功能元件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種功能元件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。功能元件的特征在于，具有：可動(dòng)體，其能夠沿第一軸位移；可動(dòng)電極部，其從可動(dòng)體延伸設(shè)置；固定電極部，其被設(shè)置為與可動(dòng)電極部對(duì)置；以及止動(dòng)部，其限制可動(dòng)體的位移，在可動(dòng)體上設(shè)置有沿第一軸突出的突出部，突出部的端部與止動(dòng)部之間的距離短于可動(dòng)電極部與固定電極部之間的距離。
【專利說明】功能元件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及功能元件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為被用作功能元件的對(duì)加速度等物理量進(jìn)行檢測(cè)的功能元件，已知一種下述構(gòu)造的功能元件，其具有:固定電極、能夠在固定方向上位移的可動(dòng)體、以相對(duì)于固定電極具有間隙的方式并排設(shè)置并且設(shè)置于可動(dòng)體上的可動(dòng)電極。
[0003]這樣的功能元件中，伴隨著可動(dòng)體的位移，固定電極與設(shè)置于可動(dòng)體上的可動(dòng)電極之間的間隙將發(fā)生變化，通過利用該間隙的變化來檢測(cè)在固定電極與可動(dòng)電極之間產(chǎn)生的靜電電容的變化，從而測(cè)量出加速度等物理量的變化。
[0004]例如，在專利文獻(xiàn)I中公開有如下構(gòu)造的功能元件，其以線對(duì)稱的方式設(shè)置有可動(dòng)體、從可動(dòng)體延伸設(shè)置的梁部、梁部所連接的固定部，并且限制可動(dòng)體的位移的止動(dòng)部在以構(gòu)成多邊形的方式而彎折的梁部的內(nèi)側(cè)被設(shè)置于與可動(dòng)體對(duì)置的面上。
[0005]然而，上述的功能元件不容易限制在俯視觀察可動(dòng)體的情況下，可動(dòng)體產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。因此，存在如下的問題，即，在因被加載過度的加速度等而使可動(dòng)體產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)方向上的位移的情況下，固定電極與設(shè)置于可動(dòng)體上的可動(dòng)電極將接觸，從而致使在兩電極間產(chǎn)生的靜電電容喪失，由此作為功能元件的測(cè)量停止的問題。另外，還存在固定電極與可動(dòng)電極接觸而致使兩電極產(chǎn)生破損的可能。該問題并不局限于功能元件，在具有相同結(jié)構(gòu)的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微電子機(jī)械系統(tǒng))振子中也會(huì)產(chǎn)生。
[0006]專利文獻(xiàn)1:美國專利第6065341號(hào)說明書


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠以下述的方式或應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。
[0008]應(yīng)用例I
[0009]本應(yīng)用例所涉及的功能元件的特征在于，具有:可動(dòng)體，其能夠沿第一軸位移；可動(dòng)電極部，其從可動(dòng)體延伸設(shè)置；固定電極部，其被設(shè)置為與可動(dòng)電極部對(duì)置；以及止動(dòng)部，其限制可動(dòng)體的位移，在可動(dòng)體上設(shè)置有沿第一軸突出的突出部，突出部的端部與止動(dòng)部之間的距離短于可動(dòng)電極部與固定電極部之間的距離。
[0010]根據(jù)這樣的功能元件，當(dāng)可動(dòng)體沿第一軸位移的情況下，在可動(dòng)電極部與固定電極部接觸之前，從可動(dòng)體突出的突出部與止動(dòng)部接觸，從而能夠抑制可動(dòng)電極部與固定電極部的接觸。
[0011]因此，能夠抑制在功能元件被加載加速度等的力從而可動(dòng)體過度地位移時(shí)，由于固定電極部與可動(dòng)電極部的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部間的粘貼與電極部的破損。另外，能夠得到可抑制在可動(dòng)電極部與固定電極部之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件。
[0012]應(yīng)用例2
[0013]在上述應(yīng)用例所涉及的功能元件中，優(yōu)選為，具有連接于可動(dòng)體的固定部，固定部與止動(dòng)部被設(shè)置為一體。
[0014]根據(jù)這樣的功能元件，當(dāng)可動(dòng)體沿第一軸位移的情況下，在可動(dòng)電極部與固定電極部接觸之前，從可動(dòng)體突出的突出部與和固定部設(shè)為一體的止動(dòng)部接觸，從而能夠抑制固定電極部與可動(dòng)電極部的接觸。
[0015]因此，能夠抑制在功能元件被加載加速度等的力從而可動(dòng)體過度地位移時(shí)，由于固定電極部與可動(dòng)電極部的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部間的粘貼與電極部的破損。另外，能夠得到可抑制在固定電極部與可動(dòng)電極部之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件。
[0016]應(yīng)用例3
[0017]在上述應(yīng)用例所涉及的功能元件中，優(yōu)選為，具有連接于可動(dòng)體的第一固定部與第二固定部，第一固定部以及第二固定部被配置在止動(dòng)部的兩側(cè)，第一固定部與可動(dòng)體通過第一梁部而被連接，第二固定部與可動(dòng)體通過第二梁部而被連接。
[0018]根據(jù)這樣的功能元件，利用連接于第一固定部的第一梁部與連接于第二固定部的第二梁部來固定可動(dòng)體，由此能夠抑制與第一軸并行的可動(dòng)體的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0019]應(yīng)用例4
[0020]在上述應(yīng)用例所涉及的功能元件中，優(yōu)選為，突出部的至少一部分被設(shè)置于第一梁部與第二梁部之間。
[0021]根據(jù)這樣的功能元件，當(dāng)產(chǎn)生了與第一軸并行的可動(dòng)體的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)方向上的位移時(shí)，從可動(dòng)體突出的突出部與第一梁部和第二梁部接觸，由此能夠抑制該面內(nèi)旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0022]應(yīng)用例5
[0023]在上述應(yīng)用例所涉及的功能元件中,優(yōu)選為,可動(dòng)體與止動(dòng)部為相同電位。
[0024]根據(jù)這樣的功能元件，通過將止動(dòng)部與可動(dòng)體形成為相同電位，從而能夠抑制在可動(dòng)體與止動(dòng)部接觸時(shí)，固定電極部與設(shè)置于可動(dòng)體上的可動(dòng)電極部之間的靜電電容的變動(dòng)。因此，抑制了在可動(dòng)體與止動(dòng)部接觸時(shí)，可動(dòng)體與固定電極部之間的靜電電容的變動(dòng)。因此，能夠得到即便可動(dòng)體與止動(dòng)部接觸也會(huì)抑制對(duì)加速度等的物理量的測(cè)量造成的影響的功能元件。
[0025]應(yīng)用例6
[0026]在上述應(yīng)用例所涉及的功能元件中，優(yōu)選為,在止動(dòng)部以及突出部的至少一方上，于止動(dòng)部與所述突出部對(duì)置的面上設(shè)置有突起。
[0027]根據(jù)這樣的功能元件，與止動(dòng)部和可動(dòng)體接觸時(shí)的接觸面積相比，能夠使在可動(dòng)體上設(shè)置了突起的情況下的止動(dòng)部與可動(dòng)體接觸時(shí)的接觸面積較小。由此，能夠減少止動(dòng)部與可動(dòng)體接觸時(shí)的沖擊。另外，能夠抑制止動(dòng)部與可動(dòng)體的粘貼。因此，能夠抑制止動(dòng)部與可動(dòng)體接觸時(shí)的粘貼以及功能元件的破損。
[0028]應(yīng)用例7
[0029]本應(yīng)用例所涉及的功能元件的特征在于，具有:可動(dòng)體，其能夠沿第一軸位移；可動(dòng)電極部，其從可動(dòng)體延伸設(shè)置；固定電極部，其被設(shè)置為與可動(dòng)電極部對(duì)置；止動(dòng)部，其限制可動(dòng)體的位移；第一固定部以及第二固定部，其被配置于止動(dòng)部的兩側(cè)；第一梁部，其連接第一固定部與可動(dòng)體；以及第二梁部，其連接第二固定部與可動(dòng)體，止動(dòng)部朝向可動(dòng)體突出設(shè)置，止動(dòng)部與可動(dòng)體之間的距離短于可動(dòng)電極部與固定電極部之間的距離。
[0030]根據(jù)這樣的功能元件，當(dāng)可動(dòng)體沿第一軸位移的情況下，在可動(dòng)電極部與固定電極部接觸之前，可動(dòng)體與朝可動(dòng)體突出的止動(dòng)部接觸，由此能夠抑制固定電極部與可動(dòng)電極部的接觸。
[0031]因此，能夠抑制在功能元件被加載加速度等的力從而可動(dòng)體過度地位移時(shí)，由于固定電極部與可動(dòng)電極部的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部間的粘貼與電極部的破損。另外，能夠得到可抑制在固定電極部與可動(dòng)電極部之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件。
[0032]應(yīng)用例8
[0033]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，搭載有上述的任意功能元件。
[0034]根據(jù)這樣的電子設(shè)備，通過搭載上述的任意功能元件，從而即使在電子設(shè)備受到?jīng)_擊的情況下，也能夠抑制功能元件的破損并持續(xù)地檢測(cè)物理量，因此能夠得到可靠度較聞的電子設(shè)備。
