攜應(yīng)急檢測等應(yīng)用領(lǐng)域。
[0004]無論質(zhì)譜應(yīng)用到哪種應(yīng)用領(lǐng)域，都會遇到對其進(jìn)行準(zhǔn)確標(biāo)定的問題，標(biāo)定的內(nèi)容包括三個方面:(I)質(zhì)量準(zhǔn)確性標(biāo)定:將質(zhì)譜測得的電信號準(zhǔn)確的與實際離子的質(zhì)量建立關(guān)聯(lián)；(2)分辨率標(biāo)定:調(diào)節(jié)質(zhì)譜的各個電極電壓，使測得的離子分辨率達(dá)到預(yù)期要求；(3)信號響應(yīng)值標(biāo)定:調(diào)節(jié)離子化效率和倍增器電壓大小，使目標(biāo)離子的響應(yīng)值保持一致性。
[0005]為了達(dá)到以上三個方面的最佳標(biāo)定效果，向質(zhì)譜輸送恒定量標(biāo)定物質(zhì)就顯得特別重要。
[0006]目前，在與氣相色譜進(jìn)行聯(lián)用的質(zhì)譜檢測器中，常見的標(biāo)定物質(zhì)輸送方法有如下幾種:
[0007]在實驗室用質(zhì)譜中，在質(zhì)譜真空腔上懸掛一個液體的全氟三丁胺調(diào)諧液，通過毛細(xì)管阻尼導(dǎo)入質(zhì)譜真空腔中，在導(dǎo)入前需要預(yù)抽一段時間，用于平衡標(biāo)樣在質(zhì)譜中的擴(kuò)散效果。由于全氟三丁胺是液體，通過其蒸汽擴(kuò)散進(jìn)入質(zhì)譜的方式容易受到環(huán)境溫度、質(zhì)譜真空度、阻尼管效果、標(biāo)液含量的影響，需要儀器及其所處的環(huán)境趨于穩(wěn)定狀態(tài)才能獲得較好的一致性標(biāo)定效果。
[0008]在線連續(xù)監(jiān)測用質(zhì)譜中，除了采用上述全氟三丁胺的標(biāo)定方式外，還有采用定量環(huán)切換方式，即將恒定量的物質(zhì)通過氣相色譜進(jìn)行傳輸進(jìn)入質(zhì)譜進(jìn)行標(biāo)定的方式。但這種方式需要利用到氣相色譜等導(dǎo)入裝置，會損失標(biāo)氣，同時耗時較長，標(biāo)定物質(zhì)容易受到氣相色譜穩(wěn)定性的影響。
[0009]在現(xiàn)場便攜質(zhì)譜中，上述兩種標(biāo)定方式都有使用，但標(biāo)樣的恒定量穩(wěn)定性更容易受到現(xiàn)場環(huán)境變化的影響。
[0010]還有一種采用采樣泵將標(biāo)定氣體通過滲透膜滲透進(jìn)入質(zhì)譜的方式。在質(zhì)譜的一些應(yīng)用場合，如果要將標(biāo)氣與質(zhì)譜直接連接，由于標(biāo)氣瓶是遠(yuǎn)高于大氣壓的正壓，質(zhì)譜是遠(yuǎn)低于大氣壓的負(fù)壓，不能直接用閥控制的方式直接將標(biāo)氣與質(zhì)譜相連，只能通過滲透膜的方式將標(biāo)樣少量滲透進(jìn)入質(zhì)譜。但滲透膜的穩(wěn)定性也會隨使用時間的延長而發(fā)生變化，從而影響采樣準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性。
[0011]綜上，目前在與氣相色譜進(jìn)行聯(lián)用的質(zhì)譜儀器中，常見的標(biāo)定方式都具有各自的缺陷和不足。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本發(fā)明提供了一種重復(fù)性好、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置及方法。
[0013]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0014]一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，包括質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體，其特點是:所述質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置還包括:
[0015]采樣單元，所述采樣單元包括采樣腔、加熱模塊和壓力測量模塊；所述采樣腔通過切換單元分別與泵、所述質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體相連；所述加熱模塊設(shè)置在所述采樣腔外部；所述壓力測量模塊設(shè)置在所述采樣腔上實時監(jiān)測所述采樣腔的壓力；
[0016]切換單元，所述切換單元實現(xiàn)采樣腔與泵、質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體之間的通斷；
[0017]控制人員單元，所述控制人員單元控制加熱單元對所述采樣腔加熱使所述采樣腔維持在恒定溫度，并根據(jù)壓力測量模塊監(jiān)測到的采樣腔的壓力控制切換單元進(jìn)行各流路的切換；
[0018]泵，所述泵在控制人員單元的控制下對所述采樣腔內(nèi)的氣體進(jìn)行抽取。
