壓力檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種壓力檢測(cè)裝置，其可減輕調(diào)整磁傳感器時(shí)的負(fù)擔(dān)，該壓力檢測(cè)裝置(1)包括：可根據(jù)第1空間(S1)內(nèi)的壓力而變形的隔膜(5)；可根據(jù)隔膜(5)的變形而移動(dòng)的移動(dòng)部件(7)；與移動(dòng)部件(7)一同移動(dòng)的磁體(13)；和磁傳感器(12)。磁傳感器(12)包括可檢測(cè)磁體的磁束朝向的巨磁阻元件?？衫玫?調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整磁體(13)和磁傳感器(12)在移動(dòng)部件(7)的移動(dòng)方向上的相對(duì)位置，并可利用第2調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整磁體(13)和磁傳感器(12)在移動(dòng)部件(7)的移動(dòng)方向和與連結(jié)磁體(13)各極的方向交差的方向上的相對(duì)位置。
【專利說(shuō)明】壓力檢測(cè)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種壓力檢測(cè)裝置，尤其涉及一種通過(guò)利用磁傳感器對(duì)因壓力變化而移動(dòng)的磁體的磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，而進(jìn)行壓力檢測(cè)的壓力檢測(cè)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有如下所述的壓力檢測(cè)裝置，其在由隔膜(Diaphragm)隔開(kāi)的空間內(nèi)連通作為壓力檢測(cè)對(duì)象的流體，使隔膜在壓力變化下產(chǎn)生變形，并根據(jù)該變形量檢測(cè)壓力(請(qǐng)參考例如專利文獻(xiàn)I)。該壓力檢測(cè)裝置包括，作為磁傳感器的霍爾1C、固定在與該霍爾IC對(duì)置的位置處的永磁體、相對(duì)于霍爾IC安裝在永磁體相反側(cè)的盤(plate)。該盤是將I片鐵板和兩片樹(shù)脂板層疊而成。使鐵板相對(duì)于各樹(shù)脂板的位置不同，而準(zhǔn)備3種盤，通過(guò)選擇安裝任一種的盤，來(lái)改變霍爾IC與鐵板的距離。對(duì)于該裝置，在進(jìn)行調(diào)整以使多個(gè)制品具有一定的輸出特性時(shí)，根據(jù)各制品的輸出特性而改變盤的種類，或調(diào)整霍爾IC與鐵板的距離，或不安裝盤。
[0003][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0004][專利文獻(xiàn)]
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利公報(bào)第5027191號(hào)公報(bào)
[0006]然而，在上述壓力檢測(cè)裝置中，為了使霍爾IC的輸出特性一定，就必須要有多種盤，使盤與壓力檢測(cè)裝置彼此分開(kāi)，因盤丟失或損傷，造成管理負(fù)擔(dān)的問(wèn)題。另外，為了調(diào)整霍爾IC和鐵板的距離，除了需要卸下已安裝的盤的作業(yè)外，還需要保管卸下的盤等作業(yè)，以及安裝另一盤的作業(yè)，存在調(diào)整中作業(yè)性差的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明有鑒于上述情形，其目的在于提供一種壓力檢測(cè)裝置，其能夠減輕對(duì)磁傳感器進(jìn)行調(diào)整時(shí)的負(fù)擔(dān)。
[0008]本發(fā)明的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，包括:箱體，具有能夠使流體流入流出的連通部；隔膜，隔開(kāi)該箱體而形成第I空間和第2空間，能夠根據(jù)與所述連通部連通的第I空間內(nèi)的壓力而變形；移動(dòng)部件，配置于所述第2空間，能夠根據(jù)所述隔膜的變形而移動(dòng)；施力部件，能夠變形地支撐所述隔膜；磁體，與所述移動(dòng)部件一同移動(dòng)；和磁傳感器，配置于所述第2空間，檢測(cè)來(lái)自所述磁體的磁場(chǎng)，所述磁體被磁化為在與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差的方向上成為異極，所述壓力檢測(cè)裝置具有第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第I方向上的相對(duì)位置，所述第I方向是沿著所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向的方向，所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第2方向上的相對(duì)位置，所述第2方向是與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差且與連結(jié)所述磁體的各極的方向交差的方向，所述磁傳感器包括能夠檢測(cè)磁束的朝向的巨磁阻元件。
[0009]根據(jù)上述壓力檢測(cè)裝置，由于使用檢測(cè)磁束朝向的巨磁阻元件作為磁傳感器，因此能夠不受磁體磁場(chǎng)強(qiáng)弱的影響，準(zhǔn)確地檢測(cè)磁體位置。由此，不必如現(xiàn)有的裝置那樣準(zhǔn)備多種盤，既能夠利用各調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整磁傳感器和磁體的相對(duì)位置，并且不需要更換盤的作業(yè)等，能夠減輕調(diào)整的負(fù)擔(dān)。另外，由于能夠利用第2調(diào)整機(jī)構(gòu)在移動(dòng)部件的移動(dòng)方向和與連結(jié)磁體各極的方向交差的方向上調(diào)整磁體和磁傳感器的相對(duì)位置，因此能夠調(diào)整輸出電壓相對(duì)于所檢測(cè)的壓力的變化特性(單位壓力下的輸出電壓)。由此，能夠使多個(gè)制品的輸出特性恒定。
[0010]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選具有保持所述磁體的保持部件，所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)包括:柱狀部，與所述移動(dòng)部件相連設(shè)置，在外周形成有外螺紋；和螺紋部件，支撐所述保持部件，并且形成有與所述柱狀部咬合的內(nèi)螺紋，通過(guò)使所述柱狀部與所述螺紋部件相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，使該螺紋部件在所述柱狀部的軸線方向上移動(dòng)，從而能夠調(diào)整所述保持部件和所述磁體在所述第I方向上的位置。
[0011]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)包含相對(duì)于所述柱狀部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐所述保持部件的所述螺紋部件而構(gòu)成，利用所述保持部件的該轉(zhuǎn)動(dòng)，來(lái)調(diào)整所述磁體在所述第2方向上相對(duì)于所述磁傳感器的位置。此時(shí)，通過(guò)由螺紋部件能夠旋轉(zhuǎn)地支撐保持部件而構(gòu)成第2調(diào)整機(jī)構(gòu)，由此，也能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)調(diào)整磁體的位置。
[0012]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述保持部件具有貫通部，所述柱狀部能夠相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)地插通該貫通部，所述螺紋部件具有插通并卡止于所述貫通部的卡止片，通過(guò)該卡止片與所述保持部件卡止，限制所述保持部件相對(duì)于所述螺紋部件向所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向的移動(dòng)。此時(shí)，由于螺紋部件具有卡止保持部件的卡止片，因此，能夠使保持部件和磁體與螺紋部件一體地向柱狀部的延伸方向(軸線方向)移動(dòng)，容易進(jìn)行基于第I調(diào)整機(jī)構(gòu)的位置調(diào)整。另外，能夠?qū)⑦@兩個(gè)部件作為一個(gè)部件來(lái)處理，而容易將其安裝于柱狀部。
[0013]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有突出部，該突出部形成于所述保持部件，并向與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差的方向突出。此時(shí)，通過(guò)對(duì)突出部作用力，能夠容易地使保持部件旋轉(zhuǎn)，容易進(jìn)行基于第2調(diào)整機(jī)構(gòu)的位置調(diào)整。
[0014]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述保持部件的第2殼體，所述第2殼體具有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地引導(dǎo)所述螺紋部件的筒狀的引導(dǎo)部和使所述保持部件露出到所述第2殼體的外部的開(kāi)口部。此時(shí)，利用引導(dǎo)部引導(dǎo)螺紋部件旋轉(zhuǎn)，因而在該旋轉(zhuǎn)作用下平順地進(jìn)行第I調(diào)整機(jī)構(gòu)的位置調(diào)整。另外，能夠經(jīng)開(kāi)口部從第2殼體外部容易地進(jìn)行操作來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)保持部件。