[0035]應(yīng)用例9
[0036]本應(yīng)用例所涉及的移動(dòng)體的特征在于，搭載有上述的任意功能元件。
[0037]根據(jù)這樣的移動(dòng)體，通過搭載上述的任意功能元件,能夠抑制來自移動(dòng)體的沖擊所造成的功能元件的破損，并持續(xù)地檢測(cè)物理量，因此能夠得到可靠度較高的移動(dòng)體。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]圖1為示意性表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的俯視圖。
[0039]圖2為放大表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的放大圖。
[0040]圖3為示意性表示第二實(shí)施方式所涉及的功能元件的俯視圖。
[0041]圖4為放大表示第二實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的放大圖。
[0042]圖5為示意性表示第三實(shí)施方式所涉及的功能元件的俯視圖。
[0043]圖6為放大表示第四實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的放大圖。
[0044]圖7為放大表示第五實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的放大圖。
[0045]圖8為示意性表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的個(gè)人計(jì)算機(jī)的圖。
[0046]圖9為示意性表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)的圖。
[0047]圖10為示意性表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的圖。
[0048]圖11為示意性表示作為實(shí)施例的移動(dòng)體的汽車的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0049]以下，使用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在以下所示的各圖中，為了將各結(jié)構(gòu)要素形成為可在附圖上識(shí)別程度的大小，存在適當(dāng)?shù)貙?duì)各結(jié)構(gòu)要素的尺寸、比率以與實(shí)際的結(jié)構(gòu)要素不同的方式進(jìn)行記載的情況。
[0050]第一實(shí)施方式
[0051]使用圖1以及圖2對(duì)第一實(shí)施方式所涉及的功能元件進(jìn)行說明。
[0052]圖1為表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的概略的俯視圖。圖2為圖1中的由點(diǎn)劃線Al所示的部分的放大示意圖。為了方便說明，在圖1以及圖2中省略了蓋體的圖示。另外，在圖1以及圖2中，作為相互正交的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸是表示基板與元件部重疊的厚度方向的軸。
[0053]功能元件I的構(gòu)造
[0054]圖1以及圖2所示的本實(shí)施方式的功能元件I具有基板2、設(shè)置于該基板2上的元件部3、與元件部3電連接的布線部4。
[0055]功能元件I中，通過加載于該功能元件I的加速度等而使構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33可動(dòng)，由此設(shè)置于基板2上的固定電極部38、39和設(shè)置于可動(dòng)部33上的可動(dòng)電極部36、37之間的間隙dl發(fā)生變化。利用該間隙dl的變化，來測(cè)量加載于功能元件I的加速度等。
[0056]以下，對(duì)構(gòu)成功能元件I的各部依次進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0057]基板2
[0058]基板2被設(shè)置為用于支承元件部3?；?形成為板狀，在元件部3所被設(shè)值的主面2a上設(shè)置有空腔部21。該空腔部21被設(shè)置為，在從相對(duì)于主面2a垂直的方向俯視觀察基板2時(shí)，包圍構(gòu)成后述的元件部3的可動(dòng)部33、可動(dòng)電極部36、37以及第一梁部34、第二梁部35。另外，空腔部21具有內(nèi)底21a。這樣的空腔部21是抑制構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33、可動(dòng)電極部36、37以及第一梁部34、第二梁部35與基板2接觸的空間，換言之，構(gòu)成了避讓部。由此，能夠允許可動(dòng)部33的位移。
[0059]此外，對(duì)于該空間而言，也可以代替空腔部21 (凹部)，轉(zhuǎn)而設(shè)置為將基板2沿其厚度方向(Z軸方向)貫穿的開口部。另外，在本實(shí)施方式中，雖然在從相對(duì)于主面2a垂直的方向俯視觀察空腔部21時(shí)的形狀呈矩形，但并不局限于此。
[0060]另外，在基板2的主面2a上，于前述的空腔部21的外側(cè)設(shè)置有槽部22、23、24。該槽部22、23、24在從相對(duì)于主面2a垂直的方向俯視觀察的情況下，形成為與布線部4對(duì)應(yīng)的形狀。
[0061]作為構(gòu)成這樣的基板2的材料，例如優(yōu)選使用硅、玻璃等材料。例如，當(dāng)以硅作為主材料構(gòu)成元件部3的情況下，基板2更優(yōu)選使用硼硅酸鹽玻璃。
[0062]此外，作為基板2的構(gòu)成材料，優(yōu)選使用與元件部3的構(gòu)成材料的線膨脹率的差較小的材料。例如，通過基板2使用硼硅酸鹽玻璃，元件部3使用硅，從而使基板2與元件部3的線膨脹率的差減小，由此能夠抑制由熱膨脹所導(dǎo)致的變形。
[0063]元件部3
[0064]元件部3被構(gòu)成為，包括第一固定部31、第二固定部32、可動(dòng)部33、第一梁部34以及第二梁部35。另外，元件部3被構(gòu)成為，包括可動(dòng)電極部36、37、固定電極部38、39和止動(dòng)部60。
[0065]在這樣的元件部3中，可動(dòng)部33例如能夠根據(jù)加速度、角速度等物理量的變化而使第一梁部34以及第二梁部35彈性變形，并且沿圖1所示的箭頭a的方向、即X軸方向(+X軸方向或者一 X軸方向)位移。
[0066]元件部3中，伴隨著前述的位移，可動(dòng)電極部36與固定電極部38之間的間隙dl以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39之間的間隙dl將分別發(fā)生變化。元件部3中，伴隨著前述的間隙dl的變化，可動(dòng)電極部36與固定電極部38之間以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39之間的靜電電容的大小將分別發(fā)生變化。
[0067]功能元件I能夠基于這些靜電電容的變化而將加速度、角速度等物理量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
[0068]第一固定部31、第二固定部32
[0069]第一固定部31以及第二固定部32分別設(shè)置于前述的基板2的主面2a上。
[0070]具體地說，第一固定部31相對(duì)于空腔部21而被設(shè)置于一 X軸方向側(cè)的主面2a上。另外，第二固定部32相對(duì)于空腔部21而被設(shè)置于+X軸方向側(cè)的主面2a上。另外，第一固定部31以及第二固定部32被設(shè)置為，在從相對(duì)于主面2a垂直的方向俯視觀察的情況下，分別沿著空腔部21的外周緣。
[0071]第一固定部31具有第一梁部34所連接的固定部311以及固定部312。第二固定部32具有第二梁部35所連接的固定部321、固定部322。
[0072]可動(dòng)部33、第一梁部34、第二梁部35
[0073]如圖1所示，可動(dòng)部33被設(shè)置于第一固定部31與第二固定部32之間。在功能元件I中，可動(dòng)部33形成為沿圖1所示的X軸方向延伸的長(zhǎng)邊形狀。此外，可動(dòng)部33的形狀是根據(jù)構(gòu)成元件部3的各部的形狀、大小等而決定的，并不局限于上述的形狀。
[0074]這樣的可動(dòng)部33經(jīng)由第一梁部34連結(jié)于第一固定部31，并且經(jīng)由第二梁部35連結(jié)于第二固定部32。更具體地說，可動(dòng)部33中朝一 X軸方向側(cè)突出的突出部33L經(jīng)由梁部341與固定部311連結(jié)，并且經(jīng)由梁部342與固定部312連結(jié)。另外，可動(dòng)部33的朝+X軸方向側(cè)突出的突出部33R經(jīng)由梁部351與固定部321連結(jié)，并且經(jīng)由梁部352與固定部322連結(jié)。
[0075]第一梁部34被構(gòu)成為，包括梁部341、梁部342。梁部341、梁部342分別形成為在Y軸方向上蜿蜒并在X軸方向上延伸的形狀。
[0076]第二梁部35被構(gòu)成為，包括梁部351、梁部352。梁部351、梁部352分別形成為在Y軸方向上蜿蜒并在X軸方向上延伸的形狀。
[0077]在本實(shí)施方式中，第一梁部34以及第二梁部35被構(gòu)成為，伴隨著彈性變形，可使可動(dòng)部33在圖1中由箭頭a所示的第一軸所延伸的方向亦即+X軸方向以及一 X軸方向上位移(可動(dòng))。
[0078]第一固定部31被構(gòu)成為，包括固定部311、固定部312，并設(shè)置于可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向亦即一 X軸方向的主面2a上。固定部311、固定部312分別與從可動(dòng)部33延伸設(shè)置的梁部341、梁部342連接。
[0079]第二固定部32被構(gòu)成為，包括固定部321、固定部322，并設(shè)置于可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向亦即+X軸方向的主面2a上。固定部321、固定部322分別與從可動(dòng)部33延伸設(shè)置的梁部351、梁部352連接。
