一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀,包括:激光光源與光束分束片;樣品激發(fā)光產(chǎn)生部分,用于激光光源輸出基頻光的頻率變換;樣品激發(fā)光的聚焦裝置以及樣品固定的樣品池;樣品熒光的收集和會聚系統(tǒng);熒光光參量放大所需泵浦光的產(chǎn)生部分;光參量晶體,用于泵浦光與熒光發(fā)生非共線光參量過程;時間分辨熒光光譜數(shù)據(jù)采集系統(tǒng);光程延遲系統(tǒng),用于改變光參量泵浦光與樣品激發(fā)光的時間延遲;數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)為基于多通道鎖相放大器的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)單次測量獲得無超熒光背景干擾的時間分辨熒光光譜。
【專利說明】一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于飛秒時間分辨熒光光譜測量【技術(shù)領(lǐng)域】,具體地說本發(fā)明涉及一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀。
【背景技術(shù)】
[0002]時間分辨熒光光譜技術(shù)是光物理、光化學(xué)、生物等領(lǐng)域內(nèi)一種重要技術(shù)手段,用于獲取體系內(nèi)的激發(fā)態(tài)壽命、能量或電子轉(zhuǎn)移,以及結(jié)構(gòu)變化等信息。目前實現(xiàn)飛秒時間分辨熒光光譜測量的方法包括熒光上轉(zhuǎn)換技術(shù)、光克爾門技術(shù)以及飛秒時間分辨熒光非共線光參量放大光譜技術(shù)。相對于前兩者,飛秒時間分辨熒光非共線光參量放大光譜技術(shù)具有高增益、寬增益帶寬、低探測極限的優(yōu)勢。
[0003]圖1示出了一種典型的基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀系統(tǒng)。如圖1所示,摻鈦藍寶石再生放大器101的基頻輸出,經(jīng)過分束片102后分為兩束。其中一束光經(jīng)過樣品激發(fā)光產(chǎn)生部分103進行頻率變換,再經(jīng)第一聚焦透鏡104會聚后激發(fā)品105產(chǎn)生待測量的熒光。待測量的熒光經(jīng)過熒光收集和會聚系統(tǒng)106后會聚至光參量晶體110。另一束光,經(jīng)過光延遲系統(tǒng)107后,再經(jīng)倍頻晶體108產(chǎn)生基頻光的2倍頻作為光參量過程的泵浦光。泵浦光作為光脈沖門,經(jīng)過第二聚焦透鏡109后對與其同時到達光參量晶體110的且滿足相位匹配條件的熒光光子進行能量放大。通過調(diào)節(jié)光延遲系統(tǒng)107改變泵浦光到達光參量晶體110的時間延遲,實現(xiàn)對不同時刻輻射的熒光光子進行能量放大,從而得到熒光動力學(xué)信息。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)111是基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的重要組成部分。通常情況下可以選擇(XD(charge couple device)光譜儀作為基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)111。文獻:X.F.Han, X.H.Chen, Y.X.Weng and J.Y.Zhang.Ultrasensitive femtosecond time-resolved fluorescencespectroscopy for relaxat1n processes by using parametric amplificat1n, J.0pt.Soc.Am.B, 24,1633,2007提到,泵浦光通過光參量過程對待測熒光光子進行能量放大的同時,還對真空量子噪聲進行能量放大并形成明亮的超熒光環(huán)。因此,在飛秒時間分辨熒光非共線光參量放大光譜技術(shù)中能量放大的熒光光子或者稱為時間分辨的熒光光子迭加在超熒光背景上,即時間分辨的熒光光子和與其重合的部分超熒光背景兩者在時間上和空間上都是不能區(qū)分的。超熒光在可見光到近紅外波段范圍內(nèi)都有能量分布,且相對于時間分辨熒光光子,超熒光的強度更大,能量波動也非常明顯。因此在利用基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀采集時間分辨熒光光譜信息時,需要考慮超熒光背景的扣除。CCD光譜儀會記錄所有入射到CCD上的時間分辨熒光光子、穩(wěn)態(tài)熒光光子以及超熒光光子的強度信息,因此利用CCD光譜儀作為基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)時,時間分辨熒光光譜采集需要分三步完成。