[0015]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選在利用所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行了調(diào)整后，利用粘接劑以不能相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)且不能相對(duì)移動(dòng)的方式固定所述柱狀部、保持部件和螺紋部件。此時(shí)，能夠防止在利用各調(diào)整機(jī)構(gòu)完成調(diào)整后，輸出特性發(fā)生不希望的變化。
[0016]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述施力部件由設(shè)置于所述第I空間的板簧構(gòu)成。此時(shí)，由于不必將用于支撐隔膜的彈簧設(shè)置在第2空間，因此能夠緩和在第2空間中對(duì)保持部件及螺紋部件安裝位置的限制等，能夠有效利用第2空間，并且能夠容易地利用各調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整作業(yè)。
[0017]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有對(duì)搭載有所述磁傳感器的基板加以支撐的支撐部件，通過(guò)使該支撐部件在與所述磁體對(duì)置的平面內(nèi)移動(dòng)，來(lái)調(diào)整所述磁體與所述磁傳感器的相對(duì)位置。此時(shí)，能夠通過(guò)移動(dòng)支撐部件而利用第2調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整磁體和磁傳感器的相對(duì)位置，能夠調(diào)整壓力和輸出電壓的變化特性。由此，例如通過(guò)將支撐部件設(shè)置于箱體，能夠提高第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)的獨(dú)立性，簡(jiǎn)化基于各調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整。
[0018]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有與所述支撐部件相連設(shè)置的第I螺紋和與該第I螺紋咬合的第2螺紋，通過(guò)旋轉(zhuǎn)該第2螺紋并移動(dòng)所述第I螺紋，來(lái)調(diào)整所述支撐部件的位置。此時(shí)，由于第2調(diào)整機(jī)構(gòu)使用第I螺紋和第2螺紋的螺合結(jié)構(gòu)來(lái)調(diào)整支撐部件的位置，因此能夠容易地對(duì)支撐部件的位置進(jìn)行微調(diào)。
[0019]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選在所述支撐部件的側(cè)部設(shè)置有彈簧部件，利用該彈簧部件，所述支撐部件被向與所述磁體對(duì)置的平面內(nèi)的移動(dòng)方向施力。此時(shí)，由于利用彈簧部件對(duì)支撐部件施加力，因此能夠防止第I螺紋和第2螺紋的晃動(dòng)，能夠?qū)⒅尾考呔榷ㄎ挥谡{(diào)整后的位置。
[0020]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述施力部件具有:設(shè)置于所述第I空間，并向所述第2空間側(cè)對(duì)所述隔膜施力的第I施力體；和設(shè)置于所述第2空間，經(jīng)由所述移動(dòng)部件向所述第I空間側(cè)對(duì)所述隔膜施力的第2施力體。此時(shí)，由于設(shè)置第I施力體和第2施力體這兩個(gè)施力體，因此，能夠測(cè)定第I空間中的正壓和負(fù)壓兩方。能夠通過(guò)變更施力體，來(lái)匹配想要測(cè)定的壓力。
[0021]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述磁體保持于所述移動(dòng)部件，所述第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有形成于所述箱體的內(nèi)螺紋部和形成有與該內(nèi)螺紋部咬合的外螺紋部的螺紋體，利用該螺紋體和所述移動(dòng)部件夾持著所述第2施力體。此時(shí)，能夠利用螺紋體的旋轉(zhuǎn)操作容易地對(duì)保持于移動(dòng)部件的磁體位置進(jìn)行調(diào)整。
[0022]在上述壓力檢測(cè)裝置中，優(yōu)選所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述移動(dòng)部件的第2殼體，所述第2殼體具有使所述螺紋體露出于該第2殼體的外部的開(kāi)口部。此時(shí)，能夠經(jīng)開(kāi)口部從第2殼體外部容易地進(jìn)行操作來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋體。
[0023][發(fā)明效果]
[0024]根據(jù)本發(fā)明，能夠減輕在對(duì)磁傳感器輸出變化特性進(jìn)行調(diào)整時(shí)的負(fù)擔(dān)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1是第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的分解立體圖。
[0026]圖2是上述第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的剖視圖。
[0027]圖3是組裝上述第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置后的狀態(tài)的立體圖。
[0028]圖4是上述第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置中下殼體的立體圖。
[0029]圖5A、圖5B是說(shuō)明磁傳感器和磁體的位置關(guān)系的圖，圖5C、圖是表不磁傳感器的輸出與第I空間的壓力的關(guān)系的圖表。
[0030]圖6是第2實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的分解立體圖。
[0031]圖7是上述第2實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的剖視圖。
[0032]圖8是組裝上述第2實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置后的狀態(tài)的立體圖。
[0033]圖9是上述第2實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置中下殼體的立體圖。
[0034]符號(hào)說(shuō)明:
[0035]1:壓力檢測(cè)裝置，
[0036]2:箱體，
[0037]3:上殼體(第I殼體)，
[0038]34:連通部，
[0039]4:下殼體(第2殼體)，
[0040]45:引導(dǎo)部，
[0041]5:隔膜(diaphragm),
[0042]6:施力部件，
[0043]7:移動(dòng)部件，
[0044]71:柱狀部，
[0045]8:保持部件，
[0046]81:貫通部，
[0047]83:突出部，
[0048]9:螺紋部件，
[0049]93:卡止片，
[0050]12:磁傳感器，
[0051]13:磁體，
[0052]Ml:第 I 開(kāi)口部，
[0053]S1:第 I 空間，
[0054]S2:第 2 空間，
[0055]Ia:壓力檢測(cè)裝置，
[0056]120:箱體，
[0057]130:上殼體(第I殼體)，
[0058]139:連通部，
[0059]140:下殼體(第2殼體)，
[0060]148:內(nèi)螺紋部，
[0061]148a:開(kāi)口部，
[0062]150:隔膜，
[0063]160:施力部件，
[0064]161:第I螺旋彈簧(第I施力體)，
[0065]162:第2螺旋彈簧(第2施力體)，
[0066]170:移動(dòng)部件，
[0067]190:螺紋體，
[0068]191:外螺紋部，
[0069]202:磁傳感器，
[0070]210:支撐部件，
[0071]213:第 I 螺紋，
[0072]215:第 2 螺紋，
[0073]230:磁體，
[0074]Sla:第 I 空間，
[0075]S2a:第 2 空間。

【具體實(shí)施方式】
[0076]下表面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】。本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置是，例如在洗衣機(jī)等中，對(duì)隨水位變化的空氣收集器(airtrap)壓力進(jìn)行檢測(cè)時(shí)所使用的壓力檢測(cè)裝置。而且，本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置的用途不限定于此，可應(yīng)用于任何裝置的壓力檢測(cè)。
[0077]圖1是本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I的分解立體圖。圖2是本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I的剖視圖。圖3是表示本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I的外觀的立體圖。以下，為了便于說(shuō)明，分別稱圖1中所示上下方向和左右方向?yàn)椤皦毫z測(cè)裝置I的上下方向”和“壓力檢測(cè)裝置I的左右方向”。另外，稱圖1中所示紙面向外側(cè)為“壓力檢測(cè)裝置I的前側(cè)”，稱圖1中所示紙面向里側(cè)為“壓力檢測(cè)裝置I的后側(cè)”。