[0080]通過第一固定部31以及第二固定部32與第一梁部34以及第二梁部35連接，由此能夠?qū)⒖蓜?dòng)部33連結(jié)(固定)于基板2上。
[0081]可動(dòng)電極部36、37
[0082]可動(dòng)電極部36從可動(dòng)部33朝向與可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一方向亦即X軸方向正交的第二方向亦即+Y軸方向延伸設(shè)置。可動(dòng)電極部36從可動(dòng)部33向+Y軸方向突出，并呈梳齒狀地并排設(shè)置有多個(gè)。
[0083]另外，可動(dòng)電極部37從可動(dòng)部33朝向成為與可動(dòng)電極部36所被設(shè)置的+Y軸方向的相反側(cè)的一 Y軸方向延伸設(shè)置?？蓜?dòng)電極部37從可動(dòng)部33向一 Y軸方向突出，并呈梳齒狀地并排設(shè)置有多個(gè)。
[0084]這樣可動(dòng)電極部36以及可動(dòng)電極部37分別沿可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一方向亦即X軸方向(圖1中所示的箭頭a的方向)并排設(shè)置。換言之，多個(gè)可動(dòng)電極部36、37以沿作為可動(dòng)部33進(jìn)行位移的方向的X軸方向并排并且向與進(jìn)行位移的方向交叉的Y軸方向的兩側(cè)延伸的方式而設(shè)置。
[0085]由此，能夠與可動(dòng)部33的位移相應(yīng)地使在后述的固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36,37之間產(chǎn)生的靜電電容發(fā)生變化。
[0086]固定電極部38、39
[0087]固定電極部38被設(shè)置為，形成相對(duì)于前述的可動(dòng)電極部36而嚙合的梳齒狀。
[0088]固定電極部38被構(gòu)成為，包括作為第一固定電極的固定電極381和作為第二固定電極的固定電極382。固定電極381、382被設(shè)置為分別與可動(dòng)電極部36間具有間隙dl。此夕卜，在記作固定電極部38的情況下，是指包括固定電極381、382進(jìn)行說明。
[0089]固定電極部39與前述的固定電極部38相同，被設(shè)置為形成相對(duì)于可動(dòng)電極部37而嚙合的梳齒狀。固定電極部39被構(gòu)成為，包括作為第三固定電極的固定電極391和作為第四固定電極的固定電極392。固定電極391、392被設(shè)置為，分別與可動(dòng)電極部37間具有間隙dl。此外，在記作固定電極部39的情況下，是指包括固定電極391、392進(jìn)行說明。
[0090]固定電極部38(固定電極381、382)以可動(dòng)部33為中心而設(shè)置于+Y軸方向側(cè)。固定電極部38的+Y軸方向上的一端連接于被設(shè)置在主面2a上的布線部4，固定電極部38以該被連接的一端為固定端、與固定端相反的一側(cè)的一端為自由端，而向一 Y軸方向延伸設(shè)置。
[0091]固定電極部39(固定電極391、392)以可動(dòng)部33為中心而設(shè)置于一 Y軸方向側(cè)。固定電極部39的一 Y軸方向上的一端連接于被設(shè)置在主面2a上的布線部4，固定電極部39以該被連接的一端為固定端、與固定端相反的一側(cè)的一端為自由端，而向+Y軸方向延伸設(shè)置。
[0092]止動(dòng)部60
[0093]在本實(shí)施方式的功能元件I上設(shè)置有限制可動(dòng)部33的位移的止動(dòng)部60。
[0094]止動(dòng)部60以與從可動(dòng)部33延伸設(shè)置的突出部33L、突出部33R對(duì)置的方式分別設(shè)置于主面2a上。具體地說，在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向上與一 X軸方向上的可動(dòng)部33的突出部33L對(duì)置地設(shè)置止動(dòng)部60L。另外，在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向上與+X軸方向上的可動(dòng)部33的突出部33R對(duì)置地設(shè)置止動(dòng)部60R。
[0095]在此，對(duì)于可動(dòng)部33以及止動(dòng)部60的配置等進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0096]止動(dòng)部60是出于如下目的而被設(shè)置的，即，抑制在可動(dòng)部33過度位移的情況下，并排配置的可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的破損。另外，止動(dòng)部60被設(shè)置用于抑制可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘貼(sticking)、短路(shot)。
[0097]在可動(dòng)部33上，如圖1所示朝向被設(shè)置于梁部341與梁部342之間并且沿第一軸延伸的方向(一 X軸方向)而設(shè)置的止動(dòng)部60L，而延伸設(shè)置有突出部33L。延伸設(shè)置的突出部33L被設(shè)置為在該突出部33L與止動(dòng)部60L之間具有間隙d2。
[0098]另外，在可動(dòng)部33上，如圖1所示朝向被設(shè)置于梁部351與梁部352之間并且沿第一軸延伸的方向(+X軸方向)而設(shè)置的止動(dòng)部60R,而延伸設(shè)置有突出部33R。延伸設(shè)置的突出部33R被設(shè)置為在該突出部33R與止動(dòng)部60R之間具有間隙d2。
[0099]第一實(shí)施方式中的功能元件I謀求在可動(dòng)部33過度位移情況下，在固定電極部38,39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使止動(dòng)部60與可動(dòng)部33抵接。因此，功能元件I中，可動(dòng)部33被設(shè)置為，與可動(dòng)電極部36、37和固定電極部38、39之間的間隙dl相比，可動(dòng)部33 (突出部33L、突出部33R)和止動(dòng)部60之間的間隙d2較小。S卩，以間隙dl以及間隙d2的寬度的關(guān)系滿足間隙dl >間隙d2的方式，朝向止動(dòng)部60延伸設(shè)置可動(dòng)部33 (突出部33L、突出部33R)。
[0100]另外，功能元件I在可動(dòng)部33于以圖1所示的點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上發(fā)生了位移的情況下，通過突出部33L與第一梁部34(梁部341、梁部342)接觸，從而能夠限制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。另外，通過突出部33R與第二梁部35(梁部351、梁部352)接觸，從而能夠限制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0101]另外，在功能元件I中，通過第一梁部34(梁部341、梁部342)和第二梁部35 (梁部351、梁部352)以留有間隔的方式被連結(jié)于第一、第二固定部31、32，從而可動(dòng)部33被固定。因此，能夠抑制可動(dòng)部33在以圖1所示的點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上位移的情況。
[0102]由此，功能元件I在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使可動(dòng)部33與止動(dòng)部60接觸，從而能夠抑制可動(dòng)部33的過度的位移。另外，在可動(dòng)部33于面內(nèi)旋轉(zhuǎn)方向上發(fā)生了位移的情況下，突出部33L以及突出部33R與第一梁部34以及第二梁部35接觸，由此能夠限制該旋轉(zhuǎn)方向上的位移。另外，可動(dòng)部33通過從突出部33L延伸設(shè)置的梁部341以及梁部342和從突出部33R延伸設(shè)置的梁部351以及梁部352所具有的施力，從而能夠抑制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0103]另外，止動(dòng)部60優(yōu)選設(shè)為與可動(dòng)部33為相同電位(相等的電位)。
[0104]止動(dòng)部60通過設(shè)為與可動(dòng)部33相等的電位，從而在與可動(dòng)部33接觸的情況下，靜電力不會(huì)作用，由此能夠抑制粘貼。另外，通過設(shè)為與可動(dòng)部33相等的電位，從而能夠抑制在可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39之間產(chǎn)生的靜電電容的變動(dòng)或因接地而導(dǎo)致的喪失。
[0105]因此，止動(dòng)部60利用省略圖示的布線經(jīng)由第一固定部31與第一梁部34以及第二固定部32與第二梁部35，而與可動(dòng)部33電連接。
[0106]作為構(gòu)成這樣的元件部3的材料，只要是具有導(dǎo)電性的材料，則可任意使用，不受特別的限定。例如，作為構(gòu)成元件部3的材料優(yōu)選使用硅基板。通過使用硅基板而使用一般的半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)，從而能夠?qū)⒌谝还潭ú?1以及第二固定部32、可動(dòng)部33、第一梁部34以及第二梁部35、可動(dòng)電極部36、37、固定電極部38、39、止動(dòng)部60 —體形成。
[0107]布線部4
[0108]布線部4被設(shè)置于基板2的主面2a上。布線部4由布線41、42、43與電極44、45、46構(gòu)成。
[0109]布線41以沿著空腔部21的外周的方式被設(shè)置于空腔部21與基板2的外周緣之間的主面2a上。布線41的一端被連接于電極44。另外，布線41的與被連接于電極44的一端不同的另一端被電連接于多個(gè)固定電極部38、39之中作為第一固定電極的固定電極381以及作為第三固定電極的固定電極391。
[0110]布線42以沿著布線41的方式被設(shè)置于空腔部21與基板2的外周緣之間的主面2a上。布線42的一端被連接于電極45。
[0111]另外,布線42的與被連接于電極45的一端不同的另一端被電連接于多個(gè)固定電極部38、39之中作為第二固定電極的固定電極382以及作為第四固定電極的固定電極392。