第一步,測量時間分辨的熒光光子、穩(wěn)態(tài)的熒光光子與超熒光背景三者強度迭加的光譜。第二步,阻擋光參量放大泵浦光,得到穩(wěn)態(tài)熒光光譜。第三步,對樣品激發(fā)光進行阻擋,得到超熒光背景光譜。利用第一步得到的光譜強度減去第二步、第三步得到光譜強度,從而得到時間分辨的熒光光譜。CCD光譜儀作為基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)存在如下兩方面的缺陷。第一,上述分步測量獲得時間分辨熒光光譜的前提條件是超熒光的光譜形狀是穩(wěn)定的,且超熒光的光譜形狀不受熒光光子能量放大的影響。但是相鄰光參量泵浦光脈沖間超熒光光譜的形狀存在差異,且只有當(dāng)熒光光子能量放大滿足小信號近似時熒光光子的能量放大才不會引起超熒光光譜形狀的改變。第二,單獨記錄的超熒光光譜強度與存在熒光光子能量放大時記錄的超熒光光譜強度存在差異。因此,上述分步測量的方法不能準(zhǔn)確地扣除超熒光背景對時間分辨突光光譜的干擾。
[0004]綜上所述,現(xiàn)有的基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)需要進一步改進。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的在于改進現(xiàn)有基于光參量放大的飛秒時間分辨熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),實現(xiàn)單次測量獲得無超熒光背景干擾的時間分辨熒光光譜。
[0006]為了解決上述問題,本發(fā)明提供一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀,包括:
[0007]激光光源與光束分束片;
[0008]樣品激發(fā)光產(chǎn)生部分,用于激光光源輸出基頻光的頻率變換;
[0009]樣品激發(fā)光的聚焦裝置以及樣品固定的樣品池;
[0010]樣品滅光的收集和會聚系統(tǒng);
[0011]熒光光參量放大所需泵浦光的產(chǎn)生部分;
[0012]光參量晶體,用于泵浦光與熒光發(fā)生非共線光參量過程;
[0013]時間分辨熒光光譜數(shù)據(jù)采集系統(tǒng);
[0014]光程延遲系統(tǒng),用于改變光參量泵浦光與樣品激發(fā)光的時間延遲;
[0015]數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)為基于多通道鎖相放大器的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。
[0016]進一步,對熒光強度按周期函數(shù)形式調(diào)制,而使超熒光處于非調(diào)制狀態(tài),且所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的多通道同步鎖相放大器采用陷波濾波器以及低通濾波器組合衰減超熒光背景對時間分辨熒光光子強度的干擾。
[0017]進一步,熒光強度的調(diào)制函數(shù)可以是周期性方波、正弦波以及三角波三者中任意一種,調(diào)制頻率為激光光源的重復(fù)頻率的1/10-1/3。
[0018]進一步,對熒光強度的周期性方波、正弦波、三角波調(diào)制可以分別通過斬波器、偏振片、中性密度衰減片實現(xiàn)。
[0019]進一步,所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的多通道鎖相放大器的相敏檢測功能基于現(xiàn)場可編程門電路技術(shù)實現(xiàn)。
[0020]相對于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有下列技術(shù)效果:
[0021]1.通過以周期函數(shù)形式對樣品熒光強度進行調(diào)制,而使超熒光處于非調(diào)制狀態(tài),本發(fā)明提供的基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀能夠單次測量獲得無超熒光干擾的時間分辨熒光光譜。
[0022]2.本發(fā)明提供的基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)具有多路信號同步檢測的功能,單次測量即可獲得時間分辨熒光光譜,而無需通過多條動力學(xué)曲線重建獲得時間分辨熒光光譜,因此避免了在時間分辨光譜重建中引入因激光能量波動導(dǎo)致的噪聲,并減少了實驗耗時以及樣品光損傷。
