激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，包括驅(qū)動電源、樣品臺、溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)、參數(shù)測試子系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)，所述樣品臺具有多個(gè)激光器夾具，該多個(gè)激光器夾具安裝在所述的溫度控制子系統(tǒng)上，所述驅(qū)動電源分別與所述激光器夾具和溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)電氣連接，所述的溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)和參數(shù)測試子系統(tǒng)分別與所述的計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接，且所述的溫度控制子系統(tǒng)與所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)相配合，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)用于對裝載于各個(gè)激光器夾具中的激光器進(jìn)行監(jiān)測。該激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)能夠提高評價(jià)精度，而且能避免試驗(yàn)中的激光器器件因?yàn)闇囟冗^熱而導(dǎo)致安全事故發(fā)生。
【專利說明】激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]經(jīng)歷了 40多年的發(fā)展，半導(dǎo)體激光器已經(jīng)成為光電子器件大家族中極為重要的一員，由它引伸發(fā)展起來的半導(dǎo)體光子學(xué)、集成光電子學(xué)已成為信息科技的重要支柱，并正在推動著諸如光通信、光信息處理、光互連、光計(jì)算等重要前沿應(yīng)用領(lǐng)域的快速發(fā)展。
[0003]半導(dǎo)體激光器及其相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，推動了半導(dǎo)體激光器可靠性研究的進(jìn)步，為了保障半導(dǎo)體激光器的工程應(yīng)用，近年來國內(nèi)外許多研究機(jī)構(gòu)開展了針對大功率半導(dǎo)體激光器的壽命評價(jià)技術(shù)研究。一方面旨在獲得大功率半導(dǎo)體激光器的退化模型和壽命分布模型，建立起大功率半導(dǎo)體激光器的壽命試驗(yàn)與評價(jià)方法；另一方面則圍繞開展大功率半導(dǎo)體激光器壽命試驗(yàn)的載體-壽命試驗(yàn)儀器開展研制工作，涌現(xiàn)出了 ILX lightwave公司、美國國家宇航局(NASA) LaRc研究中心、Nanofoot公司、中國地質(zhì)大學(xué)、山東理工大學(xué)等一批國內(nèi)外研究機(jī)構(gòu)，并已有商品化的半導(dǎo)體激光器壽命試驗(yàn)儀器問世。
[0004]對于高功率半導(dǎo)體激光器，在長期壽命試驗(yàn)過程中，現(xiàn)有的壽命試驗(yàn)儀器通常采用微通道熱沉水冷的方式對試驗(yàn)器件進(jìn)行溫度控制，微通道熱沉多采用無氧銅材質(zhì)，長期試驗(yàn)過程中存在微通道腐蝕導(dǎo)致制冷效率下降引起試驗(yàn)器件溫度過高的現(xiàn)象，一方面會影響最后壽命試驗(yàn)的統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果的準(zhǔn)確性；另一方面也會導(dǎo)致器件因過熱而燒毀。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，本發(fā)明在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，該激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)能夠提高評價(jià)精度，而且能避免試驗(yàn)中的激光器器件因?yàn)闇囟冗^熱而導(dǎo)致安全事故發(fā)生。
[0006]其技術(shù)方案如下:
[0007]一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，包括驅(qū)動電源、樣品臺、溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)、參數(shù)測試子系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)，所述樣品臺具有多個(gè)激光器夾具，該多個(gè)激光器夾具安裝在所述的溫度控制子系統(tǒng)上，所述驅(qū)動電源分別與所述激光器夾具和溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)電氣連接，所述的溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)和參數(shù)測試子系統(tǒng)分別與所述的計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接，且所述的溫度控制子系統(tǒng)與所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)相配合，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)用于對裝載于各個(gè)激光器夾具中的激光器進(jìn)行監(jiān)測。
