一種參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光產(chǎn)生方法和裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，包括：(1)將激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過空間濾波準(zhǔn)直器進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直，形成平行光束；(2)通過分光鏡將所述平行光束分為兩束相干光；(3)通過兩對稱布置且旋轉(zhuǎn)可調(diào)的平面反射鏡，使兩束相干光分別被對應(yīng)的平面反射鏡反射，得到反射后的第一光束和第二光束；(4)使兩光束交匯以產(chǎn)生干涉，并通過旋轉(zhuǎn)平面反射鏡，使通過兩束光束的交匯夾角發(fā)生改變，從而即可獲得無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。本發(fā)明還公開了一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置。本發(fā)明可以產(chǎn)生條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離可調(diào)的柵型結(jié)構(gòu)光，可適用于具有不同測量精度、測量范圍、測量分辨率等需求的物體表面三維形貌測量。
【專利說明】-種參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光產(chǎn)生方法和裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及無衍射光【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的實(shí) 現(xiàn)方法和裝置，可適用于表面曲率跨度較大的自由曲面類零件表面的非接觸三維形貌測 量。

【背景技術(shù)】
[0002] 無衍射光束是波動方程在自由空間中的一組特殊解，其場分布具有第一類零階貝 塞爾函數(shù)的形式，且具有在傳播時不發(fā)散的特性，在多個領(lǐng)域具有廣泛用途。
[0003] 現(xiàn)有的產(chǎn)生無衍射光的方法和裝置有很多，例如在中國實(shí)用新型專利 CN200983014Y中公開了一種實(shí)現(xiàn)線性無衍射結(jié)構(gòu)光的器件，該器件以等腰三角棱鏡的中心 平面為對稱，在等腰三角棱鏡的兩個對稱邊線處分別連接兩個形狀相同的直角三角棱鏡， 使三個三角棱鏡的底面位于同一平面內(nèi)，構(gòu)成組合三角棱鏡，實(shí)現(xiàn)了中心級次較強(qiáng)的線性 無衍射結(jié)構(gòu)光。
[0004] 這種線性無衍射結(jié)構(gòu)光由于是一種線結(jié)構(gòu)光，其測量的范圍較小、效率不高，不利 于測量大型物體的表面形貌。
[0005] 為克服上述缺陷，人們又提出了一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，這種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光 是一種在無衍射線結(jié)構(gòu)光基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型光，其具有焦深長、條紋細(xì)、間距小、光強(qiáng) 成正弦分布等特點(diǎn)，用于非接觸主動式光學(xué)投影法測量三維形貌可以保證系統(tǒng)具有良好的 縱向測量范圍、精度以及高的橫向分辨率。例如，在中國發(fā)明專利CN102147239A中公開了 一種使用分光棱鏡和三角棱鏡為主要光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋投影的系統(tǒng)裝 置，該裝置通過使經(jīng)第一分光棱鏡分光后的兩束光束在分別經(jīng)過三角棱鏡和全反射棱鏡后 交匯于第二分光棱鏡并產(chǎn)生干涉，形成空間無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
[0006] 雖然上述柵型結(jié)構(gòu)光可以一定程度上提升測量的效率和范圍，但是，由于其中的 三角棱鏡等光學(xué)元件受制造精度的制約其體積較小，因此該系統(tǒng)產(chǎn)生的無衍射光測量范圍 不大，測量效率不高。
[0007] 此外，三角棱鏡一旦制成，其角度為恒定不變，產(chǎn)生的無衍射光條紋寬度不可調(diào) 節(jié)。而在被測物體為自由曲面且表面曲率變化很大（如航空葉片）的情況下，根據(jù)實(shí)際表 面情況調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)光的條紋粗細(xì)及無衍射范圍大小以適應(yīng)不同曲面的測量需求是十分必要 的，這樣可以最大效率的利用無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，比如，在曲率變化平緩的表面采用寬條紋 投影，在曲率變化陡急的表面采用細(xì)條紋投影。上述裝置生成的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光不能滿 足參數(shù)可調(diào)的要求，且投影裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、光路元器件多。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 針對現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷或改進(jìn)需求，本發(fā)明提供了一種新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光 實(shí)現(xiàn)方法和裝置，可以產(chǎn)生條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離可調(diào)的柵型結(jié)構(gòu)光，該 結(jié)構(gòu)光可適用于具有不同測量精度、測量范圍、測量分辨率等需求的物體表面三維形貌測 量。
