一種濕度監(jiān)測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種濕度監(jiān)測裝置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上設(shè)置有陽極引線、陰極引線，所述陽極引線、陰極引線分別與第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)連接，所述第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)設(shè)置在第一梳形電極、第二梳形電極上，所述第一梳形電極、第二梳形電極前端設(shè)置有厚膜感應(yīng)層，所述厚膜感應(yīng)層上方設(shè)置有濾光器。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、自清潔能力強(qiáng)、監(jiān)測靈敏、可靠。
【專利說明】一種濕度監(jiān)測裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種監(jiān)測裝置，尤其涉及一種濕度監(jiān)測裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、氣象、環(huán)保、國防、科研、航天等部門，經(jīng)常需要對環(huán)境濕度進(jìn)行測量及控制。但在常規(guī)的環(huán)境參數(shù)中，濕度是最難準(zhǔn)確測量的一個(gè)參數(shù)。用干濕球濕度計(jì)或毛發(fā)濕度計(jì)來測量濕度的方法，早已無法滿足現(xiàn)代科技發(fā)展的需要。這是因?yàn)闇y量濕度要比測量溫度復(fù)雜的多，溫度是個(gè)獨(dú)立的被測量，而濕度卻受其他因素(大氣壓強(qiáng)、溫度)的影響。此外，濕度的標(biāo)準(zhǔn)也是一個(gè)難題。國外生產(chǎn)的濕度標(biāo)定設(shè)備價(jià)格十分昂貴。
[0003]近年來，國內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長足進(jìn)步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢測的方向迅速發(fā)展，為開發(fā)新一代濕度/溫度測控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件，也將濕度測量技術(shù)提高到新的水平。但目前濕度傳感器技術(shù)還不完善，主要有如下問題:裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、去污能力弱、監(jiān)測不靈敏、壽命短等問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、自清潔能力強(qiáng)、監(jiān)測靈敏、可靠的濕度監(jiān)測裝置。
[0005]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種濕度監(jiān)測裝置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上設(shè)置有陽極引線、陰極引線，所述陽極引線、陰極引線分別與第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)連接，所述第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)設(shè)置在第一梳形電極、第二梳形電極上，所述第一梳形電極、第二梳形電極前端設(shè)置有厚膜感應(yīng)層，所述厚膜感應(yīng)層上方設(shè)置有濾光器。
[0006]所述厚膜感應(yīng)層將吸收的水分，電離產(chǎn)生氫氣，所述電離的氫氣改變厚膜感應(yīng)層的阻抗，并將監(jiān)測到的電信號通過第一梳形電極、第二梳形電極輸出，實(shí)現(xiàn)濕度與電信號的轉(zhuǎn)換，所述過濾器用于防止膜感應(yīng)層被污染。
[0007]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0008]進(jìn)一步，所述厚膜感應(yīng)層厚度為I?10 μ m，所述厚膜感應(yīng)層太薄不利于水分的吸收與電離，太厚不利于電阻抗變化的感應(yīng)，本發(fā)明所述厚膜感應(yīng)層最佳厚度為I?ΙΟμπι，但不局限于此。
[0009]進(jìn)一步，所述厚膜感應(yīng)層為多孔結(jié)構(gòu)的ZrO2厚膜，所述多孔結(jié)構(gòu)的ZrO2厚膜，由于有較大表面積的多孔結(jié)構(gòu)，有利于水分的吸收，并且ZrO2厚膜可以將水分電離。
[0010]進(jìn)一步，所述厚膜感應(yīng)層設(shè)置有堿金屬層，用于穩(wěn)定阻抗值的調(diào)整過程。
[0011]進(jìn)一步，所述陽極引線、陰極引線為銅金屬線，所述銅金屬線電阻小，有利于降低對輸出信號的干擾。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、自清潔能力強(qiáng)、監(jiān)測靈敏、可靠。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明一種濕度監(jiān)測裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]附圖中，各標(biāo)號所代表的部件列表如下:1、陶瓷基板，2、陽極引線，3、陰極引線，4、第二接觸點(diǎn)，5、厚膜感應(yīng)層，6、過濾器，7、第一梳形電極，8、第一接觸點(diǎn)，9、第二梳形電極。

【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0016]如圖1所示，一種濕度監(jiān)測裝置，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板I 一端上設(shè)置有陽極引線2、陰極引線3，所述陽極引線2、陰極引線3分別與第一接觸點(diǎn)8、第二接觸點(diǎn)連接4，所述第一接觸點(diǎn)8、第二接觸點(diǎn)4設(shè)置在第一梳形電極7、第二梳形電極9上，所述第一梳形電極7、第二梳形電極9前端設(shè)置有厚膜感應(yīng)層5，所述厚膜感應(yīng)層5上方設(shè)置有濾光器6。
[0017]所述厚膜感應(yīng)層5將吸收的水分，電離產(chǎn)生氫氣，所述電離的氫氣改變厚膜感應(yīng)層5的阻抗，并將監(jiān)測到的電信號通過第一梳形電極7、第二梳形電極9輸出，實(shí)現(xiàn)濕度與電信號的轉(zhuǎn)換，所述過濾器6用于防止膜感應(yīng)層5被污染。
[0018]所述厚膜感應(yīng)層5厚度為I?10 μ m，所述厚膜感應(yīng)層5太薄不利于水分的吸收與電離，太厚不利于電阻抗變化的感應(yīng)，本發(fā)明所述厚膜感應(yīng)層5最佳厚度為I?10 μ m，但不局限于此；所述厚膜感應(yīng)層5為多孔結(jié)構(gòu)的ZrO2厚膜，所述多孔結(jié)構(gòu)的ZrO2厚膜，由于有較大表面積的多孔結(jié)構(gòu)，有利于水分的吸收，并且ZrO2厚膜可以將水分電離；所述厚膜感應(yīng)層5設(shè)置有堿金屬層，用于穩(wěn)定阻抗值的調(diào)整過程；所述陽極引線2、陰極引線3為銅金屬線，所述銅金屬線電阻小，有利于降低對輸出信號的干擾。
[0019]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種濕度監(jiān)測裝置，其特征在于，包括陶瓷基板，所述陶瓷基板一端上設(shè)置有陽極引線、陰極引線，所述陽極引線、陰極引線分別與第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)連接，所述第一接觸點(diǎn)、第二接觸點(diǎn)設(shè)置在第一梳形電極、第二梳形電極上，所述第一梳形電極、第二梳形電極前端設(shè)置有厚膜感應(yīng)層，所述厚膜感應(yīng)層上方設(shè)置有濾光器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種濕度監(jiān)測裝置，其特征在于，所述厚膜感應(yīng)層厚度為I?10 μ m0
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種濕度監(jiān)測裝置，其特征在于，所述厚膜感應(yīng)層為多孔結(jié)構(gòu)的ZrO2厚膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種濕度監(jiān)測裝置，其特征在于，所述厚膜感應(yīng)層設(shè)置有堿金屬層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種濕度監(jiān)測裝置，其特征在于，所述陽極引線、陰極引線為銅金屬線。
【文檔編號】G01N27/12GK104237324SQ201410521108
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】李 杰 申請人:重慶澤嘉機(jī)械有限公司