[0023]3.本發(fā)明提供的基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對超熒光進行了濾波處理,利用低通濾波器和陷波濾波器組合有效地衰減超熒光強度,提高了基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀測量的動態(tài)范圍和檢測靈敏度,同時數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)使用的多通道同步信號處理方式使數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1為現(xiàn)有基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖2為本發(fā)明實施例的基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖3為本發(fā)明實施例的基于多通道鎖相放大器的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖4為本發(fā)明實施例的多通道同步鎖相放大器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖5為本發(fā)明實施例的DCM染料時間分辨熒光光譜。
[0029]圖6為本發(fā)明實施例的超熒光背景抑制效果圖。
【具體實施方式】
[0030]下文中將結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細說明。需要說明的是,在不沖突的情況下,本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互任意組合。
[0031]實施例一:
[0032]本發(fā)明提供了如附圖2所示的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀,主要包括以下幾部分:
[0033]I)激光光源201,為摻鈦藍寶石飛秒再生放大系統(tǒng)(中心波長SOOnm附近,脈沖重復(fù)頻率1kHz,單脈沖能量大于300uJ,脈沖寬度約10fs)。
[0034]2)光分束片202,對于800nm光束的透射反射比為1:1,用于將激光光源I輸出的激光分為透射光束和反射光束。
[0035]3)樣品激發(fā)光部分,位于上述透射光束的光路中,包括非共線光參量放大器(NOPA) 203、倍頻器(SHG) 204以及濾光片205,其中非共線光參量放大器(NOPA) 203與倍頻器(SHG) 204在光路中可以互相切換。倍頻器204可以提供基頻光的2倍頻作為樣品激發(fā)光,非共線光參量放大器(NOPA) 203可以提供500nm到近紅外區(qū)波段的樣品激發(fā)光,濾光片205用于限制樣品激發(fā)光的光譜范圍,另外樣品激發(fā)光部分還可以直接選擇激光光源201基頻光。
[0036]4)第一聚焦透鏡206,為熔石英材料,直徑25.4mm,焦距50mm,用于會聚激發(fā)光。
[0037]5)樣品池207用于固定固體樣品或液體樣品。
[0038]6)熒光收集和會聚系統(tǒng)208,用于對樣品受激后產(chǎn)生的熒光進行收集和會聚,熒光收集的方式可以采用前向熒光收集或者背向熒光收集,具體的熒光收集元件可以選擇透鏡、凹面鏡、卡塞格林物鏡或者拋物面鏡。
[0039]7)光延遲系統(tǒng)209,位于上述反射光束的光路中,由精密電動平移臺和光反射元件組成,其中光反射元件可以是對基頻光具有高反射率的兩塊反射鏡或中空角鏡。
[0040]8)熒光放大泵浦光產(chǎn)生部分,包括第一 β相偏硼酸鋇晶體(ΒΒ0,相位匹配角29.2° ) 210,2倍頻高反鏡211和212。由分束片產(chǎn)生的反射光束經(jīng)光延遲系統(tǒng)209后,再經(jīng)過第一 β相偏硼酸鋇晶體210產(chǎn)生基頻光的倍頻,光束經(jīng)過第一 β相偏硼酸鋇晶體210后包含基頻光與倍頻光,基頻光束經(jīng)過兩塊2倍頻高反鏡211、212后被消除,形成2倍頻泵浦光。為了增加倍頻效率基頻光束可以在第一 β相偏硼酸鋇晶體210前作縮束處理,同樣第一 β相偏硼酸鋇晶體210也可以由其他具有倍頻功能的光學(xué)晶體代替。
[0041]9)第二聚焦透鏡213,用于會聚上述2倍頻泵浦光。
[0042]10)第二 β相偏硼酸鋇晶體(BBO) 214,用于光參量熒光放大,相位匹配角32°,厚1-2_。第二聚焦透鏡213會聚的2倍頻泵浦光與經(jīng)熒光收集和會聚系統(tǒng)208產(chǎn)生的會聚熒光均入射到第二 β相偏硼酸鋇晶體214上。調(diào)節(jié)熒光的入射角度以及其光斑在光參量晶體214上的位置,使熒光、2倍頻泵浦光、第二 β相偏硼酸鋇晶體214三者滿足相位匹配關(guān)系。通過調(diào)整光延遲系統(tǒng),改變2倍頻泵浦光到達第二 β相偏硼酸鋇晶體214的時間延遲,使2倍頻泵浦光與樣品受激后不同時刻自發(fā)輻射的熒光同時到達第二 β相偏硼酸鋇晶體214,實現(xiàn)對樣品受激后不同時刻輻射的熒光光子的非共線光參量放大,得到時間分辨的熒光光子。第二 β相偏硼酸鋇晶體214的晶體切割角以及厚度可以根據(jù)實驗做相應(yīng)的改變,也可以由其他具有相同功能的光學(xué)晶體替代。
