晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，包括：上板合件、下板合件以及連接機構(gòu)，其中上板合件與下板合件之間通過支撐軸支撐，連接機構(gòu)安裝于上板合件和下板合件之間，上板合件)端部設(shè)有調(diào)整手輪，調(diào)整手輪通過連接結(jié)構(gòu)帶動上板合件繞支撐軸旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明通過調(diào)整達到上板合件的角度微調(diào)變化，結(jié)構(gòu)調(diào)整簡單、方便，時間短，提高了設(shè)備使用的效率，保證了角度的微調(diào)，提高了儀器測量的準確性。
【專利說明】晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種微調(diào)傾斜臺，具體的說是一種晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺。

【背景技術(shù)】
[0002] 晶體定向儀是藍寶石毛坯晶坨加工成C(或A、M、R)晶向的晶棒方向準確定向的專 用儀器。以多角度藍寶石晶坨掏棒定向儀為例，是由升降傳動機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、傾斜機構(gòu)、測 角儀、數(shù)據(jù)計算裝置及控制裝置所組成。由于傾斜機構(gòu)是藍寶石晶坨掏棒定向儀中關(guān)鍵的 裝置，直接影響晶棒的C(或A、M、R)晶向及晶棒測量和運動后測量能否保持穩(wěn)定的角度。 由于需要測量C(或A、M、R)晶向，而每個晶向的測量角度不同，現(xiàn)階段傾斜機構(gòu)主要通過 扳手旋轉(zhuǎn)頂絲桿調(diào)整晶坨測量面相對于水平面的方向，因為是空間角度，所以需要圓周分 布的多個頂絲桿來調(diào)整晶坨測量面的角度變化，這樣結(jié)構(gòu)調(diào)整費時、費力、影響了設(shè)備的使 用效率，而且不容易保證角度的穩(wěn)定。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對現(xiàn)有技術(shù)中晶體定向儀的傾斜機構(gòu)存在調(diào)整費時、影響設(shè)備的使用效率，無 法保證角度穩(wěn)定等不足，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種組裝調(diào)整方便、故障率低、重 復(fù)定位精度1?且設(shè)備使用效率1?的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺。
[0004] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：
[0005] 本發(fā)明晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺包括：上板合件、下板合件以及連接機構(gòu)， 其中上板合件與下板合件之間通過支撐軸支撐，連接機構(gòu)安裝于上板合件和下板合件之 間，上板合件端部設(shè)有調(diào)整手輪，調(diào)整手輪通過連接結(jié)構(gòu)帶動上板合件繞支撐軸旋轉(zhuǎn)。
[0006] 所述連接機構(gòu)包括兩個擺動板、下螺釘軸以及上螺釘軸，其中下螺釘軸穿過第一 擺動板轉(zhuǎn)動連接于下板合件上，第二擺動板通過上螺釘軸（45)與上板合件進行轉(zhuǎn)動連接。
[0007] 所述連接機構(gòu)還包括兩個軸承座和軸承，上板合件的前軸通過兩個軸承座和軸承 進行轉(zhuǎn)動連接，形成上板合件旋轉(zhuǎn)的支撐軸。
[0008] 所述上板合件包括上板以及調(diào)整機構(gòu)，其中調(diào)整機構(gòu)安裝在上板的下端面上，具 有絲杠、絲母以及燕尾軌道，其中燕尾軌道安裝在上板的下端面，絲杠兩端通過絲杠前座與 絲杠后座固定在上板的下端面上對應(yīng)燕尾軌道的部位，調(diào)整手輪固定安裝在絲杠的一端， 絲母以燕尾軌道為導(dǎo)向，在絲杠上做直線運動。
[0009] 所述上板合件還包括兩個尾座，其安裝于上板合件下端面一側(cè)兩端，位置與下板 合件中的兩個后軸座分別對應(yīng)。
[0010] 所述下板合件包括鎖緊手輪、后軸座、下板、后軸、前軸座、前軸以及中定位板、邊 定位板，其中后軸和前軸分別通過兩端的后軸座及前軸座固定在下板上，邊定位板和中定 位板固定在下板上，通過連接結(jié)構(gòu)與上板形成連接；
[0011] 所述后軸和前軸兩端均設(shè)有鎖緊手輪、后軸、后軸座與上板合件中的尾座通過鎖 緊手輪鎖緊，前軸座與連接機構(gòu)中的軸承座通過鎖緊手輪鎖緊。
[0012] 本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點：
[0013] 1.本發(fā)明通過前軸和前軸座的支撐，利用絲杠絲母的相對移動、燕尾軌道的導(dǎo)向 以及連接結(jié)構(gòu)的無間隙轉(zhuǎn)動配合連接，達到上板合件的角度微調(diào)變化，結(jié)構(gòu)調(diào)整簡單、方 便，時間短，提高了設(shè)備使用的效率。
