泵浦源檢測裝置及檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種泵浦源檢測裝置，通過改變泵浦源組件、選光器組件和發(fā)散角測試組件的位置，使發(fā)散角測試組件接收選光器組件選出的單線Bar的輻射光，實(shí)現(xiàn)對單線Bar的輻射光發(fā)散角的測試；通過改變泵浦源組件、選光器組件和光強(qiáng)測試組件的位置，使光強(qiáng)測試組件接收選光器組件選出的單線Bar的輻射光，實(shí)現(xiàn)對單線Bar的輻射光光強(qiáng)測試；通過改變泵浦源組件、選光器組件和光譜測試組件的位置，使光譜測試組件接收選光器組件選出的單線Bar的輻射光，實(shí)現(xiàn)對單線Bar的輻射光光譜測試，從而對單線Bar的輻射光的發(fā)射強(qiáng)度、發(fā)散角、光譜特性檢測，提高環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的使用效率和使用壽命。另外，本發(fā)明還提供了一種泵浦源檢測方法。
【專利說明】泵浦源檢測裝置及檢測方法
【【技術(shù)領(lǐng)域】】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種泵浦源檢測裝置及其檢測方法。
【【背景技術(shù)】】
[0002]隨著全固態(tài)激光器在國防、科研、工業(yè)以及醫(yī)療等【技術(shù)領(lǐng)域】呈現(xiàn)出越來越廣泛的應(yīng)用前景，作為其中核心部件的半導(dǎo)體側(cè)泵模塊也在向著結(jié)構(gòu)緊湊、泵浦均勻和高能量方向發(fā)展。
[0003]目前市場上側(cè)泵模塊通常用的半導(dǎo)體水平陣列呈現(xiàn)正三角形、正五邊形或者正七邊形等分布進(jìn)行等間距環(huán)繞封裝。對于大口徑側(cè)泵模塊(通常激光增益介質(zhì)直徑8_以上)，為了實(shí)現(xiàn)泵浦光均勻照射激光增益介質(zhì)和提高激光棒儲能，通常采用正十一邊形、正十五邊形等多線Bar環(huán)繞封裝結(jié)構(gòu)。這些多線Bar封裝而成的環(huán)形泵浦源在實(shí)際應(yīng)用中需要對其各個單線Bar的輻射光的發(fā)光特性進(jìn)行檢測，包括對各個單線Bar的輻射光的發(fā)光強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜進(jìn)行測試，以確定環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的工作狀態(tài)。而現(xiàn)有間接的測量方法是在多個單線Bar的輻射光被封裝成環(huán)形泵浦源之前進(jìn)行單線Bar的輻射光的單獨(dú)測試。在環(huán)形Bar封裝完成后，由于封裝緊湊導(dǎo)致對單個Bar的測量勢必受到相鄰單線Bar發(fā)射泵浦光的影響以及發(fā)光面開口朝內(nèi)引起的空間限制所導(dǎo)致了測量不可行性。
[0004]因此，當(dāng)前迫切需要提供一種能夠測量環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源中各個單線Bar的輻射光發(fā)射強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜特性檢測工裝和測試方法。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種泵浦源檢測裝置，該泵浦源檢測裝置能夠?qū)Χ鄠€單線Bar完成封裝形成的環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源后的單線Bar的輻射光的發(fā)射強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜特性進(jìn)行檢測，以提高環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的使用效率和使用壽命。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:
[0007]一種泵浦源檢測裝置，包括:
[0008]底座，開設(shè)有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向設(shè)置，所述方形槽開設(shè)于所述底座的一端；
[0009]泵浦源組件，包括:
[0010]泵浦源夾持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動；
[0011]環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源，固定設(shè)于所述泵浦源夾持支架的豎直部，所述泵浦源夾持支架的豎直部還開設(shè)有與所述環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源圓心重合的通孔，包括冷卻熱沉、封裝于所述冷卻熱沉上的若干水平線Bar、開設(shè)于所述冷卻熱沉上的冷卻水輸入口及冷卻水輸出口 ；及
[0012]衰減片夾持部，固定設(shè)于所述泵浦源夾持支架的豎直部上，且與所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源位于所述豎直部的同一側(cè)，所述衰減片夾持部用于夾持衰減片，所述衰減片的厚度可調(diào)；
[0013]選光器組件，包括:
[0014]選光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動；
[0015]鎖緊環(huán)，可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述選光器支座的豎直部上；及
[0016]卡光桶，其內(nèi)部收容有反射鏡，所述反射鏡通過一支桿固定連接于所述鎖緊環(huán)，所述卡光桶的桶壁上還開設(shè)有通光槽，所述反射鏡的反射面正對所述通光槽，通過所述鎖緊環(huán)帶動所述支桿旋轉(zhuǎn)，使得所述通光槽對準(zhǔn)所述水平線Bar ；