[0078]如圖1?圖3所示，本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I具有構(gòu)成箱體2的上殼體(第I殼體)3和下殼體(第2殼體)4，箱體2內(nèi)部由隔膜5隔開(kāi)，形成第I空間SI和第2空間S2 (參照?qǐng)D2)。上殼體3和下殼體4夾著隔膜5和施力部件6的各外周側(cè),通過(guò)使下殼體4的卡合凸部41與上殼體3的卡合孔31卡合而使其形成為一體。在隔膜5的下表面?zhèn)劝惭b有移動(dòng)部件7，在移動(dòng)部件7的柱狀部71安裝有保持部件8和螺紋部件9。另外，在下殼體4中保持有基板10。而且，上殼體3、下殼體4、移動(dòng)部件7、保持部件8和螺紋部件9例如是通過(guò)成型絕緣性的樹(shù)脂材料制成的。
[0079]上殼體3為向下方側(cè)開(kāi)口的蓋形，在內(nèi)部形成第I空間SI。上殼體3的頂壁部32形成俯視圓形，并形成有從其周圍向下方側(cè)延伸的側(cè)壁部33。側(cè)壁部33形成圓筒形，其周向隔規(guī)定間隔形成多個(gè)上述卡合孔31。在側(cè)壁部33內(nèi)周的上部位置形成有下側(cè)開(kāi)放的周槽33a (請(qǐng)參考圖2)。在周槽33a的相鄰位置處形成有向下方突出，并與施力部件6的上表面接觸突出部33b。另外，在側(cè)壁部33的外周面，相連設(shè)置有向外側(cè)(右側(cè))延伸的管狀的連通部34，連通部34與第I空間SI連通。對(duì)連通部34連接未圖示的配管，使來(lái)自外部的作為測(cè)定對(duì)象的空氣(氣體)通過(guò)。因而，檢測(cè)壓力空氣經(jīng)連通部34流入或流出第I空間SI。
[0080]下殼體4為向上方側(cè)開(kāi)口的容器形狀，在內(nèi)部形成第2空間S2。下殼體4的周壁部42形成為大致圓筒形。在周壁部42的上端向上方突出形成環(huán)形的筋42a，筋42a插入上殼體3的周槽33a內(nèi)(請(qǐng)參考圖2)。在周壁部42的筋42a的下部?jī)?nèi)面?zhèn)刃纬捎休d置隔膜5和施力部件6的、由臺(tái)階部構(gòu)成的載置部42b。在周壁部42的外周面，且與上殼體3的卡合孔31對(duì)應(yīng)的位置處形成有多個(gè)上述卡合凸部41?？ê贤共?1卡合在其下部區(qū)域的外周緣與卡合孔31的下部?jī)?nèi)周緣接觸的狀態(tài)下，由此，限制上殼體3相對(duì)于下殼體4上升，并限制兩者在周向發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0081]圖4是從上方觀察下殼體4的簡(jiǎn)要立體圖。如圖4所示，周壁部42內(nèi)周面形成為沿著圓筒的形狀。在周壁部42的下端側(cè)形成底壁部43，底壁部43在上表面?zhèn)染哂卸喾N臺(tái)階。在底壁部43的左側(cè)，且與周壁部42之間形成方形的第I開(kāi)口部Ml。另外，在底壁部43的右側(cè)，且與周壁部42之間形成方形的第2開(kāi)口部M2。從下殼體4的下側(cè)觀察，第I開(kāi)口部Ml使位于第2空間S2內(nèi)的保持部件8露出于外部(請(qǐng)參考圖2)。在第2開(kāi)口部M2的前后兩側(cè)分別形成有沿上下方向延伸的保持槽44。在保持槽44內(nèi)部插入并保持基板10的端部。而且，周壁部42的內(nèi)周面并非完全的圓筒面，可以是在呈圓筒形的面上形成若干凹陷等而成的形狀。
[0082]在底壁部43的俯視中央位置形成有沿上下方向延伸圓筒形的引導(dǎo)部45。在引導(dǎo)部45內(nèi)部插入螺紋部件9，以順暢地引導(dǎo)螺紋部件9的上下移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)。在引導(dǎo)部45的前后兩側(cè)分別相連設(shè)置有沿上下方向延伸的棱柱部46，在各棱柱部46上形成有引導(dǎo)槽46a。在引導(dǎo)槽46a內(nèi)部插入移動(dòng)部件7的后述的引導(dǎo)凸部72d。
[0083]隔膜5例如由橡膠等彈性材料成形。如圖2所示，隔膜5具有與移動(dòng)部件7上表面彼此面接觸的圓盤形的基部51。在該基部51的上表面中央位置處，向上方突出設(shè)置有突出部51a，該突出部51a的形狀為，在上端具有形成有錐面的法蘭部51b。另外，在基部51上表面且圍繞突出部51a的位置處突出設(shè)置有圓環(huán)形筋51c。圓環(huán)形筋51c的高度略小于法蘭部51b的下端。由此，可利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端從上下方向夾住并保持施力部件6的第I部分61。在基部51的下表面形成有多個(gè)卡合突部51d，各卡合突部51d可與移動(dòng)部件7的后述卡合孔72c嵌合。
[0084]隔膜5在其外周具有周緣部52，利用上殼體3的突出部33b和下殼體4的載置部42b夾持該周緣部52，使其固定于箱體2。周緣部52和基部51之間，由厚度小于基部51的薄壁部53相連。在圖2的剖視圖中，薄壁部53向第2空間S2側(cè)以凸形狀突出，呈U字形折回的形狀，而在其下部區(qū)域形成折回部53a。薄壁部53可利用基部51的上下運(yùn)動(dòng)，使折回部53a的位置在上下方向上移位而變形。設(shè)定薄壁部53的厚度和硬度，以使得不會(huì)因上述變形而產(chǎn)生反作用力。
[0085]施力部件6由俯視外形呈圓形的板簧構(gòu)成，其配置在第I空間SI。施力部件6具有形成其中央?yún)^(qū)域的第I部分61。在第I部分61的面內(nèi)中央位置形成有使隔膜5的突出部51a通過(guò)的圓孔61a。在使突出部51a貫通于圓孔61a內(nèi)時(shí),第一部分61承載于圓環(huán)形筋51c上端，而利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端夾住第I部分61。而且，在本實(shí)施方式中，使承載并支撐第I部分61的突出部為圓環(huán)形筋51c，但只要是能夠支撐第I部分61的形狀，其并不限于圓環(huán)形。例如，也可以在突出部51a周圍設(shè)置呈圓形或多邊形的多個(gè)突出部。
[0086]施力部件6具有形成其外周側(cè)區(qū)域的圓環(huán)形的第2部分62。第2部分62與隔膜5的周緣部52 —同被上殼體3的突出部33b和下殼體4的載置部42b夾持，而與箱體2固定。在第2部分62和第I部分61之間相連設(shè)置有可彈性形變的變形部63。在第I部分61的周向每90°間隔的4處位置形成變形部63，并且僅各個(gè)朝向不同，而平面形狀相同。俯視時(shí)，變形部63從第I部分61的外緣向第2部分62的內(nèi)緣蜿蜒延伸。變形部63可從圖2所示狀態(tài)，使第I部分61向上方和下方的任一方向移位而發(fā)生彈性形變，與該移位量成比例，對(duì)第I部分61施加與移位方向相反方向的力。另外，變形部63被配置為,在使第I部分61支撐于圓環(huán)形筋51c上而與隔膜5固定，并且第2部分62與箱體2固定的狀態(tài)下，與隔膜5的基部51分離。
[0087]移動(dòng)部件7具有與基部51的下表面和薄壁部53面接觸的移動(dòng)體72。移動(dòng)體72具有俯視呈圓形的本體板72a，和連接于該本體板72a的外周，向下方延伸的垂下部72b。在本體板72a相連設(shè)置有從下表面中央位置向下方延伸的柱狀部71，在柱狀部71的外周面形成有外螺紋71a。在本體板72a表面內(nèi)，于4個(gè)位置形成有卡合孔72c，該卡合孔72c在使卡合突部51d插入的狀態(tài)下與之卡合，由此使移動(dòng)體72與基部51的下表面固定。在俯視時(shí)，卡合孔72c和卡合突部51d與第I部分61相比位于外側(cè)。垂下部72b位于與下殼體4的周壁部42的內(nèi)周面隔有間隙的位置，在該間隙中配置薄壁部53。在垂下部72b相連設(shè)置有向內(nèi)方突出的一對(duì)引導(dǎo)凸部72d(僅在圖1中示出)。引導(dǎo)凸部72d插入引導(dǎo)槽46a(請(qǐng)參考圖4)內(nèi)，限制移動(dòng)體72周向轉(zhuǎn)動(dòng)，并可在引導(dǎo)槽46a內(nèi)上下方向自由滑動(dòng)。
[0088]保持部件8具有貫通部81，該貫通部81具有內(nèi)部插通柱狀部71的貫通孔81a。貫通孔81a的內(nèi)徑尺寸設(shè)定為不與柱狀部71的外表面接觸，并且貫通孔81a可使柱狀部71和保持部件8繞柱狀部71的軸線相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。在貫通部81右側(cè)形成有下方開(kāi)口的保持凹部82 (請(qǐng)參考圖2)。在保持凹部82中收容保持有后述的磁體13。在貫通部81左側(cè)連接形成有呈臂形的一對(duì)突出部83。各突出部83的突出方向向左，向著與移動(dòng)部件7移動(dòng)的上下方向交差的方向延伸。
[0089]螺紋部件9具有在內(nèi)周面形成內(nèi)螺紋91a的圓筒形的螺合本體91 (請(qǐng)參考圖2)。內(nèi)螺紋91a與柱狀部71的外螺紋71a咬合，使螺合本體91繞柱狀部71的軸線旋轉(zhuǎn)，由此可使螺合本體91沿該軸線方向(上下方向)移動(dòng)。螺合本體91的外徑尺寸設(shè)定為略小于引導(dǎo)部45的內(nèi)徑尺寸。由此，可利用引導(dǎo)部45的內(nèi)周面引導(dǎo)螺合本體91旋轉(zhuǎn)，并引導(dǎo)螺合本體91上下移動(dòng)。在螺合本體91底部形成有六角孔91b，可在該六角孔91b中插入六角扳手等工具對(duì)螺合本體91進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作。在螺合本體91上部形成有支撐保持部件8的支撐部92。支撐部92形成為從螺合本體91上部向外突出的法蘭形，在使貫通部81的下表面接觸的狀態(tài)下，從下方支撐保持部件8。