[0019]進(jìn)一步，所述控制人員單元與所述加熱單元、壓力測量模塊、切換單元和泵相連。 [0020]作為優(yōu)選，所述壓力測量模塊為真空計。
[0021]作為優(yōu)選，所述泵為所述質(zhì)譜檢測器的前級泵。
[0022]進(jìn)一步，所述采樣腔還與清洗氣體相連。
[0023]進(jìn)一步，所述采樣單元還包括阻尼調(diào)節(jié)器，所述阻尼調(diào)節(jié)器設(shè)置在所述采樣腔與標(biāo)準(zhǔn)氣體相連的流路上。
[0024]進(jìn)一步，所述質(zhì)譜檢測器還包括質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊，所述質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊在控制單元的控制下調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
[0025]本發(fā)明還提供了一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，包括以下步驟:
[0026]A、采樣腔的溫度維持在T ；
[0027]將采樣腔進(jìn)行真空預(yù)抽，記錄此時采樣腔內(nèi)的壓力Pl ；
[0028]B、標(biāo)準(zhǔn)氣體通入真空預(yù)抽后的采樣腔，采樣腔內(nèi)的壓力達(dá)到P2時，停止通入標(biāo)準(zhǔn)氣體；
[0029]C、連通質(zhì)譜檢測器與采樣腔，采樣腔內(nèi)的氣體通入所述質(zhì)譜檢測器。
[0030]進(jìn)一步，所述
n n nRT
[0031]懇=P1+1；.，其中，η為質(zhì)譜標(biāo)定所需要的標(biāo)準(zhǔn)氣體的物質(zhì)的量，V1為所述采樣腔的體積。
[0032]進(jìn)一步，所述標(biāo)定方法還包括步驟D:調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
[0033]進(jìn)一步，采用上述任一所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置進(jìn)行標(biāo)定。
[0034]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果:
[0035]1、重復(fù)性好
[0036]本發(fā)明采用的差分真空采樣的方式，保證每次通入質(zhì)譜進(jìn)行標(biāo)定的物質(zhì)的量都處于恒定量狀態(tài)，使采樣量更準(zhǔn)確，重復(fù)性更好，并具有快速、不受環(huán)境狀態(tài)影響的特點；
[0037]2、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好
[0038]在質(zhì)譜的一些應(yīng)用場合，如果要將標(biāo)氣與質(zhì)譜直接連接，由于標(biāo)氣瓶是遠(yuǎn)高于大氣壓的正壓，質(zhì)譜是遠(yuǎn)低于大氣壓的負(fù)壓，不能直接用閥控制的方式直接將標(biāo)氣與質(zhì)譜相連。本發(fā)明采樣的方法通過采樣腔將標(biāo)氣與質(zhì)譜進(jìn)行間接連接，提高了采樣準(zhǔn)確度，采樣穩(wěn)定性更好。
[0039]同時，減少了氣相色譜對標(biāo)氣的損失，采樣時間明顯縮短，通過反饋控制的方式能夠?qū)崟r對質(zhì)譜進(jìn)行調(diào)諧。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0040]圖1為實施例1中質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0041]實施例1
[0042]請參閱圖1，一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，包括質(zhì)譜檢測器1、標(biāo)準(zhǔn)氣體、采樣單元3、切換單兀、控制人員單兀(圖中未標(biāo)出)和栗5。
[0043]標(biāo)準(zhǔn)氣體由標(biāo)氣瓶2提供；標(biāo)準(zhǔn)氣體可以為:鹵代烴、苯系物、對溴氟苯等揮發(fā)性有機(jī)物。
[0044]所述采樣單元3包括采樣腔31、加熱模塊(圖中未標(biāo)出)和壓力測量模塊32 ;所述采樣腔31通過切換單元分別與泵5、所述質(zhì)譜檢測器1、標(biāo)氣瓶2相連；所述加熱模塊設(shè)置在所述采樣腔31外部；所述壓力測量模塊32設(shè)置在所述采樣腔31上實時監(jiān)測所述采樣腔31的壓力；
[0045]作為優(yōu)選，所述壓力測量模塊32為真空計。
[0046]所述切換單元包括閥門41、閥門42和閥門43，所述閥門41設(shè)置在采樣腔31與泵5之間的流路上，閥門42設(shè)置在采樣腔31與所述質(zhì)譜檢測器I之間的流路上，所述閥門43設(shè)置在采樣腔31與標(biāo)氣瓶2之間的流路上；所述閥門41、閥門42和閥門43被所述控制人員單元控制，以實現(xiàn)相應(yīng)流路的通斷。