[0043]11)將時間分辨熒光光子與超熒光混合光導(dǎo)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)215,其結(jié)構(gòu)見附圖3,同時利用光調(diào)制器301對熒光強度按周期函數(shù)調(diào)制,使超熒光處于非調(diào)制狀態(tài),通過計算機顯示測量得到的時間分辨熒光光譜。
[0044]數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)215的工作原理如下。光調(diào)制器對熒光強度按周期函數(shù)進行調(diào)制,并根據(jù)此周期函數(shù)產(chǎn)生數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的參考信號并輸入給數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的多通道同步鎖相放大器308。時間分辨的熒光光子與超熒光的混合光302經(jīng)透鏡303會聚后進入單色儀304,單色儀304對時間分辨的熒光光子與超熒光的混合光作分光處理,使不同頻率的光子在單色儀出射狹縫處沿水平方向展開,并分別耦合進入光纖陣列305中32根光纖。不同頻率的混合光沿著光纖入射到光電探測器陣列306。光電探測器陣列由32支Si光電二極管(中國電子科技集團公司第四十四研究所GT101)以及對應(yīng)的跨導(dǎo)放大電路(反饋電容270pF,跨導(dǎo)電阻IM歐姆)組成。32支Si光電二極管將不同頻率的光子的光強信息轉(zhuǎn)化為電流信號并經(jīng)跨導(dǎo)放大電路轉(zhuǎn)化為電壓信號307輸入多通道同步鎖相放大器308。多通道同步鎖相放大器308內(nèi)設(shè)有IkHz陷波濾波器和低通濾波器組用于衰減混合光子中超熒光的強度,提高數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的動態(tài)范圍和測量靈敏度。按照重復(fù)頻率193Hz對熒光強度進行調(diào)制,調(diào)制形式可以是方波、三角波、正弦波中任意一種,同時保持超熒光處于非調(diào)制狀態(tài),多通道同步鎖相放大器利用相敏檢測技術(shù)能夠有效濾除超熒光影響,獲得無超熒光背景干擾的時間分辨熒光光譜,并通過USB接口或者TCP/IP網(wǎng)絡(luò)接口將時間分辨熒光譜數(shù)據(jù)傳送給計算機309。用戶也可以通過計算機309對基于多通道鎖相放大器的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送各種控制指令。多通道同步鎖相放大器的低通濾波器的截止頻率設(shè)置應(yīng)高與熒光強度調(diào)制頻率。另外,這里提到的32路信號通道數(shù)只是為了對技術(shù)方案進行描述,用戶可以根據(jù)自己實際需要改變信號通路數(shù)目。
[0045]光調(diào)制器301對熒光光強的調(diào)制形式可以選擇方波、三角波、正弦波三種函數(shù)形式中的任一函數(shù)形式。以方波函數(shù)調(diào)制熒光強度時,光調(diào)制可以通過斬波器斬?zé)晒饣驑悠芳ぐl(fā)光實現(xiàn)。以三角波函數(shù)調(diào)制熒光強度時,光調(diào)制可以選擇可變中性密度濾光片以樣品激發(fā)光為中心作平動或轉(zhuǎn)動實現(xiàn)。以正弦波調(diào)制熒光強度時,光調(diào)制可以選擇偏振器以樣品激發(fā)光為中心作轉(zhuǎn)動實現(xiàn)。
[0046]多通道同步鎖相放大器308的結(jié)構(gòu)見附圖4,信號輸入后經(jīng)過前置放大器401后,對信號進行交流耦合,去除直流偏移。50Hz陷波器402用于濾除由共模干擾等引入的工頻干擾。IkHz陷波濾波器403和第一低通濾波器404用于衰減混入時間分辨熒光光子中的超熒光光子。為了提高多通道同步鎖相放大器的檢測靈敏度,并使其能適應(yīng)較大的測量范圍,多通道同步鎖相放大器內(nèi)設(shè)計了增益可調(diào)節(jié)的主放大器405。模數(shù)轉(zhuǎn)換器406將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號后,由基于現(xiàn)場可編程門電路技術(shù)的多通道同步信號處理芯片412采集并處理。經(jīng)多通道同步信號處理芯片412處理的多通道信號數(shù)據(jù)經(jīng)通信電路413發(fā)送到計算機,同時,計算機也可以通過通信電路413將控制信息發(fā)送給多通道同步信號處理芯片412,實現(xiàn)對積分時間、增益等參數(shù)的控制。