[0009] 按照本發(fā)明的一個方面，提供一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其用于生成參數(shù) 可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，其特征在于，該方法具體包括：
[0010] S101將激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過空間濾波準(zhǔn)直器進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直，形成平行 光束；
[0011] S102通過分光鏡將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直后的所述平行光束分為兩束相干光；
[0012] S103通過兩對稱布置且旋轉(zhuǎn)可調(diào)的平面反射鏡，使兩束相干光分別被對應(yīng)的平面 反射鏡反射，得到反射后的第一光束和第二光束；
[0013] S104使該第一光束和第二光束交匯以產(chǎn)生干涉，并通過旋轉(zhuǎn)平面反射鏡，使通過 所述平面反射鏡反射而相交匯的兩束光束的交匯夾角發(fā)生改變，從而即可獲得參數(shù)可調(diào)的 無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
[0014] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，所述可調(diào)的參數(shù)包括條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距 離。
[0015] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，所述無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的可調(diào)的各參數(shù)大小與兩相交匯光束 的夾角成反比。
[0016] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，所述兩平面反射鏡的旋轉(zhuǎn)為同時相向或反向的旋轉(zhuǎn)。
[0017] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，還包括對生成的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的擴(kuò)束準(zhǔn)直步驟，以增大 空間衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋的間距，實(shí)現(xiàn)大范圍、寬間距的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光投影。
[0018] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，還可以在交匯前對第一光束和/或第二光束通過反射鏡進(jìn)行 光路折疊，以縮短光路長度。
[0019] 本發(fā)明的方法中，激光由激光器出射，經(jīng)空間濾波準(zhǔn)直器后生成直接適當(dāng)?shù)钠叫?光束，垂直入射于分光棱鏡并分成透射光束和反射光束，第一平面反射鏡和第二平面反射 鏡分別置于精密旋轉(zhuǎn)臺上且以一個合適的角度嚴(yán)格對稱布置于分光棱鏡分光面的兩側(cè)，透 射光束和反射光束分別經(jīng)第一平面反射鏡和第二平面反射鏡反射后，在分光棱鏡正后方一 定區(qū)域疊加，形成明暗相間的條紋。
[0020] 本發(fā)明的方法中，還可以對產(chǎn)生的新型近似無衍射柵型結(jié)構(gòu)光進(jìn)行擴(kuò)束，消除畸 變與像差，得到條紋間距和測量范圍較寬的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光。
[0021] 按照本發(fā)明的另一方面，提供一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置，用于生成參數(shù)可 調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，其特征在于，該裝置包括：
[0022] 空間濾波準(zhǔn)直器，其用于對激光器發(fā)出的激光光束進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直，以形成平 行光束；
[0023] 分光鏡，其用于將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直后的所述平行光束分為兩束相干光；