[0014] 2.本發(fā)明由于絲杠和絲母的相對位移可以很小，保證了角度的微調(diào)。
[0015] 3.本發(fā)明通過前軸和后軸兩端四個鎖緊手輪保證調(diào)整后的上板合件角度不發(fā)生 變化，使得被測量的晶棒測量面角度穩(wěn)定，提高了儀器測量的準確性。
[0016] 4.本發(fā)明工藝簡單、組裝調(diào)整方便、故障率低、維修方便、重復(fù)定位精度高，外表美 觀并具提高了設(shè)備使用效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017] 圖1為本發(fā)明的手動微調(diào)傾斜臺結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖2為本發(fā)明的上板合件俯視圖；
[0019] 圖3為本發(fā)明的上板合件主視剖面圖；
[0020] 圖4為本發(fā)明的下板合件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖5為本發(fā)明的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 其中，1為下板合件,11為前軸，12為前軸座，13為后軸，14為下板,15為后軸座， 16為鎖緊手輪,17為邊定位板,18為中定位板,2為上板合件,21為支撐軸承,22為絲杠,23 為絲母，24為燕尾軌道,25為絲桿前座,26為調(diào)整手輪,27為上板,28為尾座,3為螺釘,4為 連接機構(gòu)，41 a為第一擺動板,4lb為第二擺動板,42為軸承,43為軸承座,44為下螺釘軸,45 為上螺釘軸。

【具體實施方式】
[0023] 下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明作進一步闡述。
[0024] 本發(fā)明提出晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，上、下板合件通過中間支撐軸為中 心，手動旋轉(zhuǎn)達到上板傾斜的微調(diào)，通過兩端的鎖緊機構(gòu)可以保證傾斜角度的穩(wěn)定。
[0025] 如圖1所示，本發(fā)明晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺包括：上板合件2、下板合件1 以及連接機構(gòu)4,其中上板合件2與下板合件1之間通過支撐軸支撐，連接機構(gòu)4安裝于上 板合件2和下板合件1之間，上板合件2端部設(shè)有調(diào)整手輪26,調(diào)整手輪26通過連接結(jié)構(gòu) 4帶動上板合件2繞支撐軸旋轉(zhuǎn)，達到上板合件2角度變化，使得被測量的晶棒面產(chǎn)生角度 變化。
[0026] 如圖2、3所示，上板合件2包括上板27以及調(diào)整機構(gòu)，其中調(diào)整機構(gòu)安裝在上板 27的下端面上，具有絲杠22、絲母23以及燕尾軌道24,其中燕尾軌道24安裝在上板27的 下端面，絲杠22兩端通過絲杠前座25與絲杠后座20固定在上板27的下端面上對應(yīng)燕尾 軌道24的部位，調(diào)整手輪26固定安裝在絲杠22的一端，絲母23以燕尾軌道24為導(dǎo)向，在 絲杠22上做直線運動；上板合件2還包括兩個尾座28,其安裝于上板合件2下端面一側(cè)兩 端，位置與下板合件1中的兩個后軸座15分別對應(yīng)。
[0027] 如圖4所示，下板合件1包括鎖緊手輪16、后軸座15、下板14、后軸13、前軸座12、 前軸11以及中定位板18、邊定位板17,其中后軸13和前軸11的兩端分別通過后軸座15 及前軸座12固定在下板14上，邊定位板17和中定位板18也固定在下板14上，通過連接 結(jié)構(gòu)4與上板27形成連接；
[0028] 后軸13和前軸11兩端均設(shè)有鎖緊手輪16,后軸13、后軸座15與上板合件2中的 尾座28通過鎖緊手輪16鎖緊，前軸座12與連接機構(gòu)4中的軸承座43通過鎖緊手輪16鎖 緊。通過前軸11和后軸13兩端共四個鎖緊手輪16保證調(diào)整后的上板合件2角度不發(fā)生 變化，使得被測量的晶棒測量面角度穩(wěn)定。提高了儀器測量的準確性。
[0029] 如圖5所示，連接機構(gòu)4包括兩個擺動板41、下螺釘軸（44)以及上螺釘軸45,其 中下螺釘軸44穿過第一擺動板41a轉(zhuǎn)動連接于下板合件1上，第二擺動板41b通過上螺釘 軸45與上板合件2進行轉(zhuǎn)動連接；連接機構(gòu)4還包括兩個軸承座43和軸承42,上板合件2 的前軸11通過兩個軸承座43和軸承42進行轉(zhuǎn)動連接，形成上板合件2旋轉(zhuǎn)的支撐軸。
[0030] 本發(fā)明的工作過程如下：