[0047]所述控制人員單元控制加熱單元對所述采樣腔31加熱使所述采樣腔31維持在恒定溫度T，并根據(jù)壓力測量模塊32監(jiān)測到的采樣腔31的壓力控制切換單元進(jìn)行各流路的切換；
[0048]所述控制人員單元可以為操作人員，操作人員通過觀察儀器流程，進(jìn)行相應(yīng)部件的控制；所述控制人員單元也可以為實體裝置，此時，所述控制人員單元與所述加熱單元、壓力測量模塊32、切換單元和泵5相連，這樣可以實現(xiàn)儀器流程的自動控制。
[0049]所述泵5在控制人員單元的控制下對所述采樣腔31內(nèi)的氣體進(jìn)行抽取。所述泵5只要能實現(xiàn)對采樣內(nèi)的氣體進(jìn)行抽取即可，可以為單獨的真空泵，也可以與質(zhì)譜檢測器的前級泵共用。
[0050]作為優(yōu)選，所述泵5為所述質(zhì)譜檢測器的前級泵，這樣使得系統(tǒng)的體積大大減小，提高了儀器器件的使用率。
[0051]為了方便采樣腔31能夠重復(fù)使用，進(jìn)一步，所述采樣腔31還與清洗氣體相連，所述清洗氣體不會對系統(tǒng)測量或標(biāo)定帶來影響，標(biāo)定完畢時，向采樣腔31中通入清洗氣體，再經(jīng)由泵5排出；
[0052]優(yōu)選的，所述清洗氣體為高純氮或高純氦。
[0053]進(jìn)一步，所述采樣單元還包括阻尼調(diào)節(jié)器，所述阻尼調(diào)節(jié)器設(shè)置在所述采樣腔與標(biāo)準(zhǔn)氣體相連的流路上，用于控制標(biāo)準(zhǔn)氣體以較低的流速進(jìn)入采樣腔。由于標(biāo)氣瓶中標(biāo)氣壓力為遠(yuǎn)高于大氣壓的正壓，采樣腔被抽成負(fù)壓，為了向采樣腔體以I至50mL/min的流量向采樣腔體通入標(biāo)氣，所以在管路上需設(shè)置阻尼調(diào)節(jié)器，保證標(biāo)準(zhǔn)氣體以較低流速進(jìn)入采樣腔。
[0054]質(zhì)譜標(biāo)定目的是調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)(包括燈絲、電子倍增器、透鏡電壓等)，使得對同一種類和同一濃度的目標(biāo)物產(chǎn)生相同大小的檢測信號，從而保證質(zhì)譜在日常使用的時候具有較好的重復(fù)性。當(dāng)能夠多次向質(zhì)譜檢測器導(dǎo)入恒定量的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時，每次都可適時調(diào)節(jié)上述的各項質(zhì)譜電信號參數(shù)以達(dá)到預(yù)先設(shè)定的檢測信號強(qiáng)度。
[0055]進(jìn)一步，所述質(zhì)譜檢測器還包括質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊(未在圖中標(biāo)出)，所述質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊在控制單元的控制下調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
[0056]本發(fā)明還提供了一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，包括以下步驟:
[0057]A、采樣腔的溫度維持在T，T的控制范圍在80_150°C ；
[0058]將采樣腔進(jìn)行真空預(yù)抽，記錄此時采樣腔內(nèi)的壓力Pl ；
[0059]B、標(biāo)準(zhǔn)氣體 通入真空預(yù)抽后的采樣腔，采樣腔內(nèi)的壓力達(dá)到P2時，停止通入標(biāo)準(zhǔn)氣體；
[0060]通過監(jiān)測采樣腔內(nèi)壓力的變化，即可得知通入采樣腔內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)氣體的物質(zhì)的量；
[0061]C、連通質(zhì)譜檢測器與采樣腔，采樣腔內(nèi)的氣體通入所述質(zhì)譜檢測器；
[0062]由于質(zhì)譜真空腔的真空度要小于采樣腔的真空度，采樣腔內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)氣體通過質(zhì)譜內(nèi)的傳輸管線進(jìn)入質(zhì)譜離子源，離子源將物質(zhì)離子化后，經(jīng)過質(zhì)量分析器分離檢測，可獲取標(biāo)定物質(zhì)的瞬間信號，該信號即為質(zhì)譜的標(biāo)定信號。
[0063]質(zhì)譜檢測器與采樣腔連通后，質(zhì)譜檢測器的真空腔與采樣腔之間瞬間形成氣體平衡狀態(tài)，根據(jù)質(zhì)譜檢測器的真空腔與采樣腔之間的體積比，即可得知通入質(zhì)譜檢測器進(jìn)行標(biāo)定的氣體的物質(zhì)的量，從而準(zhǔn)確定量向質(zhì)譜輸送的標(biāo)準(zhǔn)氣體。這種差分真空采樣的方式使得采樣量更加準(zhǔn)確，重復(fù)性更高，采樣穩(wěn)定性更好。