[0112]布線43被連接于第一固定部31 (固定部311、固定部312)，布線43的與被連接于第一固定部31的一端不同的另一端與電極46連接。
[0113]另外，布線41被設(shè)置于在主面2a上所設(shè)置的槽部22(凹部)內(nèi)。另外，布線42被設(shè)置于在主面2a上所設(shè)置的槽部23 (凹部)內(nèi)。另外，布線43被設(shè)置于在主面2a上所設(shè)置的槽部24 (凹部)內(nèi)。
[0114]作為構(gòu)成這樣的布線41至布線43的材料，只要是具有導(dǎo)電性的材料，則不受特別的限定。例如，可舉出 ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、金(Au)、鉬(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)或者含有這些金屬的合金，可以使用其中的一種，或者將多種組合后使用。
[0115]另外，作為構(gòu)成電極44至電極46的材料，與前述的布線41至布線43相同，只要是具有導(dǎo)電性的材料，則不受特別的限定。
[0116]利用這樣的布線41以及電極44、布線43以及電極46，能夠經(jīng)由布線41輸出第一固定電極(固定電極381)與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容以及第三固定電極(固定電極391)與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容的變化。
[0117]另外，利用這樣的布線42以及電極45、布線43以及電極46，能夠經(jīng)由布線42輸出第二固定電極(固定電極382)與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容以及第四固定電極(固定電極392)與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容的變化。
[0118]蓋體
[0119]蓋體(未圖示)被設(shè)置用于保護(hù)前述的元件部3。
[0120]蓋體形成為板狀，在其一個(gè)面(下表面)上設(shè)置有空腔(未圖示)。該空腔被形成為允許可動(dòng)部33的位移。
[0121]此外，蓋體的下表面的相比空腔靠外側(cè)的部分被連接于前述的主面2a(基板2)。
[0122]作為蓋體與基板2的連接方法未做特別限定，例如可以使用基于粘合劑的連接方法、陽極接合(連接)法等。
[0123]另外，作為構(gòu)成蓋體的材料，只要是適合于連接方法的材料，則不受特別的限定，例如在使用粘合材連接的情況下，可以使用硅材料，在使用陽極接合法連接的情況下可以使用玻璃材料等。
[0124]根據(jù)上述的第一實(shí)施方式，可得到以下的效果。
[0125]根據(jù)這樣的功能元件1，在可動(dòng)部33沿第一軸延伸的方向發(fā)生了位移的情況下，在可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39接觸之前，可動(dòng)部33與止動(dòng)部60接觸，由此能夠抑制固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸。另外，在可動(dòng)部33產(chǎn)生了于從相對(duì)于可動(dòng)部33垂直的方向俯視觀察時(shí)的以點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上的位移的情況下，突出部33L以及突出部33R與第一梁部34以及第二梁部35接觸，由此能夠限制該位移。
[0126]因此，能夠抑制在功能元件I被加載加速度等的力，從而可動(dòng)部33過度位移時(shí)，由于固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部的粘貼以及破損。另外，可得到能夠抑制在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件I。
[0127]第二實(shí)施方式
[0128]使用圖3以及圖4對(duì)第二實(shí)施方式的功能元件進(jìn)行說明。
[0129]圖3為表示第二實(shí)施方式所涉及的功能元件的概略的俯視圖。圖4為圖3中的由點(diǎn)劃線A2所示的部分的放大示意圖。為了方便說明，圖3以及圖4中省略了蓋體的圖示。另外，圖3以及圖4中，作為相互正交的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為表示基板與元件部重疊的厚度方向的軸。
[0130]第二實(shí)施方式所涉及的功能元件Ia與在第一實(shí)施方式中說明的功能元件I相比，不同之處在于止動(dòng)部60朝向可動(dòng)部33延伸設(shè)置。
[0131]其他的結(jié)構(gòu)等與第一實(shí)施方式中所述的功能元件I大致相同，因此對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記以及編號(hào)并省略部分說明，以此方式對(duì)功能元件Ia進(jìn)行說明。
[0132]功能元件Ia的構(gòu)造
[0133]圖3以及圖4所示的本實(shí)施方式的功能元件Ia與第一實(shí)施方式中所述的功能元件I相同，具有基板2、設(shè)置于該基板2上的元件部3、與元件部3電連接的布線部4。
[0134]功能元件Ia中，通過被加載于該功能元件Ia的加速度等而使構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33可動(dòng)，由此設(shè)置于基板2上的固定電極部38、39與設(shè)置于可動(dòng)部33上的可動(dòng)電極部36、37之間的間隙dl發(fā)生變化。通過該間隙dl的變化，來測(cè)量加載于功能元件Ia的加速度等。
[0135]可動(dòng)部33
[0136]在功能元件Ia中，可動(dòng)部33在該可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸延伸的方向亦即X軸方向上延伸設(shè)置?？蓜?dòng)部33在第一軸延伸的方向亦即一 X軸方向側(cè)的端部33TL上連接有第一梁部34。另外，可動(dòng)部33在第一軸延伸的方向亦即+X軸方向側(cè)的端部33TR上連接有第二梁部35。
[0137]這樣的可動(dòng)部33經(jīng)由第一梁部34而被連結(jié)于第一固定部31，并且經(jīng)由第二梁部35而被連結(jié)于第二固定部32。更具體地說，可動(dòng)部33的一 X軸方向側(cè)的端部33TL經(jīng)由梁部341而與固定部311連結(jié)，并且經(jīng)由梁部342而與固定部312連結(jié)。另外，可動(dòng)部33的+X軸方向側(cè)的端部33TR經(jīng)由梁部351而與固定部321與連接，并且經(jīng)由梁部352而與固定部322連接。
[0138]止動(dòng)部60
[0139]在本實(shí)施方式的功能元件Ia上設(shè)置有限制可動(dòng)部33的位移的止動(dòng)部60。另外，從止動(dòng)部60朝向可動(dòng)部33延伸設(shè)置突出部62。
[0140]止動(dòng)部60以與可動(dòng)部33的端部33TL、33TR對(duì)置的方式被設(shè)置于主面2a上。具體地說，在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向上與一 X軸方向上的可動(dòng)部33的端部33TL對(duì)置地設(shè)置止動(dòng)部60L以及突出部62L。從止動(dòng)部60L延伸設(shè)置的突出部62L朝向可動(dòng)部33的端部33TL而延伸設(shè)置于梁部341與梁部342之間。另外，在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向上與+X軸方向上的可動(dòng)部33的端部33TR對(duì)置地設(shè)置止動(dòng)部60R以及突出部62R。從止動(dòng)部60R延伸設(shè)置的突出部62R朝向可動(dòng)部33的端部33TR而延伸設(shè)置于梁部351與梁部352之間。
[0141]在此，對(duì)可動(dòng)部33以及止動(dòng)部60的配置等進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0142]止動(dòng)部60與功能元件I相同，是出于如下目的而被設(shè)置的，即，抑制在可動(dòng)部33過度位移的情況下，并排配置的可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的破損。
[0143]另外，止動(dòng)部60被設(shè)置用于抑制可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘貼(sticking)、短路(shot)。
[0144]第二實(shí)施方式中的功能元件Ia謀求在可動(dòng)部33被加載過度的位移的情況下，在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使止動(dòng)部60與可動(dòng)部33抵接。
[0145]因此，止動(dòng)部60被設(shè)置為，與可動(dòng)電極部36、37和固定電極部38、39之間的間隙dl相比，使可動(dòng)部33(端部33TL、33TR)與止動(dòng)部60 (突出部62L、62R)之間的間隙d3較小。即，以使間隙dl以及間隙d3的寬度的關(guān)系滿足間隙dl >間隙d3的方式，朝可動(dòng)部33延伸設(shè)置止動(dòng)部60 (突出部62)。