[0017]發(fā)散角測試組件，包括:
[0018]CCD采集光具座，由第一二維移動平臺組成，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動；
[0019]線陣CCD，固定于所述CCD采集光具座上，其采集面可以圍繞所述線陣CCD的采集面的中心軸自由旋轉(zhuǎn)，所述線陣CCD用于接受經(jīng)過所述反射鏡發(fā)射的水平線Bar的輻射激光;
[0020]光強(qiáng)測試組件，包括:
[0021]能量采集光具座，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動；
[0022]能量計探頭，通過一可伸縮桿與所述能量采集光具座固定連接，所述能量計探頭用于接收經(jīng)所述反射鏡反射的水平線Bar的輻射光；
[0023]光譜測試組件，包括:
[0024]光譜采集光具座，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動；
[0025]光電探頭，安裝于所述光譜采集光具座上，用于接收經(jīng)所述反射鏡反射的水平線Bar的福射光。
[0026]在一些實(shí)施例中，所述水平線Bar為15條，且等間距地封裝于所述冷卻熱沉上。
[0027]在一些實(shí)施例中，所述泵浦源夾持支架的豎直部還開設(shè)有與所述環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源圓心重合且半徑相等的通孔。
[0028]在一些實(shí)施例中，所述泵浦源夾持支架的豎直部還設(shè)有兩個通水孔，所述兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合。
[0029]在一些實(shí)施例中，所述衰減片夾持部上開設(shè)有若干夾持槽及貫穿所述夾持槽的螺孔，通過螺母與螺孔配合將所述衰減片夾持于所述夾持槽內(nèi)。
[0030]在一些實(shí)施例中，所述鎖緊環(huán)可以以360°的旋轉(zhuǎn)角度帶動所述支桿旋轉(zhuǎn)。
[0031]在一些實(shí)施例中，所述卡光桶壁厚不大于3mm,所述通光槽寬為2mm,長為30_。
[0032]在一些實(shí)施例中，所述反射鏡為鍍808nm的45°的高反膜反射鏡。
[0033]在一些實(shí)施例中，所述線陣CXD采集線長為50mm。
[0034]在一些實(shí)施例中，所述能量計探頭接收祀面直徑不小于100mm。
[0035]此外，本發(fā)明還提供了一種泵浦源檢測方法，包括下述步驟:
[0036]將所述半導(dǎo)體泵浦源固定與所述泵浦源夾持支架上，所述泵浦源夾持支架的豎直部的通孔與所述環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源圓心重合，所述泵浦源夾持支架的豎直部的兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合，連接外部水箱與冷卻水輸入口和冷卻水輸出口并通水，接通所述半導(dǎo)體激光器電源，使所述若干水平線Bar產(chǎn)生輻射激光；
[0037]調(diào)節(jié)所述衰減片夾持槽的厚度，插入衰減片，使所述衰減片遮蔽所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源的內(nèi)徑；
[0038]旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)其中一條水平線Bar，記為第一單線Bar的輻射光，并將所述卡光桶推入所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源內(nèi)，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的福射光；
[0039]將所述光強(qiáng)測試組件、發(fā)散角測試組件及所述光譜測試組件移動至所述方形槽內(nèi)，將發(fā)散角測試組件移動至燕尾槽內(nèi)，移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0040]旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)另一條水平線Bar，記為第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光；
[0041 ] 移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0042]重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0043]旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第一單線Bar，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的福射光；
[0044]將所述發(fā)散角測試組件移動至所述方形槽內(nèi)，及將所述能量采集光具座移動至所述燕尾槽，并調(diào)節(jié)所述能量采集光具座使所述能量計探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試；
[0045]旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的福射光；
[0046]移動所述能量采集光具座，使所述能量計探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試；
[0047]重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光強(qiáng)測試；
[0048]將所述光強(qiáng)測試組件移動至所述方形槽，及將所述光譜采集光具座移動至所述燕尾槽，并調(diào)節(jié)所述光譜采集光具座使所述光電探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光譜測試；