n n nRT一一
[0064]進(jìn)一步,所述巧=P'，其中，η為質(zhì)譜標(biāo)定所需要的標(biāo)準(zhǔn)氣體的物質(zhì)的量，V1
為所述采樣腔的體積。
[0065]質(zhì)譜的每一次標(biāo)定過程，均需要設(shè)置相關(guān)質(zhì)譜電信號參數(shù)，并在設(shè)定的質(zhì)譜電信號參數(shù)的狀態(tài)下，導(dǎo)入恒定量的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，得到對標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的檢測信號，將每次的實際檢測信號與預(yù)先設(shè)定的檢測信號強(qiáng)度值進(jìn)行比較，再反過來調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使得實際檢測信號強(qiáng)度與預(yù)先設(shè)定的檢測信號強(qiáng)度相等，以保證在調(diào)節(jié)后的質(zhì)譜電信號參數(shù)下，該質(zhì)譜檢測器檢測待測物時具有較好的重復(fù)性。
[0066]進(jìn)一步，所述標(biāo)定方法還包括步驟D:調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
[0067]進(jìn)一步，質(zhì)譜電信號參數(shù)包括但不限于燈絲參數(shù)、電子倍增器參數(shù)、透鏡電壓等。質(zhì)譜電信號參數(shù)為本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)，在此不再贅述。進(jìn)一步，采用上述任一所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置進(jìn)行標(biāo)定。
[0068]本發(fā)明不通過氣相色譜導(dǎo)入裝置即可實現(xiàn)對質(zhì)譜輸送標(biāo)準(zhǔn)氣體，減少了氣相色譜對標(biāo)氣的損失，采樣時間明顯縮短，通過反饋控制的方式能夠?qū)崟r對質(zhì)譜進(jìn)行調(diào)諧。
[0069]實施例2
[0070]本實施例提供了一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，為實施例1在標(biāo)定質(zhì)譜檢測器時的應(yīng)用例。
[0071] 請參閱圖1，本應(yīng)用例的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，包括質(zhì)譜檢測器1、標(biāo)準(zhǔn)氣體、采樣單元3、切換單元、控制人員單元(圖中未標(biāo)出)和泵5。
[0072]標(biāo)準(zhǔn)氣體由標(biāo)氣瓶2提供；標(biāo)準(zhǔn)氣體為:鹵代烴。
[0073]所述采樣單元3包括采樣腔31、加熱模塊(圖中未標(biāo)出)、壓力測量模塊32和阻尼調(diào)節(jié)器33，所述壓力測量模塊32為真空計。
[0074]所述切換單元包括閥門41、閥門42和閥門43。
[0075]所述控制人員單元與所述加熱單元、壓力測量模塊32、切換單元和泵5相連。
[0076]所述泵5為所述質(zhì)譜檢測器的前級泵。
[0077]所述質(zhì)譜檢測器I包括質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊。
[0078]本應(yīng)用例還提供了一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，采用本實施例所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，以質(zhì)譜常用的調(diào)諧物質(zhì):全氟三丁胺(PFTBA)為例，包括以下步驟:
[0079]A、假設(shè)采樣腔體為圓柱腔體，底半徑為10cm，高20cm，則體積V1 = 0.00628m3 ；
[0080]控制人員單元控制加熱單元對采樣腔31加熱，使采樣腔31的溫度維持在T，T為100。。，即 373.15K ；
[0081]控制人員單元控制閥門41導(dǎo)通采樣腔與泵5之間的流路，并控制泵5將采樣腔31進(jìn)行真空預(yù)抽，記錄此時采樣腔31內(nèi)的壓力，此時Pl為0.2Torr ；
[0082]B、控制人員單元控制閥門43導(dǎo)通采樣腔31與標(biāo)氣瓶2之間的流路，標(biāo)準(zhǔn)氣體從標(biāo)氣瓶2輸出在阻尼器的作用下緩慢進(jìn)入經(jīng)過真空預(yù)抽后的采樣腔31，所述壓力測量模塊32實時監(jiān)測采樣腔31內(nèi)的壓力并將監(jiān)測結(jié)果傳遞給控制人員單元，當(dāng)采樣腔31內(nèi)的壓力達(dá)到P2即0.7Torr時，控制人員單元控制閥門43關(guān)閉采樣腔31與標(biāo)氣瓶2之間的流路，停止向采樣腔31內(nèi)通入標(biāo)準(zhǔn)氣體；