[0008]上述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)主要適用于單管大功率半導(dǎo)體激光器的壽命試驗(yàn)。使用時(shí)，將各個(gè)激光器分別裝載于相應(yīng)的激光器夾具中，使各個(gè)激光器串聯(lián)電連接，然后由驅(qū)動電源通過激光器夾具為各個(gè)激光器提供驅(qū)動電流進(jìn)行試驗(yàn)。在試驗(yàn)過程中:溫度控制子系統(tǒng)一方面為壽命試驗(yàn)提供穩(wěn)定的外部環(huán)境條件，降低環(huán)境溫度變化對試驗(yàn)評價(jià)結(jié)果的影響，另一方面則用于控制試驗(yàn)激光器的工作溫度；參數(shù)測試子系統(tǒng)用于監(jiān)測激光器的敏感參數(shù)-輸出功率隨時(shí)間的變化信息，并將該變化信息傳輸給計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)進(jìn)行記錄；溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)能夠在計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)的配合下來實(shí)時(shí)監(jiān)測和判斷試驗(yàn)系統(tǒng)中每只試驗(yàn)激光器的工作溫度，當(dāng)發(fā)現(xiàn)某只激光器的溫度超過設(shè)定值時(shí)，能夠自動切斷驅(qū)動電源并發(fā)出報(bào)警信號，從而能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)溫度過熱異常器件，避免試驗(yàn)器件燒毀等事故的發(fā)生。其中，驅(qū)動電源、溫度控制子系統(tǒng)、參數(shù)測試子系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)的配合能夠?yàn)榧す馄鲏勖u價(jià)、老化篩選等試驗(yàn)提供基本的設(shè)備保障，而驅(qū)動電源、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)之間的配合，使得在進(jìn)行批量單管器件壽命試驗(yàn)過程中，能夠確保試驗(yàn)器件之間溫度的均勻性，提高評價(jià)精度，同時(shí)也能夠?qū)υ囼?yàn)過程中出現(xiàn)過熱異常器件實(shí)施保護(hù)與報(bào)警，避免器件過熱燒毀或火災(zāi)等事故的發(fā)生。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述樣品臺為多個(gè)所述激光器夾具組合形成的平臺。因而，該樣品臺能夠?yàn)檫M(jìn)行試驗(yàn)的上述激光器提供載體，而且能夠?qū)崿F(xiàn)需試驗(yàn)的激光器件的串聯(lián)電連接。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述溫度控制子系統(tǒng)包括多個(gè)水冷通道，所述溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)包括溫度過熱報(bào)警裝置和多個(gè)溫度傳感器，所述激光器夾具設(shè)置在相應(yīng)的水冷通道上，所述溫度傳感器設(shè)置在激光器夾具和水冷通道之間，且該溫度傳感器和所述驅(qū)動電源分別與所述溫度過熱報(bào)警裝置電氣連接。因而，溫度控制子系統(tǒng)能通過水冷通道來控制試驗(yàn)激光器的工作溫度；而溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)則能夠在計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)的配合下通過溫度傳感器來實(shí)時(shí)監(jiān)測和判斷試驗(yàn)系統(tǒng)中每只試驗(yàn)激光器的工作溫度。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，相鄰的兩個(gè)水冷通道之間通過導(dǎo)熱絕緣片連接，使各個(gè)水冷通道之間串聯(lián)形成回路。因而，各個(gè)水冷通道能夠獨(dú)立工作，為安置在它上面的激光器提供溫度上的保障和控制。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述激光器夾具、水冷通道和溫度傳感器的數(shù)量一致。因而，每個(gè)水冷通道可單獨(dú)對相應(yīng)的激光器進(jìn)行溫度上的控制，而溫度報(bào)警保護(hù)子系統(tǒng)則可以通過溫度傳感器監(jiān)測每只試驗(yàn)激光器的工作溫度。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述的溫度控制子系統(tǒng)包括循環(huán)水冷機(jī)，該循環(huán)水冷機(jī)與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接，且與所述的水冷通道相連通。因而，水冷通道可以通過循環(huán)水冷機(jī)的作用來實(shí)現(xiàn)溫度控制。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述的溫度控制子系統(tǒng)還包括環(huán)境溫度控制箱，該環(huán)境溫度控制箱與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接。該環(huán)境溫度控制箱主要用于控制上述壽命試驗(yàn)的外在環(huán)境溫度。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)還包括流量傳感器，該流量傳感器設(shè)置在循環(huán)水冷機(jī)和水冷通道之間，且流量傳感器與所述的溫度過熱報(bào)警裝置之間實(shí)現(xiàn)電氣連接。因而，通過流量傳感器可以檢測水冷通道中的水流量，進(jìn)而可通過控制流量來使水冷通道實(shí)現(xiàn)溫度控制。