[0049]旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的福射光；
[0050]移動所述光譜采集光具座，使所述光電探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光譜測試；
[0051]重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光譜測試。
[0052]采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果在于:
[0053]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的泵浦源檢測裝置和方法，在底座上設(shè)置有泵浦源組件、選光器組件、發(fā)散角測試組件、光強(qiáng)測試組件及光譜測試組件，通過改變泵浦源組件、選光器組件和發(fā)散角測試組件之間的相對位置，使發(fā)散角測試組件完全接收選光器組件選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光快慢軸發(fā)散角的測試；通過改變泵浦源組件、選光器組件和光強(qiáng)測試組件之間的相對位置，使光強(qiáng)測試組件完全接收選光器組件選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光光強(qiáng)測試；及通過改變泵浦源組件、選光器組件和光譜測試組件之間的相對位置，使光譜測試組件完全接收選光器組件選出的單線Bar的福射光,從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的福射光光譜測試,從而能夠?qū)尉€Bar的輻射光的發(fā)射強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜特性進(jìn)行檢測，提高環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的使用效率和使用壽命。
【【專利附圖】

【附圖說明】】
[0054]圖1為本發(fā)明提供的泵浦源檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0055]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例提供的泵浦源組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0056]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例提供的選光器組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0057]圖4為本發(fā)明一實(shí)施例提供的發(fā)散角測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0058]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例提供的光強(qiáng)測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0059]圖6為本發(fā)明一實(shí)施例提供的光譜測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0060]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0061]在申請文件中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實(shí)體或者操作與另一個實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0062]請參閱圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的泵浦源檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖100，包括底座110、泵浦源組件120、選光器組件130、發(fā)散角測試組件140、光強(qiáng)測試組件150及光譜測試組件160。
[0063]底座110上開設(shè)有燕尾槽111及方形槽112，燕尾槽111沿底座110的水平方向設(shè)置，方形槽112開設(shè)于底座110的一端。
[0064]請參閱圖2，圖2為發(fā)明一實(shí)施例提供的泵浦源組件的結(jié)構(gòu)示意圖，泵浦源組件120包括泵浦源夾持支架121、環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122及衰減片夾持部123。
[0065]泵浦源夾持支架121呈倒T型，其水平部1211可沿燕尾槽111滑動。
[0066]環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122固定設(shè)于泵浦源夾持支架121的豎直部1212，泵浦源夾持支架121的豎直部1212還開設(shè)有與環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122圓心重合的通孔1213，包括冷卻熱沉1221、封裝于冷卻熱沉1221上的若干水平線Barl222、開設(shè)于冷卻熱沉1221上的冷卻水輸入口 1223及冷卻水輸出口(圖未示)。
[0067]優(yōu)選地，水平線Barl222為15條，且等間距地封裝于冷卻熱沉1221上。
[0068]可以理解，通過冷卻水輸入口 1223及冷卻水輸出口可以對水平線Barl222進(jìn)行通水冷卻。