[0047]多通道同步鎖相放大器308的參考信號可以選擇方波、正弦波和三角波等輸入方式。參考信號經(jīng)預(yù)處理電路407后轉(zhuǎn)換為方波信號,鑒相器408、第二低通濾波器409和壓控振蕩器410組成的鎖相環(huán)對方波信號進行相位鎖定。鎖相環(huán)產(chǎn)生的振蕩信號被多通道同步信號處理芯片412進行N分頻后經(jīng)時鐘同步電路411反饋到鎖相環(huán),因此鎖相環(huán)輸出穩(wěn)定后的振蕩信號頻率為參考信號頻率的N倍。同時,時鐘同步電路411產(chǎn)生模數(shù)轉(zhuǎn)換器406的采樣時鐘信號,實現(xiàn)信號采樣與參考輸入的同步,從而減小了相位噪聲。多通道同步信號處理芯片412內(nèi)部查表產(chǎn)生正弦序列和余弦序列,與采樣信號進行互相關(guān)運算,實現(xiàn)相敏檢波功能,將微弱的時間分辨突光光子的光譜信息提取出來。
[0048]附圖5展示應(yīng)用本發(fā)明提供的基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀采集DCM染料乙醇溶液0-1.8ps (箭頭增加方向)4個時間點的時間分辨熒光光譜。
[0049]附圖6展示本發(fā)明技術(shù)方案對超熒光背景的抑制效果。圖中方框線代表實驗條件下超熒光光譜強度。圖中三角線代表應(yīng)用本技術(shù)方案時超熒光在時間分辨熒光光譜中的強度貢獻,為了便于比較,圖中信號強度擴大了 200倍。從圖中可以看出超熒光在時間分辨熒光光譜中貢獻的光譜形狀已經(jīng)不明顯,說明采用本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠獲得無超光背景的時間分辨熒光光譜。
[0050]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相熒光光譜儀,包括: 激光光源與光束分束片; 樣品激發(fā)光產(chǎn)生部分,用于激光光源輸出基頻光的頻率變換; 樣品激發(fā)光的聚焦裝置以及樣品固定的樣品池; 樣品熒光的收集和會聚系統(tǒng); 熒光光參量放大所需泵浦光的產(chǎn)生部分; 光參量晶體,用于泵浦光與熒光發(fā)生非共線光參量放大過程; 時間分辨熒光光譜數(shù)據(jù)采集系統(tǒng); 光程延遲系統(tǒng),用于改變光參量泵浦光與樣品激發(fā)光的時間延遲; 其特征在于:數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)為基于多通道同步鎖相放大器的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀,其特征在于: 對熒光強度按周期函數(shù)形式調(diào)制,而使超熒光處于非調(diào)制狀態(tài),且所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的多通道同步鎖相放大器采用陷波濾波器以及低通濾波器組合衰減超熒光背景對時間分辨突光光子強度的干擾。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀,其特征在于:熒光強度的調(diào)制函數(shù)可以是周期性方波、正弦波以及三角波三者中任意一種,調(diào)制頻率為激光光源的重復(fù)頻率的1/10-1/3。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀,其特征在于:對熒光強度的周期性方波、正弦波、三角波調(diào)制可以分別通過斬波器、偏振片、中性密度衰減片實現(xiàn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀,其特征在于:所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)中的多通道鎖相放大器的相敏檢測功能基于現(xiàn)場可編程門電路技術(shù)實現(xiàn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于光參量放大的飛秒時間分辨多道鎖相突光光譜儀,其特征在于:所述多通道鎖相放大器內(nèi)的陷波濾波器的中心頻率等于所述激光光源的重復(fù)頻率,所述低通濾波器的截止頻率略高于熒光光強的調(diào)制頻率。
【文檔編號】G01N21/64GK104048948SQ201410229765
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月20日
【發(fā)明者】翁羽翔, 黨偉, 王專, 于清旭, 陳珂, 毛鵬程, 王云鵬 申請人:中國科學(xué)院物理研究所