[0016]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)包括測試裝置和驅(qū)動裝置，測試裝置安裝在所述的驅(qū)動裝置上，且測試裝置和驅(qū)動裝置分別與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接。因而，測試裝置可以在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下，對各個(gè)工位上的激光器或者說每只試驗(yàn)激光器進(jìn)行敏感參數(shù)-輸出功率隨時(shí)間的變化信息進(jìn)行監(jiān)測，并把該變化信息傳遞給計(jì)算機(jī)記錄。[0017]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述的測試裝置包括光電探測器和積分球，所述的驅(qū)動裝置為步進(jìn)電機(jī)，積分球安裝在該步進(jìn)電機(jī)上，光電探測器安裝在積分球上，且光電探測器與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)電氣連接。因而，積分球及相應(yīng)的光電探測器在步進(jìn)電機(jī)的帶動下能夠?qū)の簧系募す馄髌骷M(jìn)行循環(huán)檢測，并且光電探測器及相應(yīng)的讀出電路能夠?qū)⑸鲜鲎兓畔⑥D(zhuǎn)換為輸出功率值傳送給計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)進(jìn)行記錄。則比起現(xiàn)有測試裝置中一個(gè)積分球?qū)?yīng)一個(gè)激光器器件的方式，本發(fā)明由于采用了上述驅(qū)動裝置，因此只需要用到一個(gè)積分球，這有利于降低系統(tǒng)的復(fù)雜度，并有利于提高測試的可靠性。
[0018]本發(fā)明的有益效果在于:
[0019](I)本發(fā)明的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)能夠提高評價(jià)精度，而且能避免試驗(yàn)中的激光器器件因?yàn)闇囟冗^熱而導(dǎo)致安全事故發(fā)生。
[0020](2)本發(fā)明的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)能夠?yàn)閱喂芗す馄鞯膲勖u價(jià)、老化篩選提供設(shè)備保障，有利于保障激光器的工程應(yīng)用。
[0021](3)本發(fā)明的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單，且測試可靠性高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明實(shí)施例所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)的整體電氣結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2是本發(fā)明實(shí)施例所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)與溫度控制子系統(tǒng)之間的電氣結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]附圖標(biāo)記說明:
[0025]10、驅(qū)動電源，20、樣品臺，21、激光器夾具，30、溫度控制子系統(tǒng)，31、循環(huán)水冷機(jī)，
32、水冷通道，40、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)，41、溫度過熱報(bào)警裝置，42、流量傳感器，43、溫度傳感器，50、參數(shù)測試子系統(tǒng)，60、計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明:
[0027]如圖1和圖2所不,一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng),包括驅(qū)動電源10、樣品臺20、溫度控制子系統(tǒng)30、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40、參數(shù)測試子系統(tǒng)50以及計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60，所述樣品臺20具有多個(gè)激光器夾具21，該多個(gè)激光器夾具21安裝在所述的溫度控制子系統(tǒng)30上，所述驅(qū)動電源10分別與所述激光器夾具21和溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40電氣連接，所述的溫度控制子系統(tǒng)30、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40和參數(shù)測試子系統(tǒng)50分別與所述的計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接，且所述的溫度控制子系統(tǒng)30與所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40相配合，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)50用于對裝載于各個(gè)激光器夾具21中的激光器進(jìn)行監(jiān)測。
[0028]其中，上述驅(qū)動電源10包括2套恒流電流源，可用于驅(qū)動60工位單管激光器，每套電流源的驅(qū)動電流為0-64A，電壓100V內(nèi)自適應(yīng)，電流源可由上述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60控制。上述樣品臺20為多個(gè)銅質(zhì)C-MOunt或F-MOunt封裝單管激光器夾具21所組合形成的平臺，且該樣品臺上的激光器夾具21可以進(jìn)行拆卸更換。
[0029]上述的溫度控制子系統(tǒng)30包括循環(huán)水冷機(jī)31、環(huán)境溫度控制箱和多個(gè)水冷通道32，相鄰的兩個(gè)水冷通道32之間通過導(dǎo)熱絕緣片連接，使各個(gè)水冷通道32串聯(lián)形成回路；溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40則包括溫度過熱報(bào)警裝置41、流量傳感器42和多個(gè)溫度傳感器43 ;上述激光器夾具21設(shè)置在相應(yīng)的水冷通道32上，溫度傳感器43則設(shè)置在激光器夾具21和水冷通道32之間，且該溫度傳感器43和所述驅(qū)動電源10分別與溫度過熱報(bào)警裝置41電氣連接，且激光器夾具21、水冷通道32和溫度傳感器43的數(shù)量一致；循環(huán)水冷機(jī)31和環(huán)境溫度控制箱分別與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接，且循環(huán)水冷機(jī)31與水冷通道32相連通；流量傳感器42則設(shè)置在循環(huán)水冷機(jī)31和水冷通道32之間，該流量傳感器42還與所述的溫度過熱報(bào)警裝置41之間實(shí)現(xiàn)電氣連接。