[0024] 兩旋轉(zhuǎn)可調(diào)的平面反射鏡，其對稱布置于所述分光鏡兩側(cè)，以用于對所述兩束相 干光分別進(jìn)行反射，從而得到反射后的第一光束和第二光束；通過使該第一光束和第二光 束交匯以產(chǎn)生干涉，并通過旋轉(zhuǎn)所述平面反射鏡，使通過所述平面反射鏡反射而相交匯的 兩束光束的交匯夾角發(fā)生改變，從而即可獲得參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
[0025] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，所述兩平面反射鏡中，第一平面反射鏡和第二平面反射鏡分 別固定于透鏡架上，該透鏡架上設(shè)有用于分別對平面反射鏡進(jìn)行上下和左右方向進(jìn)行微調(diào) 的旋鈕，所述透鏡架通過支桿和支架連接于旋轉(zhuǎn)臺上，該旋轉(zhuǎn)臺以一定夾角嚴(yán)格對稱布置 于分光棱鏡分光面兩側(cè)，并可沿其中心旋轉(zhuǎn)，從而可實(shí)現(xiàn)對所述兩平面反射鏡旋轉(zhuǎn)角度的 調(diào)整。
[0026] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，該裝置還可以包括透鏡組合，用于生成的近似無衍射柵型結(jié) 構(gòu)光條紋的擴(kuò)束準(zhǔn)直，以增大空間衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋的間距，實(shí)現(xiàn)大范圍、寬間距的無衍 射柵型結(jié)構(gòu)光投影。
[0027] 作為本發(fā)明的改進(jìn)，該裝置還可以包括兩個按一定角度放置的大型平面反射鏡， 以用于折疊空間光路，從而縮短光路長度。
[0028] 本發(fā)明的裝置中，用于折疊空間光路的大型光學(xué)平面反射鏡至少兩個，以一定角 度放置與光路中。
[0029] 本發(fā)明的裝置中，透鏡組合包括至少兩個不同焦距的透鏡和一個消除光畸變的補(bǔ) 償透鏡。
[0030] 本發(fā)明的裝置中，第一平面反射鏡和第二平面反射鏡分別固定于透鏡架上，透鏡 架上有兩個旋鈕，可以對平面反射鏡進(jìn)行上下和左右方向的微調(diào)。透鏡架通過支桿、支架連 接于旋轉(zhuǎn)臺上，旋轉(zhuǎn)臺以一定夾角嚴(yán)格對稱布置于分光棱鏡分光面（也即Z軸）兩側(cè)。旋 轉(zhuǎn)臺可沿其中心順、逆時針旋轉(zhuǎn)，精度高達(dá)Γ。當(dāng)同時同向或反向轉(zhuǎn)動兩旋轉(zhuǎn)臺時，兩平面 反射鏡必然也隨之轉(zhuǎn)動，則兩通過平面反射鏡反射而相交匯的光束1、2的交匯夾角必然也 發(fā)生改變。由于系統(tǒng)所產(chǎn)生新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播 距離只與兩相交光束的夾角有關(guān)，因而所產(chǎn)生結(jié)構(gòu)光的條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳 播距離也將發(fā)生改變（也即參數(shù)可調(diào)）。
[0031] 總體而言，通過本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下有益效 果：
[0032] 本發(fā)明產(chǎn)生的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光具有焦深長、條紋細(xì)、間距小、光強(qiáng)成正弦分布等 特點(diǎn)，且它的測量參數(shù)（條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離）可以根據(jù)不同的測量對 象需求而做出相應(yīng)調(diào)節(jié)，具有很強(qiáng)的適應(yīng)性。
[0033] 本發(fā)明新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法簡易，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)節(jié)方便，關(guān)鍵器件 易于實(shí)現(xiàn)，利用較小的光源可以實(shí)現(xiàn)大面積投影測量，可以適用于測量航空葉片這種表面 曲率跨度很大的自由曲面類零件。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034] 下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，附圖中：
[0035] 圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036] 圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法系統(tǒng)光路示意圖；
[0037] 圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0038] 為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)例僅用以解釋本發(fā)明，并不用 于限定本發(fā)明。
[0039] 圖1顯示了按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)無衍射柵型結(jié)構(gòu)光方法的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1中 所示，主要包括激光器a和空間濾波準(zhǔn)直器b，激光器a用來提供光束，空間濾波準(zhǔn)直器b用 來將激光進(jìn)行空間濾波和準(zhǔn)直，得到較好的平行光。