[0069]優(yōu)選地，泵浦源夾持支架121的豎直部1212還設(shè)有兩個通水孔(圖未示)，兩個通水孔分別與冷卻水輸入口 1223及冷卻水輸出口重合?？梢岳斫?，通過通水孔1214可以對環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122進(jìn)行冷卻水輸入及輸出。
[0070]衰減片夾持部123固定設(shè)于泵浦源夾持支架121的豎直部1212上，且與環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122位于豎直部1212的同一側(cè)，衰減片夾持部123用于夾持衰減片124。
[0071]優(yōu)選地，衰減片夾持部123上開設(shè)有若干夾持槽1231及貫穿夾持槽1231的螺孔1232，通過螺母與螺孔1232配合將衰減片124夾持于夾持槽1231內(nèi)，并通過旋轉(zhuǎn)螺母調(diào)節(jié)夾持槽1231的寬度。
[0072]請參閱圖3，圖3為本發(fā)明一實(shí)施例提供的選光器組件的結(jié)構(gòu)示意圖，選光器組件130包括選光器支座131、鎖緊環(huán)132及卡光桶133。
[0073]優(yōu)選地，選光器支座131呈倒T型，其水平部1311可沿燕尾槽111滑動。
[0074]優(yōu)選地，鎖緊環(huán)132可旋轉(zhuǎn)地安裝于選光器支座131的豎直部1312上。
[0075]優(yōu)選地，卡光桶133內(nèi)部收容有反射鏡1331，反射鏡1331通過一支桿1332固定連接于鎖緊環(huán)132，卡光桶133的桶壁上還開設(shè)有通光槽1333，反射鏡1331的反射面正對通光槽1333，可以理解，通過鎖緊環(huán)132的旋轉(zhuǎn)可以帶動支桿1332旋轉(zhuǎn)，使得通光槽1333對準(zhǔn)水平線Bar1222。
[0076]優(yōu)選地，卡光桶133的壁厚不大于3mm，通光槽1333的寬為2mm，長為30mm。
[0077]進(jìn)一步地，鎖緊環(huán)132可以以360°的旋轉(zhuǎn)角度帶動支桿1332旋轉(zhuǎn)；反射鏡1331為鍍808nm的45°的高反膜反射鏡。
[0078]優(yōu)選地，其中選光器支座131的豎直部1312上有刻度，鎖緊環(huán)132上有指針(圖未示)，指針與卡光桶133的通光槽1333方向一致。通過指針與刻度相互配合可以實(shí)現(xiàn)鎖緊環(huán)132360°定位旋轉(zhuǎn)。
[0079]請參閱圖4，圖4為本發(fā)明一實(shí)施例提供的發(fā)散角測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖，發(fā)散角測試組件140包括CXD采集光具座141及線陣(XD142。
[0080]其中，C⑶采集光具座141由第一二維移動平臺組成，可在燕尾槽111內(nèi)和方形槽112內(nèi)沿水平和豎直方向移動。
[0081]其中，線陣(XD142安裝于C⑶采集光具座141上，線陣(XD142的采集面可以圍繞線陣CCD142的采集面的中心軸自由旋轉(zhuǎn)，線陣CCD142用于接受經(jīng)過反射鏡1331發(fā)射的水平線Bar的福射激光。
[0082]優(yōu)選地，線陣(XD142相對于CXD采集光具座141可實(shí)現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)。
[0083]優(yōu)選地，線陣(XD142的采集線長為50mm。
[0084]請參閱圖5，圖5為本發(fā)明一實(shí)施例提供的光強(qiáng)測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖，光強(qiáng)測試組件150包括能量采集光具座151及能量計探頭152。
[0085]其中，能量采集光具座151可在燕尾槽111內(nèi)和方形槽112內(nèi)沿水平和豎直方向移動。
[0086]其中，能量計探頭152通過一可伸縮桿153與能量采集光具座151固定連接，能量計探頭152用于接收經(jīng)反射鏡1331反射的水平線Barl222的輻射光?？梢岳斫?，通過上述可伸縮桿153高度的調(diào)節(jié)，可以改變能量計探頭152接收的靶面面積。
[0087]優(yōu)選地,能量計探頭152接收祀面直徑不小于100mm。
[0088]請參閱圖6，圖6為本發(fā)明一實(shí)施例提供的光譜測試組件的結(jié)構(gòu)示意圖，光譜測試組件160包括光譜采集光具座161及光電探頭162。
[0089]其中，光譜采集光具座161可在燕尾槽111內(nèi)和方形槽112內(nèi)沿水平和豎直方向移動。優(yōu)選地，光譜采集光具座161開設(shè)有有螺紋(圖未示)，通過調(diào)節(jié)螺紋可以實(shí)現(xiàn)光譜采集光具座161的二維調(diào)節(jié)。
[0090]其中，光電探頭162安裝于光譜采集光具座161上，用于接收經(jīng)反射鏡1331反射的水平線Bar1222的輻射光。
[0091]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的泵浦源檢測裝置100，在底座110上設(shè)置有泵浦源組件120、選光器組件130、發(fā)散角測試組件140、光強(qiáng)測試組件150及光譜測試組件160，通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和發(fā)散角測試組件140之間的相對位置，使發(fā)散角測試組件140完全接收選光器組件130選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光快慢軸發(fā)散角的測試；通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和光強(qiáng)測試組件150之間的相對位置，使光強(qiáng)測試組件150完全接收選光器組件130選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光光強(qiáng)測試；及通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和光譜測試組件160之間的相對位置，使光譜測試組件160完全接收選光器組件130選出的單線Bar的福射光,從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的福射光光譜測試,從而能夠?qū)尉€Bar的福射光的發(fā)射強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜特性進(jìn)行檢測，提高環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的使用效率和使用壽命。