[0146]另外，功能元件Ia例如在可動(dòng)部33于以圖3所示的點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上發(fā)生了位移的情況下，通過止動(dòng)部60L(突出部62L)與第一梁部34(梁部341、梁部342)接觸，從而能夠抑制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。另外，通過止動(dòng)部60R(突出部62R)與第二梁部35(梁部351、梁部352)接觸，從而能夠限制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0147]由此，功能元件Ia在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使可動(dòng)部33與止動(dòng)部60接觸，從而能夠抑制可動(dòng)部33的過度的位移。另外，在可動(dòng)部33于旋轉(zhuǎn)方向上發(fā)生了位移的情況下，通過止動(dòng)部60L、60R(突出部62L、62R)與第一梁部34以及第二梁部35接觸，從而能夠限制旋轉(zhuǎn)方向上的位移。另外，可動(dòng)部33通過從端部33TL延伸設(shè)置的梁部341以及梁部342、從端部33TR延伸設(shè)置的梁部351以及梁部352所具有的施力，從而能夠限制可動(dòng)部33產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0148]在功能元件Ia中，其他的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式中所述的功能元件I相同，因此省略說明。
[0149]根據(jù)上述的第二實(shí)施方式，可得到如下的效果。
[0150]根據(jù)這樣的功能元件la，在可動(dòng)部33沿第一方向發(fā)生了位移的情況下，在可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39接觸之前，可動(dòng)部33與止動(dòng)部60接觸，由此能夠抑制固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸。另外，在可動(dòng)部33產(chǎn)生于從相對(duì)于可動(dòng)部33垂直的方向俯視觀察時(shí)的以點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上的位移的情況下，止動(dòng)部60與第一梁部34以及第二梁部35接觸，由此能夠限制該位移。
[0151]因此，能夠抑制在功能元件Ia被加載加速度等的力從而可動(dòng)部33過度位移時(shí)，由于固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部的粘貼以及破損。另外，可得到能夠抑制在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件la。
[0152]第三實(shí)施方式
[0153]使用圖5對(duì)第三實(shí)施方式所涉及的功能元件進(jìn)行說明。
[0154]圖5為表示第三實(shí)施方式所涉及的功能元件的概略的俯視圖。圖5中為了方便說明，省略了蓋體的圖示。另外，作為相互正交的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為表示基板與元件部重疊的厚度方向的軸。
[0155]第三實(shí)施方式所涉及的功能元件Ib與在第一實(shí)施方式中所說明的功能元件I相t匕，不同之處在于固定部131、132與止動(dòng)部160被設(shè)置成一體。
[0156]其他的結(jié)構(gòu)等與第一實(shí)施方式中所述的功能元件I大致相同，因此對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記以及編號(hào)并省略部分說明，以此方式對(duì)功能元件Ib進(jìn)行說明
[0157]功能元件Ib的構(gòu)造
[0158]圖5所示的本實(shí)施方式的功能元件Ib與第一實(shí)施方式中的所述的功能元件I相同，具有基板2、設(shè)置于該基板2上的元件部3、與元件部3電連接的布線部4。
[0159]功能元件Ib因被加載于該功能元件Ib的加速度等使構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33可動(dòng)，由此設(shè)置于基板2上的固定電極部38、39與設(shè)置于可動(dòng)部33的可動(dòng)電極部36、37之間的間隙dl發(fā)生變化。利用該間隙dl的變化，來測(cè)量加載于功能元件Ib的加速度等。
[0160]可動(dòng)部33
[0161]在功能元件Ib中，可動(dòng)部33在該可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向亦即X軸方向上延伸設(shè)置?？蓜?dòng)部33在設(shè)置于第一軸延伸的方向上的一 X軸方向的突出部33L上連接有第一梁部34。另外，可動(dòng)部33在設(shè)置于第一軸延伸的方向上的+X軸方向的突出部33R上連接有第二梁部35。
[0162]突出部33L(可動(dòng)部33)與第一梁部34的一端連接，第一梁部34的另一端連接于固定部131。另外，突出部33R(可動(dòng)部33)與第二梁部35的一端連接，第二梁部35的另一端連接于固定部132。由此，可動(dòng)部33被固定于基板2上。
[0163]更具體地說，可動(dòng)部33經(jīng)由向一 X軸方向側(cè)突出的突出部33L而被連結(jié)于固定部131。另外，可動(dòng)部33經(jīng)由向+X軸方向側(cè)突出的突出部33R而被連結(jié)于固定部132。
[0164]固定部132、132、止動(dòng)部160
[0165]如圖5所示，固定部131與止動(dòng)部160L被設(shè)置為一體。另外，固定部132與止動(dòng)部160R被設(shè)置為一體。
[0166]固定部131被設(shè)置于可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向的一個(gè)方向亦即一 X軸方向上的主面2a上。在固定部131上連接有從突出部33L延伸設(shè)置的梁部341、342。固定部132被設(shè)置于可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸所延伸的方向的一個(gè)方向亦即+X軸方向上的主面2a上。在固定部132上連接有從突出部33R延伸設(shè)置的梁部351、352。
[0167]通過在固定部131、132上分別連接第一梁部34、第二梁部35，從而能夠?qū)⒖蓜?dòng)部33固定于基板2上。
[0168]在此，對(duì)可動(dòng)部33以及止動(dòng)部160的配置等進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0169]止動(dòng)部160是出于如下目的而被設(shè)置的，即，抑制在可動(dòng)部33過度位移的情況下，并排設(shè)置的可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的破損。另外，止動(dòng)部160被設(shè)置用于抑制可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘貼(sticking)、短路(shot)。
[0170]可動(dòng)部33如圖5所示那樣，朝向在梁部341與梁部342之間并且沿第一軸延伸的方向(一 X軸方向)設(shè)置的止動(dòng)部160L延伸設(shè)置有突出部33L?？蓜?dòng)部33被設(shè)置為，在延伸設(shè)置的突出部33L與止動(dòng)部160L之間具有間隙d2。另外，可動(dòng)部33如圖5所示那樣，朝向在梁部351與梁部352之間并且沿第一軸延伸的方向(+X軸方向)設(shè)置的止動(dòng)部160R延伸設(shè)置有突出部33R?？蓜?dòng)部33被設(shè)置為，在延伸設(shè)置的突出部33R與止動(dòng)部160R之間具有間隙d2。
[0171]第三實(shí)施方式中的功能元件Ib謀求在可動(dòng)部33被加載過度的位移的情況下，在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使止動(dòng)部160與可動(dòng)部33抵接。
[0172]因此，可動(dòng)部33被設(shè)置為，同可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39之間的間隙dl相比，使可動(dòng)部33 (突出部33L、33R)與止動(dòng)部160之間的間隙d2較窄。S卩，以間隙dl以及間隙d2的寬度的關(guān)系滿足間隙dl >間隙d2的方式，朝向止動(dòng)部160延伸設(shè)置可動(dòng)部33 (突出部 33L、33R)。
[0173]由此，功能元件Ib在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使可動(dòng)部33與止動(dòng)部160接觸，從而能夠限制可動(dòng)部33的過度的位移。另外，在可動(dòng)部33于以點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上發(fā)生了位移的情況下，突出部33L、33R與第一梁部34以及第二梁部
35、接觸，由此能夠限制旋轉(zhuǎn)方向上的位移。
[0174]在功能元件Ib中，其他的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式中所述的功能元件I相同，因此省略說明。
[0175]根據(jù)上述的第三實(shí)施方式，可得到以下的效果。
[0176]根據(jù)這樣的功能元件lb，當(dāng)可動(dòng)部33沿第一方向位移的情況下，在可動(dòng)電極部
36、37與固定電極部38、39接觸之前，可動(dòng)部33與止動(dòng)部160接觸，由此能夠抑制固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸。另外，在可動(dòng)部33產(chǎn)生于從相對(duì)于可動(dòng)部33垂直的方向俯視觀察時(shí)的以點(diǎn)P為中心的旋轉(zhuǎn)方向上的位移的情況下，可動(dòng)部33的突出部33L、33R與第一梁部34、第二梁部35接觸，由此能夠限制該位移。
[0177]因此，能夠抑制在功能元件Ib被加載加速度等的力從而可動(dòng)部33過度位移時(shí)，由于固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37的接觸等而導(dǎo)致的這些電極部的粘貼以及破損。另外，可得到能夠抑制在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37之間產(chǎn)生的靜電電容的喪失，從而持續(xù)地測(cè)量加速度等物理量的功能元件lb。
[0178]第四實(shí)施方式
[0179]使用圖6對(duì)第四實(shí)施方式所涉及的功能元件進(jìn)行說明。