[0030]上述的參數(shù)測試子系統(tǒng)50包括測試裝置和驅(qū)動裝置，測試裝置安裝在所述的驅(qū)動裝置上，且測試裝置和驅(qū)動裝置分別與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接。該驅(qū)動裝置可為步進(jìn)電機(jī)；測試裝置主要用于監(jiān)測試驗(yàn)激光器的敏感參數(shù)-輸出功率隨時(shí)間的變化信息，該測試裝置包括光電探測器、積分球和讀出電路，積分球安裝在步進(jìn)電機(jī)上，光電探測器安裝在該積分球上，該光電探測器與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60實(shí)現(xiàn)電氣連接。
[0031]本實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)或原理具體如下:
[0032]1、上述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)主要適用于單管大功率半導(dǎo)體激光器的壽命試驗(yàn)。使用時(shí)，將各個(gè)激光器分別裝載于相應(yīng)的激光器夾具21中，并使各個(gè)激光器串聯(lián)電連接，然后由驅(qū)動電源10通過激光器夾具21為各個(gè)激光器提供驅(qū)動電流進(jìn)行試驗(yàn)；在試驗(yàn)過程中:溫度控制子系統(tǒng)30 —方面為壽命試驗(yàn)提供穩(wěn)定的外部環(huán)境條件，降低環(huán)境溫度變化對試驗(yàn)評價(jià)結(jié)果的影響，另一方面通過冷卻裝置來控制試驗(yàn)激光器的工作溫度；參數(shù)測試子系統(tǒng)50用于監(jiān)測激光器的敏感參數(shù)-輸出功率隨時(shí)間的變化信息，并將該變化信息傳輸給計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60進(jìn)行記錄；溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40能夠在計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60的配合下通過溫度傳感器43來實(shí)時(shí)監(jiān)測和判斷試驗(yàn)系統(tǒng)中每只試驗(yàn)激光器的工作溫度，當(dāng)發(fā)現(xiàn)某只激光器的溫度超過設(shè)定值時(shí)，能夠自動切斷驅(qū)動電源10并發(fā)出報(bào)警信號，從而能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)溫度過熱異常器件，避免試驗(yàn)器件燒毀等安全事故的發(fā)生。其中，驅(qū)動電源10、溫度控制子系統(tǒng)30、參數(shù)測試子系統(tǒng)50與計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60的配合能夠?yàn)榧す馄鲏勖u價(jià)、老化篩選等試驗(yàn)提供基本的設(shè)備保障，從而有利于保障激光器的工程應(yīng)用；而驅(qū)動電源10、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)40和計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60之間的配合，使得在進(jìn)行批量單管器件壽命試驗(yàn)過程中，能夠確保試驗(yàn)器件之間間溫度的均勻性，提高評價(jià)精度，同時(shí)也能夠?qū)υ囼?yàn)過程中出現(xiàn)過熱異常器件實(shí)施保護(hù)與報(bào)警，避免器件過熱燒毀或火災(zāi)等安全事故的發(fā)生。
[0033]2、上述樣品臺20能夠?yàn)檫M(jìn)行試驗(yàn)的上述激光器提供載體，而且能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)行試驗(yàn)的激光器件的串聯(lián)電連接。
[0034]3、相鄰的兩個(gè)水冷通道32之間通過導(dǎo)熱絕緣片連接，使各個(gè)水冷通道32之間串聯(lián)形成回路。因而，各個(gè)水冷通道32能夠獨(dú)立工作，為安置在它上面的激光器提供溫度上的保障和控制。
[0035]4、激光器夾具21、水冷通道32和溫度傳感器43的數(shù)量一致。因而，每個(gè)水冷通道32可單獨(dú)對相應(yīng)的激光器進(jìn)行溫度上的控制，而溫度報(bào)警保護(hù)子系統(tǒng)則可以通過溫度傳感器43監(jiān)測每只試驗(yàn)激光器的工作溫度。
[0036]5、循環(huán)水冷機(jī)31與計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接，且與水冷通道32相連通。因而，水冷通道32可以通過循環(huán)水冷機(jī)31的作用來實(shí)現(xiàn)溫度控制。
[0037]6、環(huán)境溫度控制箱與計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接。該環(huán)境溫度控制箱主要用于控制上述壽命試驗(yàn)的外在環(huán)境溫度。
[0038]7、流量傳感器42設(shè)置在循環(huán)水冷機(jī)31和水冷通道32之間，且流量傳感器42與所述的溫度過熱報(bào)警裝置41之間實(shí)現(xiàn)電氣連接。因而，通過流量傳感器42可以檢測水冷通道32中的水流量，進(jìn)而可通過控制流量來使水冷通道32實(shí)現(xiàn)溫度控制。