[0092]另外，本發(fā)明還提供了一種泵浦源檢測方法，包括下述步驟:
[0093]步驟SllO:將半導(dǎo)體泵浦源122固定于泵浦源夾持支架121上，泵浦源夾持支架121的豎直部1212的通孔1213與環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源122圓心重合，泵浦源夾持支架121的豎直部1213的兩個通水孔分別與冷卻水輸入口 1223及冷卻水輸出口重合，連接外部水箱與冷卻水輸入口 1223和冷卻水輸出口并通水，接通環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122的電源，使若干水平線Bar產(chǎn)生輻射激光；
[0094]優(yōu)選地，由于泵浦源夾持支架121的豎直部1212的兩個通水孔，分別與冷卻水輸入口 1223及冷卻水輸出口重合。
[0095]步驟S120:調(diào)節(jié)衰減片124，使衰減片124遮蔽環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122的內(nèi)徑；
[0096]優(yōu)選地，衰減片夾持部123上開設(shè)有若干夾持槽1231及貫穿夾持槽1231的螺孔1232，通過螺母與螺孔1232配合將衰減片124夾持于夾持槽1231內(nèi)，并通過旋轉(zhuǎn)螺母調(diào)節(jié)衰減片124的厚度，使衰減片124完全遮蔽環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122的內(nèi)徑。
[0097]步驟S130:旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)132，使通光槽1333對準(zhǔn)其中一條水平線Barl222，記為第一單線Bar，并將卡光桶133推入環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源122內(nèi)，反射鏡1331反射第一單線Bar的福射光；
[0098]優(yōu)選地，卡光桶133內(nèi)部收容有反射鏡1331，反射鏡1331通過一支桿1332固定連接于鎖緊環(huán)132，卡光桶133的桶壁上還開設(shè)有通光槽1333，反射鏡1331的反射面正對通光槽1333，可以理解，通過鎖緊環(huán)132的旋轉(zhuǎn)可以帶動支桿1332旋轉(zhuǎn)，使得通光槽1333對準(zhǔn)水平線Bar1222。
[0099]步驟S140:將光強(qiáng)測試組件150、發(fā)散角測試組件140及光譜測試組件160移動至方形槽112內(nèi)，將發(fā)散角測試組件140移動至燕尾槽112內(nèi)，移動CCD采集光具座141，使線陣(XD142接收經(jīng)反射鏡1331反射的第一單線Bar的輻射光，完成對第一單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0100]可以理解，由于C⑶采集光具座141由第一二維移動平臺組成，可在燕尾槽111內(nèi)和方形槽112內(nèi)沿水平和豎直方向移動。
[0101]步驟S150:旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)132，使通光槽1333對準(zhǔn)另一條水平線Bar，記為第二單線Bar,反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光；
[0102]步驟S160:移動C⑶采集光具座141，使線陣(XD142接收經(jīng)反射鏡1331反射的第二單線Bar的輻射光，完成對第二單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0103]步驟S170:重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的快慢軸發(fā)散角的測試；
[0104]可以理解，重復(fù)上述步驟S150至S160可以完成對余下水平線Bar的快慢軸發(fā)散角的測試。
[0105]步驟S180:旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)132，使通光槽1333對準(zhǔn)第一單線Bar，反射鏡1331反射第一單線Bar的福射光；
[0106]步驟S190:將發(fā)散角測試組件140移動至方形槽112內(nèi)，及將能量采集光具座151移動至燕尾槽111，并調(diào)節(jié)能量采集光具座151使能量計探頭152接收經(jīng)反射鏡1331反射的第一單線Bar的輻射光，完成對第一單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試；
[0107]可以理解，由于可伸縮桿153高度可調(diào)節(jié)，從而可以改變能量計探頭152接收的靶面面積。
[0108]步驟S200:旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)132，使通光槽1333對準(zhǔn)第二單線Bar，反射鏡1331反射第二單線Bar的輻射光；
[0109]步驟S210:移動能量采集光具座151，使能量計探頭152接收經(jīng)反射鏡1331反射的第二單線Bar的輻射光，完成對第二單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試；