[0090]在螺合本體91上部向上方突出形成一對(duì)卡止片93。各卡止片93插入到保持部件8的貫通孔81a中，通過(guò)該插通限制保持部件8相對(duì)于螺紋部件9向前后和左右方向移動(dòng)。各卡止片93前端形成為鉤形，可在插通保持部件8的貫通孔81a的狀態(tài)下與貫通部81的上表面卡止。在該卡止?fàn)顟B(tài)下，利用支撐部92和卡止片93從上下方向夾住保持部件8，限制保持部件8相對(duì)于螺紋部件9在上下方向移動(dòng)。由此，螺紋部件9和保持部件8形成為一體化的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，它們可繞螺合本體91的軸線相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在卡止片93的卡止?fàn)顟B(tài)下，利用支撐部92封閉保持凹部82的開(kāi)口側(cè)，使后述的磁體13不能從保持凹部82脫落。而且，在使移動(dòng)部件7和螺紋部件9結(jié)合的狀態(tài)下，螺紋部件9支撐保持部件8，使其可相對(duì)于柱狀部71轉(zhuǎn)動(dòng)。該保持部件8和螺紋部件9構(gòu)成可對(duì)磁體13和磁傳感器12的相對(duì)位置進(jìn)行調(diào)整的后述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0091]基板10被固定在其上半部區(qū)域的前后兩端側(cè)插入到保持槽44內(nèi)的狀態(tài)?；?0經(jīng)線束11與未圖示的外部裝置電連接。在基板10上安裝有磁傳感器12，該磁傳感器12由作為磁阻效應(yīng)元件的一種的巨磁阻(Giant Magneto 一 Resistive:巨磁阻)元件構(gòu)成。對(duì)于巨磁阻元件，作為其基本的結(jié)構(gòu)，在晶片(未圖示)上層疊形成交換偏置層(反強(qiáng)磁性層)、固定層(束縛磁性層)、非磁性層和自由層(自由磁性層)。磁傳感器12設(shè)置為可檢測(cè)由保持部件8保持的磁體13的磁束方向。對(duì)磁體13進(jìn)行磁化，使其在磁傳感器12側(cè)的右側(cè)為N極，在與磁傳感器12側(cè)的相反側(cè)的左側(cè)為S極，在左右方向上極性相反。在此，由磁傳感器12和磁體13構(gòu)成檢測(cè)移動(dòng)部件7移動(dòng)的檢測(cè)單元。
[0092]下面，對(duì)壓力檢測(cè)裝置I的組裝方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，將磁體13插入(壓入)保持部件8的保持凹部82內(nèi)，將各卡止片93插通貫通孔81a而與貫通部81卡止。由此，使保持部件8和螺紋部件9成為一體，由支撐部92封閉保持凹部82而保持磁體13，使其不會(huì)從保持部件8脫落。
[0093]然后，將移動(dòng)部件7與形成為一體的保持部件8和螺紋部件9結(jié)合。在該結(jié)合中，使柱狀部71的前端通過(guò)貫通孔81a內(nèi)，并使外螺紋71a與螺合本體91的內(nèi)螺紋91a咬合結(jié)合。通過(guò)將工具插入六角孔91b并繞柱狀部71軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，可利用該螺紋結(jié)合，使保持部件8和螺紋部件9沿柱狀部71的延伸方向移動(dòng)，即沿軸線方向(上下方向)移動(dòng)。
[0094]另外，對(duì)移動(dòng)部件7從移動(dòng)體72上方覆蓋而安裝隔膜5。在該安裝中，在移動(dòng)體72的卡合孔72c中插入并嵌合隔膜5的卡合突部51d。由此，以基部51和移動(dòng)體72的本體板72a上下重合的方式，使移動(dòng)部件7和隔膜5成為一體。
[0095]在隔膜5的上表面?zhèn)劝惭b施力部件6。在該安裝中，在第I部分61的圓孔61a內(nèi)插入突出部51a，利用圓環(huán)形筋51c的上端和法蘭部51b的下端從上下方向夾住施力部件6。此時(shí)，施力部件6的第2部分62的外周下表面與周緣部52的上表面發(fā)生面接觸，變形部63離開(kāi)基部51的上表面，形成非接觸。
[0096]如上所述，保持部件8 (包含所保持的磁體13)、螺紋部件9、移動(dòng)部件7、隔膜5和施力部件6被組裝成一體，形成組裝的單元，從下殼體4的上方置入該單元。在該置入操作中，在引導(dǎo)部45內(nèi)插入螺合本體91，且形成在引導(dǎo)槽46a中插入移動(dòng)部件7的引導(dǎo)凸部72d的狀態(tài)。另外，進(jìn)行定位，使保持部件8的突出部83位于第I開(kāi)口部Ml的大致正上方，將隔膜5的周緣部52搭在下殼體4的載置部42b上。在該狀態(tài)下，在使上殼體3覆蓋下殼體4的上部區(qū)域后，使卡合凸部41與上殼體3的卡合孔31卡合。由此，作為箱體2，使上殼體3和下殼體4成為一體，并利用載置部42b和上殼體3的突出部33b夾住周緣部52和施力部件6的第2部分62。在該狀態(tài)下,利用施力部件6從上方支撐隔膜5,移動(dòng)部件7,與其螺紋結(jié)合的螺紋部件9和保持于螺紋部件9的保持部件8形成由隔膜5懸吊的狀態(tài)。
[0097]基板10以經(jīng)下殼體4的第2開(kāi)口部M2將其前后兩端側(cè)插入到保持槽44內(nèi)的狀態(tài)被固定。作為該固定的方法，可以壓入到保持槽44，也可以使用粘接劑接合。
[0098]上述壓力檢測(cè)裝置I組裝方法僅表示一個(gè)例子，并不限定于此，對(duì)于組裝順序等可進(jìn)行適當(dāng)變更。只要能夠如圖2和圖3所示，使各組成部件形成組裝后的狀態(tài)，也可以采用各種組裝方法。
[0099]如上所述對(duì)壓力檢測(cè)裝置I進(jìn)行組裝，由上殼體3和隔膜5形成第I空間SI。配置在第I空間SI中的組成部件僅有施力部件6，隔膜5的基部51借助突出部51a和圓環(huán)形筋51c與施力部件6中央位置處的第I部分61固定。
[0100]在對(duì)壓力檢測(cè)裝置I進(jìn)行組裝后的狀態(tài)下，在下殼體4的隔膜5下方形成第2空間S2。在第2空間S2中配置有移動(dòng)部件7、與移動(dòng)部件7螺紋結(jié)合的螺紋部件9、與螺紋部件9卡止的保持部件8和基板10。因此，在第2空間S2中還配置有保持于保持部件8的磁體13和安裝于基板10的磁傳感器12。
[0101]由于在下殼體4形成有第I開(kāi)口部Ml和第2開(kāi)口部M2，因此第2空間S2被設(shè)定為與大氣壓相等。另一方面，在上殼體3的連通部34封閉時(shí)，第I空間SI形成密閉的空間，其壓力因通過(guò)連通部34流入到第I空間SI內(nèi)的空氣而變化。在此，例如圖2所示，在施力部件6的上表面和下表面為水平的狀態(tài)時(shí)，第I空間SI的壓力與大氣壓相等。從該狀態(tài)開(kāi)始，若第I空間Si成為壓力比大氣壓高的正壓，則第I空間SI的容積趨于膨脹，下推基部51的力發(fā)生作用而向下方移位。在該移位的作用下，施力部件6的各變形部63發(fā)生變形，發(fā)生使基部51上升的彈力。然后，基部51向下移位到第I空間SI的壓力與各變形部63的彈力均衡的位置。另外，在第I空間SI形成壓力比大氣壓低的負(fù)壓時(shí)，第I空間SI的容積趨于縮小，因此，提起基部51的力發(fā)生作用而向上方移位。在該移位的作用下，施力部件6的各變形部63發(fā)生變形，發(fā)生使基部51下降的彈力。然后，基部51向上方移位到第I空間SI的壓力與各變形部63的彈力均衡的位置。
[0102]在此，對(duì)于隔膜5，在基部51向上下方向移動(dòng)時(shí)，薄壁部53的折回部53a的位置向上下方向移位而變形。在該變形中，隔膜5的基部51幾乎不發(fā)生變形，僅薄壁部53變形。另外，因基部51上下移動(dòng)，移動(dòng)部件7也以相同的移動(dòng)量上下移動(dòng)，以致經(jīng)由螺紋部件9支撐的保持部件8和其上所保持的磁體13也同樣地上下移動(dòng)。因此，可使磁體13在上下方向上移位，且與第I空間SI的壓力變化成比例，通過(guò)如后述對(duì)該移位量進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)檢測(cè)第I空間SI的壓力。
[0103]下面，對(duì)本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I中的第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和基于第I調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整方法進(jìn)行說(shuō)明。第I調(diào)整機(jī)構(gòu)具有上述的柱狀部71和螺紋部件9，可調(diào)整磁體13和磁傳感器12在移動(dòng)部件7移動(dòng)方向(上下方向)上的相對(duì)位置。在該位置調(diào)整中，首先，在第I開(kāi)口部Ml中插入棒狀的夾具(未圖示)，使夾具插通一對(duì)突出部83之間來(lái)限制保持部件8旋轉(zhuǎn)。由于柱狀部71的外螺紋71a和螺紋部件9的內(nèi)螺紋91a咬合，因此，將工具插入螺紋部件9的六角孔91b進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，由此使螺紋部件9和保持部件8在上下方向移動(dòng)。由于磁體13保持于保持部件8,因此磁體13也與保持部件8 一同在上下方向移動(dòng),從而調(diào)整磁體13相對(duì)于磁傳感器12在上下方向上的相對(duì)位置。而且，由于利用夾具限制保持部件8旋轉(zhuǎn)，因此即使對(duì)螺紋部件9進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，卡止片93也會(huì)在貫通孔81a中空轉(zhuǎn)，而確保保持部件8的朝向，使得磁體13左右方向與磁傳感器12對(duì)置。