[0040] 該系統(tǒng)還包括分光棱鏡C以及兩對稱布置的第一平面反射鏡dl和第二平面反射 鏡d2,其中，分光棱鏡c用于將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直器空間濾波和準(zhǔn)直后的平行光分成兩束相干 光，得到第一光束和第二光束；第一平面反射鏡dl和第二平面反射鏡d2分別用于反射第 一光束和第二光束，得到第一光束a和第二光束b，使其在后方以一定的夾角交匯后產(chǎn)生干 涉，形成空間無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋，如圖2所示。
[0041] 本實(shí)施例中，第一平面反射鏡dl和第二平面反射鏡d2主要用來實(shí)現(xiàn)參數(shù)調(diào)節(jié)，可 以改變產(chǎn)生的近似無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的條紋間距、無衍射范圍以及無衍射傳播距離。
[0042] 本發(fā)明較佳實(shí)施例中，由于光路較長，可以優(yōu)選增加兩個按一定角度放置的大型 平面反射鏡el、e2以折疊空間光路。
[0043] 本發(fā)明較佳實(shí)施例中，還可以包括透鏡組合f，用于最后生成的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光 條紋的擴(kuò)束準(zhǔn)直，增大空間無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋的間距，實(shí)現(xiàn)大范圍、寬間距的無衍射柵 型結(jié)構(gòu)光投影。
[0044] 本發(fā)明較佳實(shí)施例中透鏡組合f采用兩個不同焦距的凸透鏡和一個補(bǔ)償透鏡，在 擴(kuò)束的同時實(shí)現(xiàn)光畸變的消除。
[0045] 本發(fā)明較佳實(shí)施例中，該系統(tǒng)設(shè)置在一穩(wěn)定工作臺上，第一平面反射鏡dl和第二 平面反射鏡d2分別固定在第一旋轉(zhuǎn)臺il和第二旋轉(zhuǎn)臺i2上，可沿其中心順、逆時針旋轉(zhuǎn)， 從而調(diào)整結(jié)構(gòu)光的條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離。
[0046] 如圖3所示，本發(fā)明較佳實(shí)施例中，無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法包括以下步驟：
[0047] S101、將激光器發(fā)出的一束光束經(jīng)過空間濾波準(zhǔn)直器進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直；
[0048] S102、通過分光棱鏡將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直后的平行光分為兩束相干光，分別為第一光 束和第二光束；
[0049] S103、通過兩嚴(yán)格對稱布置的平面反射鏡，使兩束相干光分別被兩平面反射鏡反 射得到第一光束a和第二光束b，它們分別以一定的偏折角度向后方一定區(qū)域傳播；
[0050] S104、將該第一光束a和第二光束b交匯產(chǎn)生干涉，從而即可得到無衍射柵型結(jié)構(gòu) 光條紋
[0051] 該步驟中，可以優(yōu)選通過第一個大型平面反射鏡將第一光束a和第二光束b同時 反射，再通過第二個大型平面反射鏡將第一光束a和第二光束b再次反射，折疊光路，最后 第一光束a和第二光束b交匯產(chǎn)生干涉，從而得到無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
[0052] 通過轉(zhuǎn)動連接兩平面反射鏡的旋轉(zhuǎn)臺，使兩平面鏡同向或反向同時轉(zhuǎn)動，可以實(shí) 現(xiàn)無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離的改變，從而實(shí)現(xiàn)參數(shù)調(diào)節(jié)， 當(dāng)順時針轉(zhuǎn)動其中一個旋轉(zhuǎn)臺，逆時針轉(zhuǎn)動另一旋轉(zhuǎn)臺時，兩光束的交匯夾角將減小，相應(yīng) 的條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離將增大。反之，當(dāng)逆時針轉(zhuǎn)動其中一個旋轉(zhuǎn)臺， 順時針轉(zhuǎn)動另一旋轉(zhuǎn)臺時，兩光束的交匯夾角將增大，相應(yīng)的條紋寬度、無衍射范圍及無衍 射傳播距離將減小。該系統(tǒng)所產(chǎn)生無衍射結(jié)構(gòu)光的各參數(shù)大小與兩相交匯光束的夾角成反 比關(guān)系。
[0053] 本發(fā)明的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法的較佳實(shí)施例中，還可以包括步驟：
[0054] S105、將經(jīng)過步驟S104產(chǎn)生的新型無衍射柵型結(jié)構(gòu)光進(jìn)行擴(kuò)束，消除畸變與相 差，得到寬間距無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，以便于測量較大物體的三維形貌，擴(kuò)大應(yīng)用范圍；