[0110]重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光強(qiáng)測試；
[0111]可以理解，重復(fù)上述步驟S200至S210可以完成對余下水平線Bar的光強(qiáng)測試。
[0112]步驟S220:將光強(qiáng)測試組件150移動至方形槽112，及將光譜采集光具座160移動至燕尾槽111，并調(diào)節(jié)光譜采集光具座160使光電探頭162接收經(jīng)反射鏡1331反射的第一單線Bar的輻射光，完成對第一單線Bar的輻射光的光譜測試；
[0113]優(yōu)選地，光譜采集光具座161開設(shè)有螺紋(圖未示)，通過調(diào)節(jié)螺紋可以實(shí)現(xiàn)光譜采集光具座161的二維調(diào)節(jié)。
[0114]步驟S230:旋轉(zhuǎn)鎖緊環(huán)132，使通光槽1333對準(zhǔn)第二單線Bar，反射鏡1331反射第二單線Bar的輻射光；
[0115]步驟S240:移動光譜采集光具座161，使光電探頭162接收經(jīng)反射鏡1331反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光譜測試；
[0116]步驟S250:重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光譜測試。
[0117]可以理解，重復(fù)上述步驟S230至S240可以完成對余下水平線Bar的光強(qiáng)測試。
[0118]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的泵浦源檢測方法，通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和發(fā)散角測試組件140之間的相對位置，使發(fā)散角測試組件140完全接收選光器組件130選出的單線Bar的福射光,從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的福射光快慢軸發(fā)散角的測試；通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和光強(qiáng)測試組件150之間的相對位置，使光強(qiáng)測試組件150完全接收選光器組件130選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光光強(qiáng)測試；及通過改變泵浦源組件120、選光器組件130和光譜測試組件160之間的相對位置，使光譜測試組件160完全接收選光器組件130選出的單線Bar的輻射光，從而實(shí)現(xiàn)了對單線Bar的輻射光光譜測試，從而能夠?qū)尉€Bar的輻射光的發(fā)射強(qiáng)度、快慢軸發(fā)散角、光譜特性進(jìn)行檢測，提高環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源的使用效率和使用壽命。
[0119]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容做出些許更動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種泵浦源檢測裝置，其特征在于，包括: 底座，開設(shè)有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向設(shè)置，所述方形槽開設(shè)于所述底座的一端； 泵浦源組件，包括: 泵浦源夾持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動； 環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源，固定設(shè)于所述泵浦源夾持支架的豎直部，所述泵浦源夾持支架的豎直部還開設(shè)有與所述環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源圓心重合的通孔，包括冷卻熱沉、封裝于所述冷卻熱沉上的若干水平線Bar、開設(shè)于所述冷卻熱沉上的冷卻水輸入口及冷卻水輸出口 ；及衰減片夾持部，固定設(shè)于所述泵浦源夾持支架的豎直部上，且與所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源位于所述豎直部的同一側(cè)，所述衰減片夾持部用于夾持衰減片，所述衰減片的厚度可調(diào)； 選光器組件，包括: 選光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動； 鎖緊環(huán)，可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述選光器支座的豎直部上 '及 卡光桶，其內(nèi)部收容有反射鏡，所述反射鏡通過一支桿固定連接于所述鎖緊環(huán)，所述卡光桶的桶壁上還開設(shè)有通光槽，所述反射鏡的反射面正對所述通光槽，通過所述鎖緊環(huán)帶動所述支桿旋轉(zhuǎn)，使得所述通光槽對準(zhǔn)所述水平線Bar ； 發(fā)散角測試組件，包括: CCD采集光具座，由第一二維移動平臺組成，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動； 線陣CCD，固定于所述CCD采集光具座上，所述線陣CCD的采集面可以圍繞所述線陣CCD的采集面的中心軸自由旋轉(zhuǎn)，所述線陣CCD用于接受經(jīng)過所述反射鏡發(fā)射的水平線Bar的輻射激光； 光強(qiáng)測試組件，包括: 能量采集光具座，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動； 能量計探頭，通過一可伸縮桿與所述能量采集光具座固定連接，所述能量計探頭用于接收經(jīng)所述反射鏡反射的水平線Bar的輻射光； 光譜測試組件，包括: 