[0039]8、測試裝置安裝在所述的驅(qū)動裝置上，且測試裝置和驅(qū)動裝置分別與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60電氣連接。因而，測試裝置可以在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下，對各個(gè)工位上的激光器或者說每只試驗(yàn)激光器進(jìn)行敏感參數(shù)-輸出功率隨時(shí)間的變化信息進(jìn)行監(jiān)測，并把該變化信息傳遞給計(jì)算機(jī)記錄。
[0040]9、測試裝置包括光電探測器和積分球，積分球安裝在步進(jìn)電機(jī)上，光電探測器安裝在該積分球上，該光電探測器與計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60實(shí)現(xiàn)電連接。因而，積分球及相應(yīng)的光電探測器在步進(jìn)電機(jī)的帶動下能夠?qū)の簧系募す馄髌骷M(jìn)行循環(huán)檢測，并且光電探測器及相應(yīng)的讀出電路能夠?qū)⑸鲜鲎兓畔⑥D(zhuǎn)換為輸出功率值傳送給計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)60進(jìn)行記錄；則比起現(xiàn)有測試裝置中一個(gè)積分球?qū)?yīng)一個(gè)激光器器件的方式，本實(shí)施例由于采用了上述驅(qū)動裝置，因此只需要用到一個(gè)積分球，這有利于降低系統(tǒng)的復(fù)雜度，并有利于提高測試的可靠性。
[0041]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，包括驅(qū)動電源、樣品臺、溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)、參數(shù)測試子系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)，所述樣品臺具有多個(gè)激光器夾具，該多個(gè)激光器夾具安裝在所述的溫度控制子系統(tǒng)上，所述驅(qū)動電源分別與所述激光器夾具和溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)電氣連接，所述的溫度控制子系統(tǒng)、溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)和參數(shù)測試子系統(tǒng)分別與所述的計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接，且所述的溫度控制子系統(tǒng)與所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)相配合，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)用于對裝載于各個(gè)激光器夾具中的激光器進(jìn)行監(jiān)測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述樣品臺為多個(gè)所述激光器夾具組合形成的平臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度控制子系統(tǒng)包括多個(gè)水冷通道，所述溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)包括溫度過熱報(bào)警裝置和多個(gè)溫度傳感器，所述激光器夾具設(shè)置在相應(yīng)的水冷通道上，所述溫度傳感器設(shè)置在激光器夾具和水冷通道之間，且該溫度傳感器和所述驅(qū)動電源分別與所述溫度過熱報(bào)警裝置電氣連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，相鄰的兩個(gè)水冷通道之間通過導(dǎo)熱絕緣片連接，使各個(gè)水冷通道串聯(lián)形成回路。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器夾具、水冷通道和溫度傳感器的數(shù)量一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的溫度控制子系統(tǒng)包括循環(huán)水冷機(jī)，該循環(huán)水冷機(jī)與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接，且與所述的水冷通道相連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的溫度保護(hù)報(bào)警子系統(tǒng)還包括流量傳感器，該流量傳感器設(shè)置在循環(huán)水冷機(jī)和水冷通道之間，且流量傳感器與所述的溫度過熱報(bào)警裝置之間實(shí)現(xiàn)電氣連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的溫度控制子系統(tǒng)還包括環(huán)境溫度控制箱，該環(huán)境溫度控制箱與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的參數(shù)測試子系統(tǒng)包括測試裝置和驅(qū)動裝置，測試裝置安裝在所述的驅(qū)動裝置上，且測試裝置和驅(qū)動裝置分別與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)電氣連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光器壽命試驗(yàn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的測試裝置包括光電探測器和積分球，所述的驅(qū)動裝置為步進(jìn)電機(jī)，積分球安裝在該步進(jìn)電機(jī)上，光電探測器安裝在積分球上，且光電探測器與所述計(jì)算機(jī)控制子系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)電氣連接。
【文檔編號】G01M11/00GK103926052SQ201410180968
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月30日
【發(fā)明者】謝少鋒, 路國光, 肖慶中, 郝明明, 賴燦雄, 周振威, 黃云, 恩云飛 申請人:工業(yè)和信息化部電子第五研究所