[0055] 本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以 限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含 在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其用于生成參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，其特 征在于，該方法具體包括： S101將激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過空間濾波準(zhǔn)直器進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直，形成平行光 束； S102通過分光鏡將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直后的所述平行光束分為兩束相干光； S103通過兩對稱布置且旋轉(zhuǎn)可調(diào)的平面反射鏡，使兩束相干光分別被對應(yīng)的平面反射 鏡反射，得到反射后的第一光束和第二光束； S104使該第一光束和第二光束交匯以產(chǎn)生干涉，并通過旋轉(zhuǎn)平面反射鏡，使通過所述 平面反射鏡反射而相交匯的兩束光束的交匯夾角發(fā)生改變，從而即可獲得參數(shù)可調(diào)的無衍 射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其中，所述可調(diào)的參數(shù)包 括條紋寬度、無衍射范圍及無衍射傳播距離。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其中，所述無衍射柵型 結(jié)構(gòu)光的可調(diào)的各參數(shù)大小與兩相交匯光束的夾角成反比。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其中，所述兩 平面反射鏡的旋轉(zhuǎn)為同時相向或反向的旋轉(zhuǎn)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其中，還包括 對生成的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光的擴(kuò)束準(zhǔn)直步驟，以增大空間衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋的間距，實(shí) 現(xiàn)大范圍、寬間距的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光投影。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)方法，其中，還可以 在交匯前對第一光束和/或第二光束通過反射鏡進(jìn)行光路折疊，以縮短光路長度。
7. -種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置，用于生成參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光，其特征 在于，該裝置包括： 空間濾波準(zhǔn)直器，其用于對激光器發(fā)出的激光光束進(jìn)行空間濾波準(zhǔn)直，以形成平行光 束； 分光鏡，其用于將經(jīng)過濾波準(zhǔn)直后的所述平行光束分為兩束相干光；以及 兩旋轉(zhuǎn)可調(diào)的平面反射鏡，其對稱布置于所述分光鏡兩側(cè)，以用于對所述兩束相干光 分別進(jìn)行反射，從而得到反射后的第一光束和第二光束；通過使該第一光束和第二光束交 匯以產(chǎn)生干涉，并通過旋轉(zhuǎn)所述平面反射鏡，使通過所述平面反射鏡反射而相交匯的兩束 光束的交匯夾角發(fā)生改變，從而即可獲得參數(shù)可調(diào)的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置，其中，所述兩平面反射鏡 中，第一平面反射鏡和第二平面反射鏡分別固定于透鏡架上，該透鏡架上設(shè)有用于分別對 平面反射鏡進(jìn)行上下和左右方向進(jìn)行微調(diào)的旋鈕，所述透鏡架通過支桿和支架連接于旋轉(zhuǎn) 臺上，該旋轉(zhuǎn)臺以一定夾角嚴(yán)格對稱布置于分光棱鏡分光面兩側(cè)，并可沿其中心旋轉(zhuǎn)，從而 可實(shí)現(xiàn)對所述兩平面反射鏡旋轉(zhuǎn)角度的調(diào)整。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置，其中，該裝置還可以包 括透鏡組合，用于生成的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光條紋的擴(kuò)束準(zhǔn)直，以增大空間衍射柵型結(jié)構(gòu)光 條紋的間距，實(shí)現(xiàn)大范圍、寬間距的無衍射柵型結(jié)構(gòu)光投影。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7-9中任一項所述的一種無衍射柵型結(jié)構(gòu)光實(shí)現(xiàn)裝置，其中，該裝置 還可以包括兩個按一定角度放置的大型平面反射鏡，以用于折疊空間光路，從而縮短光路 長度。
【文檔編號】G01B11/25GK104111531SQ201410260228
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月11日
【發(fā)明者】周莉萍, 周芳媛, 徐龍, 朱亞, 程亞峰 申請人:華中科技大學(xué)