光譜采集光具座，可在所述燕尾槽內(nèi)和所述方形槽內(nèi)沿水平和豎直方向移動； 光電探頭，安裝于所述光譜采集光具座上，用于接收經(jīng)所述反射鏡反射的水平線Bar的福射光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述水平線Bar為15條，且等間距地封裝于所述冷卻熱沉上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述泵浦源夾持支架的豎直部還設(shè)有兩個通水孔，所述兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述衰減片夾持部上開設(shè)有若干夾持槽及貫穿所述夾持槽的螺孔，通過螺母與螺孔配合將所述衰減片夾持于所述夾持槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述鎖緊環(huán)可以以360°的旋轉(zhuǎn)角度帶動所述支桿旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述卡光桶壁厚不大于3_，所述通光槽寬為2mm,長為30mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述反射鏡為鍍808nm的45°的高反膜反射鏡。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述線陣CCD采集線長為50mmo
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述能量計探頭接收靶面直徑不小于100mm。
10.一種泵浦源檢測方法，其特征在于，包括下述步驟: 將所述半導(dǎo)體泵浦源固定與所述泵浦源夾持支架上，所述泵浦源夾持支架的豎直部的通孔與所述環(huán)形半導(dǎo)體泵浦源圓心重合，所述泵浦源夾持支架的豎直部的兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合，連接外部水箱與冷卻水輸入口和冷卻水輸出口并通水，接通所述半導(dǎo)體泵浦源的電源，使所述若干水平線Bar產(chǎn)生輻射激光； 調(diào)節(jié)所述衰減片夾持槽的厚度，插入衰減片，使所述衰減片遮蔽所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源的內(nèi)徑； 旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)其中一條水平線Bar，記為第一單線Bar，并將所述卡光桶推入所述環(huán)狀半導(dǎo)體泵浦源內(nèi)，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的輻射光；將所述光強(qiáng)測試組件、發(fā)散角測試組件及所述光譜測試組件移動至所述方形槽內(nèi)，將發(fā)散角測試組件移動至燕尾槽內(nèi)，移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試; 旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)另一條水平線Bar，記為第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光； 移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的快慢軸發(fā)散角的測試； 重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的快慢軸發(fā)散角的測試； 旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第一單線Bar，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的福射光； 將所述發(fā)散角測試組件移動至所述方形槽內(nèi)，及將所述能量采集光具座移動至所述燕尾槽，并調(diào)節(jié)所述能量采集光具座使所述能量計探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試； 旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的福射光； 移動所述能量采集光具座，使所述能量計探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光強(qiáng)測試； 重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光強(qiáng)測試； 將所述光強(qiáng)測試組件移動至所述方形槽，及將所述光譜采集光具座移動至所述燕尾槽，并調(diào)節(jié)所述光譜采集光具座使所述光電探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光譜測試； 旋轉(zhuǎn)所述鎖緊環(huán)，使所述通光槽對準(zhǔn)所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的福射光； 移動所述光譜采集光具座，使所述光電探頭接收經(jīng)所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光譜測試； 重復(fù)上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光譜測試。
【文檔編號】G01M11/02GK104165757SQ201410436705
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年8月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月28日
【發(fā)明者】樊仲維, 黃科, 趙天卓, 何建國, 麻云鳳, 肖紅, 劉洋 申請人:中國科學(xué)院光電研究院