[0180]圖6為放大表示第四實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的示意圖，相當(dāng)于表示在第一實(shí)施方式中敘述的功能元件I的圖1中的點(diǎn)劃線Al的部分。圖6中，作為相互正交的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為表示基板與元件部重疊的厚度方向的軸。
[0181]第四實(shí)施方式的功能元件Ic與第一實(shí)施方式中所說明的功能元件I相比，不同之處在于在可動(dòng)部33的突出部33L、33R上設(shè)置有突起部200。
[0182]其他的結(jié)構(gòu)等與第一實(shí)施方式中敘述的功能元件I大致相同，因此對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記以及編號(hào)并省略部分說明，以此方式對(duì)功能元件Ic進(jìn)行說明。
[0183]功能元件Ic的構(gòu)造
[0184]圖6所示的本實(shí)施方式的功能元件Ic與在第一實(shí)施方式中敘述的功能元件I相同，具有基板2、設(shè)置于該基板2上的元件部3、與元件部3電連接的布線部4。
[0185]功能元件Ic中，通過被加載于該功能元件Ic的加速度等而使構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33可動(dòng)，由此設(shè)置于基板2上的固定電極部38、39與設(shè)置于可動(dòng)部33上的可動(dòng)電極部36、37之間的間隙dl發(fā)生變化。利用該間隙dl的變化，來測(cè)量加載于功能元件Ib的加速度等。
[0186]可動(dòng)部33
[0187]在功能元件Ic中，可動(dòng)部33在該可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一方向上沿X軸方向延伸設(shè)置?？蓜?dòng)部33在設(shè)置于第一軸延伸的方向上的一 X軸方向的突出部33L上連接有第一梁部34。另外，可動(dòng)部33在設(shè)置于第一軸延伸的方向上的+X軸方向的突出部33R上連接有第二梁部35。
[0188]另外，在可動(dòng)部33的突出部33L上設(shè)置有突起部200。在可動(dòng)部33上，于與止動(dòng)部60L對(duì)置的突出部33L的端面34L設(shè)置有突起部210，并于與端面34L交叉的方向上的突出部33L的端面35L上設(shè)置有突起部220。
[0189]另外，在與突出部33L為相反方向的突出部33R上也同樣設(shè)置有突起部200，對(duì)此省略圖示。
[0190]止動(dòng)部60
[0191]在本實(shí)施方式的功能元件Ic上，與功能元件I相同設(shè)置有限制可動(dòng)部33的位移的止動(dòng)部60。
[0192]止動(dòng)部60以與可動(dòng)部33的突出部33L、33R對(duì)置的方式被設(shè)置于主面2a上。
[0193]在此，對(duì)可動(dòng)部33以及止動(dòng)部60的配置等進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0194]止動(dòng)部60是出于如下目的而被設(shè)置的，即，抑制在可動(dòng)部33過度位移的情況下，并排配置的可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的破損。另外，止動(dòng)部60被設(shè)置用于抑制可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘貼(sticking)、短路(shot)。
[0195]可動(dòng)部33如圖6中將局部放大表示的那樣，朝向在梁部341與梁部342之間并且沿第一軸延伸的方向(一 X軸方向)設(shè)置的止動(dòng)部60L而延伸設(shè)置有突出部33L?？蓜?dòng)部33被設(shè)置為，在被設(shè)置于延伸設(shè)置的突出部33L的端面34L上的突起部210與止動(dòng)部60L之間具有間隙d21。另外，可動(dòng)部33朝向在梁部351與梁部352之間并且沿第一軸延伸的方向(+X軸方向)設(shè)置的止動(dòng)部60R(未圖示)而延伸設(shè)置有突出部33R(未圖示)?？蓜?dòng)部33被設(shè)置為，在被設(shè)置于延伸設(shè)置的突出部33R的端面34R(未圖示)上的突起部210與止動(dòng)部60R之間具有間隙d21。
[0196]第四實(shí)施方式中的功能元件Ic謀求在可動(dòng)部33被加載過度的位移的情況下，在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使止動(dòng)部60與被設(shè)置于可動(dòng)部33上的突起部200抵接。
[0197]因此，可動(dòng)部33被設(shè)置為，同可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39之間的間隙dl相比，使被設(shè)置于可動(dòng)部33上的突起部200與止動(dòng)部60之間的間隙d21較窄。S卩，以間隙dl以及間隙d21的寬度的關(guān)系滿足間隙dl >間隙d21的方式，在可動(dòng)部33(突出部33L、突出部33R)上設(shè)置突起部200。
[0198]由此，功能元件Ic在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使被設(shè)置于可動(dòng)部33上的突起部210與止動(dòng)部60接觸，從而能夠抑制可動(dòng)部33的過度的位移。
[0199]另外，當(dāng)可動(dòng)部33沿與第一軸延伸的方向交叉的第二方向發(fā)生了位移的情況下，由于在可動(dòng)部33的端面35L、35R上設(shè)置有突起部220，因此能使第一梁部34以及第二梁部35進(jìn)行點(diǎn)接觸。因此，能夠抑制可動(dòng)部33與第一梁部34、第二梁部35因此接觸而產(chǎn)生的粘貼以及破損。
[0200]在功能元件Ic中，其他的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式中所敘述的功能元件I相同，因此省略說明。
[0201]根據(jù)上述的第四實(shí)施方式，可得到以下的效果。
[0202]根據(jù)這樣的功能元件Ic,與上述的功能元件l、la、lb相比，能夠縮小止動(dòng)部60與可動(dòng)部33接觸時(shí)的接觸面積。
[0203]另外，通過在與第一梁部34、第二梁部35對(duì)置的突出部33L、33R的端面35L、35R上設(shè)置突起部220，從而能夠縮小第一梁部34、第二梁部35與突出部33L、33R的接觸面積。因此，能夠抑制可動(dòng)部33與止動(dòng)部60，或可動(dòng)部33與第一梁部34、第二梁部35接觸時(shí)的粘貼。另外，能夠減少可動(dòng)部33與止動(dòng)部60，或可動(dòng)部33與第一梁部34、第二梁部35接觸時(shí)的沖擊。因此，能夠抑制可動(dòng)部33與止動(dòng)部60，或可動(dòng)部33與第一梁部34、第二梁部35接觸時(shí)的功能元件Ic的破損。
[0204]第五實(shí)施方式
[0205]使用圖7對(duì)第五實(shí)施方式所涉及的功能元件進(jìn)行說明。
[0206]圖7為放大表示第五實(shí)施方式所涉及的功能元件的一部分的示意圖，相當(dāng)于表示在第二實(shí)施方式中所述的功能元件Ia的圖3中的點(diǎn)劃線A2的部分。圖7中，作為相互正交的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為表示基板與元件部重疊的厚度方向的軸。
[0207]第五實(shí)施方式所涉及的功能元件Id與第二實(shí)施方式中所說明的功能元件Ia相t匕，不同之處在于在止動(dòng)部60上設(shè)置有突起部200。
[0208]其他的結(jié)構(gòu)等與第二實(shí)施方式中敘述的功能元件Ia大致相同，因此對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記以及編號(hào)并省略部分說明，以此方式對(duì)功能元件Id進(jìn)行說明。
[0209]功能元件Id的構(gòu)造
[0210]圖7所示的本實(shí)施方式的功能元件Id與第一實(shí)施方式中敘述的功能元件I相同，具有基板2、設(shè)置于該基板2上的元件部3、與元件部3電連接的布線部4。
[0211]功能元件Id中，通過被加載于該功能元件Id的加速度等而使構(gòu)成元件部3的可動(dòng)部33可動(dòng)，由此設(shè)置于基板2上的固定電極部38、39與設(shè)置于可動(dòng)部33上的可動(dòng)電極部36、37之間的間隙dl發(fā)生變化。利用該間隙dl的變化，來測(cè)量加載于功能元件Id的加速度等。
[0212]可動(dòng)部33
[0213]在功能元件Id中，可動(dòng)部33在該可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一方向上沿X軸方向延伸設(shè)置?？蓜?dòng)部33在第一方向上的一 X軸方向的突出部33L上連接有第一梁部34。另外，可動(dòng)部33在第一方向上的+X軸方向的突出部33R上(未圖示)連接有第二梁部35。
[0214]止動(dòng)部60
[0215]在本實(shí)施方式的功能元件Id與功能元件Ia相同，設(shè)置有限制可動(dòng)部33的位移的止動(dòng)部60。另外，從止動(dòng)部60朝向可動(dòng)部33延伸設(shè)置有突出部62。
[0216]止動(dòng)部60具有以與可動(dòng)部33的端部33TL對(duì)置的方式設(shè)置于主面2a上的止動(dòng)部60L，和以與可動(dòng)部33的端部33TR (未圖示)對(duì)置的方式設(shè)置于主面2a上的止動(dòng)部60R (未圖示)。如圖7所示，與一 X軸方向上的可動(dòng)部33的端部33TL對(duì)置地從止動(dòng)部60L以及止動(dòng)部60L延伸設(shè)置突出部62L。與止動(dòng)部60L以及突出部62L相同，與+X軸方向的可動(dòng)部33的端部33TR對(duì)置地從止動(dòng)部60R以及止動(dòng)部60R延伸設(shè)置突出部62R。