[0104]下面，對(duì)本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I中的第2調(diào)整機(jī)構(gòu)和基于第2調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整方法進(jìn)行說(shuō)明。第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的螺紋部件9和保持部件8，其可調(diào)整磁體13和磁傳感器12的相對(duì)位置，該相對(duì)位置是與移動(dòng)部件7的移動(dòng)方向(上下方向)交差的方向，且與連結(jié)磁體13的各極的方向(左右方向)交差的方向，即，前后方向(沿著與圖2的紙面交差的圓弧的方向)。在該位置調(diào)整中，首先，將工具插入六角孔91b，由此可限制螺紋部件9在柱狀部71周向旋轉(zhuǎn)，限制螺紋部件9和磁體13 (保持部件8)上下移動(dòng)。在該狀態(tài)下，將上述夾具插入第I開(kāi)口部M1，利用夾具使突出部83在前后方向移位，從而使保持部件8繞柱狀部71和螺紋部件9的卡止片93旋轉(zhuǎn)。這樣，使保持于保持部件8右端側(cè)的磁體13在前后方向移動(dòng)，而調(diào)整磁體13與磁傳感器12的相對(duì)位置。
[0105]下面，結(jié)合圖5對(duì)磁傳感器12的輸出調(diào)整進(jìn)行說(shuō)明。圖5A和圖5B是說(shuō)明磁傳感器12和磁體13的位置關(guān)系的圖，圖5A是正面圖，圖5B是圖5A的左視圖。另外，圖5C和圖是表不磁傳感器12的輸出和第I空間SI的壓力的關(guān)系的圖表。在本實(shí)施方式中，在制造時(shí)或產(chǎn)品出廠前等利用壓力檢測(cè)裝置I進(jìn)行壓力檢測(cè)之前的階段，在第I空間SI和第2空間S2壓力相等的狀態(tài)下進(jìn)行磁傳感器12的輸出調(diào)整。
[0106]如上所述，在組裝壓力檢測(cè)裝置I時(shí)，如圖5A和圖5B所示，配置磁體13，使其與磁傳感器12向后方及左方離開(kāi)。在該磁體13和磁傳感器12的位置關(guān)系下，磁傳感器12通過(guò)檢測(cè)磁體13的磁束朝向，與磁體13的上下方向移位量成比例地增減輸出電壓。具體地，磁體13越向下方移位，磁傳感器12輸出電壓越大，磁體13越向上方移位，輸出電壓越小。如上所述，由于磁體13的上下方向移位量與第I空間SI的壓力變化成比例，因此，在圖5C和圖的圖表中，如實(shí)線所示，形成輸出電壓隨著第I空間SI中壓力上升而增大的比例關(guān)系O
[0107]可利用第I調(diào)整機(jī)構(gòu)，使磁體13從圖5A和圖5B所示狀態(tài)向上下方向移動(dòng)。若向下方移動(dòng)磁體13，則磁傳感器12的輸出電壓增大，因此，磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5C的圖表中實(shí)線上方的虛線所示的情形。另一方面，若向上方移動(dòng)磁體13，則磁傳感器12的輸出電壓減小，因此，磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5C的圖表，實(shí)線下方的虛線所示的情形。由此，在第I空間SI和第2空間S2壓力相等的狀態(tài)下，通過(guò)利用第I調(diào)整機(jī)構(gòu)在上下方向移動(dòng)磁體13可進(jìn)行原點(diǎn)調(diào)整，將輸出電壓設(shè)定為一定值。進(jìn)而，在制造多個(gè)壓力檢測(cè)裝置I時(shí)，能夠保證各壓力檢測(cè)裝置I相對(duì)于所檢測(cè)的壓力的輸出電壓為一定，可避免每個(gè)壓力檢測(cè)裝置I的輸出存在偏差。
[0108]另外,可利用第2調(diào)整結(jié)構(gòu)使磁體13從圖5A和圖5B所示狀態(tài)向前后方向移動(dòng)。若向前方移動(dòng)磁體13,則磁體13接近磁傳感器12,因此,磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖5D的圖表中，斜率大于實(shí)線的虛線所示情形。另一方面，若向后方移動(dòng)磁體13，則磁體13遠(yuǎn)離磁傳感器12,因此,磁傳感器12的輸出電壓設(shè)定為圖的圖表中,斜率小于實(shí)線的虛線所示情形。由此，通過(guò)利用第2調(diào)整機(jī)構(gòu)在前后方向移動(dòng)磁體13，可將圖的圖表的傾斜(單位壓力下的輸出電壓)調(diào)整為一定，通過(guò)對(duì)多個(gè)壓力檢測(cè)裝置I進(jìn)行該調(diào)整，可避免每個(gè)壓力檢測(cè)裝置I的輸出存在偏差。
[0109]而且，在利用各調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置調(diào)整，完成磁傳感器12的輸出調(diào)整后，利用粘接劑固定各調(diào)整機(jī)構(gòu)中可相對(duì)移位的柱狀部71、螺紋部件9和保持部件8?？赏ㄟ^(guò)第I開(kāi)口部Ml向第2空間S2內(nèi)插入未圖示的噴嘴而注入該粘接劑。
[0110]下面，對(duì)基于本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I的第I空間SI的壓力檢測(cè)方法進(jìn)行說(shuō)明。如上所述，在因進(jìn)出連通部34的氣體而使第I空間SI的壓力發(fā)生變化時(shí)，磁體13會(huì)與該壓力變化成比例地在上下方向移位。在磁體13發(fā)生移位時(shí)，磁傳感器12中，磁體13的磁束朝向發(fā)生變化。磁傳感器12的輸出電壓因該磁束朝向的變化而變化，根據(jù)磁傳感器12的輸出電壓變化特性，由該輸出電壓與原點(diǎn)調(diào)整后的時(shí)刻的輸出電壓之差求出第I空間SI的壓力值。
[0111]如上述說(shuō)明，在本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置I中，由于磁傳感器12是檢測(cè)磁束朝向的巨磁阻元件，因此能夠不受磁體13的磁場(chǎng)強(qiáng)弱的影響，準(zhǔn)確地檢測(cè)磁體13的位置。由此，不需要現(xiàn)有的裝置中的多種盤，也不必進(jìn)行盤管理及盤更換作業(yè)，可提高磁傳感器12輸出調(diào)整(變化特性調(diào)整)的作業(yè)性。
[0112]另外，對(duì)于第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)，由于可借助螺合結(jié)構(gòu)調(diào)整磁體13在上下方向和前后方向上的位置，因此可使調(diào)整作業(yè)簡(jiǎn)化，并可使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。而且，上下方向作為第I方向，其沿著移動(dòng)部件7隨第I空間SI壓力變化而移動(dòng)的移動(dòng)方向。另外，前后方向作為第2方向，與移動(dòng)部件7隨第I空間SI壓力變化而移動(dòng)的移動(dòng)方向(上下方向)以及磁體13的各極(N極和S極)結(jié)合的方向(左右方向)這兩者交差。
[0113]進(jìn)而，保持部件8和螺紋部件9借助卡止片93卡合成一體，可將這兩個(gè)部件作為一個(gè)部件進(jìn)行處理，能夠容易地將其安裝到柱狀部71。另外，可利用螺紋部件9的旋轉(zhuǎn)操作使保持部件8和螺紋部件9 一起移動(dòng)。
[0114]另外，由于在保持部件8上形成突出部83，因此可通過(guò)操作突出部83，使轉(zhuǎn)動(dòng)保持部件8，及對(duì)保持部件8進(jìn)行旋轉(zhuǎn)限制的操作性良好。而且，由于突出部83露出于第I開(kāi)口部M1，因此可容易地使用夾具等對(duì)突出部83進(jìn)行操作。
[0115]進(jìn)而，由于使施力部件6為板簧，并將將其配置在第I空間SI，因而可不在第2空間S2配置施力部件6，因此可使第2空間S2中有充裕的空間，可提高在對(duì)位于第2空間S2內(nèi)的各部件的布局及形狀等進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)的自由度。
[0116]另外，在實(shí)施本實(shí)施方式時(shí)，可以適當(dāng)?shù)嘏c其他實(shí)施方式中所示的結(jié)構(gòu)相組合。
[0117](第2實(shí)施方式)
[0118]在本實(shí)施方式中，對(duì)結(jié)構(gòu)不同于上述第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖6是本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia的分解立體圖。圖7是本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia的剖視圖。圖8是表示本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia的外觀的立體圖。對(duì)于壓力檢測(cè)裝置Ia的描述中，上下方向、左右方向和前后方向與第I實(shí)施方式相同。
[0119]如圖6?圖8所示，本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia具有構(gòu)成箱體120的上殼體(第I殼體)130和下殼體(第2殼體)140,利用隔膜150將箱體120的內(nèi)部隔開(kāi),形成第I空間Sla和第2空間S2a(圖7參照)。上殼體130和下殼體140夾住隔膜150的外周側(cè)，下殼體140的卡合凸部141與上殼體130的卡合孔131卡合而形成一體。在隔膜150的上下兩側(cè)配置有施力部件160。在隔膜150的下表面?zhèn)劝惭b有移動(dòng)部件170，在移動(dòng)部件170的下方隔著施力部件160(第2螺旋彈簧162)配置有螺紋體190。另外，基板200保持于下殼體140。例如通過(guò)對(duì)絕緣性的樹(shù)脂材料成型而形成上殼體130、下殼體140、移動(dòng)部件170和后述蓋部件220。