[0031] 上板合件2與下板合件1通過連接結(jié)構(gòu)4連接，手動扭轉(zhuǎn)調(diào)整手輪26形成以前軸 11和前軸座12為中心旋轉(zhuǎn)微調(diào)角度的上板合件2 ;上板合件2中絲杠22固定在絲杠前座 25與絲杠后座20之間，絲杠前座25與絲杠后座20 -同固定在上板27上，當扭動調(diào)整手 輪26時，調(diào)整手輪26帶動絲杠22轉(zhuǎn)動，絲母23以燕尾軌道24為導(dǎo)向，在絲杠22上形成 穩(wěn)定、無竄動的直線運動；下板合件1中前軸11通過兩端前軸座12、后軸13通過兩端后軸 座15固定在下板14上，在前軸11和后軸13的兩端有鎖緊手輪16,四個手輪可同時鎖緊 前軸11與后軸13的轉(zhuǎn)動，并且固定上板合件2的轉(zhuǎn)動。邊定位板17和中定位板18固定 在下板14上，通過連接結(jié)構(gòu)4與上板27形成連接；連接結(jié)構(gòu)4里下螺釘軸44穿過第一、二 擺動板41a、41b與邊定位板17和中定位板18相連接，下螺釘軸44與邊定位板17和中定 位板18孔配合為無間隙轉(zhuǎn)動配合，這樣第一、二擺動板41a、41b可在邊定位板17與中定 位板18間擺動；第一、二擺動板41a、41b通過上螺釘軸45與絲母23連接，上螺釘軸45在 與絲母23上孔的配合為無間隙轉(zhuǎn)動配合，這樣當絲母23做直線運動時，上螺釘軸45帶動 第一、二擺動板41a、41b繞下螺釘軸44轉(zhuǎn)動；在對應(yīng)前軸11與前軸座12固定下板14的位 置有兩個軸承座43,通過內(nèi)六角圓柱頭螺釘3與上板2相連接，軸承座43中安裝有深溝球 軸承42 (本實施例采用深溝球軸承），一同安裝在前軸11上，這樣形成了一個繞前軸11和 兩端軸承座43為中心轉(zhuǎn)動的上板合件2,又因為第一、二擺動板41a、41b連接了上、下板合 件2、1，因此當扭動調(diào)整手輪26,使得上板合件2繞前軸11與軸承座43為中心轉(zhuǎn)動角度， 形成手動微調(diào)傾斜臺裝置。
【權(quán)利要求】
1. 一種晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于包括：上板合件（2)、下板合件 (1) 以及連接機構(gòu)（4)，其中上板合件（2)與下板合件（1)之間通過支撐軸支撐，連接機構(gòu) (4)安裝于上板合件（2)和下板合件（1)之間，上板合件（2)端部設(shè)有調(diào)整手輪（26)，調(diào)整 手輪（26)通過連接結(jié)構(gòu)（4)帶動上板合件（2)繞支撐軸旋轉(zhuǎn)。
2. 按權(quán)利要求1所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述連接機構(gòu) (4)包括兩個擺動板、下螺釘軸（44)以及上螺釘軸（45)，其中下螺釘軸（44)穿過第一擺動 板（41a)轉(zhuǎn)動連接于下板合件（1)上，第二擺動板（41b)通過上螺釘軸（45)與上板合件 (2) 進行轉(zhuǎn)動連接。
3. 按權(quán)利要求1所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述連接機構(gòu) (4)還包括兩個軸承座（43)和軸承（42)，上板合件（2)的前軸（11)通過兩個軸承座（43) 和軸承（42)進行轉(zhuǎn)動連接，形成上板合件（2)旋轉(zhuǎn)的支撐軸。
4. 按權(quán)利要求1所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述上板合件 (2)包括上板（27)以及調(diào)整機構(gòu)，其中調(diào)整機構(gòu)安裝在上板（27)的下端面上，具有絲杠 (22)、絲母（23)以及燕尾軌道（24)，其中燕尾軌道（24)安裝在上板（27)的下端面，絲杠 (22)兩端通過絲杠前座（25)與絲杠后座（20)固定在上板（27)的下端面上對應(yīng)燕尾軌道 (24)的部位，調(diào)整手輪（26)固定安裝在絲杠（22)的一端，絲母（23)以燕尾軌道（24)為導(dǎo) 向，在絲杠（22)上做直線運動。
5. 按權(quán)利要求4所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述上板合件 (2)還包括兩個尾座（28)，其安裝于上板合件（2)下端面一側(cè)兩端，位置與下板合件（1)中 的兩個后軸座（15)分別對應(yīng)。
6. 按權(quán)利要求1所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述下板合件 (1)包括鎖緊手輪（16)、后軸座（15)、下板（14)、后軸（13)、前軸座（12)、前軸（11)以及中 定位板（18)、邊定位板（17)，其中后軸（13)和前軸（11)分別通過兩端的后軸座（15)及前 軸座（12)固定在下板（14)上，邊定位板（17)和中定位板（18)固定在下板（14)上，通過 連接結(jié)構(gòu)（4)與上板（27)形成連接。
7. 按權(quán)利要求6所述的晶體定向儀中的手動微調(diào)傾斜臺，其特征在于：所述后軸（13) 和前軸（11)兩端均設(shè)有鎖緊手輪（16)、后軸（13)、后軸座（15)與上板合件（2)中的尾座 (28)通過鎖緊手輪（16)鎖緊，前軸座（12)與連接機構(gòu)（4)中的軸承座（43)通過鎖緊手輪 (16)鎖緊。
【文檔編號】G01N23/207GK104111262SQ201410373760
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月1日
【發(fā)明者】劉川, 張所峰, 王勇, 胡婷婷 申請人:丹東通達科技有限公司