[0217]在突出部62L(止動(dòng)部60L)以及突出部62R(止動(dòng)部60R)(未圖示)上設(shè)置有突起部200。在突出部62L上，于與可動(dòng)部33對(duì)置的端面63L上設(shè)置有突起部210，于與端面63L交叉的方向上的突出部62L的端面64L上設(shè)置有突起部220。
[0218]另外，在與突出部62L(止動(dòng)部60L)為相反方向的突出部62R(止動(dòng)部60R)(未圖示)上，同樣于與可動(dòng)部33對(duì)置的端面63R(未圖示)上設(shè)置有突起部210 (未圖示)，于與端面63R交叉的方向上的止動(dòng)部60R的端面64R (未圖示)上設(shè)置有突起部220 (未圖示)。
[0219]在此，對(duì)于可動(dòng)部33以及止動(dòng)部60的配置等詳細(xì)敘述。
[0220]止動(dòng)部60是出于如下目的而被設(shè)置的，即，抑制在可動(dòng)部33過度位移的情況下，并排配置的可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的破損。另外，止動(dòng)部60被設(shè)置用于抑制可動(dòng)電極部36與固定電極部38以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘貼(sticking)、短路(shot)。
[0221]止動(dòng)部60L如圖7所示那樣，朝向在梁部341與梁部342之間并且沿第一軸延伸的方向(+X軸方向)設(shè)置的可動(dòng)部33而延伸設(shè)置。止動(dòng)部60L在延伸設(shè)置的突出部62L的端面63L上設(shè)置有突起部210。突出部62L被設(shè)置為，在突起部210與可動(dòng)部33之間具有間隙d31。另外，止動(dòng)部60R與止動(dòng)部60L相同，朝向在梁部351與梁部352之間并且沿第一軸延伸的方向(一 X軸方向)設(shè)置的可動(dòng)部33而延伸設(shè)置(參照?qǐng)D3)。止動(dòng)部60R在延伸設(shè)置的突出部62R的端面63R上設(shè)置有突起部210。突出部62R被設(shè)置為，在突起部210與可動(dòng)部33之間具有間隙d31。
[0222]第五實(shí)施方式的功能元件Id某求在可動(dòng)部33被加載過度的位移的情況下，在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使可動(dòng)部33與在從止動(dòng)部60延伸設(shè)置的突出部62上設(shè)置的突起部210抵接。
[0223]因此，止動(dòng)部60被設(shè)置為，同可動(dòng)電極部36、37與固定電極部38、39之間的間隙dl相比，使可動(dòng)部33與設(shè)置于突出部62上的突起部210之間的間隙d31較窄。即，以間隙dl以及間隙d31的寬度的關(guān)系滿足間隙dl >間隙d31的方式，在從止動(dòng)部60 (60L、60R)延伸設(shè)置的突出部62 (62R、62L)上設(shè)置突起部210。
[0224]由此，功能元件Id在固定電極部38、39與可動(dòng)電極部36、37接觸之前，使可動(dòng)部33與設(shè)置于止動(dòng)部60上的突起部210接觸，從而能夠抑制可動(dòng)部33的過度的位移。
[0225]另外，當(dāng)可動(dòng)部33沿與第一方向交叉的第二方向發(fā)生了位移的情況下，由于在突出部62L、62R的端面64L、64R上設(shè)置有突起部220，因此能使止動(dòng)部60 (突出部62)與第一梁部34、第二梁部35進(jìn)行點(diǎn)接觸，由此能夠抑制止動(dòng)部60與第一梁部34、第二梁部35因接觸而產(chǎn)生的破損。
[0226]在功能元件Id中，其他結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式中敘述的功能元件I相同，因此省略說明。
[0227]根據(jù)上述的第五實(shí)施方式，可得出以下的效果。
[0228]根據(jù)這樣的功能元件Id,與上述的功能元件l、la、lb相比，能夠縮小止動(dòng)部60與可動(dòng)部33接觸時(shí)的接觸面積。
[0229]另外，通過在與第一梁部34、第二梁部35對(duì)置的止動(dòng)部60L、60R的端面64L、64R上設(shè)置突起部220，從而能夠縮小第一梁部34、第二梁部35與止動(dòng)部60L、60R的接觸面積。因此，能夠抑制可動(dòng)部33與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)，或第一梁部34、第二梁部35與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)的粘貼。另外，能夠減少可動(dòng)部33與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)，或第一梁部34、第二梁部35與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)的沖擊。因此，能夠抑制可動(dòng)部33與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)，或第一梁部34、第二梁部35與止動(dòng)部60L、60R接觸時(shí)的功能元件Id的破損。
[0230]此外，在第一實(shí)施方式至第五實(shí)施方式所述的功能元件l、la、lb、lc、ld中，對(duì)于在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的第一軸延伸的X軸方向(圖1、3、5所示的箭頭a的方向)雙方向上，止動(dòng)部60、160以線對(duì)稱的方式被設(shè)置的方式進(jìn)行了說明。但是，并不局限于此，只需在可動(dòng)部33進(jìn)行位移的X軸方向上的一方設(shè)置止動(dòng)部60、160即可。另外，在上文中對(duì)于測(cè)量加速度、角速度等物理量的功能元件進(jìn)行了說明，但對(duì)于具有相同的結(jié)構(gòu)的MEMS振子等也可以應(yīng)用本發(fā)明。
[0231]實(shí)施例
[0232]參照?qǐng)D8至圖11對(duì)應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件I以及功能元件la、lb、lc、ld中的任一個(gè)(以下，概括為功能元件I進(jìn)行說明)的實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0233]電子設(shè)備
[0234]首先，參照?qǐng)D8至圖10對(duì)應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件的電子設(shè)備進(jìn)行說明。
[0235]圖8為表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件的作為電子設(shè)備的膝上型(或者便攜式)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的概略的立體圖。在該圖中，膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部1008的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106以能夠經(jīng)由鉸接結(jié)造部而相對(duì)于主體部1104進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承。在這樣的膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有用于檢測(cè)被加載于該膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的加速度等并將加速度等顯示在顯示單元1106上的作為加速度傳感器等發(fā)揮功能的功能元件I。這樣的功能元件I能夠抑制因膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的操作而產(chǎn)生的振動(dòng)、伴隨落下的沖擊所產(chǎn)生的破損，從而持續(xù)地檢測(cè)物理量。因此，能夠得到可靠性高的膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)1100。
[0236]圖9為表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件的作為電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)(也包括PHS(Personal Handy-phone System:個(gè)人移動(dòng)電話系統(tǒng)))的結(jié)構(gòu)的概略的立體圖。在該圖中，移動(dòng)電話機(jī)1200具有多個(gè)操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這樣的移動(dòng)電話機(jī)1200中內(nèi)置有用于檢測(cè)被加載于移動(dòng)電話機(jī)1200的加速度等并輔助該移動(dòng)電話機(jī)1200的操作的作為加速度傳感器等發(fā)揮功能的功能元件I。這樣的功能元件I能夠抑制因移動(dòng)電話機(jī)1200的操作所產(chǎn)生的振動(dòng)、伴隨于落下的沖擊所產(chǎn)生的破損，從而持續(xù)地檢測(cè)物理量。因此，能夠得到可靠性高的移動(dòng)電話機(jī)1200。
[0237]圖10為表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件的作為電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的概略的立體圖。此外，在該圖中簡(jiǎn)單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，通常的照相機(jī)利用被拍攝物體的光圖像而對(duì)銀鹽膠片進(jìn)行感光，與此相對(duì)，數(shù)碼照相機(jī)1300利用CCD (Charge Coupled Device)等攝像元件而對(duì)被攝物體的光圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。