[0120]上殼體130為向下方側(cè)開(kāi)口的蓋形，其內(nèi)部形成第I空間Sla。上殼體130的大徑壁132形成為圓筒形，在外表面周向隔規(guī)定間隔形成多個(gè)卡合孔131。在大徑壁132上端連接形成有呈環(huán)形的第I頂壁133，從第I頂壁133內(nèi)周側(cè)豎立設(shè)置有圓筒形的中間壁134。在中間壁134上端連接形成有呈環(huán)形的第2頂壁135，并貫通第2頂壁135內(nèi)周側(cè)而相連設(shè)置圓筒形的小徑壁136。在小徑壁136上端連接形成圓形的第3頂壁137，在第3頂壁137下表面，向下方突出形成有用于對(duì)施力部件160(第I螺旋彈簧161)定位的定位突部138 (請(qǐng)參考圖7)。在大徑壁132、第I頂壁133和中間壁部134外周面，向外側(cè)(右側(cè))延伸地相連設(shè)置有管狀的連通部139，連通部139與第I空間Sla連通。對(duì)連通部139連接未圖示的配管，使來(lái)自外部的作為測(cè)定對(duì)象的氣體通過(guò)。因而，要檢測(cè)壓力的氣體經(jīng)連通部139流入或流出第I空間Sla。
[0121]下殼體140形成為中空形狀，在內(nèi)部形成第2空間S2a。在下殼體140的圓筒壁部142外周面，在與卡合孔131相對(duì)應(yīng)的位置處形成有多個(gè)上述卡合凸部141。使卡合凸部141在其下部區(qū)域的外周緣與卡合孔131的下部?jī)?nèi)周緣接觸的狀態(tài)下形成卡合，由此，限制上殼體130相對(duì)于下殼體140上升，以及限制兩者在周向發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0122]在圓筒壁部142的上部外周側(cè)形成有臺(tái)階部142a，隔膜150的外周側(cè)與其嵌合，而承載于該臺(tái)階部142a。在圓筒壁部142下部形成有圖7剖視圖所示的曲柄形延伸的底壁部143。在底壁部143的下段部143a前后兩側(cè)形成有起立壁部143b。在前方的起立壁部143b上形成有孔143c，可通過(guò)該孔143c對(duì)后述第2螺紋215進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作。在圓筒壁部142的下部右側(cè)區(qū)域形成有沿右方向延伸的延長(zhǎng)部144。延長(zhǎng)部144具有水平方向延伸的水平部144a，和從水平部144a的前后兩側(cè)向下方延伸的垂下部144b。
[0123]在底壁部143的下段部143a設(shè)置有支撐基板200的支撐部件210。在側(cè)面觀察時(shí)，支撐部件210具有形成為凹形的支撐本體部211。在支撐本體部211內(nèi)周側(cè)形成有收容基板200下端和前后兩端的槽211a，在支撐本體部211的前后兩側(cè)分別豎立設(shè)置有前端呈鉤形的卡止片212。在將基板收容于槽211a內(nèi)時(shí)，卡止片212的前端側(cè)與基板200的外周緣卡止，通過(guò)該卡止及收容到槽211a來(lái)安裝基板200，使其不能相對(duì)于支撐部件210移動(dòng)。在支撐本體部211下表面相連設(shè)置有軸線向前后方向延伸的第I螺紋213。第I螺紋213僅保留有外螺紋下半部分的結(jié)構(gòu)。另外，在支撐本體部211后側(cè)設(shè)置有彈簧部件214。將帶狀的彈簧鋼彎曲成倒V字形而構(gòu)成彈簧部件214，并向其彎曲角度擴(kuò)大的方向施加彈力。因而，在將彈簧部件214和支撐部件210置入下殼體140內(nèi)的狀態(tài)下，彈簧部件214向前方對(duì)支撐部件210施加力。
[0124]在第I螺紋213的下方設(shè)置有與第I螺紋213咬合的第2螺紋215。第2螺紋215結(jié)構(gòu)與帶有六角孔的固定螺絲相同，軸線沿前后方向延伸，在前端形成有六角孔215a。
[0125]圖9是從上方觀看下殼體140的概略立體圖。如圖7和圖9所示，在底壁部143的下段部143a形成有收容第2螺紋215的下半部區(qū)域的接受部145。接受部145的底面形成為半圓筒面形，允許所收容的第2螺紋215繞軸線旋轉(zhuǎn)。在下段部143a，在接受部145的前后兩側(cè)分別豎立設(shè)置有左右一對(duì)的卡止軸部146。在使第I螺紋213承載于第2螺紋215上部并與之咬合時(shí)，利用各卡止軸部146從左右方向夾持支撐本體部211，并使支撐本體部211上端與卡止軸部146前端卡止。由此,利用卡止軸部146限制支撐部件210在左右和上下方向上移動(dòng)，并允許其在前后方向(圖9中的上下方向)移動(dòng)。
[0126]在下段部143a中，在卡止軸部146左側(cè)，于前后分別相連設(shè)置有在上下方向延伸的棱柱部147，在各棱柱部147上形成有引導(dǎo)槽147a。在引導(dǎo)槽147a內(nèi)部插入移動(dòng)部件170的后述引導(dǎo)片173。另外，在棱柱部147之間且在接受部145左側(cè)，形成有軸線為上下方向的內(nèi)螺紋部148。在內(nèi)螺紋部148中插入螺紋體190與之咬合，下端部形成為開(kāi)口部148a，使螺紋體190露出到下殼體140外部。
[0127]如圖6?圖8所示，在下殼體140的下方設(shè)置有蓋部件220，利用該蓋部件220封閉處于圓筒壁部142下方的下段部143a的右側(cè)部分，和延長(zhǎng)部144的下方部分。在蓋部件220前后兩端的左右兩側(cè)豎立設(shè)置有前端鉤形的卡止片221。右側(cè)的卡止片221收容于形成在垂下部144b外表面的槽144c內(nèi)，且上端與水平部144a卡止。左側(cè)的卡止片221收容于形成在起立壁部143b外表面的槽143d內(nèi)，上端與槽143d內(nèi)的突起143e卡止。通過(guò)利用上述卡止片221卡止，可在安裝蓋部件220后使其不能相對(duì)于下殼體140移動(dòng)。在蓋部件220上表面設(shè)置有3根端子222，各端子222跨越圓筒壁部142的第2空間S2a和延長(zhǎng)部144的內(nèi)部空間。
[0128]由例如橡膠等彈性材料成形隔膜150。隔膜150具有與移動(dòng)部件170上表面進(jìn)行面接觸的圓盤形的基部151。另外，隔膜150在其外周具有周緣部152，在圖7的剖視圖中該周緣部152形成為折角形狀，以嵌合的方式承載于圓筒壁部142的臺(tái)階部142a。在周緣部152和基部151之間連接形成有厚度小于基部151的薄壁部153。在圖7的剖視圖中，薄壁部153形成向作為第2空間S2a側(cè)的下方鼓出，并緩慢彎曲的形狀，彎曲形狀可因基部151上下運(yùn)動(dòng)而變化地發(fā)生變形。
[0129]施力部件160具有配置在第I空間Sla的第I螺旋彈簧(第I施力體)161，和配置在第2空間S2a的第2螺旋彈簧(第2施力體)162。第I螺旋彈簧161和第2螺旋彈簧162分別配置為被壓縮的狀態(tài)。因此，第I螺旋彈簧161對(duì)隔膜150的基部151向第2空間S2a側(cè)(下側(cè))施加力，第2螺旋彈簧162對(duì)基部151向第I空間Sla側(cè)(上側(cè))施加力。利用移動(dòng)部件170和螺紋體190從上下方向夾持第2螺旋彈簧162。
[0130]在第I螺旋彈簧161上端側(cè)插入上殼體130的定位突部138 (請(qǐng)參考圖7)。第I螺旋彈簧161的下端側(cè)收容于與基部151上表面接合的接受部件163。接受部件163形成為，具有圓筒體163a、相連設(shè)置于該圓筒體163a下端的底體163b的容器形狀。在底體163b上表面，向上方突出形成有定位突部163c，插入到第I螺旋彈簧161的下端側(cè)。圓筒體163a和小徑壁136的內(nèi)周面相接觸，或隔著微小的間隙，可引導(dǎo)接受部件163在上下方向上移動(dòng)。
[0131]移動(dòng)部件170具有與基部151下表面接合，俯視為圓形的抵接部171。在抵接部171下表面向下方突出形成定位突部172，其插入第2螺旋彈簧162上端側(cè)。另外，在抵接部171下表面向下方延伸形成呈葉片狀的前后一對(duì)的引導(dǎo)片173。引導(dǎo)片173插入到引導(dǎo)槽147a內(nèi)，限制移動(dòng)部件170在周向上的轉(zhuǎn)動(dòng)，且可在引導(dǎo)槽147a內(nèi)沿上下方向自由滑動(dòng)。在抵接部171右側(cè)的下部位置相連設(shè)置有保持磁體230的保持部174。保持部174形成與磁體230之間沒(méi)有間隙的收納室，配置在該收納室內(nèi)的磁體230的右表面卡止于爪部件174a。爪部件174a利用該卡止限制磁體230從保持部174脫落。
[0132]螺紋體190具有插入到內(nèi)螺紋部148內(nèi)部與之咬合的外螺紋部191。在外螺紋部191底部形成有六角孔191a，可在該六角孔191a中插入六角扳手等工具來(lái)對(duì)外螺紋部191做旋轉(zhuǎn)操作。在外螺紋部191的上表面向上方突出形成有定位突部192，插入到第2螺旋彈簧162的下端側(cè)。
[0133]基板200在被支撐于支撐部件210的狀態(tài)下，經(jīng)線束201與端子222電連接。在基板200上安裝有磁傳感器202，由與第I實(shí)施方式的磁傳感器12相同的巨磁阻元件構(gòu)成該磁傳感器202。另外，磁化磁體230，使磁傳感器202側(cè)的右側(cè)為N極，與磁傳感器202側(cè)相反的一側(cè)的左側(cè)為S極，在左右方向上極性彼此不同。