[0083]通過監(jiān)測采樣腔內(nèi)壓力的變化，即可得知通入采樣腔內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)氣體的物質(zhì)的量；
[0084]其中，P2經(jīng)由下式得出，
【權(quán)利要求】
1.一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，包括質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體，其特征在于:所述質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置還包括: 采樣單元，所述采樣單元包括采樣腔、加熱模塊和壓力測量模塊；所述采樣腔通過切換單元分別與泵、所述質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體相連；所述加熱模塊設(shè)置在所述采樣腔外部；所述壓力測量模塊設(shè)置在所述采樣腔上實時監(jiān)測所述采樣腔的壓力； 切換單元，所述切換單元實現(xiàn)采樣腔與泵、質(zhì)譜檢測器、標(biāo)準(zhǔn)氣體之間的通斷； 控制人員單元，所述控制人員單元控制加熱單元對所述采樣腔加熱使所述采樣腔維持在恒定溫度，并根據(jù)壓力測量模塊監(jiān)測到的采樣腔的壓力控制切換單元進(jìn)行各流路的切換； 泵，所述泵在控制人員單元的控制下對所述采樣腔內(nèi)的氣體進(jìn)行抽取。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，其特征在于:所述控制人員單元與所述加熱單元、壓力測量模塊、切換單元和泵相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，其特征在于:所述壓力測量模塊為真空計。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，其特征在于:所述泵為所述質(zhì)譜檢測器的前級泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，其特征在于:所述采樣單元還包括阻尼調(diào)節(jié)器，所述阻尼調(diào)節(jié)器設(shè)置在所述采樣腔與標(biāo)準(zhǔn)氣體相連的流路上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置，其特征在于:所述質(zhì)譜檢測器還包括質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊，所述質(zhì)譜調(diào)節(jié)模塊在控制單元的控制下調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
7.一種質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，包括以下步驟: A、采樣腔的溫度維持在T； 將采樣腔進(jìn)行真空預(yù)抽，記錄此時采樣腔內(nèi)的壓力Pl ； B、標(biāo)準(zhǔn)氣體通入真空預(yù)抽后的采樣腔，采樣腔內(nèi)的壓力達(dá)到P2時，停止通入標(biāo)準(zhǔn)氣體； C、連通質(zhì)譜檢測器與采樣腔，采樣腔內(nèi)的氣體通入所述質(zhì)譜檢測器。


n n nRT
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，其特征在于:所述A=C+1「，其中，η為質(zhì)譜標(biāo)定所需要的標(biāo)準(zhǔn)氣體的物質(zhì)的量，V1為所述采樣腔的體積。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，其特征在于:所述標(biāo)定方法還包括步驟D: 調(diào)節(jié)質(zhì)譜電信號參數(shù)，使檢測信號強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)值。
10.根據(jù)權(quán)利要求7~9任一所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定方法，其特征在于:采用權(quán)利要求1~6任一所述的質(zhì)譜檢測器標(biāo)定裝置進(jìn)行標(biāo)定。
【文檔編號】G01N30/62GK103954711SQ201410140506
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】吳先偉, 劉立鵬, 鄧豐濤 申請人:聚光科技(杭州)股份有限公司