[0238]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部1308，并成為根據(jù)由C⑶所產(chǎn)生的攝像信號(hào)來進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1308作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。另外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中的背面?zhèn)?設(shè)置有包括光學(xué)鏡片(攝像光學(xué)系統(tǒng))、CXD等在內(nèi)的受光單元1304。
[0239]當(dāng)攝像者對(duì)被顯示在顯示部1308上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，此刻的CXD的攝像信號(hào)將被傳送并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1310中。另外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有影像信號(hào)輸出端子1312、數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，在影像信號(hào)輸出端子1312上連接有液晶顯示器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。而且，成為如下的結(jié)構(gòu)，S卩，通過預(yù)定的操作，從而將被存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1310中的攝像信號(hào)被輸出至液晶顯示器1430、個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。在這樣的數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有檢測(cè)因落下而產(chǎn)生的加速度的作為加速度傳感器而發(fā)揮功能的功能元件1，以發(fā)揮在落下時(shí)保護(hù)數(shù)碼照相機(jī)1300的功能。這樣的功能元件I能夠抑制因數(shù)碼照相機(jī)1300的操作所產(chǎn)生的振動(dòng)、伴隨于落下的沖擊所產(chǎn)生的破損，從而持續(xù)地檢測(cè)物理量。因此，能夠得到可靠性高的數(shù)碼照相機(jī)1300。
[0240]此外，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的功能元件I除了能夠應(yīng)用于圖8的膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)(便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖9的移動(dòng)電話機(jī)、圖10的數(shù)碼照相機(jī)之外，還能夠應(yīng)用于如下的電子設(shè)備中，例如，噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機(jī))、電視機(jī)、視頻攝像機(jī)、錄像機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、電子計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS(point of sale:銷售點(diǎn))終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖測(cè)量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)視鏡)、魚群探測(cè)器、各種測(cè)量設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類(例如，車輛、航空器、船舶的計(jì)量?jī)x器類)、飛行模擬器等電子設(shè)備。
[0241]移動(dòng)體
[0242]圖11為示意性表示作為移動(dòng)體的一個(gè)示例的汽車的立體圖。汽車1500將作為加速度傳感器發(fā)揮功能的功能元件I搭載于各種控制單元中。例如，如該圖所示，在作為移動(dòng)體的汽車1500中，內(nèi)置有檢測(cè)該汽車1500的加速度的功能元件I并控制發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出的電子控制單元(EQJ Electronic Control Unit) 1508被搭載于車身1507上。通過檢測(cè)加速度以控制發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)行與車身1507的姿態(tài)相應(yīng)的恰當(dāng)?shù)妮敵觯瑥亩軌虻玫揭种迫剂系鹊南牡母咝У淖鳛橐苿?dòng)體的汽車1500。
[0243]另外，除此之外，功能元件I還能夠廣泛應(yīng)用于車身姿態(tài)控制單元、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)。
[0244]這樣的功能元件I能夠抑制因來自汽車1500的振動(dòng)、沖擊所產(chǎn)生的破損，從而持續(xù)地檢測(cè)物理量。因此，能夠得到可靠性高的移動(dòng)體1500。
[0245]符號(hào)說明
[0246]1、la、lb、lc、Id…功能兀件；2…基板;2a…主面;3…兀件部；4…布線部；21...空腔部；21a…內(nèi)底；22、23、24…槽部；31、32…固定部;33…可動(dòng)部;33L、33R…突出部；33TL、33TR…端部；34、35…梁部；36、37…可動(dòng)電極部；38、39…固定電極部；41、42、43…布線；44、45、46…電極;60、160…止動(dòng)部;200…突起部;311、321…第一固定部；312、322…第二固定部；341、351…第一梁部；342、352…第二梁部；381、382…固定電極；391、392…固定電極；1100…膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī);1200…移動(dòng)電話機(jī);1300…數(shù)碼照相機(jī);1500…汽車;dl、d2、d3…間隙。
【權(quán)利要求】
1.一種功能元件，其特征在于，具有: 可動(dòng)體，其能夠沿第一軸位移； 可動(dòng)電極部，其從所述可動(dòng)體延伸設(shè)置； 固定電極部，其被設(shè)置為與所述可動(dòng)電極部對(duì)置；以及 止動(dòng)部，其限制所述可動(dòng)體的位移， 在所述可動(dòng)體上設(shè)置有沿所述第一軸突出的突出部， 所述突出部的端部與所述止動(dòng)部之間的距離短于所述可動(dòng)電極部與所述固定電極部之間的距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 具有連接于所述可動(dòng)體的固定部， 所述固定部與所述止動(dòng)部被設(shè)置為一體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 具有連接于所述可動(dòng)體的第一固定部與第二固定部， 所述第一固定部以及所述第二固定部被配置在所述止動(dòng)部的兩側(cè)， 所述第一固定部與所述可動(dòng)體通過第一梁部而被連接，所述第二固定部與所述可動(dòng)體通過第二梁部而被連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述突出部的至少一部分被設(shè)置于所述第一梁部與所述第二梁部之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述可動(dòng)體與所述止動(dòng)部為相同電位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 在所述止動(dòng)部以及所述突出部中的至少一方上，于所述止動(dòng)部與所述突出部對(duì)置的面上設(shè)置有突起。
7.一種功能元件，其特征在于，具有: 可動(dòng)體，其能夠沿第一軸位移； 可動(dòng)電極部，其從所述可動(dòng)體延伸設(shè)置； 固定電極部，其被設(shè)置為與所述可動(dòng)電極部對(duì)置； 止動(dòng)部，其限制所述可動(dòng)體的位移； 第一固定部以及第二固定部，其被配置于所述止動(dòng)部的兩側(cè)； 第一梁部，其連接所述第一固定部與所述可動(dòng)體；以及 第二梁部，其連接所述第二固定部與所述可動(dòng)體， 所述止動(dòng)部朝向所述可動(dòng)體突出設(shè)置， 所述止動(dòng)部與所述可動(dòng)體之間的距離短于所述可動(dòng)電極部與所述固定電極部之間的距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的功能元件，其特征在于， 所述止動(dòng)部的至少一部分被設(shè)置于所述第一梁部與所述第二梁部之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的功能元件，其特征在于， 所述可動(dòng)體與所述止動(dòng)部為相同電位。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的功能元件，其特征在于，在所述止動(dòng)部的與所述可動(dòng)體對(duì)置的面上設(shè)置有突起。
11.一種電子設(shè)備，其特征在于，搭載有權(quán)利要求1所述的功能元件。
12.—種電子設(shè)備,其特征在于，搭載有權(quán)利要求7所述的功能元件。
13.—種移動(dòng)體，其特征在于，搭載有權(quán)利要求1所述的功能元件。
14.一種移動(dòng)體，其特征在于，搭載有權(quán)利要求7所述的功能元件。
【文檔編號(hào)】G01D5/24GK104422787SQ201410438140
【公開日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】田中悟 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社