[0134]下面，對(duì)壓力檢測(cè)裝置Ia的組裝方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在下殼體140中安裝基板200。在該安裝中，在支撐部件210的支撐本體部211的槽211a中收容基板200的下端和前后兩端，將卡止片212卡止于基板200的外周緣。在其之前或之后，以使六角孔215a位于前方的方式在接受部145中配置第2螺紋215。然后，使支撐部件210的第I螺紋213與第2螺紋215上部咬合，而將已卡住基板200的支撐部件210配置于下殼體140的下段部143a上。此時(shí),在各卡止軸部146前端卡住支撐本體部211上端,形成由各卡止軸部146從左右方向夾持支撐本體部211的狀態(tài)。然后，在下殼體140的下段部143a上，且在支撐部件210后側(cè)配置彈簧部件214。彈簧部件214的作用力作用于相互咬合的第I螺紋213和第2螺紋215。
[0135]在下殼體140的下表面?zhèn)劝惭b蓋部件220。在該安裝中，覆蓋下殼體140的下表面?zhèn)榷鴮⑸w部件220接近，并將右側(cè)的卡止片221收容到垂下部144b的槽144c內(nèi)，將左側(cè)的卡止片221收容到起立壁部143b的槽143d內(nèi)。接著，將右側(cè)的卡止片221上端卡止于水平部144a，將左側(cè)的卡止片221上端卡止于槽143d內(nèi)的突起143e，形成將蓋部件220安裝于下殼體140的狀態(tài)。另外，對(duì)下殼體140的內(nèi)螺紋部148旋入安裝螺紋體190，在第2螺旋彈簧162下端側(cè)插入位于第2空間S2a的定位突部192。
[0136]在此，與將各部件組裝于下殼體140單獨(dú)地，將移動(dòng)部件170的爪部件174a卡止于磁體230，在保持部174中保持磁體230。然后，將抵接部171接合于隔膜150的基部151下表面，將接受部件163下表面接合于基部151上表面。
[0137]通過(guò)上述接合，使隔膜150、移動(dòng)部件170和接受部件163形成為呈一體的單元，配置該單元，使其覆蓋下殼體140上方。在該配置中形成，保持于移動(dòng)部件170的磁體230朝向右側(cè)，而與基板200對(duì)置，且引導(dǎo)片173插入于引導(dǎo)槽147a的狀態(tài)。另外，在第2螺旋彈簧162上端側(cè)插入移動(dòng)部件170的定位突部172，隔膜150的周緣部152嵌合承載于下殼體140的臺(tái)階部142a。
[0138]而且，在第I螺旋彈簧161下端側(cè)插入定位突部163c，而將第I螺旋彈簧161配置于接受部件163內(nèi)部。從該狀態(tài)，在將上殼體130覆蓋于下殼體140的上部區(qū)域后，將卡合凸部141卡合于上殼體130的卡合孔131。由此,作為箱體120,使上殼體130和下殼體140形成一體，并利用圓筒壁部142上端和第I頂壁133下表面夾住周緣部152。在該狀態(tài)下，第I螺旋彈簧161和第2螺旋彈簧162兩者形成壓縮的狀態(tài)，利用它們的彈力的平衡來(lái)保持隔膜150在上下方向上的位置。由此，在組裝壓力檢測(cè)裝置Ia時(shí)，由上殼體130和隔膜150形成第I空間Sla，并在下殼體140的隔膜150的下方形成第2空間S2a。
[0139]而且，上述壓力檢測(cè)裝置Ia的組裝方法僅為一個(gè)例子，并不限定于此，組裝順序等也可適宜變更。如圖7所示，只要能夠使各組成部件形成組裝后的狀態(tài)，則可以采用任意的組裝方法。
[0140]在組裝壓力檢測(cè)裝置Ia后的狀態(tài)下，由于下殼體140形成有孔143c等，因此第2空間S2a設(shè)定為與大氣壓相同。另一方面,對(duì)于第I空間Sla,在封閉上殼體130的連通部139后形成封閉的空間，其壓力因經(jīng)過(guò)連通部139流入或流出第I空間Sla的空氣而變化。在此，例如，如圖7所示，在隔膜150中，當(dāng)基部151上表面比周緣部152上端略高時(shí)，則第I空間SI的壓力與大氣壓相同。在該狀態(tài)下，在第I空間Sla形成大于大氣壓的正壓時(shí)，由于第I空間Sla的容積趨向于膨脹，因而作用將基部151壓下的力，而使其向下方移位。第2螺旋彈簧162因該移位而被壓縮，產(chǎn)生使基部151上升的彈力。接著，基部151向下方移位至使第I空間Sla的壓力、各螺旋彈簧161、162的彈力平衡的位置。另外，在第I空間Sla形成小于大氣壓的負(fù)壓時(shí)，由于第I空間Sla的容積趨向于縮小，因而作用將基部151上拉的力而使其向上方移位。第I螺旋彈簧161因該移位而被壓縮，產(chǎn)生使基部151下降的彈力。接著，基部151向上方移位到使第I空間Sla的壓力、各螺旋彈簧161、162的彈力平衡的位置。
[0141]在此，與基部151接合的移動(dòng)部件170因基部151上下移動(dòng)而以相同的移動(dòng)量上下移動(dòng)，隨之，由移動(dòng)部件170保持的磁體230也同樣地上下移動(dòng)。因此，能夠使磁體230與第I空間Sla的壓力變化成比例地在上下方向移位，并由磁傳感器202檢測(cè)該移位量，從而檢測(cè)第I空間Sla的壓力。而且，由于基于磁傳感器202進(jìn)行的壓力檢測(cè)與第I實(shí)施方式的壓力檢測(cè)相同，因此在此省略其說(shuō)明。
[0142]下面，對(duì)本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia中的第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和基于第I調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整方法進(jìn)行說(shuō)明。第I調(diào)整機(jī)構(gòu)具有上述螺紋體190和內(nèi)螺紋部148，其可調(diào)整移動(dòng)部件170在移動(dòng)方向(上下方向)上的磁體230與磁傳感器202的相對(duì)位置。在該位置調(diào)整中，通過(guò)將工具插入到螺紋體190的六角孔191a內(nèi)做旋轉(zhuǎn)操作，使螺紋體190在上下方向上移動(dòng)。由于螺紋體190通過(guò)第2螺旋彈簧162與移動(dòng)部件170連結(jié)，因此在螺紋體190上下移動(dòng)時(shí)，第2螺旋彈簧162有一定量伸縮,并且使移動(dòng)部件170在上下方向移動(dòng)。由于磁體230保持于移動(dòng)部件170，因此，磁體230也與移動(dòng)部件170 —同在上下方向移動(dòng)，而調(diào)整磁體230相對(duì)于磁傳感器202在上下方向上的相對(duì)位置。
[0143]下面，對(duì)本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia中的第2調(diào)整機(jī)構(gòu)和基于第2調(diào)整機(jī)構(gòu)的調(diào)整方法進(jìn)行說(shuō)明。第2調(diào)整機(jī)構(gòu)包括:含上述第I螺紋213的支撐部件210和第2螺紋215。第2調(diào)整機(jī)構(gòu)可在圖7的垂直紙面方向的與磁體230對(duì)置的平面內(nèi)，與移動(dòng)部件170的移動(dòng)方向(上下方向)交差的方向，且在與連接磁體230各極的方向(左右方向)交差的方向(第2方向)上，即，在前后方向(圖7中垂直紙面方向)上調(diào)整磁體230和磁傳感器202的相對(duì)位置。在該位置調(diào)整中，使工具經(jīng)孔143c插入第2螺紋215的六角孔215a，并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作，由此使與第2螺紋215咬合的第I螺紋213在前后方向移動(dòng)。由于含第I螺紋213的支撐部件210對(duì)搭載有磁傳感器202的基板200加以支撐，因此，磁傳感器202與第I螺紋213 —同在前后方向移動(dòng),而調(diào)整磁體230相對(duì)于磁傳感器202在前后方向上的相對(duì)位置。
[0144]在此，支撐部件210因彈簧部件214而被施以向前方的力，因此能夠防止因第I螺紋213和第2螺紋215的所謂游離間隙引起的晃動(dòng)。由此，能使支撐部件210和磁傳感器202高精度定位于進(jìn)行調(diào)整后的位置。
[0145]而且，在完成了基于各調(diào)整機(jī)構(gòu)的位置調(diào)整后，利用粘接劑將第I調(diào)整機(jī)構(gòu)的螺紋體190和內(nèi)螺紋部148，以及第2調(diào)整機(jī)構(gòu)的第I螺紋213和第2螺紋215固定，使它們不能相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)?？赏ㄟ^(guò)將未圖示的噴嘴經(jīng)由孔143c插入到第2空間S2a內(nèi)，而向第I螺紋213和第2螺紋215注入粘接劑。
[0146]在第2實(shí)施方式中，除如上所述對(duì)各調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行的操作以外，與在第I實(shí)施方式中結(jié)合圖5所說(shuō)明的磁傳感器12的輸出調(diào)整和第I空間SI的壓力檢測(cè)方法相同，因此省略說(shuō)明。
[0147]如以上說(shuō)明，在本實(shí)施方式的壓力檢測(cè)裝置Ia中，利用第I調(diào)整機(jī)構(gòu)使磁體230沿移動(dòng)部件170的移動(dòng)方向向第I方向移動(dòng)，并利用第2調(diào)整機(jī)構(gòu)使磁傳感器202向第2方向移動(dòng)，因此，可使基于各調(diào)整機(jī)構(gòu)所進(jìn)行的調(diào)整相互獨(dú)立，并容易進(jìn)行。另外，對(duì)于第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)，由于可利用螺合結(jié)構(gòu)對(duì)磁體230和磁傳感器202在上下方向及前后方向上的相對(duì)位置進(jìn)行調(diào)整，因此可容易進(jìn)行調(diào)整作業(yè)，并實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。
[0148]另外，本實(shí)施方式可與其他實(shí)施方式中所示的結(jié)構(gòu)適宜組合而實(shí)施。
[0149]而且，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，在實(shí)施時(shí)可進(jìn)行各種變更。在上述實(shí)施方式中，并不限于附圖所示的大小和形狀等，可在發(fā)揮本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)適當(dāng)變更。另外，可以在不脫離本發(fā)明目的的范圍內(nèi)適當(dāng)變更而實(shí)施。
[0150]例如，在上述實(shí)施方式中，令流入第I空間SI的流體為空氣，但也可以是其他氣體，也可以是水或熱水等液體。
[0151]另外，上述磁體13、230的朝向限定為，在與移動(dòng)部件7、170的移動(dòng)方向交差的方向上成為異極，也可以進(jìn)行變更，例如也可以設(shè)定為，相對(duì)于左右方向在偏右上或偏左上傾斜的方向上成為異極的朝向。
[0152]進(jìn)而，第2調(diào)整機(jī)構(gòu)在與移動(dòng)部件7、170的移動(dòng)方向交差的方向，且與連接磁體13,230的各極的方向交差的第2方向上，對(duì)磁體13、230與磁傳感器12、202的相對(duì)位置進(jìn)行調(diào)整即可，如各實(shí)施方式所示，當(dāng)連結(jié)磁體13、230的各極的方向?yàn)樽笥曳较驎r(shí)，并不限于前后方向，也可以在向該前后方向傾斜的方向上進(jìn)行調(diào)整。另外，第2方向不必須是沿直線的方向，如第I實(shí)施方式所示，也可以是沿曲線(圓弧)的方向(周向)。
[0153]另外，對(duì)于第I實(shí)施方式中的施力部件6，也可以省略變形部63，而僅在由彈簧鋼構(gòu)成的圓形板體形成圓孔61a。進(jìn)而，在第I實(shí)施方式中，也可以將施力部件6配置于第2空間S2，并從下方支撐隔膜5。
[0154]另外，第I實(shí)施方式中的磁體13也可以形成為，具有沿保持部件8的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的圓筒面的形狀。
【權(quán)利要求】
1.一種壓力檢測(cè)裝置，其特征在于，包括: 箱體，具有能夠使流體流入流出的連通部； 隔膜，隔開(kāi)該箱體而形成第I空間和第2空間，能夠根據(jù)與所述連通部連通的第I空間內(nèi)的壓力而變形； 移動(dòng)部件，配置于所述第2空間，能夠根據(jù)所述隔膜的變形而移動(dòng)； 施力部件，能夠變形地支撐所述隔膜； 磁體，與所述移動(dòng)部件一同移動(dòng)；和 磁傳感器，配置于所述第2空間，檢測(cè)來(lái)自所述磁體的磁場(chǎng)， 所述磁體被磁化為在與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差的方向上成為異極， 所述壓力檢測(cè)裝置具有第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)， 所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第I方向上的相對(duì)位置，所述第I方向是沿著所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向的方向， 所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠調(diào)整所述磁體和所述磁傳感器在第2方向上的相對(duì)位置，所述第2方向是與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差且與連結(jié)所述磁體的各極的方向交差的方向，所述磁傳感器包括能夠檢測(cè)磁束的朝向的巨磁阻元件。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 具有保持所述磁體的保持部件， 所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)包括: 柱狀部，與所述移動(dòng)部件相連設(shè)置，在外周形成有外螺紋；和 螺紋部件，支撐所述保持部件，并且形成有與所述柱狀部咬合的內(nèi)螺紋， 通過(guò)使所述柱狀部與所述螺紋部件相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，使該螺紋部件在所述柱狀部的軸線方向上移動(dòng)，從而能夠調(diào)整所述保持部件和所述磁體在所述第I方向上的位置。
3.如權(quán)利要求2所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)包含相對(duì)于所述柱狀部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐所述保持部件的所述螺紋部件而構(gòu)成，利用所述保持部件的該轉(zhuǎn)動(dòng)，來(lái)調(diào)整所述磁體在所述第2方向上相對(duì)于所述磁傳感器的位置。
4.如權(quán)利要求2或3所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述保持部件具有貫通部，所述柱狀部能夠相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)地插通該貫通部， 所述螺紋部件具有插通并卡止于所述貫通部的卡止片，通過(guò)該卡止片與所述保持部件卡止，限制所述保持部件相對(duì)于所述螺紋部件向所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向的移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求2?4中任一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有突出部，該突出部形成于所述保持部件，并向與所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向交差的方向突出。
6.如權(quán)利要求2?5中任一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述保持部件的第2殼體， 所述第2殼體具有能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地引導(dǎo)所述螺紋部件的筒狀的引導(dǎo)部和使所述保持部件露出到所述第2殼體的外部的開(kāi)口部。
7.如權(quán)利要求2?6中任一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 在利用所述第I調(diào)整機(jī)構(gòu)和第2調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行了調(diào)整后，利用粘接劑以不能相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)且不能相對(duì)移動(dòng)的方式固定所述柱狀部、保持部件和螺紋部件。
8.如權(quán)利要求1?7中任一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述施力部件由設(shè)置于所述第I空間的板簧構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有對(duì)搭載有所述磁傳感器的基板加以支撐的支撐部件，通過(guò)使該支撐部件在與所述磁體對(duì)置的平面內(nèi)移動(dòng)，來(lái)調(diào)整所述磁體與所述磁傳感器的相對(duì)位置。
10.如權(quán)利要求9所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述第2調(diào)整機(jī)構(gòu)具有與所述支撐部件相連設(shè)置的第I螺紋和與該第I螺紋咬合的第2螺紋， 通過(guò)旋轉(zhuǎn)該第2螺紋并移動(dòng)所述第I螺紋，來(lái)調(diào)整所述支撐部件的位置。
11.如權(quán)利要求9或10所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 在所述支撐部件的側(cè)部設(shè)置有彈簧部件，利用該彈簧部件，所述支撐部件被向與所述磁體對(duì)置的平面內(nèi)的移動(dòng)方向施力。
12.如權(quán)利要求9?11中任一項(xiàng)所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述施力部件具有:設(shè)置于所述第I空間，并向所述第2空間側(cè)對(duì)所述隔膜施力的第I施力體；和設(shè)置于所述第2空間，經(jīng)由所述移動(dòng)部件向所述第I空間側(cè)對(duì)所述隔膜施力的第2施力體。
13.如權(quán)利要求12所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述磁體保持于所述移動(dòng)部件， 所述第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有形成于所述箱體的內(nèi)螺紋部和形成有與該內(nèi)螺紋部咬合的外螺紋部的螺紋體，利用該螺紋體和所述移動(dòng)部件夾持著所述第2施力體。
14.如權(quán)利要求13所述的壓力檢測(cè)裝置，其特征在于: 所述箱體具有包含所述連通部的第I殼體和安裝于該第I殼體并且收容所述移動(dòng)部件的第2殼體， 所述第2殼體具有使所述螺紋體露出于該第2殼體的外部的開(kāi)口部。
【文檔編號(hào)】G01L9/14GK104344925SQ201410389715
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】二宮伸之, 漆原茂, 藤原周二 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社